JPH01501963A - 圧力センサ - Google Patents
圧力センサInfo
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- JPH01501963A JPH01501963A JP62501537A JP50153787A JPH01501963A JP H01501963 A JPH01501963 A JP H01501963A JP 62501537 A JP62501537 A JP 62501537A JP 50153787 A JP50153787 A JP 50153787A JP H01501963 A JPH01501963 A JP H01501963A
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L9/00—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
- G01L9/0041—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms
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- G01L9/0041—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms
- G01L9/0051—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms using variations in ohmic resistance
- G01L9/0052—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms using variations in ohmic resistance of piezoresistive elements
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるため要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
圧力セ/す
背景技術
不発明(;独立請求項の前段に記載された形式の圧力センサから出発するもので
ある。この形式の公知の圧力センサで(2、圧力感知エレメントが袋穴内に挿入
されかつ保持部分によシ袋穴の底面に押圧されている。
この場合、圧力感知エレメントを挿入することができるようにするために、比較
的大きな穴径が必要である。
このため圧力センサの強度が減少する。殊に、このセンサが比較的長尺の挿入体
であシかつ圧力が極めて高い場合には、圧力センサの壁の強度が十分でないこと
がある。
発明の利点
独立請求項の特徴を有する本発明によるセンサは、これに対して、以下の利点を
有する。部ち本発明のセンサは、電気導薇の末さに合わせるだけでよい。圧力感
知エレメントは圧力媒体側から支持体の切欠き部内へ押し入nられ、その結果圧
力感知エレメントの範囲にのみよシ大きな穴径を必要とするにすぎない。穴は、
圧力感知エレメントが当接する閉鎖部かによって閉鎖されるから、圧力媒体から
圧力感知エレメントへの良好な圧力伝達が保証される。同時に、圧力恩知エレメ
ントは袋穴内に配置された場合と同じく圧力媒体から隔離される。圧力センサの
強度に著しく改善される。
従属請求項に記載された手段によシ、独立請求項に記載された圧力センサをさら
に有利に発展させること力;できる。殊に簡単な形式で導体路を支持体上にプリ
ントすることができ、従ってその都度測定信号を圧力感知エレメントから発信す
ることができる。
区画
本発明の実施例は図面に示されておシ、以下の記述において詳細に説明される。
第1図は圧力媒体を受容している壁内へaめ込まれている、圧力感知エレメント
を支承している支持体の半分の断面図、第2図は第1図の実施例の変化実施例を
示す図、第3図は第2図の1−1線による断面図である。
実施例の説明
第1図において符号10は圧力センサ11のケーシングを示しておシ、これはね
じとして又にねじ状に構成されている。このケーシング10は圧力容器の壁13
の穴12内へはめ込まれておシ、この壁13を越えて、圧力若しくa圧力変化を
