JPH01503569A - 光ファイバ装置及びその製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるため要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 光フアイバ装置及びその製造方法 この発明は少なくとも他の光学的構成部材と組合わされる光ファイバを含む光学 的装置或いはそのパッケイジ（ｐａｅｋａｇｅＳ）及びそれら装置の製造方法に 関し、特に光ファイバが他の構成部材に対し整列並びに固定されている装置及び その整列（ａｌｉｇｎｍｅｎｔ）並びに固定（ｆ　１ｘａｔ　１ｏｎ）を達成す るための方法に関するものである。

この種光学的装置において他の構成部材と光ファイバとを正確に整列させること の重要性はよく知られている。トランスミッタ（ｔｒａｎｓｍｉｔｔｅｒ）やレ シーバ（ｒｅｃｅｉｖｅｒ）のような光電子装置において１例えばレーザやレシ ーバ　チップに対する光ファイバの整列は光エネルギの最適結合を得るために必 要である。特にトランスミッタにおいて正しい光学的結合はレーザを最少の電流 で作用させることができ、又それによってレージング中に発生する熱を低減し、 レーザの寿命を延長させ得ることは事実である。レーザからの伝達熱がもたらす 熱膨張の問題も又、最少となり、さらにその他の適応例として電子冷却の必要性 を除去することによってパッケージのコストを低減することができる。

組立構造的には、光ファイバはレーザとの最適結合を得るために３点（ｔｈｒｅ ｅ　ｃｏｏｒｄｉｎａｔｅｓ）において整列させなばならないばかりでなく、こ の整列は堅固に固定されねばならず、又その固定中或いはその後の過程において 収縮による変形は禁物である。シングルモードの光ファイバを例にとれば、その 最終的整列は一般に、ファイバの半径方向に対し±１／２マイクロメータ以内、 軸方向に対しては１〜２マイクロメ一タ以内でなければならないとされている。

溶接ジヨイントに堅固さと長期耐久性を具備させるためには、一般に上記整列の 固定が望まれている。しかしながら冷却時における溶接部の収縮は、寸法安定性 がマイクロメータの範囲で問われるような場合において、特に考慮するべき要素 とされている。

又さらに構成部材が極めて小さい（典型的なトランスミッタ　パッケージは６　 ｍｍ　Ｘ　７　＋ｎ　Ｘ　３　Ｉｒｓオーダである）ために、ファイバの整列に 先立ってなされる光電パッケージの接合が何等阻われることなしに上記溶接をし 遂げることは重要である。レーザ　トランスミッタ　パッケージの製造において 、整列と固定作業は便宜上、レーザを操作し光を放射することによって行われる 。このような状態下で、レーザによる逆の効果を避けるために溶接の活動によっ てレーザの温度があがらないようにすることは重要である。

従来１例えばレーザのような過敏な構成部材を組込んだパッケージにおいて、上 記部材は周囲の環境を保護しこれと隔絶するように密封シールされている。この ようなパッケージ内への光ファイバの連結は適当なフィードスルー（ｆｅｅｄｔ ｈｒｏυｇｈ）接続により行われるのが通例となっている。

その組立構造として先ず、ファイバはこのフィードスルー内に挿入され、かつフ ィードスルーはパッケージに固定される。そしてパッケージ内におけるファイバ 部分は、レーザ若しくは他の構成部材と整列され、別れて適所に固定される。そ の組立技術の一つとして１例えば米国特許４６１５０３１によれば、パッケージ 内でファイバを溶融した定着クランプによって上記整列を固定することが開示さ れてこの発明の一つの目的は光ファイバの整列並びに固定を容易にし、かつ上述 の問題を低減乃至解消し得る構造を備えた新規な光ファイバ　アセンブリを提供 することにある。

さらにこの発明の他の目的は光ファイバのアライメントを必要とする装置の製造 方法を提供することにある。

従ってこの発明においては、端部がフィードスル一部材に固定された光ファイバ と、その上にマウントされた光学的部材とその中に開口部が設けられた壁部材と を有し、上記光ファイバの端部が上記開口部に延在し且つ上記光学的部材と光学 的結合関係に整列されている光学的部材の支持台と、さらに上記光学的部材に対 する上記ファイバ端部の最初の整列を確保する第１の整列手段と、その後２次の 整列を確保する第２の整列手段とを具備し、上記整列手段は上記壁部材とフィー ドスル一部材の双方に対する固定が行われ、第１の整列手段は光学的部材に近い 位置でフィードスル一部材°に固定され、第２にの整列手段は光学的部材から比 較的大きく離れた位置でフィードスル一部材に固定されるようにした光ファイバ 　アセンブリを提供するものである。

