JPH01318564A - Ultrasonic motor - Google Patents

Ultrasonic motor

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JPH01318564A
JPH01318564A JP63151889A JP15188988A JPH01318564A JP H01318564 A JPH01318564 A JP H01318564A JP 63151889 A JP63151889 A JP 63151889A JP 15188988 A JP15188988 A JP 15188988A JP H01318564 A JPH01318564 A JP H01318564A
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JP
Japan
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fixed
disc
piezoelectric ceramics
rotatable
disk
Prior art date
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Pending
Application number
JP63151889A
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Japanese (ja)
Inventor
Yuji Yamazaki
雄司 山崎
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Omron Corp
Original Assignee
Omron Tateisi Electronics Co
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Publication date
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  • General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)

Abstract

PURPOSE:To simplify the structure of an apparatus and to facilitate the regulation of a frictional force by supporting a fixed disc through a plurality of piezoelectric ceramics and by arranging a rotatable disc in a state where the rotatable disc is opened at a specified distance from the fixed disc and faces the same. CONSTITUTION:An ultrasonic motor is composed of a top-opened and bottomed box 1 equipped with a base 11 on the underside, a plurality of piezoelectric ceramics 2 arranged an interior parts in the box, a fixed disc 3 fastened to the upper end of the ceramics, and a rotatable disc 4 journaled by the box 1. There bars are used in the piezoelectric ceramics 2 and respective ceramics 2a-2c are arranged and fixed in a state where they are opened at an angle of 120 deg. to the base 11. The upper and of the ceramics is fitted with the fixed disc 3 and a driving shaft 41 is integrally projected from the rotatable disc 4. Thus, piezoelectric ceramics 2a stretch by application of voltage to function as the biasing force (horizontal component) of the rotatable disk 4 in the direction of rotation, etc., and the disc 4 turns by a pressure welding frictional force.

Description

【発明の詳細な説明】 (イ)産業上の利用分野 この発明は、超音波モータに関する。[Detailed description of the invention] (b) Industrial application fields The present invention relates to an ultrasonic motor.

(ロ)従来の技術 第5図、第6図及び第7図は、従来の超音波モーフを示
し、第5図は超音波モーフの概略構成図、第6図は超音
波モータの進行波発生状態を示す説明図、第7図は超音
波モーフによる物体移動原理を示す説明図である。
(b) Conventional technology Figures 5, 6, and 7 show conventional ultrasonic morphs. Figure 5 is a schematic configuration diagram of the ultrasonic morph, and Figure 6 is the generation of traveling waves in an ultrasonic motor. FIG. 7 is an explanatory diagram showing the state, and FIG. 7 is an explanatory diagram showing the principle of object movement by ultrasonic morph.

従来の超音波モーフは、第5図に示すように、弾性体5
1と弾性体51の下面を一周する多数の圧電セラミック
ス52とから構成されている。弾性体51の下面に貼着
される1/2波長の多数の圧電セラミックス52は、上
・下2層構造とし、と・下に配置される各圧電セラミッ
クス52はそれぞれ1/4波長ずつ位置ずれさせて配置
しである。ぞして、上・下方向に重合する各圧電セラミ
ックス52には、つまり上側圧電セラミックス52には
sinωもの波を、下側圧電セラミックス52にはCO
5ωtの波を印加するように設定している。
The conventional ultrasonic morph has an elastic body 5 as shown in FIG.
1 and a large number of piezoelectric ceramics 52 surrounding the lower surface of an elastic body 51. A large number of piezoelectric ceramics 52 of 1/2 wavelength attached to the lower surface of the elastic body 51 have a two-layer structure, an upper layer and a lower layer, and the piezoelectric ceramics 52 arranged below are each shifted by 1/4 wavelength. It is arranged as follows. Therefore, each of the piezoelectric ceramics 52 superimposed in the upward and downward directions, that is, the upper piezoelectric ceramic 52 receives a wave of sin ω, and the lower piezoelectric ceramic 52 receives a wave of CO2.
It is set to apply a wave of 5ωt.

