JPH01316191A - Magnetic levitation carrier - Google Patents
Magnetic levitation carrierInfo
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Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は、磁気浮上搬送装置に関し、特に被搬送物を前
後、左右方向に移動可能な磁気浮上搬送装置に関する。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION (Field of Industrial Application) The present invention relates to a magnetic levitation conveyance device, and particularly to a magnetic levitation conveyance device that can move objects to be conveyed back and forth and left and right.
（従来の技術）
従来、ＩＣ製造工場のように高度なりリーン環境におけ
る搬送装置として、非接触的に搬送可能な磁気浮上搬送
装置が用いられている。(Prior Art) Conventionally, a magnetic levitation transfer device capable of non-contact transfer has been used as a transfer device in an advanced lean environment such as an IC manufacturing factory.
上記従来の磁気浮上搬送装置としては、搬送機本体内に
電磁石を設け、この電磁石の磁力により搬送アームを有
する浮上体を保持するとともに、搬送機本体は搬送機構
により左右方向に移動できるように構成され、さらに搬
送機本体と浮上体間にはシールパイプが介在されていて
、浮上体側は外界と完全な遮断状態に維持されている。The above-mentioned conventional magnetic levitation transport device is configured such that an electromagnet is provided in the main body of the transport machine, and the magnetic force of the electromagnet holds the floating body having the transport arm, and the main body of the transport machine can be moved in the left and right direction by the transport mechanism. Furthermore, a seal pipe is interposed between the carrier body and the floating body, so that the floating body side is maintained in a state of complete isolation from the outside world.
したがって、搬送機本体をシールパイプに沿って移動さ
せると、搬送アームもこれに従って移動することができ
るように構成されている。Therefore, when the carrier body is moved along the seal pipe, the carrier arm is also configured to move accordingly.
（発明が解決しようとする課題）
しかしながら、上記従来の磁気浮上搬送装置にあっては
、搬送アームが搬送機本体の移動方向にのみ移動するよ
うになっているため、すなわちシールパイプの軸方向（
左右方向）のみに移動するようになっているため、被搬
送物の搬送方向が限定され使い勝手が悪いという問題点
があった。(Problem to be Solved by the Invention) However, in the conventional magnetic levitation transfer device described above, the transfer arm moves only in the moving direction of the transfer device main body, that is, in the axial direction of the seal pipe (
Since it is designed to move only in the left and right directions, there is a problem in that the direction in which the object to be transported is transported is limited, making it difficult to use.
殊に、被搬送物を自動的に加工を行なう際には、被搬送
物であるワークを前後、左右方向に自由移動可能な磁気
浮上搬送装置の出現が待たれていた。In particular, when automatically processing objects to be transported, the emergence of a magnetically levitated transport device that can freely move the workpiece, which is the object to be transported, back and forth and in the left and right directions has been awaited.
（課題を解決するための手段）
本発明は、上記問題点を解決するためになされたもので
あって、その構成は外部と隔離されたチャンバ内に位置
し、かつ搬送アームを有する浮上体と、
上記浮」１体を浮上させるための電磁石を有し、かつ該
浮上体をシール部材を介在させて保持させる搬送機本体
と、
上記搬送機本体を左右方向へ移動させるための移動機構
と、
前記搬送機本体を回転させるための回転機構と、からな
ることを特徴とするものである。(Means for Solving the Problems) The present invention has been made to solve the above-mentioned problems, and consists of a floating body located in a chamber isolated from the outside and having a transfer arm. , a conveying machine body having an electromagnet for levitating one of the floating bodies and holding the floating body with a sealing member interposed therebetween; a moving mechanism for moving the conveying machine body in the left-right direction; The present invention is characterized by comprising a rotation mechanism for rotating the conveyor body.
（作用）
本発明は、搬送機本体が左右に移動することにより搬送
アームは左右方向に移動するとともに、搬送機本体が回
動することにより搬送アームは回動するように作用する
。(Function) In the present invention, the transfer arm moves in the left-right direction when the transfer machine main body moves left and right, and the transfer arm rotates when the transfer machine main body rotates.
（実施例） 以下、本発明を図面に基づいて説明する。(Example) Hereinafter, the present invention will be explained based on the drawings.