そして好ましくは上記第１．第２の整列手段は上記フィードスル一部材の周囲を 囲むように延出する第１．第２のブッシング部材を含み、又これらブッシング部 材は上記光学的部材から離れて対面する壁部材の側に固定されていることが便利 である。　上記装置の構造の利点はそれ以外にも、ファイバのフィードスルーが 光学的部材の支持台に固定され、そして上記整列が同時に光学的結合関係を達成 することが出来ることにある。

又上記構造は整列手段が行われる時にレーザ溶接の収縮によって起きるゆがみの 問題を低減することにも極めて適合している。この２つの連続して行われる整列 手段、好ましくはブッシング部材の設置は、整列を最初は比較的粗めに行わせ、 その後必要に応じて第１の整列を軽く変形させ細かく調整することが出来る。第 ２の整列手段は第１の整列手段よりも上記光学的部材から離れた位置でのフィー ドスル一部材に行われる°。従って第２の整列手段の固定がなされる時に起り得 るどのような小さいゆがみも効果的にスケールダウンされ、光学的結合、関係は 際立って乱されることがない。

上記構造はこの光ファイバ　アセンブリが半導体レーザである場合ばおいて重要 な適用性を有するものである。

好ましい実施例として第１の整列手段は、一端にフランジを有し、該フランジか ら延出する胴部を有するスリーブスプールを含むものであり、上記フランジは壁 部材に、胴部はフィードスル一部材にそれぞれ固定される。又好ましくは上記胴 部は薄壁で構成し、胴部の縁よりもむしろこの壁部分を通してなされる溶接によ りフィードスル一部材に固定される。

これらの事情の下に発明者等は溶接に伴う収縮はいずれも実質的に半径方向（ｒ ａｄｉａｌｙ）であること。そしてそれらの溶接が同時に行われ、かつ半径方向 にバランスされるのであれば、ｘ、ｙ軸における第１整列によるゆがみの可能性 は、際立って減することが出来る。第２の整列手段の固定前における上記整列の 再調整の必要性は、その結果として同様に低減される。

従ってもう一つの観点からこの発明は、フィードスル一部材に固定される端部を 有する光ファイバと、その中に開口部が設けられた壁部材を有し、且つ光学的部 材がマウントされた光学部材の支持台とを具備する光学的結合関係に整列並びに 固定を行う方法を提供するものであり、上記方法は以下の工程（５ｔｅｐｓ）か らなる。

（ａ）上記フィードスル一部材における光ファイバの端部を上記開口部に位置さ せ、光ファイバを光学的部材と光学的結合関係に整列させる工程 （ｂ）上記壁部材に第１の整列手段を固定する工程（ｃ）上記光学的部材に近い 第１の固定部位において上記フィードスル一部材に上記第１の整列手段を固定す る工程（ｄ）光学的結合関係をチェックして上記ファイバを再整列させ、必要な ら上記第１の固定部位よりも光学的部材から離れた位置で適切なてこ力を適用し 、それによって上記光学的関係にを回復させるように第１の整列手段による固定 に歪ませる工程 （ｅ）上記壁部材に第２の整列手段を施す工程（ｆ）上記光学的部材と第１の固 定部位から離れた第２の端末固定部位においてフィードスル一部材に第２の整列 手段を施す工程。

便宜的に上記工程はレーザ溶接を含み、好ましくはこのレーザ溶接は、溶接の収 縮によって誘発される上記光学的結合関係の乱れを低減するように上記フィード スル一部材の周りで半径方向にバランスされる。

上記光学的結合関係はチェックされ、又上記整列は各工程の前に再調整される。

工程（ｄ）において述べた通り１挺子の適用によって、予め形成された接合部に 適用される力は効果的にコントロールされ、最適な光学的結合を回復するよう上 記接合部に弾性的かつ塑成的に歪みを与えることをより容易にする。さらに梃子 の先端における大きな動きはファイバの端部により小さな動きを生じさせ、この ギヤーダウン効果は再整列処理の正確さを有利に進行させる この発明の実施の態様については具体的な実施例に基き添付の図面を参照してよ り詳細に述べる。

第１図はこの発明による光電装置、即ちトランスミッタで、第２図Ａ−Ａ線によ り部分的に断面した拡大正面図、第２図は光学的構成部材の内部を示すためその 蓋部を取り除いた上記装置の平面図、第３図はこの発明の方法を実施するための 装置を概略的に示す正面図、第４図は第３図の装置に使用されるビーム及びクラ ンプの斜視図、第５図はこの発明の方法に組込まれる装置を保持する取付台を動 かすため第３図の装置に使用されるマイクロマニピニレーティング　ステージの 斜視図、第６図は上記方法の固定工程におけるレーザ溶接に使用されるレーザ光 学装置をマウントするトラバーサの斜視図、第７図はこの発明の方法を成し遂げ るめの装置を自動制御するフントロールシステムの概略的構成図、第８図はこの 発明による第１整列手段を構成するスリーブスプールを一部断面した拡大正面図 、第９図はこの発明の他の実施例における固定工程を示し、　第１０図はさらに 他の実施例における固定工程を示すものである。　第１図は光電パッケージ１０ ０の一部断面拡大正面図で、便宜的にトランスミッタとして形成されたものにつ いて示されており、第２図はその平面図で、ある。