この超音波モーフでは、第6図に示すように電界によっ
°ζ、弾性体51に進行波が生じる。つまり、sin波
(第6図の実線波)とcos波(第6図の破線波)が生
じる。この進行波(最大エネルギー)が弾性体51を周
回する。従って、第7図で示すように弾性体51の上部
に移動物体53を配置する時、電界を加えることによっ
て住じる進行波を受けて、移動物体53が摩擦力により
進行波の進む方向と反対方向へ進む。つまり、移動物体
53が弾性体51上を回転する。
In this ultrasonic morph, a traveling wave is generated in the elastic body 51 by the electric field as shown in FIG. That is, a sine wave (solid line wave in FIG. 6) and a cosine wave (broken line wave in FIG. 6) are generated. This traveling wave (maximum energy) circulates around the elastic body 51. Therefore, when a moving object 53 is placed on top of an elastic body 51 as shown in FIG. 7, the moving object 53 receives the traveling wave generated by applying an electric field, and the moving object 53 moves in the direction in which the traveling wave travels due to frictional force. Go in the opposite direction. That is, the moving object 53 rotates on the elastic body 51.

(ハ)発明が解決しようとする課題 上記、従来の超音波モータは圧電セラミックスに電界を
加え、弾性体に進行波を発生させることで、移動物体を
回転させる方式である。このため、進行波を発生させる
ために弾性体が必要となる許かりてな(、圧電セラミッ
クスを分極させ、l/4波長ずつ位置ずれさせた状態で
接合しなければならず構造が複雑である。また、移動物
体と弾性体との摩擦力の調整は、移動物体の押しつけ力
により機構的に行うものである。従って、摩擦力の調整
を簡易に実行し17ない不利があった。
(c) Problems to be Solved by the Invention The conventional ultrasonic motor described above rotates a moving object by applying an electric field to piezoelectric ceramics and generating traveling waves in an elastic body. For this reason, an elastic body is required to generate traveling waves (the piezoelectric ceramics must be polarized and bonded with their positions shifted by 1/4 wavelength, making the structure complicated). Further, the adjustment of the frictional force between the moving object and the elastic body is performed mechanically by the pressing force of the moving object.Therefore, there is a disadvantage that the adjustment of the frictional force cannot be easily carried out.

この発明は、上記課題を解消させ、構造が簡易で摩擦力
調整の容易な超音波モーフを提供することを目的とする
An object of the present invention is to solve the above problems and provide an ultrasonic morph with a simple structure and easy adjustment of frictional force.

(ニ)課題を解決するための手段及び作用この目的を達
成させるために、この発明の超音波モータでは、次のよ
うな構成としている。
(d) Means and operation for solving the problem In order to achieve this object, the ultrasonic motor of the present invention has the following configuration.

超音波モータは、それぞれ所定角度量いて配置された複
数の圧電セラミックスの一端を基板に、他端を固定円板
に止着すると共に、駆動軸を備え回転可能に軸受された
回転用円板を前記固定円板に対し一定間隔を存して対向
配置し、前記圧電セラミックスに、時分割的に順次電圧
を印加し、前記固定円板と前記回転用円板の接点が周方
向に移動するようにして構成している。
The ultrasonic motor consists of a plurality of piezoelectric ceramics arranged at a predetermined angle, one end of which is fixed to a substrate, the other end fixed to a fixed disc, and a rotating disc equipped with a drive shaft and rotatably supported. A voltage is sequentially applied to the piezoelectric ceramics in a time-sharing manner so that the contact point between the fixed disk and the rotating disk moves in the circumferential direction. It is configured as follows.

このような構成を有する超音波モータでは、基板に対し
一定長さを有する、例えば3木の圧電セラミックスを1
20度角それぞれ開いた状態で配置している。そして、
この3木の圧電セラミックスの−に端には固定円板(固
定ディスク)が固着しである。つまり、固定円板は3木
の柱(圧電セラミックス)により支持されている。この
固定円板と対向する回転可能な円板(回転ディスク)と
は、常態において一定間隔を開いて配備されている。
In an ultrasonic motor having such a configuration, one piece of piezoelectric ceramic, for example, three pieces, each having a certain length with respect to the substrate, is used.
They are arranged with each 20 degree angle open. and,
A fixed disk is fixed to the negative end of these three pieces of piezoelectric ceramic. In other words, the fixed disk is supported by three wooden pillars (piezoelectric ceramics). A rotatable disk (rotating disk) facing the fixed disk is normally spaced apart from each other by a certain distance.

