JPH01320267A - プレセラミツク組成物とセラミツク製品 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、炭化珪素セラミック、即ち主に炭化珪素から
なるセラミックに関し、更に特にプレセラミック組成物
及びその製造法に関する。

要するに本発明によれば、炭化珪素粉末及びポリシラザ
ン前駆物質に由来する公知の窒化珪素セラミックよりも
改良された曲げ比強度を有する低密度窒化珪素セラミッ
クは、（Ａ）窒化珪素粉末５０〜８５重量％をプレセラ
ミック・ポリシラザン結合剤１５〜５０重量％と良く混
合し、（Ｂ）この混合物を粉砕して１０５μｍよりも小
さい粒径の粒子を製造し、（Ｃ）これらの粒子から約１
０５μｍよりも大きい粒径のいずれかの粒子を分離し、
（Ｄ）約１０５μｍより大きくない粒径の得られた組成
物を成形し、そして（Ｅ）この成形した組成物を不活性
な雰囲気中において１２００〜１４５０°Ｃの温度まで
熱分解することによって製造される。

但し該セラミック結合剤は、有機ジハロシランをアンモ
ニアと反応させ、このアンモニア分解生成物を、ＳｉＨ
基に隣るＮＨ基を脱プロトン化しうる塩基触媒で処理し
、そして得られた生成物を親電子性失活剤で失活させる
ことによって製造される少くとも１種のポリシラザンで
ある。

許容しうる高強度の窒化珪素セラミックが反応結合法に
よって得ることができるが、そのような方法が非常に時
間のかかる、例えば完結までに７２時間を要するという
欠点をもつことは公知である。米国特許環４．５４３．
３４４号［カナデイ−（Ｃａｎｎａｄｙ）］及び第４．
６１２，３８３号［し−ヌ（Ｌａｉｎｅ）ら１に開示さ
れているように、窒化珪素セラミックがポリシラザン前
駆物質から誘導しうろことも公知である。しかしながら
、窒化珪素粉末及びポリシラザン前駆物質の混合物に由
来する窒化珪素セラミックの強度は従来全く貧弱であっ
た。これらの公知の窒化珪素セラミックの製造法の欠点
を克服するために、窒化欠点セラミックを窒化珪素粉末
及びポリシラザン前駆物質の混合物から誘導して、高強
度を有する、即ち窒化珪素粉末及びポリシラザン前駆物
質に由来する公知の窒化珪素セラミックのそれより高強
度、例えば少くとも約２３　ｋｇ／　ｍｍ”の曲げ強度
及び少くとも約１０　（ｋｇ／　ｍｍす／　（ｇ／　ｃ
ｃ）の比強度を有するセラミックスを製造する方法を発
見することは所望されている。

米国特許環４゜４８２，６６９号［セイファース（Ｓｅ
ｙｆｅｒｔｈ）ら−■］　、第４．６４５，８０７号（
セイファースら−ｎ）、及び第４．６５９．８５０号（
アライら）はポリシラザンのセラミック材料としての有
用性を開示し、そしてセイファースら−■はポリシラザ
ンが窒化珪素のようなセラミック粉末に対する結合剤と
して特に有用であることを教示している。これらの窒化
珪素粉末／ポリンラザン結合剤組成物から製造される窒
化珪素セラミックは主に例えば約９２％又はそれ以上が
窒化珪素からなり、残りがほとんど炭化珪素である。

