JPH01500538A - Support cells for pressure pick-up devices, especially made of ceramic - Google Patents
Support cells for pressure pick-up devices, especially made of ceramicInfo
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるため要約のデータは記録されません。 (57) [Summary] This bulletin contains application data before electronic filing, so abstract data is not recorded.
Description
【発明の詳細な説明】 本発明は、物理的量の測定手段の分野に属するものであり、より正確には、本発 明は、既知の種類のピンクアンプ装置を使用する圧力測定用セルをその目的とす るものである。[Detailed description of the invention] The present invention belongs to the field of means for measuring physical quantities; more precisely, it belongs to the field of means for measuring physical quantities; Akira developed a pressure-measuring cell for its purpose using a known type of pink amplifier device. It is something that
変形可能な膜を有し、その面上にストレインゲーレが固定された圧力ピンクアッ プ装置は、既に知られている。膜とゲージの配置は、ピックアップ装置を通る電 気信号の変化が膜の2つの面の間の圧力の差に比例アップ装置は、セラミックの 円筒状のケースの円形の端部の1つがそれ自身もセラミックでできた膜で塞がれ たもので構成されている。A pressure pin cup with a deformable membrane and a strainer fixed on its surface. Tap devices are already known. The arrangement of the membrane and gauge is such that the current passing through the pickup device The change in the gas signal is proportional to the difference in pressure between the two sides of the membrane. One of the circular ends of the cylindrical case is itself closed with a membrane made of ceramic. It is made up of things.
本発明の第1の目的は膜の片側に生じる空間と膜の反対側に生じる空間の間にす ぐれた気密性が得られるような前記の種類のピックアップ装置を用いるための測 定用セルを提供することにある。The first object of the present invention is to completely eliminate the gap between the space created on one side of the membrane and the space created on the opposite side of the membrane. Measurements for the use of pick-up devices of the type mentioned above, which provide excellent airtightness. The aim is to provide regular cells.
本発明の他の1つの目的は、ビックアンプ装置が、それに損傷をあたえるおそれ のある衝撃および他の機械的打撃から保護されるような前記の種類のピックアッ プ装置を用いるための測定用セルを提供することにある。Another object of the present invention is to prevent the big amplifier device from being damaged. Pick-ups of the aforementioned type are protected against certain impacts and other mechanical blows. The object of the present invention is to provide a measurement cell for use with a tap device.
本発明のさらに第3の目的は、接続用端子を有するケースの中に容易にアクセス できるように収納できるセルを提供することにある。A third object of the present invention is to easily access the inside of the case having connection terminals. The purpose is to provide a cell that can be stored in a manner that allows for storage.
本発明にもとづけば、本発明においては一般的に、変形可能な膜を有するピック アップ装置を使用する圧力測定用セルであって、前記ピックアップ装置が、蓋に よってピックアップ装置が中に保持されるセル本体の対応する形状の空洞内に収 納される圧力測定用セルにおいて、該ピンクアンプ装置が空洞内に置かれている ときには、蓋は周囲部分でセル本体に対して気密状になるように密封され、また この密封がのぞましくは接触する本体と蓋の全周に添った連続溶接作業によって 行われることを特徴とする。According to the invention, the invention generally comprises a pick having a deformable membrane; A pressure measuring cell using a pick-up device, the pick-up device being mounted on a lid. The pick-up device is thus housed within a correspondingly shaped cavity of the cell body held therein. In the pressure measurement cell to be housed, the pink amplifier device is placed in the cavity. Sometimes the lid is sealed hermetically against the cell body at the periphery; This seal is ideally achieved by continuous welding along the entire circumference of the body and lid that contact each other. It is characterized by being carried out.
この配置から、溶接による密封によって、蓋とセル本体の間が機械的に強く結合 されると同時に、この結合の完全な気密性が得られることになる。This arrangement creates a strong mechanical bond between the lid and the cell body due to the welded seal. At the same time, the connection is completely airtight.
溶接作業は、それぞれが本体と蓋の接触部分を区切っている突出した2つのフラ ンジの間で行われるのがのぞましい。The welding process consists of two protruding flanges, each separating the contact area between the body and the lid. It is desirable that it be carried out between people.
