JPH01310705A - 脱気・脱泡装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野］ 本発明は感光性塗布液を塗布装置で塗布する際、塗布品
質を改良するだめの該塗布液の処理装置に関し、さらに
詳しくは該塗布液が塗布される前に該塗布液中に含まれ
る溶存空気および微細気泡を同時に除去するため該塗布
液の処理装置に用いられる脱気・脱泡装置に関するもの
である。

〔従来の技術］ 一般にある種の液体は、塗布に際しては該液体中に溶存
する空気および含有される気泡を除去することが必要で
ある。例えば感光材料用の感光性塗布液は溶存空気おら
び気泡が含まれたまま塗布装置により基材に塗布される
と、塗布装置によっては該感光性塗布液中の溶存空気の
析出や、通常の場合には該感光性塗布液に含まれる気泡
によって縦ずじ、ピンホール等塗布面に気泡による故障
を生じ基材に均一な感光膜を形成することができないた
め、基材に塗布される前に該感光性塗布液中に溶存する
空気および含有される気泡を除去することが必要である
。

従来これに対処する方法として先ず液体中に溶存する空
気の除去（脱気と呼ぶ）を行うための方法としては多数
知られているが、その代表的な例は該液体を減圧下に置
く方法であり、その例としては、特公昭５１３５２５９
号、特開昭５６−１４７６０５号、特開昭５６−７６２
１．３号、特開昭４９−９７００３号、特開昭５０−１
５９４６９号等の公報に開示されている装置が知られて
いる。

また多孔質性高分子膜を用いる方法もあり、その例とし
ては、特開昭５１−２８２６１号、特開昭５１−１２３
７８５号、特開昭５５−１２１８０６号、特開昭５７−
１６５００７号、特開昭５８−８］、４０４号２等の公
報に開示されている方法あるいは装置が知られている。

他方液体中に含有される気泡を除去する（脱泡と呼ぶ）
方法は多数知られている。このような脱泡処理を行うだ
めの装置としては感光性塗布液を用いる場合は、従来、
特公昭４７−６８３５号。

特公昭５７−６３６５号、特開昭５３−１３９２７４号
、特開昭５９−６９１０８号、特開昭５９−９２００３
号、特開昭５９−１５６４０５号。

特開昭６１−５０６０８号等の公報に開示されている超
音波脱泡（超音波処理と呼ぶ）装置が知られている。

（発明が解決しようとする課題］ しかしながら前者の脱気方法のうち、該液体を減圧下に
置く方法は該液体中に溶存する空気を除去することは出
来ても、微細気泡が該液体中に発生ずるという現象が起
きている。又多孔質性高分子膜による方法では、感光性
塗布液を処理する場合発泡現象は見られないが、数１０
０μｍの流入気泡を除去することは出来ない。従ってこ
れらの方法および装置は該液体中に溶存する空気を除去
することは出来ても、大きさにもよるが気泡を除去する
ことは極めて困難である。従って、上記のようにして生
成した微細気泡およびそれらが合体して出来た気泡や、
該液体中に含有された気泡は例えば感光性塗布液を用い
る場合には塗布装置により基材に塗布されると、均一な
感光膜を形成することが出来ないという問題が起こる。

また後者の脱泡方法は該感光性塗布液中に含有される気
泡は除去出来ても、該液中に溶存する空気を除去するこ
とは出来ない。脱泡処理された該感光性塗布液はその中
に溶存する空気が飽和あるいは過飽和になっているので
例えば該感光性塗布液の液温が上昇したり、剪断力が加
わると溶存した空気が析出し、基材に塗布した時に均一
な感光膜を形成することが出来ないという問題が起こる
。

更に、多孔質性高分子膜チューブ（以下チューブという
）を用い、その中を感光性塗布液を通し、該チューブの
外側を減圧して、該感光性塗布液中の溶存空気および微
細気泡を同時に除去する該チューブ（特願昭６ｌ−８３
２２）は、成形時に用いる原料の素材および分子量、肉
厚、空孔率、孔径などの条件によりその除去能力が異な
り、一般に液体の透過が起らない範囲では、用いる原料
の素材９分子量が決まれば、該チューブの空孔率は高い
ほど、孔径は大きいほど、肉厚は薄いほど除去能力は高
くなり、該チューブの単位長さ当りの処理量を多くする
ことが出来るというメリットがある。