測定しようとする圧力媒体内へ侵入させることができる。ケーシング10はほぼ
中心の、貫通する、区分15及び16を有する段付き縦穴14を有している。直
径の大きい方の区分16が圧力容器内室側、部ち圧力媒体側にある。縦穴14の
区分16内にに絶縁部分20(例えばガラス)があシ、これに金属リング21に
よって取囲まれている。この金属リング21は縦穴140区分15.16間に形
取されている肩22にあたっておシ、かつ区分16の壁に対して半径方向の間隔
を有している。絶縁部分20の圧力媒体側の端面には圧力感知エレメント23が
配置されておシ、この圧力感知エレメントにはディスク24が接続している。こ
のディスク24は弾性の、圧力を伝達する材料から瓜っていてその外周に金属リ
ング21の外周とびったシ合致している。圧力感知エレメント23から絶縁部分
20及び縦穴14を通って電気リード婦25が外側へ導かれている。縦穴14は
圧力媒体側から盃状の閉鎖部分26によシ閉鎖されている。閉鎖部分26の切欠
き部27内には金属リング21及びディスク24がある。閉鎖部分26は縦穴1
4の区分16内にプレス嵌めによシはめ込まれている。しかしまた、閉鎖部分2
6を区分16内へねじaめることも可能である。いずれの場合にも閉鎖部分26
がケーシング10と整合してこれを閉鎖するようにすべきである。同時に、ディ
スク24が閉鎖部分26の底面に当接しかつ金属す/グツ1が、受けとして役立
つ肩22に押圧されることが必要である。このようにすることによシ圧力感知エ
レメント23への圧力の伝達が可能である。付加的な確保及び密封をうるため区
分16と閉鎖部分26との分離継目28に沿って溶接し又は接着することができ
る。従って閉鎖部分26がはめ込まれた後は、公知の利点を有すると共に、上部
範囲の直径が著しく小さくされている袋穴が再びえられる。
圧力センサ11を製作する場合には、まず絶縁部分20が、金属りング21、圧
力感知エレメント23及びディスク24と共に、縦穴14内へ圧力媒体側から押
込まれる。従って縦穴14の区分15にに両方の電気導1125の直径分だけの
穴径があればよい。続いて、閉鎖部分26が区分16内へ、ディスク24が閉鎖
部分26の底面に当接しかつ金属リング21が同時に肩22に蟲て付けらnると
ころまで、押し嵌められる。
従って圧力感知エレメント23も閉鎖部分26の底面に圧着さルる。こ\で分離
継目26t−溶接することができる。ケーシング10と閉鎖部分26との間を整
合釣に閉鎖するために、ケーシング10の、圧力媒体側の端面を研削若しくは研
磨してもよい。これによシ縦穴14に袋穴となる。しかも、該縦穴14は導艇2
5に適合した直径しか必要とせず、従ってねじはめられる範囲における圧力セン
サの強度は著しく改善されているという利点がえられる。
第2図の実施例では、導体路を有する圧力センサ20!Lの構成が示されている
。先に述べた構造部分に相応する構造部分1−同じ符号で示されている。縦穴1
4内には金属の支持体32が弾入されており、これに区分16の範囲に、直径の
大きい区分33を有しておシ、カつこの区分で肩22に=Mで付けられている。
さらに、支持体32に框、第3図に詳細に示されているように、縦軸線IC対し
て平行に延びている2つの縦溝34が形灰されている。支持体32にiff縦溝
34及び端面に絶縁層35、例えばガラス、が設けられている。絶縁層35上に
12導体路36が、〃為つ端面上には圧力感知ニレメン)23aがプリントされ
ている。こnらに薄膜技術に二つでもまた厚膜技術によっても構取することがで
き、例えば圧電抵抗又は圧電効果によシ作動する。縦′に14の区分15の範囲
では導体路36が付加的に絶縁層37によシ又は絶縁チューブにニジ、ケーシン
グ10との接触を防止するために、カバーてれている。導体路36からa電気導
線25aが図示さnていない評価回路へ導かれている。勿論また、導線25aが
区分16の範囲で既に導体路36に配置されていて、その結果付加的な絶縁層3
7を必要としないようにすることも可能である。
製作順序fi第1図の実施例の場合と同じである。
圧力センサ11は燃料噴射系の分配ポンプ内の圧力測定並びにディーゼル又はオ
ツトー機関における燃焼圧力測定に有利に使用することができる。
補正書の翻訳文提出書(特許法第184%の8)昭和63年 9月22日
特許庁長官 吉 1) 文 毅 殿