いま、各圧電セラミックスに対し時分割的に順次電圧を
印加するとき、電圧印加を受けた圧電セラミックスは伸
長する。圧電セラミックスが伸長することで、固定円板
は伸長した圧電セラミックスに対応する部分が持ち上げ
られ、上方に位置する回転可能な円板に当接する。この
時、回転可能な円板には上方への圧接力が作用する。こ
の上方への圧接力により、回転可能な円板はこの圧接点
において僅かに上方へ移動するが、回転可能な円板は軸
受けされており上・下動が阻止されている。
Now, when a voltage is sequentially applied to each piezoelectric ceramic in a time-sharing manner, the piezoelectric ceramic receives the voltage and expands. As the piezoelectric ceramic expands, the portion of the fixed disk corresponding to the expanded piezoelectric ceramic is lifted and comes into contact with the rotatable disk located above. At this time, an upward pressing force acts on the rotatable disk. Due to this upward pressure contact force, the rotatable disc moves slightly upward at this pressure contact point, but the rotatable disc is supported by a bearing and is prevented from moving up or down.

従って、回転可能な円板はこの圧接力を吸収し得す、こ
の上方への圧接力が回転可能な円板の回転方向への押圧
力、つまり水平分力として作用し、回転可能円板は圧接
摩擦力により回動する。かくして、各圧電セラミックス
に対し、順次電圧を印加することで固定円板と回転可能
な円板との圧接点が変化し、つまり圧接点が一周する結
果となるため、回転可能な円板が回転する。
Therefore, the rotatable disc can absorb this pressing force. This upward pressing force acts as a pressing force in the rotational direction of the rotatable disc, that is, a horizontal component force, and the rotatable disc Rotates due to pressure friction force. Thus, by sequentially applying a voltage to each piezoelectric ceramic, the pressure contact point between the fixed disk and the rotatable disk changes, that is, the pressure contact point goes around once, so the rotatable disk rotates. do.

(ホ)実施例 第1図は、この発明に係る超音波モーフの具体的な一実
施例を示す要部断面図である。
(E) Embodiment FIG. 1 is a sectional view of a main part showing a specific embodiment of the ultrasonic morph according to the present invention.

超音波モーフは、下面に基板(ベース部材)11を備え
た上開口有底の函体lと、この函体1に内装配備された
複数の圧電セラミックス2と、この圧電セラミックス2
の上端に止着された固定円板3と、函体1に軸承された
回転可能な円板4とから構成されている。
The ultrasonic morph consists of a box 1 with an open bottom and a substrate (base member) 11 on the bottom surface, a plurality of piezoelectric ceramics 2 arranged inside the box 1, and the piezoelectric ceramics 2.
It is composed of a fixed disc 3 fixed to the upper end of the housing 1, and a rotatable disc 4 supported on the housing 1.

圧電セラミックス2は、実施例では3本の棒体を使用し
、各圧電セラミックス2a、2b、2cは基板11に対
し120度角開いた状態で配置され、基端を固定してい
る。一定長さを有する圧電セラミックス2は、圧電効果
を有する材料、例えばPZT(ジルコンチタン酸塩)の
薄板を積層した積層型であり、且つ薄形状の安価な市販
品を使用している。この圧電セラミックス2a、2b。
In the embodiment, three rods are used as the piezoelectric ceramics 2, and each of the piezoelectric ceramics 2a, 2b, and 2c is arranged at an angle of 120 degrees with respect to the substrate 11, and its base end is fixed. The piezoelectric ceramic 2 having a certain length is a laminated type made by laminating thin plates of a material having a piezoelectric effect, for example, PZT (zircon titanate), and is a thin, inexpensive commercially available product. These piezoelectric ceramics 2a, 2b.

2cは、電圧の印加により力学的なひずみ、つまり伸長
する性質を有する。この圧電セラミックス2a、2b、
2cの上端には、一定の直径を有する固定円板(固定デ
ィスク)3が取付けである。
2c has a property of being mechanically strained, that is, elongated by the application of voltage. These piezoelectric ceramics 2a, 2b,
At the upper end of 2c is attached a fixed disk 3 with a constant diameter.