しかしながらこのようなチューブは粘度の高い感光性塗
布液を用いた場合や、該チューブのあとに続く流路での
圧力損失が大きい場合には、チューブ内の圧力が上り該
感光性塗布液が該チューブ壁を透過する前にチューブが
破裂することがある。

また処理量を多（するため、チューブを長くすると圧力
損失が大きくなったりしてついには同様にデユープの破
裂が起こることがある。

チューブの破裂を防止し、感光性塗布液の処理量を多く
する場合には多数のチューブを並列にし、モジュール化
する方法が考えられるが、モジュールを構成するチュー
ブについては次のように考えることが出来る。

即ちチューブが決まれば、ある処理量において、最も効
率的な脱気程度を得るための最適なチューブの長さが存
在する。例えば同じ処理量において、チューブの全長を
同じにした時、多数の短いチューブを複数本並列にした
場合は脱気程度は低くなる。又長いチューブを１木用い
た場合、長ずぎると、長さの割には脱気程度が高くなら
ないという現象が起こる。これはチューブはある長さま
では効率的に脱気することが出来るが、それ以上の長さ
になると、溶存する空気が少なくなった液をさらに脱気
しなければならないようになるので長さの割には効率が
落ちるためと考えられる。

従って前述のように処理量を多くするために、最適な長
さのチューブを束にしたモジュールが有効であるが、モ
ジュールの構造あるいはチューブの収納、配置によって
は、複数本のチューブのそれぞれの中を流れる感光性塗
布液の流動状態が異なるためモジュール全体として所望
の脱気能力が得られず、脱気効率が低下したり、複数本
のチューブ同士が接触していると、チューブの脱気に有
効な外表面積が減じられ、同様に脱気効率が低下したり
、さらに複数本のチューブのうちかなり感光性塗布液の
流動が悪いデユープが存在すると、別の感光性塗布液に
切換える時の洗浄において多大な労力１時間及び洗浄液
を要したり、あるいは感光性塗布液や洗浄液の廃却にお
いては、重力によるスムースな流出が困難となりチュー
ブの中に残存するため、特に洗浄後、感光性塗布液に切
換える時多量の該塗布液が必要となるばかりでなく高価
な該塗布液の場合はそれがロスとなり経済的に不利とな
るという諸々の欠点を有している。

本発明は以上の如き事情に基づいてなされたものであっ
て、その目的は感光性塗布液中に存在する溶存空気およ
び微細気泡を同時に除去し、溶存空気および微細気泡に
より発生ずる塗布故障を防止し、基材に均一な感光膜を
形成するための該感光性塗布液の脱気・脱泡処理装置に
おいて上記種々の欠点を解消し、チューブの破裂を防止
し、脱気効率を上昇させ、洗浄の際の能率化、経済化を
計った脱気・脱泡装置を提供することにある。

〔課題を解決するめだめの手段および作用］かかる本発
明の」二記目的は、調製した感光性塗布液を塗布装置に
より基材に塗布する前に、溶存空気および微細気泡を含
む該感光性塗布液を多孔質性高分子膜複合チューブの内
側に通し、該チューブの外側を減圧すると共に、該感光
性塗布液を加圧しながら該感光性塗布液中の溶存空気お
よび微細気泡を同時に除去する感光性塗布液の脱気・脱
泡装置において、多数本の多孔質性高分子膜複合チュー
ブを並列に平面的に接触させて円筒体の周囲に螺旋状に
巻き、該円筒体の両端部に該感光性塗布液の出入口を設
けたことを特徴とする脱気・脱泡装置により達成される
。

本発明の上記目的は前記脱気・脱泡装置において螺旋状
に巻く多数本の該多孔質性高分子膜複合チューブの立ち
上がり勾配が４°以上であることによってより効果的に
達成される。