第１図は本発明装置の第１の実施例に係る断面図であっ
て、１は真空状態に維持されたチャンバａ内に位置し、
一端に搬送アーム２を備えた強磁性体からなる中空円筒
状の浮上体である。FIG. 1 is a cross-sectional view of a first embodiment of the device of the present invention, in which 1 is located in a chamber a maintained in a vacuum state,
It is a hollow cylindrical floating body made of ferromagnetic material and equipped with a transport arm 2 at one end.
３は搬送機本体であって、浮上体１の内径よりわずかに
小さい外径を有する非磁性体からなるシール部材として
のシールパイプ４と、このシールバイブ４の両端壁板５
，６の中心間に懸架された軸７と、この軸７に摺動自在
に設けられたキャリア８とから形成されている。Reference numeral 3 denotes a conveyor main body, which includes a seal pipe 4 as a seal member made of a non-magnetic material and having an outer diameter slightly smaller than the inner diameter of the floating body 1, and wall plates 5 at both ends of the seal vibe 4.
, 6, and a carrier 8 slidably provided on the shaft 7.
キャリア８は、浮上体１の両端に対応する位置の基体８
ａに電磁石９ａ〜９ｄおよび位置センサ１０ａ〜１０ｄ
を備えるとともに、その切欠かれた中央部に移動機構と
しての軸７に設けられたラック１１およびこれに噛み合
うビニオン１２が設けられている。The carrier 8 has a base body 8 at a position corresponding to both ends of the floating body 1.
a to electromagnets 9a to 9d and position sensors 10a to 10d
In addition, a rack 11 provided on the shaft 7 as a moving mechanism and a pinion 12 that meshes with the rack 11 are provided in the notched central part.
したがって、位置センサ１０ａ〜１０ｄの検出信号をフ
ィードバック制御して電磁石９ａ〜９ｄの励磁電流を制
御し、浮上体１を図示のように浮上保持するとともに、
モータ１３を遠隔操作により所定方向に回転してピニオ
ン１２を回動させると、キャリア８は軸７に沿って左右
方向に移動し、これによって浮上体１を左右方向（図面
の矢印イ方向）へ移動させることができる。このため、
搬送アーム２の先端に載置されている被搬送物すを左右
方向へ任意に移動させることができる。この際、シール
バイブ４内は両端盲板５，６で完全に密閉されているの
で軸７とキャリア８との摺動の影響はチャンバａ内に同
等影響を及ぼすことはない。Therefore, the detection signals of the position sensors 10a to 10d are feedback-controlled to control the excitation currents of the electromagnets 9a to 9d, and the floating body 1 is kept floating as shown in the figure.
When the motor 13 is rotated in a predetermined direction by remote control to rotate the pinion 12, the carrier 8 moves in the left-right direction along the shaft 7, thereby moving the floating object 1 in the left-right direction (in the direction of arrow A in the drawing). It can be moved. For this reason,
The object to be transported placed on the tip of the transport arm 2 can be arbitrarily moved in the left and right direction. At this time, since the inside of the seal vibe 4 is completely sealed by the blind plates 5 and 6 at both ends, the influence of sliding between the shaft 7 and the carrier 8 does not have the same effect on the inside of the chamber a.
図中１４は回転機構であって、上部はシールパイプ４に
固定され、下部はプーリ１６が設けられている垂直状の
軸部１５と、この軸部１５を軸支するためのチャンバａ
の底壁１７に設けられた穴１８に気密状に取付けられた
軸受部１９と、プーリ１６をベルトを介して回転させる
ためのモータ２０とから形成されている。In the figure, reference numeral 14 denotes a rotation mechanism, the upper part of which is fixed to the seal pipe 4, the lower part of which is a vertical shaft part 15 on which a pulley 16 is provided, and a chamber a for pivotally supporting this shaft part 15.
It is formed from a bearing part 19 airtightly attached to a hole 18 provided in a bottom wall 17 of the motor 20, and a motor 20 for rotating the pulley 16 via a belt.
軸部１５と軸受部１９との間には、ベアリングにより軸
支されているとともに、磁性流体シール２１によりシー
ルされている。The shaft portion 15 and the bearing portion 19 are supported by a bearing and are sealed by a magnetic fluid seal 21 .
