JPH01315158A - 静電チャック - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野］ 本発明は、ウェハを静電気力により吸着する静電チャッ
クに関するものである。

［発明の概要］ 本発明は、保持台上に被覆された誘電体層上に配置され
たウェハを、静電気力により吸着する静電チャックにお
いて、保持台に空孔部を設け、測温素子を支持するホル
ダーを該空孔部に挿入せしめ、該ホルダーを弾性体によ
りウェハと接触させることにより、ウェハの温度測定の
精度を高め、かつ、保持台よりホルダーの着脱が容易で
あることから保持台の交換が簡便に行なわれる静電チャ
ックを提供するものである。

［従来の技術］ 従来の静電チャックは、第３図に示す様に、表面に誘電
体層２が被覆された保持台３上にウェハｌが配置され、
前記保持台３とウェハ１に接続する電極６との間に電源
５により電圧が印加され、保持台３にウェハ１を静電気
力により吸着固定するものであり、又加工中にウェハ１
の温度を測定するために、熱電対に代表される測温素子
４を、保持台３の側面に設けられた挿入孔１２に挿入し
、接着材７により固定している。

ここで、加工中のウェハ１の温度測定は、誘電体層２及
び保持台３を介して、測温素子４により行なっていた。

又、保持台３の交換では、接着材７により測温素子４が
挿入孔１２に固定されているため、その都度接着材７を
溶解あるいは軟化せしめて測温素子４を取りはずしてい
た。

［発明が解決しようとする課題］ しかしながら、従来の静電チャックにおいては、ウェハ
の温度を、誘電体層及び保持台を介して測温素子が検出
するため、実際のウェハ温度と測定温度との差が大きく
なるという問題があった。

又、保持台を交換する際に、測温素子が接着材により挿
入孔に固定されているため、その都度接着材を溶解もし
くは軟化せしめて測温素子を取りはずす必要があり、大
変な手間を必要とするとともに、測温素子を破損する等
の問題があった。

［課題を解決するための手段１ 上記課題を解決するために本発明では、保持台に空孔部
を設け、測温素子をホルダーに支持させ、該ホルダーを
空孔部に挿入し、ホルダー下部に設置した弾性体の弾性
力により、ホルダーをウニ八方向に押し上げ、保持台上
に設置するウェハにホルダーを接触せしめる構造とした
。

［作用］ 以上述べた様に本発明によれば、測温素子を支持するホ
ルダーが直接ウェハに接触する構造となっており、加工
中のウェハ温度を測温素子にて正確に測定できるもので
ある。

又、保持台とホルダーとは、構造上着脱が容易に行なわ
れ、保持台の交換に於いて、従来の静電チャックでの交
換作業の繁雑さ及び測温素子の破損等の障害を解決し、
極めて簡便に保持台を交換できるものである。

〔実施例１ 以下に本発明の実施例について、図面に基づいて詳細に
説明する。

第１図は、本発明の一実施例による静電チャック装着を
示す説明図であり、静電チャックは、中央に空孔部１ｏ
を有し、かつ絶縁体を被覆して形成した誘電体層２を有
する保持台３と、熱電対に代表される測温素子４と、該
測温素子４を支持するホルダー８と、スプリングに代表
される弾性体９と、ウェハ１に電圧を印加するための電
極６と、電源５とから構成され、測温素子４は、ホルダ
ー８に設けられた支持穴１１に挿入された状態で接着材
７により固定され、該ホルダー８は保゛持合３の空孔部
１０にウェハ１方向に摺動可能に配置されたものである
。

第１図（ａ）は、本発明による静電チ゛ヤックにウェハ
１を装着する前ゐ状態を示しており、ホルダー８が空孔
部１０により保持台３に配置され、ホルダー８の下部に
配置された弾性体９の弾性力によりホルダー８の上部が
保持台３から飛び出している。

第１図（ｂ）は、本発明による静電チャックにウェハ１
を装着した状態を示しており、ウェハ１を保持台３に押
し付けることにより、ホルダー８が下方に押し下げられ
、かつ、ウェハー１が電極６に接触する。この状態に於
いて電源５を印加すると、静電気力によりウェハー１は
保持台３に吸着固定され、ホルダー８は弾性体９の弾性
力によりウェハ１に接触した状態を保っている。更に、
ホルダー８として金属材料に代表される高熱伝導率の物
質を用いており、ウェハ１の温度をホルダー８を介して
測温素子４で正確に測定出来る事から、加工中のウェハ
１の温度管理が精度よく実現出来ている。

又、ホルダー８は、保持台３に着脱自在に嵌合されてい
ることから、保、持合３の交換作業に於いて、前述した
従来の静電チャックでの交換作業の繁雑さ及び交換作用
での測温素子４の破損が解決され、極めて簡便に保持台
３が交換される。

第２図は、本発明の他の実施例における静電チャックの
断面図であり、測温素子４を支持するホルダー８をウェ
ハ１に電圧を印加する電極機能を付加したもので、保持
台３とホルダー８との間に電源５により電圧を印加し、
ウェハｌを保持台３に静電気力により吸着固定している
。この様にして、電極６を不用とした静電チャックを実
現したものである。

尚、保持台に複数の空孔部を設け、測温素子を支持する
ホルダーを複数設置することも、本発明には何ら支障が
ないことは言うまでもないことである。

［発明の効果］ 以上述べた様に本発明によれば、ウェハに測温素子を支
持するホルダーを接触させるため、ウニへの実際の温度
を測定でき、良好なウェハの温度管理が達成されるとと
もに、保持台にホルダーを着脱可能に設置していること
から、測温素子の破損等がなく極めて簡便に保持台を交
換できる静電チャックが実現されるもので、極めて工業
的に有用な発明である。

装着を示す説明図、第２図は“本発明の他の実施例にお
ける静電チャックの断面図、第３図は従来の静電チャッ
クの断面図である。

１・・・ウェハ ２・・・誘電体層 ３・・・保持台 ４・・・測温素子 ５・・・電源 ６・・・電極 ７・・・接着材 ８・・・ホルダー ９・・・弾性体 ｌＯ・・・空孔部 １１・・・支持穴 １２・・・挿入孔 以上 出願人　セイコー電子工業株式会社

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 　保持台表面に絶縁物を被覆して誘電体層を形成し、前
   記誘電体層上に配置されたウェハを静電気力により吸着
   する静電チャックにおいて、ウェハの温度を検出するた
   めの測温素子と、前記測温素子を支持するためのホルダ
   ーと、前記ホルダーをウェハに接触させるための弾性体
   と、前記ホルダーをウェハー方向に摺動可能に挿入する
   ための空孔部を設けた保持台とから構成され、前記空孔
   部により前記ホルダーを前記保持台に配置せしめ、前記
   弾性体の弾性力により前記保持台に配置されたウェハに
   前記ホルダーを接触せしめることを特徴とする静電チャ
   ック。