本発明の上記目的は更に該多数本の多孔質性高分子膜複
合チューブが並列に平面的に接触させたものを更にその
上に重ねて多段に設けたものである場合においても同様
に達成される。

本発明における多孔質性高分子膜複合チューブとは、脱
気・脱泡の分離膜として用いられる多孔質性高分子膜チ
ューブがその外側に補強用の高分子材料からなる多孔質
性膜設けたものをいう、補強材の多孔質性高分子膜はそ
のみかりの肉厚は０．３〜１．５ｍｍ、空孔率が５〜３
０％、平均孔径が１〜１０μｍであり、補強材の高分子
材料累月としてはポリ四フッ化エチレン樹脂又はポリエ
チレン樹脂を用いることが望ましい（特願昭６２−３１
．５２７６）。

本発明における該多数本の多孔質性高分子膜複合チュー
ブを平面的に接触させて円筒体の周囲に螺旋状に巻く場
合、巻きの立上がり匂配としては洗浄時のことを考える
と４°以上の立上り勾配を有することが望ましい。又該
円筒体の両端部に該感光性塗布液の出入口を上下に設け
る場合には下端を人口、上端を塗布液出口にすることが
望ましい。

本発明において複合チューブが螺旋状に巻かれる円筒体
は２１０ｍｍの多数の孔を有するものを用いると装置軽
量化及び減圧運転上好ましい。

本発明において多数本の複合チューブを並列に平面的に
接触させたり、更にそれらを積み重ねて多段に設けたり
する場合、それらを束ねて紐状のものでまとめる方法を
用いてもよいが、該チューブを安定させるガイドを螺旋
状に該円筒体の周囲に設けてそれに沿って多数の複合チ
ューブを設けてもよい。

本発明において該チューブの内側を通る該感光性塗布液
を加圧するということは、該塗布液中の微細気泡を脱気
された該塗布液中へ溶解消滅させるという効果を有する
。

すなわち本発明の脱気・脱泡装置は感光性塗布液を塗布
する前に、多孔質性高分子膜複合チューブにより脱気お
よび脱泡処理を同時におこさせることが出来、処理され
た該塗布液を基材に塗布した場合、均一な感光膜が得ら
れるという感光材料の木質的仕様を満すのめでならず、
多数本の該複合チューブを用いた時、各チューブ内の流
動を均一にし、大量の処理を効率よく出来、さらに切換
。

洗浄時においてはスムーズな排出が可能となり、労力１
時間、費用等を低減させた装置にすることが可能である
ことに最大の特徴がある。

一般に従来の多孔質性高分子膜チューブによる脱気・脱
泡装置Ａは第４図に示すようなフローシー］・となって
おり、脱気・脱泡すべき液体を通ず多孔質性高分子膜チ
ューブ１が内蔵された減圧室２と、この真空度を圧力セ
ンサー３によって検出して制？？１１回路４によって作
動あるいは停止させる真空ポンプ５と、脱気・脱泡すべ
き液体の送液系とによって構成されている。上記脱気・
脱泡装置Ａによって液体６に溶存する気体および微細気
泡を除去する場合には、減圧室２の圧力を所定の範囲の
減圧状態に保持しながら、バルブ８を調節することによ
り液体６をポンプ７を用い加圧しながらチューブ内を所
定の速度で通過させる。

液体中に溶存する気体を脱気する時、脱気される量の程
度を表す言葉として「脱気度」を定義し、脱気される溶
存気体が多い時は脱気度が高いと呼び、少ない時は脱気
度が低いと呼ぶことにする。

脱気度に影響を及ぼず要因のうちチューブにっいて言え
ば、内径はより小さく、肉厚はより薄く、液体との接触
面積はより大きい方が脱気されやすい。

一方、減圧室２内の真空度は高いはど脱気されやすいが
、デユープの孔径、空孔率によっては液体が透過する場
合がある。この場合、液体の表面張力が高いほど、チュ
ーブの孔径、空孔率から言うと孔径は小さいほど、空孔
率も低いほど、液体の透過は起りにくい。従ってチュー
ブからの液体透過は、チューブの材質、孔径および空孔
率が決まればチューブ内外の圧力差、液体の表面張力と
密接な関係がある。