セイ７アースら一■はそのプレセラミック組成物から作
られたセラミックの典型的な密度及び曲げ強度を開示し
ていない。しかしながら、ワイズマン（Ｗｉｓｅｍａｎ
）、［セラミックスに対するポリシラザン前駆物質の開
発と応用（Ｔｈｅ　　Ｄｅｖｅｌｏｐｍｅｎｔ　　ａｎ
ｄ　　Ａｐｐｌｉｃａｔｉｏｎ　　ｏｆ　　Ｐｏ１ｙｓ
ｉｌａｚａｎｅ　　Ｐｒｅｃｕｒｓｏｒｓ　　ｔｏ　　
Ｃｅｒａｍｉｃｓ）」、マサチューセッツ工科大学論文
、１９８４年は、これらの密度が一般に２．１〜２．２
ｇ／ｃｃであり、曲げ強度が貧弱であることを述べてい
る。しかしワイズマンは、強度を最大にするには、アル
カリ金属汚染物を最小にすること及び十分に高い分子量
のプレセラミック重合体又はそのような重合体ど低分子
量の重合体との混合物（例えば８０／２０混合物）を用
いることが望ましいという認識を示した。

本発明の目的は、低密度を有する高強度の窒化珪素セラ
ミックを製造しうる新規なプレセラミック・ポリシラザ
ン組成物を提供することである。

本発明の他の目的はそのような組成物を製造し且つこれ
を、低密度を有する高強度窒化珪素セラミックに転化す
る方法を提供することである。

これらの及び他の目的は、（Ａ）窒化珪素粉末５０〜８
５重量％をプレセラミック・ポリシラザン結合剤１５〜
５０重量％と良く混合し、（Ｂ）この混合物を粉砕して
１０５μｍよりも小さい粒径の粒子、即ち１０５μｍの
ふるいを通る粒子を製造し、（Ｃ）これらの粒子から、
約１０５μｍより大きい粒径のいずれかの粒子、即ち１
０５μｍのふるい上に保留される粒子を分離し、（Ｄ）
約１０５μｍより大きくない粒径の得られた組成物を成
形し、そして（Ｅ）この成形した組成物を不活性な雰囲
気中において１２００〜１４５０℃の温度まで熱分解す
ることによって達成される。但し該セラミック結合剤は
、有機ジハロシランをアンモニアと反応さす、このアン
モニア分解生成物を、５ｉ１−１基に隣るＮＨ基を脱プ
ロトン化しうる塩基触媒で処理し、そして得られた生成
物を親電子性失活剤で失活させることによって製造され
る少くとも１種のポリシラザンである。

本発明の実施において使用しうる窒化珪素粉末は、非常
に細かい粉末から粗いものまで市販の材料である。しか
しながら、好適な窒化珪素粉末は約５μｍ又はそれ以下
、好ましくは１μｍ又はそれ以下の粒径を有するもので
あり、そして特に良好な結果は０．１−１．０μｍの平
均粒径を有する窒化珪素粉末を用いて得られた。

窒化珪素と混合する結合剤は、セイファースら−１のポ
リシラザン、即ち有機ジハロシランをアンモニアと反応
させ、このアンモニア分解生成物を、ＳｉＨ基に隣るＮ
Ｈ基を脱プロトン化しうる塩基性触媒で処理し、そして
得られた生成物を親電子性失活（ｑｕｅｎｃｈｉｎｇ）
剤で失活させることによって製造されるポリシラザン或
いはこれらのポリシラザンの混合物である。例えば、そ
れはメチルジクロルソランをアンモニアと反応させ、こ
のアンモニア分解生成物を水素化カリウムで処理し、そ
して得られた生成物をヨウ化メチル又はジメチルクロル
ンランで失活させることによって製造される１種又はそ
れ以上のポリシラザンであってよい。有用なポリシラザ
ンは通常の有機溶媒例えば脂肪族又は芳香族炭化水素及
びジアルキル又は脂環族エーテルに可溶である固体であ
り、普通固体のポリシラザン及び普通液体のポリシラザ
ンの固体混合物も含む。高分子量を有する固体の可溶性
ポリシラザンは、より迅速な熱分解速度の使用を可能に
するから好適である。

用いるポリシラザンの量は、プレセラミック組成物が窒
化珪素粉末５０〜８５重量％及び結合剤１５〜５０重量
％、好ましくは窒化珪素粉末７０〜８０重量％及び結合
剤２０〜３０重量％を含んでなるような量である。