パッケージ１００のベース１は内部台座１３を有し、これはベースと一体に形成 されてもよい。ゴールド　パッド２は上記台座１３の上面に熱圧着され、上記バ ッド２のに固定されるダイアモンドヒート　シンク５上にさらに台座１３上には 温度センサ３及び光検出器７が設けられている。

パッケージは前壁４及び後壁４４の壁フレームで包囲され、電気的接続は上記フ レームの側壁に設けられた端子１７によりなされている。又パッケージの上側は 蓋体１２によってシールされている。

光ファイバのピッグティル１６はその端部がフィードスルー　チューブ９にクリ ンプ１５により取付けられており、かつレーザ６と光学的結合関係おをもって上 記パッケージに固定されている。適切なフィードスルー　チューブの構造につい ては、この発明と同一出願人の１９８６年１２月５日付は出願に係わる優先権主 張の英国特許出願第８６２９１５８号（ｃｏｐｅｎｄ　ｉ　ｎｇ）中により詳細 に開示されている。

上記フィードスルー　チューブ９内において、光ファイバ　ピッグティルはファ イバ１６自身を露出させるために内外緩衝層は取り除かれている。ファイバ１６ は常法によりレンズ端末が設けられている。フィードスルー　チューブ９はその 内端部が絞り込まれてスリーブ　スプール１０内に嵌合されており、このスリー ブ　スプール１０はこの実施例において第１の整列手段として作用する。又上記 チューブ９の外方大径部は、この場合第２に整列手段として設けられているチュ ーブラ　フランシト　ブッシング１１内に固定されている。光ファイバ１６は上 記チューブ９の絞り込み部内にガラスシール８を介して支持されており、フィー ドスルー　チューブ９の端部は前壁４の大径孔１８を貫通し、ファイバ１６の端 部がレーザ６の活性面から略。

００８〜．０１０インチの位置に配置されている。

チューブラ　フランシト　ブッシング１ユは、一端が前壁４に、他端がフィード スルー　チューブ９に密封状態でシールされており、又上記ブッシング１１のフ ランジ２５はシーム溶接により形成されている。スリーブ　スプール１０は前壁 ４に締着（或いは封止でも可）され、又そのウェスト部においてフィードスルー 　チューブ９に締着（或いは封止でも可）されている。上記ガラスシール８はフ ィードスルー　チューブ９内で光ファイバ１６を封止している。クリンプ１５に よってフィードスルー９内に取付けられている光ファイバ　ピッグティル１６の 外端部は、さらに熱収縮チューブ或いはニボキシ或いは同等のシール材（いずれ も図示せず）によってさらに封止することができる。

第３図は前記トランスミッタ　パッケージ１００にアセンブリされ、又特に上記 バツテリにおいて、フィードスルー　チューブ９に光ファイバを整列、固定、シ ールさせるための装置２００の構成を概略的に示すものである。フィードスルー 　チューブ９における光ファイバは電気的に活動する装置、即ちレーザ６に関し 実質的に最適な結合関係に整列され又そのような状態で固定される。さらにフィ ードスルー　チ且−ブ９は璧４に都合よく気密にシールされる。

装Ｍ２Ｏ０は周囲の振動から機械類を隔離するよう耐震的に設けられるベース２ ０１を特長とする。ビーム２０２はベースの上方に支持され、フィードスルー　 クランプ２０３を支持し、光ファイバ　ピグテイル１６に予め取付けられたフィ ードスルー　チューブ９を保持しており、フィードスルー　チューブ９はクリン プ１５の上端近傍でクラ。

ンブされている。

ビーム２０２とクランプ２０３は第４図に詳細に示されており、クランプ２０３ はレバー機構２２４によって操作されるセンターオーバー　クランプであり、そ の操作は従来法により例えばエアーコントロール　アクチェータ（図示せず）を 使用して自動化することができる。

第３図に戻り９部分的にアセンブリされた。（ツケジ（ベース１．壁部４のフレ ーム、そのレーザ６のみが図示されている光電構成部材）は整列並びに接続取付 具２２３にクランプされ、該具はレーザ６に電気的接続を提供すると共に上記フ レームを垂直に配列保持する。さらにこの支持具２２３自体は、４つの自由度を 持つマニピュレーテイングアセンブリ２０８上に設けられている。これらは水平 なＸ、Ｙ方向、垂直なＺ方向及びＺ軸回りのφを制御するマイクロマニピニレー タの４つのステジ２０９．２１０，２１１．２１２によって構成される。フィー ドスルー９はクランプ２０３によって静止して保持され、一方バンケン１００は 所定の整列を達成するよにステージ上で操作される。