液体がチューブを透過しない範囲で、チューブの材質、
内径、肉厚を同じにした場合、脱気度は減圧室内の真空
度で決定される。しかしながらチューブは長いほど脱気
度は高くなるが、逆に脱気すべき液体のチューブ内での
圧力損失が大きくなるので、この圧力損失を充分考慮に
入れなければならない。次に脱気すべき液体について言
えば液体の流量は少ないほど脱気されやすい。これは液
体のチューブ内での滞留時間が長いほど脱気されやすい
ことから理解出来る。又滞留時間が同じであれば、チュ
ーブ内を流れる流速が大きいほど脱気されやすい。さら
に液体の粘度は低い方が脱気されやすい。これはチュー
ブ壁での境膜層の厚みが薄くなることや拡散係数が大き
くなることから理解出来る。

一方該液体中に存在する微細気泡はその大きさにもよる
が、チューブの中を通過する間に除去される。

脱泡の程度はチューブの材質、肉厚および内径。

減圧室の真空度、液体の流量、粘度が決まれば脱泡すべ
き液体中に存在する微細気泡がチューブの内壁にいかに
接近するかに影響される。

以上チューブの中に液体を通す場合について述べたが、
感光性塗布液の場合、その粘度が高かったり、チューブ
のあとに続く流路での圧力損失が大きくなったりする時
にはチューブには過度の圧力が加わりチューブの耐圧力
を超え、破裂することがあり、該塗布液の処理が不可能
になることがある。

従って、感光性塗布液を処理する時、チューブのあとに
続く流路の圧力損失を小さくしたり、デユープでの圧力
損失を小さくすることが重要であるが、それが困難な場
合は、デユープの耐圧力性を高める必要がある。

この手段としてチューブの外側に補強材を設ける方法が
あるが、この時チユーブの処理能力を出来るだけ損なわ
ない構造にする必要がある。

上記の観点よりチューブの外側に設ける補強材は一般的
には多孔質性の構造が好ましく、その素材としては高分
子材料が好ましい。

補強材をチューブの外側に設りた脱気・脱泡用複合チュ
ーブの耐圧性はほとんど補強材に依存する。

このようにした多孔質性高分子膜複合チューブは複数の
チューブを接触させても、外側に設けた補強材が接触す
るのみで、脱気・脱泡を実質的に行なう内側のチューブ
の外表面積を減少させることはないので、その点におけ
る脱気・脱泡効率を低下させることはない。

なお脱気処理および脱泡処理が同時におこなわれている
デユープの内側の感光性塗布液を加圧することば、流入
気泡が脱気をされている該感光性塗布液に溶解され、脱
泡処理されるという効果をも生み、脱泡能力もあげるこ
とができ、その加圧程度は０．５ｋｇ／ｃ［ゲージ圧以
上が好ましい。

本発明において複合チューブの外側を減圧する方法はい
かなる方法でもよく、感光性塗布液の場合の圧力は通常
３００　Ｔｏｒｒ〜Ｉ　Ｔｏｒｒが好ましい。

このようにして、脱気・脱泡能力を有していても耐圧力
性に劣るチューブは、その外側に脱気・脱泡能力を損な
わない構造の該多孔質性の補強材を設は複合チューブと
することにより、耐圧）Ｊ性を高めることが出来、チュ
ーブに加わる圧力が高くなってもその脱気・脱泡能力の
維持が可能となるのみならず、感光性塗布液中の微細気
泡を脱気された該塗布液中へ溶解消滅させることが出来
るという効果も生み出すし脱気・脱泡能力を増大させる
ことが出来るばかりでなく、複合チューブを互いに接触
させても脱気・脱泡効率を低下させることがないので、
大量の感光性塗布液の処理のために複数本のチューブを
用いて平面的に接触させてモジュールを形成した場合に
は、コンパクトな装置にすることが出来る。しかしなが
ら多数本の多孔質性高分子膜複合チューブを並列に配す
るモジュール化においては、該デユープの配し方によっ
ては、脱気・脱泡効率が低下したり、切換、洗浄におい
て、多大の労力２時間、費用等を要する。