所望により、この組成物は随意の成分例えばポリイソブ
テニルサクシンイミド、他の分散剤、及び公知のセラミ
ック成形組成物で用いられる他の添加剤を含有させるこ
とによって改良してもよい。

例えば１種又はそれ以上の潤滑剤例えば高級脂肪酸及び
そのエステル及びアミド、高級アルコール、パラフィン
ワックス、及び低分子量ポリオレフィンが使用しうる。

そのような添加剤は、用いる場合少量で、例えば組成物
の残りの重量に基づいて分散剤約５重量％まで或いは潤
滑剤約１５重量％までの量で使用される。

本発明のプレセラミック組成物は、窒化珪素粉末及び結
合剤を良く混合し、この混合物を粉砕して上述したよう
に１０５μｍより小さい粒径の粒子を製造し、そしてこ
れらの粒子から約１０５μｍより大きい粒径のいずれか
の粒子を分離することによって製造される。窒化珪素粉
末及び結合剤を混合する特別な手法も、粒径を減する特
別な手法も厳密でないように見える。例えば一般に粒径
を減するためにミルは有用である。しかしながら窒化珪
素粉末を結合剤の溶媒溶液（例えば脂肪族又は芳香族炭
化水素、例えばヘキサン又はトルエン、或いはジアルキ
ル又は脂環族エーテル、例えばジエチルエーテル又はテ
トラヒドロフラン中溶液）中に分散させ、溶媒を（例え
ば回転蒸発、続く真空蒸留により）除去し、得られた粉
末／結合剤の固りをボールミルで処理し、次いでふるい
にかけて約１０５μｍより大きい粒径のいずれかの粒子
を除去することによって工程を行なうことは特に簡便で
ある。

セラミックは、プレセラミック組成物を適当な成形“法
例えば圧縮、射出又はトランスファ成形、或いは押出し
成形により、製造する部品に適当な温度及び圧力で、普
通６０〜２２５°Ｃの温度及び６８〜３４３ＭＰａの圧
力で成形し、次いでこの成形した組成物を不活性な雰囲
気例えば窒素又はアルゴン下において１２００〜１４５
０℃、好ましくは約１３００°Ｃ以上で熱分解すること
によりプレセラミックから製造しうる。熱分解に必要な
時間は最終的な熱分解温度と共に変化し、約１３００°
Ｃの好適な熱分解温度で少くとも１時間であり、そして
時間は高温はど短く且つ低温はど長くなる。成形した組
成物を、（１）室温から６０°Ｃまで６０°Ｃ／時、６
０℃から２６０°Ｃまで３０℃／時、２６０°Ｃから１
２６０°０まで１２０°Ｃ／時、そして１２６０℃から
１３００°Ｃまで６０°Ｃ／時の速度で１３００°Ｃま
で加熱し、次いで温度を１３００°Ｃに１時間維持し、
１２０℃／時の速度で９００°Ｃまで冷却し、そして冷
却の残りを周囲の速度で行なうことにより、或いは（２
）室温から６０℃まで６０℃／時、６０℃から２６０℃
まで１５°Ｃ／時、２６０°Ｃから１２６０℃まで１２
０°Ｃ／時、そして１２６０°Ｃから１４００°Ｃまで
６０℃／時の速度で１４００°Ｃまで加熱し、次いで温
度を１４００℃に４５分間保ち、そして室温まで冷却す
ることにより熱分解することは特に有用である。

本発明のプレセラミック窒化珪素／ポリシラザン組成物
から製造されるセラミックは、より大きい粒径の比較し
うるプレセラミック組成物から製造されるセラミックに
対比しうる密度を有するが、それよりも良好な曲げ強度
をもつ。事実新規なプレセラミック組成物の使用は、少
くとも１０（ｋｇ／　ｍｍ”）／　（ｇ／　ｃｃ）の比
強度（即ち曲げ強度／密度比）、即ち宇宙及び他の要求
並びに厳密な構造的利用に特に望しい強度を有する窒化
珪素セラミックの生成をもたらしうる。セラミックにお
けるこの性質の組合せがプレセラミック組成物の粒径を
減することによって達成しうるという事実は驚くべきこ
とである。但しこの粒径を減することの有利な効果の理
由は理解されない。