マニピニレーティング　アセンブリ２０８は第５図に示される通り、ベース２０ １は振動予防止装置上にマウントされたかこう岩の剛性を有する厚板であり、φ 回転ステージ２０９はベースに固定されＹ移動ステージ２１１を支持しており、 Ｙステージ２１１はモータ２２６で駆動されると共に、その位置は光学エンコー ダ或いはディジタル　レングス　ゲージ２２７によって監視される。他の装置も 上記回転ステージ２０９の駆動及び位置の監視が行われるが、第５図には示され ていない。

Ｘ移動ス７テージ２１２はＹステージ２１１上に支持され、モータ（図示せず） によって駆動されると共にその位置は光学エンコーダ２２８によって監視される 。又Ｚ移動ステージ２１０はＸ移動ステージ上にマウントされ、他のモータ２２ ４によって駆動されると共に、その位置は光学コーグ２２５で監視される。バツ テリ１００を保持する支持具２２３はＺ移動ステージ２１０上にマウントされ、 手動或いは自動で適切に操作される。

第３図に戻り、レーザ溶接の光学コリメータ２０５，２０６．２０７はマニピニ レイテイング　アセンブリ２０８の回転ｉ軸の周りに１２０度間隔で位置してお り、フィードスルー　チューブ９内のファイバの垂直軸は、これと同軸の上記コ リメータ２０５，２０６，２０７は、垂直Ｚ方向に動きがコントロールされるマ イクロマニビニレータステージ２１３，２１４，２１５の上にマウントされてい る。

第６図には光学コリメータ２０５及びそれと連動するマイクロマニピ二レータ　 ステージ２１３が示されている。

他のコリメータも実質的に同一である。上記コリメータ２０５はスプリング機構 ２３０によって平衡保持されているモータ２２９によりＺ軸方向に駆動される。

作用についてはレーザ溶接源からの凝集された光は、ビームスプリッタ２２０を 通じて進み、ビームスプリッタ２２０は３つのコリメータ間にその光を分割し、 光ファイバ２３１にコリメータ２０５へ進む。コリメータは上記凝集光を溶接の ために破線矢印２４で示される方向に指示する。マイクロメータ２３２は接線方 向（ｔａｎｇｅｎｔｉａｌ）の調整を行い、マイクロメータ２３３はキャリブレ イシジンするために半径方向（ｒａｄｉａｌ）の調整を行う。上記ステージ２１ ３目体は振動防止されたベース２０１の適当な高さでマウントされている。

第７図において装置２００コンビニータ２１７の総合的な調整下に置かれており 、これは点線で示すように、レーザ溶接源２１８．）ラバース　コントローラ２ １９及び整列の正確性を監視するディテクタ２２１を含む光電計測器２２１と連 結されている。

トラバース　コントローラ２１９はマイクロコンビ二一タ　システムの機能部分 であり、システムにおける７つのマニピユレータの６つのマイクロコンビニータ 制御に委ねられている。７番目のマニピユレータは回転モーションΦ用でステッ プモータにより制御される。６つの前述のニンコーダ　トランジニーサを通じて コントローラ２１９に位置情報信号をフィードバックする。回転ステージはその 位置を近接スイッチによって決定される。レーザ溶接源２１８はパルス型ＹＡＧ レーザのような高出力の凝集レーザ光である。上記レーザ溶接源２１８は、ビー ムスプリッタ２２０により３つのコリメータ間で、３つのバランスされた溶接が 同時になされるような等しい力の３つのビームに分割される。

光電計測器２２１はパッケージ１００のレーザ６を駆動する。ファイバ　ピグテ イル１４はディクタ２１６に接続され、上記光電計測器は整列処置の期間中、レ ーザからファイバ１４に結合される光の監視に使用される。

整列と固定処理については第３．５，６．７及び８図を参照して以下詳述する。

パッケージ１００（ベース１．璧４．リード線１７．レーザ６、光検出器７．温 度センサ３は全て台座１３上にマウントされている）前記マニビュレーチング　 アセンブリ２０８の取付具２２３にクランプされている。適当な電気的接続が上 記バンケンと上記光電計測器２２１間になされる。

