JPH01475A - 試験回路 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 未発ＩＪは集積回路の試験回路に関するものであり、更
に詳しく１えば高速動作を行なう集積回路の良・否判定
を行なう試験回路に関するものである。

〔従来の技術〕

第４図は従来例に係る試験回路の説明図であリ、ｌは被
測定品であり、例えば高周波（ｌ　ＧＨｚ程度）川のブ
リスケラー（分周器）である。

この被測定品１を試験するときには、水晶発振器２によ
って高精度に、設定されたｌ　ＧＨｚ高周波パルスを＆
測定品ｌの入力に入力し、その出力パルス（分周パルス
）をカウンタ２によってカウントする。

そして該カウント数が所定の数に合致しているときには
被測定品は良品であると判定し、不一致のときには不良
品であると′ｉ定する。

〔９，１Ｊ１が解決しようとする問題点〕ところで水晶
発振器２を高精度にｌ　ＧＨｚに設定することは容易で
はない、また設定したとしても温度や電源゛重圧変動等
によって変動する。このため実際の試験においては、こ
の変動を考慮にいれて良品判定カウント数には一定の輻
をもたせている。

しかし、良品判定カランｌに一定の幅をもたせると、良
品中にわずかに誤動作を行う不良品も混入する畏れがあ
り、このため試験の信頼性が低下するという問題がある
。

本発明はかかる従来の問題に鑑みて劇作されたものであ
り、高周波動作を行う半導体装置の試験装置の提供を目
的とする。

〔問題点を解決するための手段〕

本発明は標準サンプルと被測定品に同一の信号を入力し
て動作させ、これらの出力信号の一致・不一致により被
測定品の良否判定を行う試験回路において、前記標準サ
ンプルの出力信号をデータ入力とする第１の７リツプフ
ロツプ回路と、匍記被測定品の出力信号をデータ入力と
する第２のフリップフロップ回路と、前記第１．第２の
フリップフロップ回路の出力を比較して出力状態の不一
致を検出する排他的論理和回路と、前記排他的論理和回
路により不一致が検出されるとき、パルスを発生する回
路と、一定の基準周波数を前記パルス発生回路から出力
されるパルス数に対応する分周比で分周し、その分周出
力を前記第１．第２の７リツプフロツプ回路の共通りロ
ック入力とする分周回路とをイｆすることを特徴とする
。

〔作用〕

いま被測定品が良品であると仮定する。測定の最初の段
階では分周回路の分周比が低いので、フリツプフロツプ
回路に入力するクロック信号の周波数も高い、このため
標準サンプルの出力データと被測定品の出力データの位
相があまりずれていない場合にも、該高周波クロック信
号により異った入力データとしてトリガーされることが
あり。

第１．第２の７リツプフロツプ回路からは異ったデータ
が出力される。このため排他的論理和回路はデータの不
一致を検出する。

データの不一致が検出されると、パルス発生回路からパ
ルスが発生し、分周回路の分周比をこのパルス数に応じ
て変える（すなわち分周比は高くなる）、これによりク
ロック信号の周波数は低くなる。そして標準サンプルと
被測定品の出力データの位相ずれをカバーできるまでク
ロック信号の周波数が低くなると、：５１．第２の７リ
ップフロップ回路からは同期した同一のデータが得られ
る。これにより排他的論理和回路からは出力データ一致
信号が得られるので、被測定品の良品を選別することが
できる。

なお被測定品が不良品のときには、と記のようにクロッ
ク信号の分周比を低下させても第１゜第２のフリップフ
ロップ回路から同期した同一のデータを得ることはでき
ない、従って被測定品を、不良品として判定することが
でき、不良品を選別することができる。

〔実施例〕

次に図を参照しながら本発明の実施例について説明する
。第１図は本発明の実施例に係る検査回路の構成図であ
る。４は標準サンプル、５は被測定品であり、例えば１
ＧＨ２に１にの高周波プリスケーラ（分周回路）である
とする、６〜ｌＯは本発明の実施例に係る試験回路を構
成する回路であり。

６は分周比１没定＝ｒ能な分周回路、７．８は分周１１
回路６の出力をクロック信号とするフリップフロップ回
路である。９はＥ−ＮＯＲ回路であり、フリップフロッ
プ回路の出力データの一致、不〜致を検出する。

ｌＯは検知回路であり、Ｅ−Ｎｏｎ回路９の出力が常に
“Ｈ”になるとき良判定信号を出力し、Ｅ−ＮＯＩ’１
回路９にパルスが出力されるときこれを次段のシリアル
カウンタ１１に送出する。

１１は検知回路ｌＯから送られたパルスの数をカウント
するシリアルカウンタであり、そのカウント数が一定の
数に達すると次段の８ビツトのラッチ回路１２にパルス
を１つ送る。なおシリアルカウンタから送るパルスの数
が一定の数を越えるとき、該カウンタから不良判定信号
が出力される。