つまり、固定円板3は3本の支柱(圧電セラミックス)
2a、2b、2Cにより固定支持されている。
In other words, the fixed disk 3 has three pillars (piezoelectric ceramics).
It is fixedly supported by 2a, 2b, and 2C.

前記回転可能な円板4は、実施例では上記固定円板3と
同一直径を有する回転可能ディスクで、面内中央に駆動
軸(回転伝達軸)41を一体に突設している。この駆動
軸41が、函体1の上開口部12に備える軸受け13に
より軸承されている。
In the embodiment, the rotatable disk 4 is a rotatable disk having the same diameter as the fixed disk 3, and has a drive shaft (rotation transmission shaft) 41 integrally protruding from the center of the plane. This drive shaft 41 is supported by a bearing 13 provided in the upper opening 12 of the box 1 .

この回転可能円板4は、上記固定円板3に対し所定距離
(僅かな間隙)を開いて対向状に配置しである。
This rotatable disk 4 is arranged opposite to the fixed disk 3 with a predetermined distance (a small gap) between them.

このような構成を有する超音波モータでは、常態におい
て、固定円板3と回転可能円板4とは、僅かな一定間隔
を開いて配備されている。
In the ultrasonic motor having such a configuration, the fixed disk 3 and the rotatable disk 4 are normally spaced apart from each other by a small constant distance.

超音波モーフの駆動は、各圧電セラミックス2a、2b
、2Cに対し順次電圧を印加することで実行される。今
、圧電セラミックス2aに対し電圧を印加するとき、電
圧印加を受けた圧電セラミックス2aが伸長する。圧電
セラミックス2aが伸長することで、固定円板3は伸長
した圧電セラミックス2aに対応する部分が持ち上げら
れ、上方に位置する回転可能な円板4に当接する〔第2
図(A)参照〕、この時、回転可能な円板4には上方へ
の圧接力(圧接点A)が作用する。この上方への圧接力
により、回転可能な円板4はこの圧接黒人において僅か
に上方へ移動するが、回転可能な円板4は軸受け13さ
れており、上・下動が阻止されている。従って、回転可
能な円板4はこの圧接力を完全には吸収し得す、この上
方への圧接力が回転可能な円板4の回転方向への押圧力
、つまり水平分力として作用し、回転可能円板4は圧接
摩擦力により回動する。次いで、第2図(B)で示すよ
うに圧電セラミックス2bに電圧を印加する。これによ
り、圧電セラミックス2bが伸長し、固定円板3は伸長
した圧電セラミックス2bに対応する部分が持ち上げら
れ、に方に位置する回転可能円板4に当接する。当接に
よる圧接力は、前述と同様に回転可能円板4に対し水平
分力として作用し、回転可能円板4は圧接摩擦力で回動
する。この後、圧電セラミックス2cに電圧を印加する
ことで、同様に回転可能円板4を回動させる。
The ultrasonic morph is driven by each piezoelectric ceramic 2a, 2b.
, 2C by sequentially applying voltages. Now, when a voltage is applied to the piezoelectric ceramic 2a, the piezoelectric ceramic 2a that receives the applied voltage expands. As the piezoelectric ceramics 2a expands, the portion of the fixed disk 3 corresponding to the expanded piezoelectric ceramics 2a is lifted and comes into contact with the rotatable disk 4 located above [second
(See Figure (A)) At this time, an upward pressing force (pressing contact point A) acts on the rotatable disc 4. Due to this upward pressing force, the rotatable disc 4 moves slightly upward in this pressing area, but the rotatable disc 4 is supported by a bearing 13 and is prevented from moving up or down. Therefore, the rotatable disk 4 can completely absorb this pressing force, and this upward pressing force acts as a pressing force in the rotational direction of the rotatable disk 4, that is, as a horizontal component force, The rotatable disk 4 is rotated by pressure friction force. Next, a voltage is applied to the piezoelectric ceramic 2b as shown in FIG. 2(B). As a result, the piezoelectric ceramic 2b expands, and the portion of the fixed disk 3 corresponding to the expanded piezoelectric ceramic 2b is lifted and comes into contact with the rotatable disk 4 located on the opposite side. The pressing force caused by the contact acts on the rotatable disc 4 as a horizontal force, as described above, and the rotatable disc 4 rotates due to the pressing friction force. Thereafter, by applying a voltage to the piezoelectric ceramics 2c, the rotatable disk 4 is similarly rotated.