次の実施例は本発明を例示するために与えられる。これ
らの実施例に記述する方法において、完全に乾燥した装
置、精製した原料、及び不活性な雰囲気が、ポリシラザ
ンを、ポリシラザンの合成及び貯蔵中及び窒化珪素セラ
ミックを製造するために用いるポリシラザン含有物質の
処理及び貯蔵中の水及び他の活性水素含有物質による攻
撃から保護するために使用される。

実施例■ ポリシラザンＡの合成 部Ａ 適当な反応容器に無水テトラヒドロ７ラン１４Ｑを仕込
み、約０°Ｃまで冷却し、次いでメチルジクロルシラン
１４’ｌ　　（１３，０モル）を反応器に入れ、約６０
　ｒｐｍでの撹拌を開始した。無水アンモニア・ガス７
４５’ｊ　　（４３，７モル）の遅い一定流を、反応圧
が２０６．８ｋＰａに又はそれ以下に維持されるような
流速で容器中に導入し、そして反応温度を０〜ｌＯ°Ｃ
の範囲においた。次いで反応混合物を０℃で約３時間撹
拌し、次いで容器への冷媒流を停止し、系を穏やかな窒
素流下におき、反応物体を室温までもっていき、過剰の
アンモニアの大部分を放出させた。次いでこの反応物体
をフラスコ中に注ぎ、孔直径４．０〜５．５μｍのガラ
スフィルターによりドライ・ボックス中で一過した。

部Ｂ Ｋ　Ｈ粉末２．ＥＢ？　　（０，０６３モル）の無水テ
トラヒドロフラン約１．００　ｍＱ中懸濁液を予じめ仕
込み且つ０°Ｃまで冷却した重合容器中に部Ａからの透
明なｐ液を添加して重合反応を開始させた。この反応混
合物をＱ　’Ｃに約８時間保ち、次いで約２２°Ｃまで
徐々に暖めた。重合を全約２６時間にわたって０〜２２
°Ｃで行なった後、重合溶液にジメチルロルンラン約１
１．１　　（０，０６３モル）を添加することによって
反応を停止させた。

真空蒸留により重合体生成物を乾燥粉末として単離し、
次いでこの乾燥残渣を無水シクロヘキサンに”再溶解し
た。このンクロヘキサン溶液を濾過し、ｐ液を真空乾燥
して、ポリシラザンＡとして表示される白色固体を得た
。重水素化クロロホルム溶媒中の重合体のプロ１−ンＮ
ＭＲスペクトルは、セイファースら−■がポリシラザン
に対して報告したもの及び少量の、即ち２．２重量％の
残存テ１−ラヒドロフラン並びに約７重量％のシクロヘ
キサンと一致する共鳴吸収を示した。中性活性化による
元素状酸素は残存溶媒に対して補正して約０゜２％であ
り、そしてカリウム含量はインダクテイブリー・カプシ
ド・プラズマ・エミッション分光法（ｉｎｄｕｃｔｉｖ
ｅｌｙ　ｃｏｕｐｌｅｄ　ｐｌａｓｍａ　ｅｍｉｓｓｉ
ｏｎ　５ｐｅｃｔｒｏｓｃｏｐｙ）で決定して重合体の
１１に基づいて５ｐｐｍ以下であることが決定された。

実施例■ ポリシラザンＢの合成 重合のための反応混合物を、Ｋ　Ｈ懸濁液をアンモニア
分解生成物に添加することによって調製し、用いたＫＨ
Ｌｆ）量がアンモニア分解反応に仕込んだメチルジクロ
ルシランの量に基づいて０．６モル％であり、そして重
合を０°Ｃで全０．７時間完全に行なう以外実施例■を
本質的に繰返した。この方法で製造したポリシラザンＢ
は、テトラヒドロ７ラン含量０．５重量％元素状酸素含
量０．４％（残存溶媒に対し５て補正）、及びカリウム
含量５１）ｐｍ以下の粘稠な液体であった。