このような配置にすれば、接触部分の自動溶接が可能となる。With this arrangement, automatic welding of the contact portions becomes possible.
あるいは、密封は、本体と蓋の接触部分に接着剤を用いて接着作業を行うことに よって実現することもできる。実際、さまざまに異る状況のもとで満足できる抵 抗力をもった接着剤あるいは膠剤が市販されていることは知られている。Alternatively, sealing can be done by using adhesive on the contact area between the main body and the lid. Therefore, it can also be realized. In fact, satisfactory resistance can be achieved under a variety of different circumstances. It is known that adhesives or glues with drag properties are commercially available.
本発明の主要な他の1つの配備にもとづけば、ピックアンプ装置を収容した空洞 を大気と連絡させるための通路が配設されている。本発明においては、該通路の 複数の実施形態が提案されている。According to one other main arrangement of the invention, a cavity containing a pick amplifier device is provided. A passageway is provided to communicate the air with the atmosphere. In the present invention, the passage Multiple embodiments have been proposed.
第1の実施形態にもとづけば、前記通路は、蓋の中央部に設けられた大きなオリ フィスで構成され、前記オリフィスによって信号線の自由な通過が可能となる。According to the first embodiment, the passage is arranged in a large orifice located in the center of the lid. The orifice allows the signal line to pass freely through the orifice.
第2の実施形態にもとづけば、前記通路は、ピックアップ装置を収納した空洞を 大気と連絡させている。According to a second embodiment, the passageway defines a cavity in which a pick-up device is housed. It communicates with the atmosphere.
上に述べた第2の実施形式の場合には、信号線の自由な通過を可能にする大きな オリフィスが蓋に設けられていないが、本発明においては、綿の通過を可能にす るための2つの変形例が提案されている。In the case of the second implementation type described above, a large Although no orifice is provided in the lid, in the present invention an orifice is provided to allow the passage of cotton. Two variants have been proposed for this purpose.
第2の実施方式の第1の変形例にもとづけば、ピンクアップ装置の信号線は、蓋 の中に設けられたオリフィスを経て蓋を横断し、また前記オリフィスは、いわゆ る「ガラス処理」法と呼ばれる技術によってガラスで塞がれ、それによって、蓋 をした場合に比して信号線の絶縁が得られると同時に、前記オリフィスの気密性 の封鎖が得られることになる。According to the first variant of the second implementation method, the signal line of the pink-up device traverses the lid via an orifice provided in the The lid is sealed with glass using a technique called ``glass treatment'', which allows the lid to Insulation of the signal line can be obtained compared to the case where the orifice is airtight. This would result in a blockade of .
第2の方式の第2の変形例にもとづけば、蓋は、周囲部分と互いに固着した中央 部分の2つの部分で構成され、中央部分は周囲部分より高価な材料でつ(られて いて、ガラスで塞がれた前記オリフィスを含んでいる。According to a second variant of the second scheme, the lid has a central part fixed to each other with a peripheral part. Consisting of two parts, the central part is made of more expensive material than the surrounding parts. and includes said orifice sealed with glass.
最後に、本発明は、第2の方式のセルに関して、セル本体の空洞が盛り上った部 分を有し、前記変形可能な膜がそれに支えられるようなセルで、しかも気密性が あり同時にピックアップ装置のわずかな機械的遊びが得られるような固定のため の配置を提供するものである。この配置にもとづけば、盛り上った部分は、1つ はいわゆる中央部の、もう1つはいわゆる周囲部の、2つの同心状の溝を備えて おり、これらの溝は、膜にさらに変形性をあたえ、また膜に向き合った圧力チャ ンバーとセル本体の空洞の間の気密性を改善するのに役立つ。Finally, regarding the cell of the second type, the present invention provides a raised portion of the cavity of the cell body. a cell having an airtightness and on which the deformable membrane is supported; For fixation such that at the same time a slight mechanical play of the pick-up device is obtained It provides the arrangement of Based on this arrangement, there is only one raised part. with two concentric grooves, one in the so-called central part and the other in the so-called peripheral part These grooves provide additional deformability to the membrane and also provide pressure channels facing the membrane. This helps improve the tightness between the chamber and the cell body cavity.