かくして、各圧電セラミックス2a、2b12Cに対し
、順次、電圧を印加し、且つこの電圧印加を繰り返し続
行することで(位相を120度すつずらせて、つまり時
分割された電圧を印加することで)、第3図に示すよう
に固定円板3と回転可能な円板4間の圧接点への位置が
変化し、つまり圧接黒人が周回する結果となるため、回
転可能な円板(駆動軸41)4が回転する。
Thus, by sequentially applying a voltage to each piezoelectric ceramic 2a, 2b12C, and continuing to repeatedly apply this voltage (by shifting the phase by 120 degrees, that is, by applying time-divided voltages) As shown in FIG. ) 4 rotates.

固定円板3よ回転可能な円板4との圧接摩擦力の調整に
際し°ζは、第4図(八)及び第4図(B)で示すよう
に、圧電セラミックス2a、2b、2Cに対しオフセッ
ト電圧を印加することで、対処し得る。つまり、第4図
(A)に示すように固定円板3と回転可能な円板4との
対向距離が広すぎる場合において、各圧電セラミックス
2a12b12(二に対し一定の電圧をそれぞれに印加
して、各圧電セラミックを一定長さ伸長させ、固定円板
3と回転可能円板4との対向距離を小さく設定する。
When adjusting the frictional force between the fixed disk 3 and the rotatable disk 4, °ζ is adjusted to This can be dealt with by applying an offset voltage. In other words, when the facing distance between the fixed disk 3 and the rotatable disk 4 is too wide as shown in FIG. , each piezoelectric ceramic is extended to a certain length, and the facing distance between the fixed disk 3 and the rotatable disk 4 is set small.

この間隙設定状態を常態設定とし、各圧電セラミックス
2a、2b、2cに対し、順次、電圧を印加することで
、固定円板3と回転可能円板4との圧接摩擦力を容易に
調整し得る。
By setting this gap setting state as a normal setting and sequentially applying a voltage to each piezoelectric ceramic 2a, 2b, and 2c, the pressure friction force between the fixed disk 3 and the rotatable disk 4 can be easily adjusted. .

尚、実施例では圧電セラミックス2を3本使用した例を
示したが、この発明はこれに限らず、例えば6本或いは
360木の圧電セラミックスをそれぞれ等角度量いて円
陣状に配置しても良い。圧電セラミックス2の本数が増
加する程、回転可能な円板4の円滑な回転力が得られる
Although the embodiment shows an example in which three piezoelectric ceramics 2 are used, the present invention is not limited to this, and for example, six piezoelectric ceramics or 360 pieces of piezoelectric ceramics may be arranged at equal angles in a circle. . As the number of piezoelectric ceramics 2 increases, smoother rotational force of the rotatable disk 4 can be obtained.

(へ)発明の効果 この発明では、以上のように、複数の圧電セラミックス
にて固定円板を支持し、この固定円板に対し回転可能円
板を所定路81開いて対向状に配置することとしたから
、各圧電セラミックスに対し順次、電圧を印加すること
で、固定円板と回転可能円板との圧接点を移動周回させ
、圧接摩擦力により回転可能円板を回転させ得る。
(F) Effects of the Invention In this invention, as described above, a fixed disk is supported by a plurality of piezoelectric ceramics, and a rotatable disk is disposed facing the fixed disk with a predetermined path 81 open. Therefore, by sequentially applying a voltage to each piezoelectric ceramic, the pressure contact point between the fixed disk and the rotatable disk can be moved and rotated, and the rotatable disk can be rotated by the pressure contact friction force.