実施例ＩＩＩ ポリシラザンＣの合成 実施例■を繰返してポリシラザンＣとして表示される他
の粘稠な液体を製造した。これは不純物に関して分析し
なかった。

実施例Ｉｖ ポリシラザンＤの合成 ０°Ｃでの重合時間が１０時間である以外実施例■を本
質的に繰返した。この方法で製造したポリシラザンＤは
約１０ｐｐｍのカリウム含量を有する固体であった。こ
れは他の不純物について分析しなかった。

以下の実施例は、上記実施例のポリシラザン及び市販の
窒化珪素粉末から製造される形成組成物を記述する。窒
化珪素粉末の各は主にα−窒化珪素である。Ｓｉ３Ｎ、
−１として表示する窒化珪素粉末は０，８μｍの平均粒
径と７〜１０ｍ２ｚＱの比較面積を有し、Ｓｉ、Ｎ、−
２として表示する窒化珪素粉末は０．１−０．３ｐｍの
粒径と１０ｍ２／７の比較面積を有し、Ｓ＋３Ｎｔ　　
３として表示する窒化珪素粉末は０７μｍと１９〜２２
ｍ２／ｊ？の比較面積を有し、そして５ｉｘＮ４−４と
して表示する窒化珪素粉末は０．６μｍの平均粒径と１
２ｍ２／２比較而情を有する。

実施例Ｖ 組成物■の製造 ポリシラザンＡ１４．４１　ポリシラザン８３゜８２、
及び市販のポリイソブテニルサクシンイミド分散剤０．
３２の、無水トルエン２００ｇ中混合物を、約１５分間
磁気撹拌して均一な溶液を得、次いでこの溶液に５１３
Ｎ４　１粉末４２２を添加した。この混合物を６０分間
磁気撹拌し、次いで約１時間超音波処理して窒化珪素粉
末を分散させ、次いでトルエンの大部分を除去し、非流
動性の残渣を得た。この残渣を高真空下に数日間乾燥し
、次いで、乳鉢／乳棒で軽く粉砕して自由に流動する組
成物粉末とし、次いでこれを、２．５ピントのミル・ジ
ャー中において直径約０．２５インチの炭化珪素の粉砕
ボール約２００ｃｃと共に約１時間ポール・ミル処理し
、統いて粉砕ボールを除去した。このミル処理した粉末
を、Ｉ０６μｍｎの開口を有するふるいは乾式で通過さ
せた。ふるいを通過しなかった粉末は、すべての組成物
が通過するようになるまで再びボールミル処理した。

実施例■ 更なる組成物の製造 実施例Ｖの一般的な方法、即ちスラリーの混合、超音波
処理、乾燥、粗い粉末、ボールミル処理、及びふるい処
理を用いて第１表に示す組成の更なる組成物を製造した
。組成物に含有される分散剤は市販のポリイソブテニル
サクシンイミド分散剤であった。