そこで本発明は、該複合チューブを並列に平面的に接触
させて円筒体の周囲に螺旋状に巻き、この時該チューブ
は４°以上の立ち上がり勾配をもたず。さらに該多数本
多孔質性高分子膜複合チューブを並列に平面的に接触さ
せたものを更にその上に重ねて多段に設けることを行う
脱気・脱泡装置を発明した。又これらのチューブを固定
するのに該円筒体の周囲にガイドを螺旋状に設けたり、
該複合チューブが螺旋状に巻かれている円筒体に多数の
孔を設けたものを用いる等を行うことも出来る。このよ
うにして、大量の感光性塗布液の処理を可能としたモジ
ュール化された脱気・脱泡装置を製作することによって
、コンパクトでしかも脱気・脱泡効率の低下を防止する
と共に切替・洗浄時においてもスムーズな排出が可能と
なり、労力２時間、費用等の大巾な低減が可能となる装
置にすることが出来る。

次に本発明に係わる脱気・脱泡装置の実施態様を第１図
によって説明する。但し本発明は本実施例に限定される
ものではない。

第１図に示す脱気・脱泡装置９はガイド１０及び多数の
孔１１を有する円筒体１２のまわりに第２図（ａ）に示
すように、並列に平面的に接触したものを更にその上に
重ねて多段に設けた多孔質性高分子膜からなる多数本の
複合チューブ１３が立ち上がり勾配を有し螺旋状に巻き
つＬノられたモジュール１４、減圧室１５．塗布液の人
口１６ａ、出口１６ｂ、排気管１７．真空ポンプ１８．
圧力センサー１９．および制御回路２０で構成され、モ
ジュール１４は減圧室１５の中に内蔵されている。

該複合チューブ１３の出入口２１ａ、２１ｂはそれぞれ
塗布２２液の入口１６ａ、出口１６ｂに開口している。

減圧室１５は真空ポンプ１８により排気管１７を通り排
気され、圧力センサー１９および制御回路２０により所
望の真空度に保たれる。塗布液２２ａは塗布液人口１６
ａより０．５ｋｇ　／　ｃ＋Ｍ以上に加圧されて供給さ
れ、該複合チューブの入口２１ａへ導かれ円筒体１２に
スパイラル状に巻かれた１本の内径６ｍｍ程度の多数本
よりなる複合チューブ１３の中を通過する間に、該塗布
液２２ａの中の溶存空気は脱気され、モジュール１４の
塗布液出口１６ｂへと到達し、脱気された塗布液２２ｂ
となる。モジュール１４の中を通過する間に除去された
溶存空気は減圧室１５の真空度を低下さゼるが、この時
圧力センサー１９が真空度を検出して、制御回路２０に
より真空ポンプ１８を作動させ、減圧室１５を所望の真
空度に保つようにする。

なおモジュール１４を形成するスパイラル状多孔質性高
分子膜複合チューブは、第２図（ｂ）に示すように１分
離用チューブ２４はその材質がポリ四フッ化エチレン樹
脂であり、内径６ｍｍ、肉厚は０．２５ｍｍのものが用
いられているが、耐圧力性を向」ニさせると共に該チュ
ーブ２４の接触にょる脱気能力の低下を防止するため、
このチューブの外側にポリ四フッ化エチレン樹脂製の多
孔質体よりなる補強用チューブ２３を設け、複合体とし
ている。

補強用チューブ２３を分離用チューブ２４の外側に設ｉ
Ｊた脱気・脱泡用複合デユープの耐圧性はほとんど補強
用チューブ２３の強度に依存するが、補強用チューブ２
３のみかけの肉厚は０．２〜２ｍｍ、好ましくは０．　
３〜１．　５ｍｍ、空孔率は３〜４０％、好ましくは５
〜３０％、平均孔径は０．５〜２０μｍ、好ましくは１
〜１０μｍが望ましい。