本発明は、以下添付の図面を参照して行うのぞましい実施形態についての説明に よってより良く理解され、また関係する各種手段も明らかとなろう。図面中、第 1図は、第1の実施形態にもとづく本発明のセルの断面図である。The present invention will be described below with reference to the accompanying drawings. It will therefore be better understood and the various means involved will become clear. In the drawing, No. FIG. 1 is a sectional view of a cell of the present invention based on a first embodiment.
第1a図および第1b図は、第1図の各部品の詳細を示したそれぞれ溶接前およ び溶接後の断面図である。Figures 1a and 1b show details of each part in Figure 1 before and after welding, respectively. FIG.
第1C図は、蓋が栓状につくられた本発明にもとづくセルの縦断面図である。FIG. 1C is a longitudinal sectional view of a cell according to the invention in which the lid is made in the form of a plug.
第2図は、第2の実施形態の第1の変形例にもとづくセルの同様の図である。FIG. 2 is a similar diagram of a cell according to a first variant of the second embodiment.
第3図は、第2の実施形態の第2の変形例にもとづくセルの同様の図である。FIG. 3 is a similar diagram of a cell according to a second variant of the second embodiment.
第4図は、第2図と同様なセルの断面図で、固定用ケースの中に取り付けられた 状態を示した図である。Figure 4 is a cross-sectional view of a cell similar to Figure 2, installed in a fixing case. It is a figure showing a state.
第4a図は、第4図のA線に添った詳細断面図である。FIG. 4a is a detailed sectional view taken along line A in FIG. 4.
第1図において、全体を1で示す圧力測定用セルは、変形可能な膜3のついたピ ックアンプ装置2、セル本体5、および蓋4を含んでいる。In FIG. 1, the pressure measuring cell, designated as a whole by 1, is a piston with a deformable membrane 3. It includes a back-up amplifier device 2, a cell body 5, and a lid 4.
本発明にもとづけば、本体5と蓋4は、その周囲が接触面に添って、溶着ビード 6を用いて溶接されている。この溶着ビードは、セルの全周に亘って連続してお り、また、のぞましくは、突出した2つのフランジ7.8の上または間で、しか もできれば溶加材を用いずに単にフランジの金属を溶融することによって行われ ると有利である。突出したフランジは、接触面のヘリの近くで溝を外丸削りする ことによって形成することができる。According to the present invention, the main body 5 and the lid 4 have a welding bead on their periphery along the contact surface. 6 is used for welding. This weld bead is continuous all the way around the cell. and also preferably only on or between the two protruding flanges 7.8. This is also done by simply melting the metal of the flange, preferably without the use of filler metal. It is advantageous if For the protruding flange, the groove is rounded near the edge of the contact surface. It can be formed by
この溶接による組立ての特徴は、以下で説明する他のすべての実施形態にも共通 するものである。This welded assembly feature is also common to all other embodiments described below. It is something to do.
第1図に示した第1の実施形態にもとづけば、信号線13の通過は、蓋4の中央 部分4bの中に設けられた大きなオリフィス10を介して行われる。Based on the first embodiment shown in FIG. 1, the signal line 13 passes through the center of the lid 4. This is done via a large orifice 10 provided in part 4b.
この第1の実施形態においては、第1e図のような実行形態をとることも可能で ある。この形態にもとづけば、蓋は、内側のねじ溝9を備えた本体5′上にねじ ばめできる栓4′状につくられている。溶融による溶接は、接触しているねし溝 のついた面の見かけ上の上限線上にある6′で行われる。この限界的な事例にお いても、蓋は周囲が密封されているということができる。In this first embodiment, it is also possible to take an execution form as shown in Fig. 1e. be. Based on this configuration, the lid has a screw thread on the body 5' with an inner thread groove 9. It is made into a plug 4' shape that can be fitted. When welding by melting, the contact grooves This is done at 6', which is on the apparent upper limit line of the plane marked with. In this marginal case However, the lid can be said to be sealed all around.
第2図および第3図に示した第2の実施形態にもとづけば、信号線13の通過は 、蓋の中に設けられ、ガラスで塞がれた小さなオリフィス14を介して行われる 。これによって線13は蓋から絶縁され、通過部の気密性が得られる。Based on the second embodiment shown in FIGS. 2 and 3, the passage of the signal line 13 is , through a small orifice 14 provided in the lid and covered with glass. . This insulates the wire 13 from the lid and provides airtightness of the passage.