したがって、モータ２０が回転角度センサ２２により回
転角度が検出されながら所定角度回転すると軸部１５が
回転しく図面の矢印口方向）、これにより搬送機本体３
が所定角度回動することができ、このため、搬送アーム
２の先端の被搬送物すは軸部１５を中心に任意角度回動
することができる。この際、軸部１５の回転はチャンバ
ａ内で行なわれるが、磁性流体シール２１を介して行な
われるので、チャンバａ内のクリーン環境が損われるこ
とがない。Therefore, when the motor 20 rotates by a predetermined angle while the rotation angle is detected by the rotation angle sensor 22, the shaft portion 15 rotates (in the direction of the arrow in the drawing), which causes the conveyor main body 3 to rotate.
can be rotated by a predetermined angle, and therefore the object to be transported at the tip of the transport arm 2 can be rotated by any angle around the shaft portion 15. At this time, the shaft portion 15 is rotated within the chamber a, but this is done through the magnetic fluid seal 21, so that the clean environment within the chamber a is not impaired.
本実施例によれば、搬送機本体３を左右方向に移動可能
にするとともに回動させるようにしたため、搬送アーム
２の先端に載置されている被搬送物すを前後、左右方向
に移動させることができ、極めて使い勝手の優れた磁気
浮上搬送装置とすることができる。According to this embodiment, since the conveyor main body 3 is made movable in the left-right direction and rotated, the object to be conveyed placed on the tip of the conveyance arm 2 can be moved in the front-rear and left-right directions. This makes it possible to provide a magnetic levitation transport device that is extremely easy to use.
第２図は本発明装置の第２の実施例を示す断面図であっ
て、上記第１の実施例の浮上体１と搬送機本体３とが逆
の関係になっているほかは同一に構成されている。FIG. 2 is a sectional view showing a second embodiment of the device of the present invention, which has the same structure as the first embodiment except that the floating body 1 and the conveyor body 3 are in an opposite relationship. has been done.
すなわち、浮上体１は搬送機本体３の内側に配置されて
いる。このため外側に位置する搬送機本体３は、一端開
口の筒部材２３と、この筒部材２３の側壁２３ａに一端
が取付けられ、他端が筒部材２３の開口端部にベローズ
２４を介して取付けられたシールパイプ４と、このシー
ルパイプ４の外側で、かつ筒部材２３内に設けられたキ
ャリア８と、キャリア８を左右方向に移動するための移
動機構としてのチェーン２４．スプロケット２５゜２５
とから形成されている。That is, the floating body 1 is arranged inside the carrier main body 3. For this reason, the conveyor main body 3 located on the outside has a cylindrical member 23 with one end open, one end attached to the side wall 23a of this cylindrical member 23, and the other end attached to the open end of the cylindrical member 23 via a bellows 24. a carrier 8 provided outside the seal pipe 4 and within the cylindrical member 23, and a chain 24 serving as a moving mechanism for moving the carrier 8 in the left-right direction. Sprocket 25°25
It is formed from.
キャリア８には、第１図に示した第１の実施例と同様に
電磁石９ａ〜９ｄ、位置センサ１０ａ〜１０ｄが設けら
れているが、これらは第１の実施例とは逆の配置となっ
ている。すなわち電磁石９ａ〜９ｄの内側に位置センサ
１０ａ〜１０ｄが設けられている。The carrier 8 is provided with electromagnets 9a to 9d and position sensors 10a to 10d as in the first embodiment shown in FIG. 1, but these are arranged in the opposite manner to the first embodiment. ing. That is, position sensors 10a-10d are provided inside the electromagnets 9a-9d.
チェーン２４は筒部材２３の底壁２３ｂに設けられ、図
示しないモータにより回転駆動される一対のスプロケッ
ト２５．２５に懸架されるとともに、チェーン２４の一
部が搬送機本体３の一部に連結されている。The chain 24 is provided on the bottom wall 23b of the cylindrical member 23, and is suspended from a pair of sprockets 25 and 25 that are rotationally driven by a motor (not shown), and a part of the chain 24 is connected to a part of the conveyor body 3. ing.
したがって、搬送機本体３はその底部に設けられた摺動
子２６．２６が、筒部材２３の底壁２３ｂに設けられた
ガイドレール２７に載置されてチェーン２４の左右方向
動作に従って移動する。このため、浮上体１も上記第１
の実施例と同様に左右方向に移動することができる。Therefore, the sliders 26 and 26 provided on the bottom of the conveyor body 3 are placed on the guide rails 27 provided on the bottom wall 23b of the cylindrical member 23, and move according to the movement of the chain 24 in the left-right direction. Therefore, the floating body 1 also
It can be moved in the left and right direction similarly to the embodiment.