第１表 組成物　　　成　分　　　　　　　部 ■　　　ポリシラザンＡ　　　　１６ ポリシラザンＣ４ Ｓｉ、Ｎ、−１８０ 分散剤　　　　　　　　０゜５ ■　　　ポリシラザンＡ　　　　２４ ポリシラザンＣ６ ｓ；、Ｎ、−１７０ 分散剤　　　　　　　　０．５ ■　　　ポリシラザンＤ　　　　２４ ポリシラザンＣ６ Ｓｉ、Ｎ、−２７０ 分散剤　　　　　　　　０．５ ■　　　ポリシラザンＤ　　　　２４ ポリシラザンＣ６ Ｓｉ、Ｎ、−３７０ 分散剤　　　　　　　　０．５ ■　　　ポリシラザンＤ　　　　２４ ポリシラザンＣ６ ５ｉｓＮ＊　　４　　　　　７０ 分散剤　　　　　　　　０．５ 実施例■ 組成物Ｉの成形 組成物■から公称の直径１２．７ｍｍ及び公称の厚さ２
．５４ｍｍの６つの未処理（ｇｒｅｅｎ）円板の各を成
形した。これらの円板の各の製造において、組成物約０
．８２を窒素グローブボックス中の適当な型中に充填し
、この型を約１３３パスカル以下まで脱気し、真空下に
密閉し、水圧プレスに移し、真空導管に再び連結し、そ
して高々約６７パスカル、即ち以降の成形工程にわたっ
て維持される真空値の圧力まで脱気した。この脱気した
型を、約１８２°Ｃに予熱したプレス板間に適切に置い
て１０分間予熱し、続いて２２６８〜２７２２ゆ（１７
５〜２１０ＭＰａ）の圧力を型に適用し、約５分間維持
した。この圧縮後、型を真空下に密閉し、そしてグロー
ブボックス中に戻し、そこで約５分間冷却させた。この
冷却後、成形した未処理の円板を型から取出し、グロー
ブボックス中に貯蔵した。この密度は約２．０５ｊＪ／
ｃｃであると決定され　ｌ二　。

実施例■ 組成物Ｉの熱分解 実施例■で製造した未処理の円板を、室温から６０°Ｃ
／時、６０°Ｃから２６０℃まで３０°Ｃ／時、２６０
°Ｃから１２６０°Ｃまで１２０℃／時、そして１２６
０°Ｃから１３００℃まで６０°Ｃ／時の速度で１３０
０°Ｃまで加熱し、次いで温度を１３００°Ｃに１時間
保ち、９００°Ｃまで１２０°Ｃ／時の速度で冷却し、
そして９００　’Ｃから凡そ室温まで雰囲気の速度で冷
却させ、即ち温度が９００°Ｃに達した時に炉の加熱器
を停止し且つ冷却の残りの速度を得られた炉の状態にま
かせることにより窒素雰囲気中で熱分解した。この熱分
解した試料を１００°Ｃ以下まで冷却した後、これを炉
から取出し、乾燥窒素雰囲気中に直ぐに貯蔵した。この
密度は重量と寸法のデータから２．２３．？／ｃｃであ
ると計算された。円板試料のすべては、熱分解の結果と
して約６％の均一な線収縮を受けた。

続いて熱分解した試料を大気温度及び湿度下に空気中で
数週間貯蔵した。この期間中に重量は２〜３％増加し、
最大の重量増加は約７日で達成された。試料を一定重量
に平衡化させた後、その曲げ強度をゴド７レイ（Ｇｏｄ
ｆｒｅｙ）、材料科学と技術（Ｍａｔｅｒｉａｌｓ　５
ｃｉｅｎｃａ　＆　Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ）、第１巻第
７号、５１０〜５１５頁（１９８５）に記述されている
２軸負荷応力法で決定した。組成物Ｉから製造した円板
は２７　、４　ｂ／ｍｍ２の平均曲げ強度及びｌ　２．
３　（ｋｉ？／ｍｍＱ　　（ｊ／／ｃｃ）の平均強度を
有すると決定された。

実施例■ 更なる組成物の成形と熱分解 本質的に実施例■に記述したように組成物■〜■の各か
ら約６７の未処理円板を成形し、そして本質的に実施例
■における如く未処理円板を熱分解した。この熱分解し
た円板試料を通常の空気中で平衡化させ、続いてその曲
げ強度を決定した。