なお、分離用チューブ２４と補強用デユープ２３を一体
化した複合チューブ１３を用いても多孔質性高分子膜複
合チューブ１３の範囲に含まれろことは言うまでもない
。

第３図は上記効果を確認するための実験装置のフローシ
ートを示すもので図中２５は調製タンク、２６はポンプ
、９は該複合デユープを収納した脱気・脱泡装置、２７
はバルブである。感光性塗布液　２２はポンプ２６によ
り攪拌機２８が設けられた調製タンンク２５から吸引さ
れ脱気・脱泡装置９に供給される。この時脱気・脱泡装
置９内に設置された複合チューブ１３の外側は第１図に
示すように真空ポンプ１８（図示せず）により減圧下に
置かれる。

しかして脱気・脱泡装置９の出側に加圧用のバルブ２７
をポンプ２６と脱気・脱泡装置９の間には圧力計２９を
それぞれとりつけである。

なお加圧用バルブ２７の出側から流出する感光性塗布液
は脱気度及び泡から溶存空気への置換性を８周べるため
サンプリングされる。

これにより脱気・脱泡装置の脱気能力及び装置の洗浄性
を評価しようとするものである。

〔実　施　例〕

以下本発明の１実施例について説明するが、本発明は本
実施例のみに限定されるものではない。

実施例−１ ２１−１□ 第１図に示ずような脱気・脱泡用複合チューブを収納し
た脱気・脱泡装置を第３図に示すように配した実験装置
を用いて、第１表に示す組成と物性の感光性塗布液（液
温２０°Ｃ）の処理を実施し第　　　１　　　表 脱気・脱泡装置の仕様及び条件 （１）複合チューブ外真空度　　５０Ｔｏｒｒ±２Ｔｏ
ｒｒ（２）複合チューブ ａ９分離用デユープ　材質：ポリ四フッ化エチレン樹脂 内径：６ｍｍ 肉厚：０．２５ｍ＋ｎ ｂ、補強用チューブ　材質：ポリ四フッ化エチレン樹脂 内径：　６．５　ｍｍ 肉厚：０．８胴（みか けの） 空孔率：２５％ 平均口径：１〜２μｍ 脱気・脱泡装置９に加える圧力を０　、　５　ｋｇ　／
　ｃ＋ｆｉゲージ圧とし上記条件にて感光性塗布液の処
理量を変化させた場合、脱気・脱泡装置で脱気された感
光性塗布液の脱気塵を調べるため、加圧用バルブ２７の
出側の配管から脱気液をサンプリングし。

溶存酸素濃度を溶存酸素濃度計で測定した結果を第５図
に示す。脱気・脱泡装置９では多数の複合チューブを用
いているが、複合チューブ１本当りに換算した結果とし
ている。

脱気塵を表す言葉として「相対溶存空気量」を次のよう
に定義する。

相対溶存空気量１００パーセントとは、ある温度（この
場合は２０°Ｃ）で脱気すべき液体を充分攪拌し、溶存
空気を飽和させ、溶存酵素濃度を溶存酸素濃度計で測定
した時にそれが示す値を言い、脱気された液体の溶存空
気量については、該脱気液体を脱気される前の飽和溶存
空気含有の液体と同じ温度（この場合は２０°Ｃ）にし
、同様に溶存酸素濃度を溶存酸素濃度計で測定し、この
時の値を相対溶存空気量１００パーセントの液に対する
相対値として表し、相対溶存空気量と呼びパーセントで
表示する。従って相対溶存空気量が小さいほど、脱気塵
は高いと言える。

次に脱気・脱泡装置９をとり除き、該装置９で使われて
いる複合チューブと同様にして成形された１本の複合チ
ューブをセットした実験装置（図示せず）でチューブ内
に加える圧力をバルブ２７により変化させて、該塗布液
が透過する圧力及び該複合チューブが破裂する圧力を調
べたところ、塗布液透過の圧力は約６　、　０　ｋｇ　
／　ｃ＋ｆｉゲージ圧、チューブの破裂する圧力は約１
０ｋｇ／ｃＪゲージ圧であった。