！ Ｆｉｇ、８ 符表平１−５０３５６９　（１０） −−Ａｖ＃ｋＬｍ−Ｎ−ＰＣＴ／ＧＢ　８８１００２４３ＳＡ　２１４９１

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １．端部を導通部材の内部に固定した光ファイバと、光学部材をその上部に載置 し、かつ光ファイバの端部が延出し前記光学部材と光学的結合状態で位置決めを 行なうようになした開口部とを有する第１位置決め機構と以後の二次的位置決め を行なう第２位置決め機構とを具備し、前記第１及び第２位置決め機構を前記壁 部に固定し、第１位置決め機構を光学部材近傍にて前記導通部材に固定させ、か つ第２位置決め機構を光学部材から比較的離れた位置にて固定したことを特徴と する光ファイバアセンブリ。 ２．前記第１及び第２位置決め機構が第１及び第２ブッシュ部材を有することを 特徴とする請求の範囲第１項記載のアセンブリ。 ３．前記第１及び第２位置決め機構が光学部材と離れて対向する壁部の側部に固 定したことを特徴とする請求の範囲第１項または第２項記載のアセンブリ。 ４．第１ブッシング部材が導通部材を同軸で囲いかつこれと密着していることを 特徴とする請求の範囲第２項記載のアセンブリ。 ５．第２ブッシュ部材が軸方向に延出し、壁部に固定されて第１ブッシュ部材を 光学部材近傍の端部にて囲み、光学部材から離れた端部にて導通部材に固定され ていることを特徴とする請求の範囲第２項、第３項又は第４項記載のアセンブリ 。 ６．少なくとも１個の位置決め機構が導通部材に溶着していることを特徴とする 前記いづれかの請求の範囲に記載のアセンブリ。 ７．少なくとも１個の位置決め機構が壁部に溶着していることを特徴とする前記 いづれかの請求の範囲に記載のアセンブリ。 ８．溶着局所が外周方向にバランスがとれていることを特徴とする請求の範囲第 ６項又は第７項に記載のアセンブリ。 ９．溶着箇所が円形の封止体を形成していることを特徴とする請求の範囲第８項 に記載のアセンブリ。 １０．第１ブッシュ部材が一端にフランジとこのフランジから突出した胴部とを 有する筒状スプールを具備し、かつ前記フランジを壁部に固定し胴部を導通部材 に固定したことを特徴とする請求の範囲第２項に記載のアセンブリ。 １１．光学部材を半導体レーザとしたことを特徴とする前記いづれかの請求の範 囲に記載のアセンブリ。 １２．孔を穿った壁部を持った枠体と、平坦面が前記孔と対向し前記枠体内部に 投げた光学電子デバイスとを備えた光学電子デバイス用パッケージと、レンズ化 した端部を持ち金属管内部に気密状態で固定され、前記レンズ化端部を枠体内に 前記デバイスの平坦面と光学的に芯出しさせるようになした光ファイバと、上面 にその一端から離間した狭域部を有し、この一端が前記壁部に当接し壁部の孔を 覆い、前記狭域部が金属管を囲むようになしたスプールとを具備し、前記スプー ルがその前記端部で壁部に接触し、かつ、溶着により前記管及びスプールに生ず る応力のバランスが取れるように少なくとも２個の外周囲方向にバランスの取れ た溶着により前記狭域部近傍で前記管に固定したことを特徴とする光ファイバ。 １３．スプールと金属管の間に連続した接合部を形成させこれによりスプールを 金属管に封著させるため、半径方向にバランスのとれた多数のスポット溶接部を 設け、夫々が少なくとも１個の隣接するスポット溶接部に流れ込むようになした ことを特徴とする請求の範囲第１２項に記載のアセンブリ。 １４．スプールと壁部の間に連続した接合部を形成させこれによりスプールを壁 部に封着させるため、半径方向にバランスのとれた多数のスポット溶接部を設け 、夫々が少なくとも１個の隣接するスポット溶接部に流れ込むようになしたこと を特徴とする請求の範囲第１２項又は第１３項に記載のアセンブリ。 １５．スプールと壁部の間に連続した接合部を形成させこれによりスプールを壁 部に封着させるため、シーム溶接部を設けたことを特徴とする請求の範囲第１２ 項又は第１３項に記載のアセンブリ。 １６．一端に孔を有し内部に拡大凹部を持つ支持ブッシュを更に具備し、前記ス プールを支持ブッシュで囲んだ拡大凹部内に受け入れ、かつ前記金属管をブッシ ュの孔に挿通させ、ブッシュを金属管及び壁部に封着させたことを特徴とする請 求の範囲第１２項に記載のアセンブリ。 １７．連続した接合部を形成させこれにより金属管をブッシュにかつブッシュを 壁部に封着させるための各シーム溶接部を設けて金胃管とブッシュ並びにブッシ ュと壁部間の接合を行なうようになしたことを特徴とする請求の範囲第１６項に 記載のアセンブリ。 １８．一端を導通部材内に固定した光ファイバと孔を穿った壁部を有する基台上 に設けた光学部材とを光学的結合関係で位置決め及び固定を行なう方法において 、（ａ）導通管内の前記光学ファイバの端部を前記孔内に配設し、光学ファイバ を光学的結合関係で光学部材に対して位置決めする工程と、 （ｂ）第１位置決め機構を壁部に固定する工程と、（ｃ）前記第１位置決め機構 を前記光学部材近傍にて導通部材にその第１固定域で 固定する工程と、 （ｄ）光学的結合関係をチェックし、必要に応じて、第１固定域より離れて締合 した導通管部材をもって適当なてこ力を加えて光ファイバの再位置決めをおこな い、前記第１位置決め機構の固定状態を変位させて光学的結合関係の再調整する 工程と、 （ｅ）前記壁部に第２位置決め機構を固定する工程と、（ｆ）前記第２位置決め 機構を導通管部材に光学部材及び第１固定域から離れた第２の末端固定域にて固 定する工程と とよりなることを特徴とする方法。 １９．固定するための工程をレーザ溶接により行なうことを特徴とした請求の範 囲第１８項に記載の方法。 ２０．前記送り部材の周方向に延びるブッシュ部材を具備する第１，第２位置合 せ手段を設ける工程を含み，前記取り付け工程のいづれも前記ブッシュ部材を半 径方向に平衡な溶接部材に取りつける工程である，請求の範囲第１８項または１ ９項に記載の方法。 ２１．前記ブッシュ部材の少なくともひとつを前記壁部材と前記送り部材とに溶 接材を用いて周方向に取り付け，これにより前記壁部材と送り部材とを封止する ，請求の範囲第２０項に記載の方法。 ２２．金属管内に固定されかつ封止された光ファイバーのレンズ状端を，枠内に 配設した半導体レザーの一面上の発光領域に対して位置合せし，かつ前記金属管 を前記枠に固定する方法であり，前記枠は穴を有する壁材を有し，この穴により 前記枠が開口しており，前記管は端部間に寸法の小さい中間部を有するスプール を有し，このスプールを介して枠の壁材に前記金属管を固定，封止し，前記位置 合せ，固定，および封止を発光動作可能な前記レザーを用い室温にて行う方法で ， （ａ）前記スプールを前記金属管上を摺動させる工程と，（ｂ）前記枠と前記金 属管とを相対的に移動させ，前記ファイバーのレンズ状端を前記穴を介し前記レ ザーの発光領域の近傍内に延出する工程と， （ｃ）前記ファイバーのレンズ状端を前記レザーの前記領域と位置合わせし，レ ザーからの光をファイバー内へ照射する工程と， （ｄ）前記スプールを前記金属管に対し摺動させ，スプールの端が前記壁材の穴 を完全に覆うように前記スプールの該端部を前記壁材に当接させる工程と，（ｅ ）少なくともふたつの位置より成る第１組の位置各々において略等しい強さでレ ザー・エネルギーを同時供給し，前記スプールを前記壁材に第１組の位置で溶接 し，前記ファイバーのレンズ状端と前記レザーとの間の，冷却後の半径方向位置 ズレが最小となるようにする工程と，（ｆ）前記ファイバーのレンズ状端を前記 レザーに対し再び位置合わせし，両者間に前記第１組の位置におけるレザー溶接 の結果として位置ズレがあれば，これを修正する工程と， （ｇ）少なくともふたつの位置より成る第２組の位置各々において略等しい弦さ でレザー・エネルギーを同時供給し，前記スプールを前記金属管に溶接し，この レザー・エネルギーは前記スプールの小寸法中間部を介して供給され，前記第２ 組の位置における溶接材の冷却後の前記スプールに対する前記管の位置ズレを実 質的になくする工程と，（ｈ）前記ファイバーのレンズ状端を前記レザー・ダイ スに対し再び位置合わせし，前記第２組の位置におけるレザー溶接の結果として 両者間に起るいづれの位置ズレを修正する工程とから成る方法。 ２３．前記工程（ｈ）に続く， （ｉ）前記第１組の位置と同数の位置から成り，各々が前記第１組の一対位置の 中間に在る第３組の位置各々において略等しい強さでレザー・エネルギーを同時 供給し，前記スプールを前記壁材に第３組の位置において溶接し，前記第３組の 位置における溶接材の冷却後，前記ファイバーのレンズ状端と前記レザーとの間 の位置ズレを最小にする工程と， （ｊ）前記ファイバーのレン状端を前記レザーに対し再び位置合わせし，前記第 ３組の位置におけるレザー溶接の結果として両者間に起こるいづれの位置ズレを 修正する工程と， （ｋ）前記第２組の位置と同数の位置からなり，各々が前記第２組の一対位置の 中間に在る第４組の位置各々において略等しい弦さでレザー・エネルギーを同時 供給し，前記スプールを前記金属管に第４組の位置において溶接し，このレザー ・エネルギーは前記スプールの小寸法中間部を介して供給され，前記第４組の位 置における溶接材の冷却後の前記スプールに対する前記管の位置ズレを実質的に なくする工程と， （１）前記ファイバーのレンズ状端を前記レザーに対し再び位置合せし，前記第 ４組の位置におけるレザー溶接の結果として両者間に起きるいづれの位置ズレを 修正する工程とを具備する，特許請求の範囲第２２項に記載の方法。 ２４．前記工程（ｈ）に続く，前記スプールを前記枠の壁材と，前記金属管とに シーム溶接し，前記スプールを封止する工程を更に具備する，請求の範囲第２２ 項に記載の方法。 ２５．前記工程（１）に続く，前記スプールを前記枠の壁材と，前記金属管とに シーム溶接し，前記スプールを封止する工程を更に具備する請求の範囲第２３項 に記載の方法。 ２６．前記金属管が第１剛性固定部材内に設られ，前記枠が第１剛性部材に対し 可動な第２剛性部材内に設けられ，前記位置合せ工程（ｃ），（ｆ），（ｈ）， （ｊ）および（１）は前記枠を前記管の固定端に対して動かすことにより達成さ れる，請求の範囲第２３項に記載の方法。 ２７．前記金属管が剛性固定部材内に設けられ，前記枠が剛性固定部材に対し可 動な第２剛性固定部材内に設けられ，前記位置合わせ工程（ｃ），（ｆ）および （ｈ）は前記枠を前記管の固定端に対し動かすことにより達成される，請求の範 囲第２２項に記載の方法。 ２８．前記枠が剛性固定部材内に設けられ，前記金属管の，前記ファイバーのレ ンズ状端と対向する自由端が前記枠に対して可動な第２剛性固定部材内に設けら れ，前記位置合せ工程（ｃ），（ｆ），（ｈ），（ｊ）および（１）は前記管の 自由端を操作することにより達成される，請求の範囲第２３項に記載の方法。 ２９．前記枠が剛性固定部材内に設けられ，前記金属管の，前記ファイバーのレ ンズ状端と対向する自由端が前記枠に対して可動な第２固定部材内に設けられ， 前記位置合せ工程（ｃ），（ｇ）および（ｈ）は前記管の自由端を操作すること により達成される，請求の範囲第２２項に記載の方法。 ３０．前記枠が剛性工程部材内に設けられ，前記金属管の前記ファイバーのレン ズ状端に対向する自由端が前記枠に対して可動な第２固定部材内に設けられ，前 記金属管の，前記自由端と前記スプールとの間の長さが前記ファイバーのレンズ 状端と前記スプールとの間の長さより大きく，前記位置合せ工程（ｃ），（ｆ） ，（ｈ），（ｊ）および（１）は前記管の自由端を操作することにより達成され ，前記管の自由端が所定距離だけ移動すると前記ファイバーのレンズ状端が前記 長さの比に比例して減じた距離だけ移動する，請求の範囲第２３項に記載の方法 。 ３１．前記枠が剛性固定部材内に設けられ，前記金属管の，前記ファイバーのレ ンズ状端と対向する自由端が前記枠に対して可動な第２剛性固定材内に設けられ ，前記金属管の，前記自由端と前記スプールとの間の長さが前記ファイバーのレ ンズ状端と前記スプールとの間の長さより大きく，前記位置合せ工程（ｃ），（ ｆ）および（ｈ）は前記管の自由端を操作することにより達成され，前記管の自 由端が所定距離だけ移動すると前記ファイバーのレンズ状端が前記長さの比に比 例して減じた距離だけ移動する，請求の範囲第２２項に記載の方法。 ３２．金属チューブの中に固く取着され且つ封着された光ファイバ自体のレンズ 端をフレーム内に取着された半導体レーザ自体の面上の光放出領域に対し位置合 せし、該フレームはこの内部に出入し得る孔を設けた壁部を有し、該チューブは この中間部に縮小寸法部を有したスプールを有し、支持ブッシングはチューブ上 で摺動でき且つスプールを収容する寸法を有する凹部を有し、さらに該金属チュ ーブをスプールを介してフレームの壁部に固定し該金属チューブを該壁部に封著 して該位置合せをし、固定並びに封着をレーザが光を放出するように作動された 状態で室温で行う方法であって、 （ａ）先ずブッシングを次いで該スプールを該金属チューブ上で摺動させ、 （ｂ）該フレームと金属チューブを椙対的に移動させて光ファイバのレンズ端を 該孔を介して突出させ該レーザの光放出領域に近接させ、 （ｃ）該ファイバのレンズ端を該レーザの該領域に位置合せし、該光の該レーザ から該ファイバの結合を最適化し、（ｄ）該スプールを該金属チューブに該スプ ールの一端を該壁部に当接させ該スプールの端部が該フレーム中で該孔を完全に カバーするようにし、 （ｅ）少なくとも２つの位置から或る第１組の位置の各々でレーザエネルギを同 時に適用して該スプールを該第１組の位置で該壁部部に溶接し、該溶接部を冷却 