種々の組成物から製造した円板の密度、平均曲げ強度、
及び平均比強度を第■表に示す。

第■表 密度　　曲げ強度　　　比強度 組成物　免ムリ　［有］工θ旦９　　躯ａ肌ユΩムいｎ
　　　２．２７　　２３．２　　　　１０．２［＋　　
　２．２２　　３０．１　　　　１３．６ＩＶ　　　２
．０８　　２５．２　　　　１２．１Ｖ　　　２．２２
　　２７．４　　　　１２．３Ｖｌ　　　２．１１　　
２７．０　　　　１２．８本発明の特徴及び態様は以下
のとおりである：１、約１１０５ｚ１より大きくない粒
径を有し、且つ（Ａ）窒化珪素粉末５０〜８５重量％及
び（Ｂ）有機ジハロシランをアンモニアと反応させ、こ
のアンモニア分解生成物を、Ｓ　ｉ　１１基に隣るＮＨ
基′を脱プロトン化しうる塩基性触媒で処理し、そして
得られる生成物を親電子性失活剤（ｑｕｅｎｃｈｉｎｇ
　ｒｅａｇｅｎｔ）で失活させることによって製造され
るポリシラザンの少くとも１種から本質的になるプレセ
ラミック・ポリシラザン結合剤１５〜５０重量％、の良
く混ざった混合物を含んでなるプレセラミック組成物。

２、窒化珪素粉末が０．１〜１．０μｎ１の平均粒径を
有する上記ｌの組成物。

３、結合剤が、メチルジクロルシランをアンモニアと反
応させ、このアンモニア分解生成物を水素化カリウムで
処理し、そして得られた生成物をジメチルクロルシラン
で失活させることによって製造した少くとも１つのポリ
シラザンから本質的になる上記１の組成物。

４、結合剤含量が２０〜３０重量％である上記１の組成
物。

５、（Ａ）０．１−１．０μｍの平均粒径を有する窒化
珪素粉末約７０重ｈ１％及び（Ｂ）メチルジクロルシラ
ンをアンモニアと反応させ、このアンモニア分解生成物
を水素化カリウムで処理し、そして得られた生成物をジ
メチルクロルシランで失活させることにより製造した少
くとも１つのポリシラザンから本質的になるプレセラミ
ック・ポリシラザン結合剤約３０重量％、の良く混ざっ
た混合物を含んでなる上記ｌの組成物。

６、窒化珪素粉末５０〜８５重量％をプレセラミックポ
リシラザン結合剤１５〜５０重量％と良く混合し、この
混合物を粉砕して１０５μｍより小さい粒径の粒子を製
造し、そしてこれらの粒子から約１０５μｍより大きい
粒径のいずれかの粒子を分離することを含んでなり：該
結合剤が、有機シバロンランをアンモニアど反応させ、
このアンモニア分解生成物を、Ｓ　ｉ　Ｈ基に隣るＮＨ
基を脱プロトン化しうる塩基性触媒で処理し、そして１
すられな生成物を親電子性失活剤で失活させることによ
り製造されるポリシラザン少くとも１種から本質的にな
る方法。

７　窒化珪素粉末を、結合剤の有機溶媒溶液中に分散さ
せ、溶媒を除去し、得られた粉末７／結合剤の塊り（ｃ
　ｈ　ｕ　ｎ　ｋ　ｓ　）をボールミルで処理し、次い
でふるいにかけて約１０５μｍより大きくない粒径の良
く混ざった粉末／結合剤の混合物を製造する上記６の方
法。

８、窒化珪素粉末の７０〜８０重１％を結合剤２０〜３
０重量％と混合する上記６の方法。

９、少くとも１．０　（ｋｇ　／　ｎ＋ｍ”）Ｕ／　ｃ
ｃ）の比強度を有し、且つ（Ａ）窒化珪素粉末５０〜８
５重量％及び（Ｂ）有機ジハロシランをアンモニアと反
応させ、このアンモニア分解生成物を、Ｓ　ｉ　Ｈ基に
隣るＮ　Ｈ基を脱プロトン化しうる塩基性触媒で処理し
、そして得られる生成物を親電子性失活剤で失活させる
ことによって製造されるポリシラザン少くとも１種から
本質的になるプレセラミック・ポリシラザン結合剤１５
〜５０重量％、の良く混ざった混合物を含んでなるプレ
セラミック組成物に由来する窒化珪素セラミック。