１２は８ビツトのラッチ回路であり、入力されたパルス
の数（ｎ）を分周回路６の分周比（ｎ）とする、これに
より分周回路６に入力する基準周波数ｆｌＮはｎ分周さ
れる。

次に本光明の実施例１７１回路の動作を第２図。

第３図のタイミングチャートを参照しながら説明する。

いまシリアル力ウタ１１の出力するパルス数がｎである
とき、８ビツトのラッチ回路１２を介し、分周回路の６
の分周比はｎに設定される。これにより分周回路６から
はｆｌに／ｎの周波数のクロック信号が出力される（第
２図）。

一方、標準サンプル４からはＡ、被測定品からはＢの出
力データが出力され、第２図のような位相差があるとす
る。

このときデータＡ、データＢのクロック信号によりトリ
ガーされるレベル状態は異なるので、フリップフロップ
回路７．８から一定の位相差をもったデータＱＡ、ＱＢ
が出力される。そしてＥ−ＮＯＲ回路９ではこの位相差
をパルスとして出力する。シリアルカウンタ１１ではこ
のパルスの数そ一定数カウントした後に、８ビツトのラ
ッチ回路１２にパルスを１つ送る。これにより８ビツト
のラッチ回路１２はそれまでの設定分１．′４比ｎをｎ
＋１に変更するので１分周回路６からｆ　ＩＮ／＋１＋
１のクロック信号が出力される。

このとき、第３図に示すように、クロック信号は標準サ
ンプル４のデータＡと被測定品のデータＢの同一のレベ
ル状態をトリガーすることができるので、フリップフロ
ップ回路７．８から同期したデータＱＡ　（ｎ＋１）、
ＱＢ　（ｎ＋１）が得られる。この結果、Ｅ−ＮＯＲ回
路９から定常的な“Ｈ”レベル信号が出力するので、検
知回路１０からは良゛Ｎ定信号が出力する。

このように、標準サンプルの出力データと被測定品の出
力データとの間に位相差がある場合にも１分周比を増や
すことにより被測定品が良品である限り、必ずその位相
の同期を一致させることができる。このため良品を必ず
選別することができる。

一方、被測定品５が不良品であるときには、シリアルカ
ウンタ１１からの出力するパルスを増やしても、従って
分周回路６の分周比を増加させても、標準サンプルと被
測定品の出力データの同期をとることはできない、そし
てシリアルカウンタ１１の出力パルス数が一定の数に達
するときをもって、被測定品が不良であると判定される
。

以上説明したように、末完１ＪＩの実施例によればＩＧ
Ｈｚ級の高周波動作を行なうプリスケーラ（分周回路）
の良・不良判定を確実に行なうことができるので、試験
の信頼性を向上させることが０ｆ能となる。

なお実施例では検査の対象としてプリスケーラを用いた
が、その他の高周波回路の試験についても適用すること
ができる。

〔発明の効果〕

以上説明したように１本発明によれば高周波動作を行う
被測定品についての良否判定を確実に行うことができる
ので、試験の信頼性の向上を図ることが可能となる。ま
た高精度に設定された水晶発振器を特に必要としないの
で、試験が容易となる

【図面の簡単な説明】

ｍ１図は本発明の実施例に係る試験回路の回路１４、 第２図、第３図は第１　＋＞４の回路の動作を説ＩＪＩ
するタイミ〉′グチヤード、 ：ｆＳ４図は従来例の説明図である。 （符号の説ＩＪＩ） ４・・・標準サンプル、 ５・・・被測定品、 ６・・・分周回路、 ７．８・・・フリップフロップ回路。 ９・・・Ｅ−ＮＯＲ回路、 １０・・・検知回路、 ｌｌ・・・シリアルカウンタ、 第２・・・ラッチ回路。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 標準サンプルと被測定品に同一の信号を入力して動作さ
   せ、これらの出力信号の一致・不一致により被測定品の
   良否判定を行う試験回路において、 前記標準サンプルの出力信号をデータ入力とする第１の
   フリップフロップ回路と、 前記被測定品の出力信号をデータ入力とする第２のフリ
   ップフロップ回路と、 前記第１，第２のフリップフロップ回路の出力を比較し
   て出力状態の不一致を検出する排他的論理和回路と、 前記排他的論理和回路により不一致が検出されるとき、
   パルスを発生する回路と、 一定の基準周波数を前記パルス発生回路から出力される
   パルス数に対応する分周比で分周し、その分周出力を前
   記第１，第２のフリップフロップ回路の共通クロック入
   力とする分周回路とを有することを特徴とする試験回路
   。