一方、回転機構１４の軸部１５の上部は筒部材２３の底
壁２３ｂに固定されている。したがって、この軸部１５
を上記第１の実施例と同様に回動させることにより搬送
機本体３を回動させることができ、上記第１の実施例と
同様に、搬送アーム２の先端に載置されている被搬送物
すを前後、左右方向に移動させることができる。このた
め極めて使い勝手の優れた磁気浮上搬送装置とすること
ができる。On the other hand, the upper part of the shaft portion 15 of the rotation mechanism 14 is fixed to the bottom wall 23b of the cylindrical member 23. Therefore, this shaft portion 15
The conveyor main body 3 can be rotated by rotating as in the first embodiment, and the conveyor body 3 placed on the tip of the conveyor arm 2 can be rotated in the same way as in the first embodiment. You can move objects back and forth, left and right. Therefore, it is possible to provide a magnetic levitation conveyance device that is extremely easy to use.
（効果）
本発明は、上記のように搬送機本体を左右方向に移動可
能にするとともに、回動させるように構成したため、搬
送アームの先端に載置されている被搬送物を前後、左右
方向に自由移動させることができ、極めて使い勝手の優
れた磁気浮上搬送装置とすることができる等の効果を有
する。(Effects) As described above, the present invention is configured so that the main body of the transporter can be moved in the left and right directions as well as rotated. The magnetic levitation transport device can be moved freely, and has the advantage of being an extremely user-friendly magnetic levitation transport device.
第１図は本発明装置の第１の実施例に係る断面図および
第２図は本発明装置の第２の実施例に係る断面図である
。
１・・・・・・・・・・・・・・・・・・浮上体２・・
・・・・・・・・・・・・・・・・搬送アーム３・・・
・・・・・・・・・・・・・・・搬送機本体８・・・・
・・・・・・・・・・・・・・キャリア９ａ〜９ｄ・・
・・・・電磁石
１０ａ〜１０ｄ・・・位置センサFIG. 1 is a sectional view of a first embodiment of the apparatus of the present invention, and FIG. 2 is a sectional view of a second embodiment of the apparatus of the present invention. 1......Floating object 2...
・・・・・・・・・・・・・・・Transport arm 3...
・・・・・・・・・・・・Conveyor body 8...
・・・・・・・・・・・・Carrier 9a-9d・・
...Electromagnets 10a to 10d...Position sensor
Claims (1)
ームを有する浮上体と、 上記浮上体を浮上させるための電磁石を有し、かつ該浮
上体をシール部材を介在させて保持させる搬送機本体と
、 上記搬送機本体を左右方向へ移動させるための移動機構
と、 前記搬送機本体を回転させるための回転機構と、からな
ることを特徴とする磁気浮上搬送装置。[Claims] 1. A floating body located in a chamber isolated from the outside and having a transfer arm, and an electromagnet for levitating the floating body, and the floating body is interposed with a sealing member. What is claimed is: 1. A magnetic levitation conveying device comprising: a conveying machine body that is moved and held; a moving mechanism that moves the conveying machine body in the left-right direction; and a rotation mechanism that rotates the conveying machine body.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63146296A JP2622523B2 (en) | 1988-06-14 | 1988-06-14 | Magnetic levitation transfer device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63146296A JP2622523B2 (en) | 1988-06-14 | 1988-06-14 | Magnetic levitation transfer device |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01316191A true JPH01316191A (en) | 1989-12-21 |
| JP2622523B2 JP2622523B2 (en) | 1997-06-18 |
Family
ID=15404470
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63146296A Expired - Lifetime JP2622523B2 (en) | 1988-06-14 | 1988-06-14 | Magnetic levitation transfer device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2622523B2 (en) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04130190U (en) * | 1991-05-21 | 1992-11-30 | 日本真空技術株式会社 | Movable arm for magnetic levitation transport device |
| US5397212A (en) * | 1992-02-21 | 1995-03-14 | Ebara Corporation | Robot with dust-free and maintenance-free actuators |
| CN107398895A (en) * | 2017-09-20 | 2017-11-28 | 柳州欧卡机器人有限公司 | A kind of rotatable industrial robot of both arms |
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1988
- 1988-06-14 JP JP63146296A patent/JP2622523B2/en not_active Expired - Lifetime
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Also Published As
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|---|---|
| JP2622523B2 (en) | 1997-06-18 |
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