するとき該ファイバのレンズ端と該レーザとの間で半径方向の位置ずれを最少に し、 （ｆ）再び該ファイバのレンズ端を該ファイバに関して位置合せし該第１組の位 置で該レーザの溶接の結果，両者間に生ずる位置ずれに対しこれを補正し、（ｇ ）少なくとも２つの位置から或る第２組の位置の各々で，実質的には等しい大き さで該レーザエネルギを同時に適用して該スプールを該金属チューブに溶接し、 この時，該レーザエネルギが該スプールの縮小寸法部を介して当てられ該気２組 の位置で該溶接部を冷却するとき該チューブの該スプールに関する変位が実質的 に取り除かれ、（ｈ）再び該ファイバのレンズ端を該レーザに関して位置合せし 該第２組の位置で該レーザを溶接するとき位置ずれに対しこれを補正し、 （ｉ）該ブッシング該金属チューブに関し，且つスプール上で摺動させてブッシ ングの一端を該壁部に当接させ、（ｊ）該ブッシングの一端を該壁部に及びブッ シングの他端部をチューブにシーム溶接して封着する方法。 ３３．前記（ｈ）の工程で且つ前記（ｉ）の工程前であって、 （ｋ）第１組の位置と数において等しい第３組の各々で実質的に等しい大きさで レーザエネルギを同時に適用し、第３組の位置の各々が第１組の一対の位置の中 間にあり該スプールを第３組の該壁部に溶接し第３組の位置で該溶接部を冷却す る時，該ファイバのレンズ端と該レーザとの間での位置ずれを最少にし、 （１）再びファイバのレンズ端をレーザに関して位置合せして第３組の位置でレ ーザ溶接の結果，両者間に生じる位置ずれを補正し、 （ｍ）第４組の位置の各々が第２組の一対の位置の中間にあって，第２組の位置 の数が数において等しい第４組の位置の各々において実質的に等しい大きさでレ ーザエネルギを適用して第４組の位置でスプールを金属チューブに溶接し、この 時このエネルギをスプールの縮小寸法部を介して向け第４組の位置で溶接部を冷 却させるチューブのスプールに対する変位を実質的に取り除き、そして（ｎ）再 びファイバのレンズ端をレーザに関し位置合せし、第４組の位置でレーザ溶接し て位置ずれがあればこれを補正する請求範囲第３２項に記載の方法。 ３４．該金属チューブを堅固な取付け具に取着し、該フレームはこれに対し移動 可能である第２の取付具に取着し、前記位置合せ工程（ｃ），（ｆ），（ｈ）， （１）及び（ｎ）がフレームを金属チューブの固定端に対し移動させることによ って達成される請求の範囲第３３項に記載の方法。 ３５．該金属チューブが堅固な取付具に取着され該フレームがこれに対し移動可 能である第２取付部に取着され、前記位置合せ工程（ｃ），（ｆ）及び（ｈ）が フレームを金属チューブの固定端に対し移動させることによって達成される請求 の範囲第３２項に記載の方法。 ３６．該フレームが堅固な取付具に取着され、該ファイバのレンズ端に対向する 金属チューブの自由端がフレームに対し移動可能である第２の取付具に取着され 、及び位置合せ工程（ｃ），（ｆ），（ｈ），（１）及び（ｎ）がチューブの自 由端を操作することによって達成される請求の範囲第３３項に記載の方法。 ３７．該フレームが堅固な取付具に取着され、該ファイバのレンズ端に対向する 金属チューブの自由端がフレームに対し移動可能である第２の取付具に取着され 、及び位置合せ工程（ｃ），（ｆ），（ｈ）がチューブの自由端を操作すること によって達成される請求の範囲第３２項に記載の方法。 ３８．フレームが堅固な取付具に取着され、該ファイバのレンズ端に対向する金 属チューブの自由端がフレームに対し移動可能である第２の取付具に取着され、 該自由端と該スプールめ間の金属チューブの長さが，ファイバのレンズ端とスプ ールとの間の金属チューブの長さよりも大きく、前記位置合せ工程（ｃ），（ｆ ），（ｈ），（１）及び（ｎ）がチューブの自由端を操作することによって達成 され、チューブ自由端が所定の距離間を移動するとファイバのレンズ端が該長さ の割合に比例して減少する距離の請求の範囲第３３項に記載の方法。 ３９．フレームが堅固な取付具に取着され、該ファイバのレンズ端に対向する金 属チューブの自由端がフレームに対し移動可能である第２の取付具に取着され、 該自由端と該スプールの間の金属チューブの長さが，ファイバのレンズ端とスプ ールとの間の金属チューブの長さよりも大きく、前記位置合せ工程（ｃ），（ｆ ）及び（ｈ）がチューブの自由端を操作することによって達成され、チューブ自 由端が所定の距離間を移動するとファイバのレンズ端が該長さの割合に比例して 減少する距離の請求の範囲第３３項に記載の方法。 ４０．先行する方法クレームの工程による製品。