1、国際出願番号
PCT/DE 87100093
2、発明の名称
圧力センサ
3、特許出願人
住 所 ドイツ連邦共和国 D−7000シュツットガルト lポストファツハ
50 \
名 称 ローベルト ボッシュ ゲゼルシャフト ミツト 5ベシユレンクテル
ハフラング
代表者 7オス、クラウス
同 ヴイトマイヤー、ディーター
国 籍 ドイツ連邦共和国
4、代理人
住所 〒100東京都千代田区丸の内3丁目3番1号請 求 の 範 囲
1.圧力センサ、殊に、壁によって制限された媒体の圧力の検出(ディーゼル機
関及びオツトー機関における燃焼圧力の測定;燃料供給用の分配ポンプ内の圧力
測定)のための圧力センサであって、圧力の作用を受けることによって電気的特
性が変化する、圧力に敏感な皮膜抵抗(23)、厚膜抵抗又はM@抵抗と、支持
体とを有しており、該支持体が上記の圧力に敏感な皮膜抵抗(23)及びその給
電導体を支承していると共に、貫通孔によって形成された中空室(14)を有し
ており、該中空室が圧力を検出しようとする媒体に対して閉鎖部分(26)によ
って閉鎖されており、かつこの場合上記閉M部分(26)の内側が上記皮膜抵抗
(23)に、該皮膜抵抗に機械的プレロードを生ぜしめるように、当接している
圧力センサ。
国 a 謹 審 卦 央
A、+’:MEX TO−に= +:::ER::A::0NAL 5EAR;
工RX?CRT ON工h’?ERN入τZONAL )j?LICA:!ON
No、 ?C:/コE B7/QOC53(Sλ 二6316)tJS−A−
40L2940 22103/77 tJS−A−3960G’=B C110
6/76US−、λ−436965925/口ηG3 No:、@:E−A−2
@ユロ522 ロア109/72 Nor、*
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1.殊に、壁によって制限された媒体の圧力の検出(ディーゼル機関及びオット ー機関における燃焼圧力の測定;燃料供給用の分配ポンプ内の圧力測定)のため の圧力センサであって、圧力の作用を受けることによつてその電気的特性が変化 する圧力感知エレメント(23)(抵抗エレメント、厚膜層抵抗、圧電抵抗素子 又は圧電素子)と支持体とを有しており、該支持体は、圧力感知エレメント(2 3)及びその給電導線を支承していると共に、圧力を検出しようとする媒体に対 して閉鎖された、袋穴の形の中空室(I4)を形成しており、該中空室内に圧力 感知エレメント(23)が配置されていて中空室底面に対して内側から当接して いる形式のもの(特許出願P3528768.3)において、中空室が閉鎖部分 (26)によつて閉鎖された、貫通した穴(14)によつて形成されていること を特徴とする圧力センサ。 2.閉鎖部分(26)が穴(14)の壁に機械的に不動に結合されていることを 特徴とする、請求の範囲第1項記載の圧力センサ。 3.閉鎖部分(26)が穴(14)内へねじほめられていることを特徴とする、 請求の範囲第1項及び又は第2項記載の圧力センサ。 4.閉鎖部分(26)がプレス嵌めによより穴(14)内へはめ込まれているこ とを特徴とする、請求の範囲第1項及び又は第2項記載の圧力センサ。 5.穴(14)と閉鎖部分(26)との間の分離継目(28)が溶接又は接着さ れていることを特徴とする、請求の範囲第1項から第4項までのいずれか1項記 載の圧力センサ。 6.穴(14)が第1の区分(16)及び第2の区分(15)を有していて、上 記第1の区分(16)が第2の区分より大きい直径を有し、該第1の区分内に圧 力感知エレメント(23)が配置されかつ閉鎖部分(26)がはめ込まれており 、かつ上記第2の区分(15)の直径が圧力感知エレメント(23)のための電 気導線(25)の直径にほば等しい直径を有していることを特徴とする、請求の 範囲第1項から第5項までのいずれか1項記載の圧力センサ。 7.穴(14)内に支持体(32)が挿入されており、該支持体がより大きな直 径を有する区分(33)を有しており、該区分の絶縁層(35)上に導体路(3 6)及び圧力感知エレメント(23)がプリント又は蒸着されていることを特徴 とする、請求の範囲第1項から第6項までのいずれか1項記載の圧力センサ。
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