従って、従来のように振動波を利用したI′Ii!擦力
による回転方式と異なり、振動波を発生させる弾性体が
不用であり、且つ圧電セラミックスの配置構成等の複雑
構造が解消される。また、回転可能円板と固定円板との
圧接摩擦力の調整も極めて簡易に実行できる。更に、圧
電セラミックスは積層型で且つ薄形4にの市販品を使用
し得るため、安価であり、モータ自体を薄型に出来る等
、発明目的を達成した優れた効果を有する。
Therefore, I'Ii! using vibration waves as in the past! Unlike the rotation method using frictional force, there is no need for an elastic body that generates vibration waves, and complicated structures such as the arrangement of piezoelectric ceramics can be eliminated. Further, the pressure friction force between the rotatable disc and the fixed disc can be adjusted very easily. Furthermore, since the piezoelectric ceramic is a laminated type and can be used as a commercially available thin product, it is inexpensive and has excellent effects such as the ability to make the motor itself thin, achieving the purpose of the invention.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図は、実施例超音波モータを示す要部断面図、第2
図(Δ)は、圧電セラミックスに電圧を印加した状態を
示す説明図、第2図(B)は、圧電セラミックスに電圧
を印加した状態を示す説明図、第3図は、固定円板と回
転可能円板との圧接点の移動を示す説明図、第4図(A
)は、固定円板と回転可能円板との対向距離を示す説明
図、第4図(B)は圧電セラミックスにオフセット電圧
を印加し、固定円板と回転可能円板との対向距離を小さ
く設定した状態を示す説明図、第5図は、従来の超音波
モータを示す概略構成図、第6図は、Irt来の超音波
モータの進行波を示す説明図、第7図は、従来の超音波
モータによる物体移・υJ原理を示す説明図である。 2:圧電セラミックス、  3:固定円板、4:回転可
能円板。 第1図 第2図(A) \11 第2図(’B”) 第3図 第4 図(A) 第4図(B) 第5図 第6図 第7図
Fig. 1 is a cross-sectional view of the main parts showing the ultrasonic motor of the embodiment, Fig.
Figure (Δ) is an explanatory diagram showing a state in which a voltage is applied to piezoelectric ceramics, Figure 2 (B) is an explanatory diagram showing a state in which a voltage is applied to piezoelectric ceramics, and Figure 3 is an explanatory diagram showing a state in which a voltage is applied to piezoelectric ceramics. An explanatory diagram showing the movement of the pressure contact point with the flexible disk, Fig. 4 (A
) is an explanatory diagram showing the facing distance between the fixed disc and the rotatable disc, and Fig. 4 (B) shows the application of an offset voltage to the piezoelectric ceramics to reduce the facing distance between the fixed disc and the rotatable disc. An explanatory diagram showing the set state, FIG. 5 is a schematic configuration diagram showing a conventional ultrasonic motor, FIG. 6 is an explanatory diagram showing a traveling wave of an ultrasonic motor since IRT, and FIG. 7 is an explanatory diagram showing a conventional ultrasonic motor. FIG. 2 is an explanatory diagram showing the principle of object movement/υJ by an ultrasonic motor. 2: Piezoelectric ceramics, 3: Fixed disk, 4: Rotatable disk. Figure 1 Figure 2 (A) \11 Figure 2 ('B'') Figure 3 Figure 4 (A) Figure 4 (B) Figure 5 Figure 6 Figure 7

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] (1)それぞれ所定角度を開いて配置された複数の圧電
セラミックスの一端を基板に、他端を固定円板に止着す
ると共に、駆動軸を備え回転可能に軸受された回転用円
板を前記固定円板に対し所定間隔を存して対向配置し、
前記圧電セラミックスに、時分割的に順次電圧を印加し
、前記固定円板と前記同転用円板の接点が周方向に移動
するようにして成る超音波モータ。
(1) One end of a plurality of piezoelectric ceramics, each arranged at a predetermined angle, is fixed to a substrate and the other end is fixed to a fixed disk, and a rotating disk equipped with a drive shaft and rotatably supported is fixed to the substrate. arranged opposite to the fixed disc with a predetermined interval,
An ultrasonic motor configured to sequentially apply a voltage to the piezoelectric ceramic in a time-sharing manner so that a contact point between the fixed disk and the diversion disk moves in the circumferential direction.
JP63151889A 1988-06-20 1988-06-20 Ultrasonic motor Pending JPH01318564A (en)

Priority Applications (1)

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JP63151889A JPH01318564A (en) 1988-06-20 1988-06-20 Ultrasonic motor

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JP63151889A JPH01318564A (en) 1988-06-20 1988-06-20 Ultrasonic motor

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH02142362A (en) * 1988-11-18 1990-05-31 Sumitomo Heavy Ind Ltd Actuator

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