JPH0171607U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0171607U JPH0171607U JP1987167434U JP16743487U JPH0171607U JP H0171607 U JPH0171607 U JP H0171607U JP 1987167434 U JP1987167434 U JP 1987167434U JP 16743487 U JP16743487 U JP 16743487U JP H0171607 U JPH0171607 U JP H0171607U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- processing section
- video signal
- signal processing
- converts
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 claims 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Description
第１図は本考案のウエハ輪郭の測定装置の一実
施例を示す系統図、第２図は映像信号の波形変換
前および変換後の波形図、第３図供試ウエハの平
面図、第４図は測定結果のウエハ輪郭図である。 １：ウエハ、２，２′：ＸＹテーブル、３：ワ
ークセツト台、４：テレビカメラ、６：エツジ信
号出力回路、７：演算表示回路、８：出力表示器
、９：メモリ。
施例を示す系統図、第２図は映像信号の波形変換
前および変換後の波形図、第３図供試ウエハの平
面図、第４図は測定結果のウエハ輪郭図である。 １：ウエハ、２，２′：ＸＹテーブル、３：ワ
ークセツト台、４：テレビカメラ、６：エツジ信
号出力回路、７：演算表示回路、８：出力表示器
、９：メモリ。
Claims (1)
- 半導体ウエハをセツトしてＸＹ方向に駆動する
ＸＹテーブルと、該ＸＹテーブル上のウエハを撮
影して電気信号に変換するテレビカメラと、該テ
レビカメラの映像信号を処理して図形情報に変換
する映像信号処理部と、該映像信号処理部の出力
を演算して前記ウエハの形状を測定する演算処理
部とを有するウエハ輪郭の測定装置において、前
記映像信号処理部が、前記ＸＹテーブルのＸまた
はＹ方向に微少移動に対しこれを直交する方向に
おける前記ウエハのエツジ間の映像信号を入力し
て波形変換するエツジ信号出力を具え、前記演算
処理部が、前記エツジ信号を入力して前記ウエハ
のエツジ間距離をＸＹ方向全域について測定しそ
の輪郭図形を表示する演算表示回路を有すること
を特徴とするウエハ輪郭の測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987167434U JPH0171607U (ja) | 1987-10-31 | 1987-10-31 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987167434U JPH0171607U (ja) | 1987-10-31 | 1987-10-31 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0171607U true JPH0171607U (ja) | 1989-05-12 |
Family
ID=31455725
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1987167434U Pending JPH0171607U (ja) | 1987-10-31 | 1987-10-31 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0171607U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03197803A (ja) * | 1989-12-26 | 1991-08-29 | Nitto Seiko Co Ltd | 部品の形状認識方法および部品の良否判別方法 |
-
1987
- 1987-10-31 JP JP1987167434U patent/JPH0171607U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03197803A (ja) * | 1989-12-26 | 1991-08-29 | Nitto Seiko Co Ltd | 部品の形状認識方法および部品の良否判別方法 |
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