この実施形態は、2つの変形例にもとづいて実行することができる。第1の変形 例(第2図)にもとづけば、小さなオリフィス14は、蓋自身の中に開けられて いる。第2の変形例(第3図)にもとづけば、小さなオリフィス14は周囲部分 4aと固着した蓋の中央部分4bの中に開けられている。中央部分4bは、より 高価な金属、したがって原則的にはオリフィス14の通過部の「ガラス処理」に 一層耐えやすい金属でつくることができる。部分4bは、部分4aの中に加熱接 合して後者に押し当てるようにし、最終的にはそこに溶接することができる。This embodiment can be implemented based on two variants. First variant Based on the example (Figure 2), the small orifice 14 is drilled into the lid itself. There is. Based on the second variant (Fig. 3), the small orifice 14 is It is opened in the central part 4b of the lid which is fixed to the lid 4a. The central portion 4b is more Expensive metal, therefore in principle "glass treatment" of the passage part of the orifice 14 It can be made from metals that are more durable. Part 4b is heat welded into part 4a. It can then be pressed against the latter and finally welded there.
膜3と反対側のピックアップ装置2の面は、第1の実施例(第1図)においては 、大きいオリフィス10自身によって大気に曝され、また第2の実施例の2つの 変形例(第2図および第3図)においては、本体5の隔壁を横切って通って、本 体5との接触面に添った蓋4の溝12の中に通じている通気孔11によって大気 に曝されることになる。In the first embodiment (FIG. 1), the surface of the pickup device 2 opposite to the membrane 3 is , exposed to the atmosphere by the large orifice 10 itself, and also by the two of the second embodiment. In a variant (FIGS. 2 and 3), the book is A vent hole 11 leading into a groove 12 of the lid 4 along the contact surface with the body 5 allows air to be removed from the atmosphere. will be exposed to.
図の中のいくつかには、蓋4の中と本体5の中に向き合ってあけられた孔の中に 収められた心出し用止めピン17が存在することがわかる。ビン17により、通 気孔11と溝12を一致させることができる。In some of the figures, there are holes drilled oppositely in the lid 4 and in the body 5. It can be seen that there is a centering stop pin 17 housed therein. Bin 17 allows for The pores 11 and the grooves 12 can be aligned.
第4図および第4a図においては、第2図のセルに相当するセル1は、フード2 1で閉ざされたケース20の中に収納されている。In FIGS. 4 and 4a, cell 1, which corresponds to the cell in FIG. It is housed in a case 20 that is closed at 1.
セル1の蓋4上には、(図には示されていない)電気部品をそれぞれ支えるため の2つのベースプレート22.23と端子24がのせられている。この図には、 それまでの図には正確に示されていないいくつかの詳細が示されていることがわ かろう。とくに、本体5は、加圧下の導管の先端にセルをねじ止めできるように 設けられた内側のねじ溝25を備えていることがわかる。On the lid 4 of the cell 1, there is a Two base plates 22 and 23 and a terminal 24 are placed thereon. In this diagram, Notice that the previous diagrams show some details that are not shown accurately. I wonder. In particular, the main body 5 is configured such that the cell can be screwed onto the tip of a conduit under pressure. It can be seen that the inner thread groove 25 is provided.