１０、（Δ）約１０５μｉｎより大きくない粒径を有し
、且つ（１）窒化珪素粉末５０〜８５重量％及びプレセ
ラミック・ポリシラザン結合剤１５〜５０重量％の良く
混ざった混合物を含んでなるプレセラミック組成物を６
０〜２２５°Ｃの温度で成形し、但し該結合剤が、有機
ジハロシランをアンモニアと反応させ、このアンモニア
分解生成物を、ＳｉＨ基に隣るＮＨ基を脱プロトンしう
る塩基性触媒で処理し、そして得られた生成物を親電子
失活剤で失活させることによって製造される少くとも１
種のポリシラザンから本質的になり、そして（Ｂ）成形
した組成物を不活性な雰囲気中において１２００〜１４
５０°Ｃの温度まで熱分解（ｐｙｒｏｌｙｚｅ）する、
ことを含んでなるセラミックの製造法。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １．約１０５μｍより大きくない粒径を有し、且つ（Ａ
   ）窒化珪素粉末５０〜８５重量％及び（Ｂ）有機ジハロ
   シランをアンモニアと反応させ、このアンモニア分解生
   成物を、ＳｉＨ基に隣るＮＨ基を脱プロトン化しうる塩
   基性触媒で処理し、そして得られる生成物を親電子性失
   活剤で失活させることによつて製造されるポリシラザン
   の少くとも１種から本質的になるプレセラミック・ポリ
   シラザン結合剤１５〜５０重量％、の良く混ざつた混合
   物を含んでなるプレセラミック組成物。 ２．窒化珪素粉末５０〜８５重量％をプレセラミックポ
   リシラザン結合剤１５〜５０重量％と良く混合し、この
   混合物を１０５μｍより小さい粒径の粒子が生成するよ
   う粉砕し、そしてこれらの粒子から約１０５μｍより大
   きい粒径の粒子を分離することを含んでなる方法であつ
   て；該結合剤が、有機ジハロシランをアンモニアと反応
   させ、このアンモニア分離生成物を、ＳｉＨ基に隣るＮ
   Ｈ基を脱プロトン化しうる塩基性触媒で処理し、そして
   得られた生成物を親電子性失活剤で失活させることによ
   り製造されるポリシラザン少くとも３．少くとも１０（
   ｋｇ／ｍｍ＾２）（ｇ／ｃｃ）の比強度を有し、且つ（
   Ａ）窒化珪素粉末５０〜８５重量％及び（Ｂ）有機ジハ
   ロシランをアンモニアと反応させ、このアンモニア分解
   生成物を、ＳｉＨ基に隣るＮＨ基を脱プロトン化しうる
   塩基性触媒で処理し、そして得られる生成物を親電子性
   失活剤で失活させることによつて製造されるポリシラザ
   ンの少くとも１種から本質的になるプレセラミック・ポ
   リシラザン結合剤１５〜５０重量％、の良く混ざつた混
   合物を含んでなるプレセラミック組成物に由来する窒化
   珪素セラミック。 ４．（Ａ）約１０５μｍより大きくない粒径を有し、且
   つ（１）窒化珪素粉末５０〜８５重量％及びプレセラミ
   ック・ポリシラザン結合剤１５〜５０重量％の良く混ざ
   つた混合物を含んでなるプレセラミック組成物を６０〜
   ２２５℃の温度で成形し、但し該結合剤が、有機ジハロ
   シランをアンモニアと反応させ、このアンモニア分離生
   成物を、ＳｉＨ基に隣るＮＨ基を脱プロトンしうる塩基
   性触媒で処理し、そして得られた生成物を親電子失活剤
   で失活させることによつて製造される少くとも１種のポ
   リシラザンから本質的になり、そして（Ｂ）成形した組
   成物を不活性な雰囲気中において１２００〜１４５０℃
   の温度まで熱分解する、ことを特徴とするセラミックの
   製造法。