この加圧下の導管と膜3に向き合った本体の内部空間の中には、腐食または爆発 の危険のあるガスまたは混合ガスを収容することができる。さて、この危険のあ る空間と周囲の大気の間を仕切る障壁となり得るのはピックアップ装置2だけで あり、また、外気中には、爆発を誘発するおそれのある火花や他の炎が発生する おそれもあるし、また腐食のおそれのある装置が置かれているおそれもある。ま たさらに、ピックアップ装置は、とくに圧力測定を混乱させないためにも、消点 を構成するものであってはならない。したがって、ピックアンプ装置が、本体5 のその収納個所の中にできるだけ気密性をもって収納されていることがかなり重 要なこととなる。そのため、ピックアップ装置の収納個所を構成するセル本体の 空洞は、盛り上った部分26を備えており、膜3はこれに支えられている。この 盛り上った部分は、1つはいわゆる中央部の溝15、もう1つはいわゆる周囲部 の溝16の2つの溝を備えており、前記溝は、膜にさらに変形性をあたえ、また 膜に向き合った圧力チャンバーとセル本体の空洞との間の気密性を改善するのに 役立つガスゲット、セメント、パテ、その他の気密用製品を収容するのに役立つ ようにすると有利である。In the internal space of the main body facing the conduit and membrane 3 under pressure, corrosion or explosion can contain hazardous gases or gas mixtures. Now, this dangerous Only the pick-up device 2 can act as a barrier between the surrounding atmosphere and the surrounding space. Yes, and there may be sparks or other flames in the outside air that could cause an explosion. There is also a risk that equipment that may be corroded may be located there. Ma Furthermore, the pick-up device must have a vanishing point, especially in order not to confuse pressure measurements. shall not constitute a Therefore, the pick amplifier device It is very important that the storage space is as airtight as possible. It becomes important. Therefore, the cell body that constitutes the storage area of the pickup device is The cavity is provided with a raised part 26 on which the membrane 3 rests. this One of the raised parts is the so-called central groove 15, and the other is the so-called peripheral part. grooves 16, said grooves provide further deformability to the membrane and To improve the tightness between the pressure chamber facing the membrane and the cavity of the cell body. Helpful to contain gas get, cement, putty and other air sealing products It is advantageous to do so.
また、同図から、蓋4の孔28の中に突きさ\った針27が、ピックアップ装置 をその収納個所の中で位置ぎめするのに役立つこと、ピンクアップ装置自身が1 本の母線に添った位置ぎめ用の溝を有することがわかる。本発明の1つの2次的 な特徴にもとづけば、この溝は、通気孔11の口をそこに開けるのに役立つ。Also, from the same figure, the needle 27 inserted into the hole 28 of the lid 4 is located in the pickup device. The pink-up device itself has a It can be seen that it has a groove for positioning along the generatrix of the book. One secondary aspect of the invention Based on this feature, this groove serves to open the vent hole 11 therein.
M4の溝12は、孔28の右に設けられている。通気孔11は、図を煩雑にする ことを避けるために、図には示されていないが、ケース20の下の口に通じてい る。これにより、膜3の反対側のビックアンプ装置2の後面または上面は、外気 と通じ合う状態になる。The M4 groove 12 is provided to the right of the hole 28. Ventilation hole 11 makes the diagram complicated In order to avoid Ru. As a result, the rear or upper surface of the big amplifier device 2 on the opposite side of the membrane 3 is exposed to outside air. You will be in a state of communication.
本発明は、例えば、活性ガスまたは爆発の危険のあるガスを処理する化学施設あ るいは石油化学施設の中での圧力または圧力差の測定に用いると有利である。For example, the present invention can be applied to chemical facilities that process active gases or explosive gases. It is advantageous for use in measuring pressures or pressure differences in petrochemical facilities.
以上、本発明にもとづく圧力ビックアップ装置のセルの特定ののぞましい実施形 態を示して説明してきたが、本発明の範囲は、これらの実施形態に限定されるも のではなく、すでに明らかにした一般的特徴を有するすべてのセルにまたがるも のである。Above are specific preferred embodiments of the cell of the pressure pickup device according to the present invention. Although the embodiments have been shown and explained, the scope of the present invention is not limited to these embodiments. rather than across all cells with the general characteristics we have already identified. It is.
田粉進査報告 一一一−i−―−―kPCT/FR87100179ANNEX To THE INTERNATIONA、L 5EARCHREPORT 0NINTER NATIONAL APPI、ICATION No、 PCT/FR8710 0179(SA 17303)DE−A−2248004,19104/73 tJS−A−381710718106/74DE−A−3344799131 06/85 NoneUS−A−412784028/11/78 NoneD E−A−223469024101/74 ’ NoneTaki investigation report 111-i---kPCT/FR87100179ANNEX To THE INTERNATIONA, L 5EARCHREPORT 0NINTER NATIONAL APPI, ICATION No, PCT/FR8710 0179 (SA 17303) DE-A-2248004, 19104/73 tJS-A-381710718106/74DE-A-3344799131 06/85 NoneUS-A-412784028/11/78 NoneD E-A-223469024101/74 ’ None
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