比較例−１ 実施例−１において、脱気・脱泡装置内に収納された多
数の複合チューブの代りに１本の複合チューブを用いた
以外は実施例−１と同様の条件で２５　　　　　　　　
　　　、、ｒ 脱気塵を測定した。結果を同様に第５図に示す。

第５図において脱気処理量に対し実施例は従来方法の比
較例と比較して殆ど同じ相対溶存空気量を示しているが
、多数本による全体の脱気処理量が多くなる場合は明ら
かに相対溶存空気量は比較例に比して格段に小さい価に
なる。即多数本の効果が出てくる。

実施例−２ 第１図に示すような多数の脱気・脱泡用複合チューブを
収納した脱気・脱泡装置を、第３図に示すように配した
実験装置において、調製クンク２５とポンプ２６の間及
び脱気・脱泡装置９の入側配管に夫々液抜きバルブ３０
．３１を設け、第３表に示す組成と物性の感光性塗布液
の処理を実施した後、減圧室を大気圧に解放すると共に
、ポンプを停止し処理を停止した。

次に脱気・脱泡装置９の入側配管に設けだ液抜きバルブ
３１を開り、流出する感光性塗布液の量を測定した結果
、脱気・脱泡装置９及び配管にホールドアツプされる量
を計算した値とほぼ一致しまた調製タンク２５とポンプ
２６の間に設けた液抜きバルブ３０を開け、調製タンク
２５及び配管中の感光性塗布液を排出したのち該調製タ
ンクン２５及び配管中の感光性塗布液を排出したのち該
調製タンク２５を洗浄した。次に加圧用バルブ２７以外
のバルブ３０．３１を閉め、メチルエチルケトン及びメ
チルセルソルブアセテートの混合液を該タンク２５に投
入し、ポンプ２６を作動させ、該複合チューブの洗浄性
をみるため加圧用バルブ２７の出側配管より液が流出し
始めると同時にサンプリングし、分光々度肝により吸光
度を測定した。結果を第６図に示す。

比較例−２ 実施例−２において、脱気・脱泡装置内の円筒体をとり
除き、多数の該チューブに折れかないように単に収納し
た以外は実施例−２と同様の条件で洗浄性をみるための
サンプリングをし、分光々度肝により吸光度を測定した
。結果を同様に第６図に示す。尚脱気脱泡装置９の入側
管に設けた液抜バルブ３１により液抜きも実施しておい
た。

以上の実験例から、第５図かられかるように多数の多孔
質性高分子膜複合チューブを用いモジュール化した脱気
・脱泡装置の脱気処理能力は、−木の複合チューブと比
較した場合多少悪いがほとんど変りがなく、多数本をモ
ジュール化することにより大量処理が効果よく行なわれ
ることがわかる。

さらに第６図から本発明の脱気・脱泡装置は洗浄性は極
めて良く、従来に比して洗浄時間の短縮も出来ることが
わかる。

〔発明の効果〕

以上述べたように本発明は調製した感光性塗布液を塗布
装置により基材に塗布する前に溶存空気および微細気泡
を含む該感光性塗布液を多孔質性高分子膜複合デユープ
の内側に通し、該チューブの外側を減圧すると共に該感
光性塗布液を加圧しながら該感光性塗布液中の溶存空気
及び微細気泡を同時に除去する感光性塗布液の脱気・脱
泡装置において、多数の該多孔質性高分子膜複合チュー
ブを並列に平面的に接触させて円筒体の周囲に螺旋状に
巻き、該円筒体の両端部に該感光性塗布液の出入口を設
けたことを特徴とする脱気・脱泡装置によって、又該多
数本の多孔性高分子膜複合デユープが並列に平面的に接
触させたものを更にその上に重ねて多段に設けた前記記
載の脱気・脱泡装置によって、チューブの破裂を防止し
、該感光性塗布液の処理量を多くシシかも該感光性塗布
液が多数の該チューブ内を通る時の圧力損失を小さくす
ると共に各チューブの中の該感光性塗布液の流動状態を
同じようにすることが出来るので、脱気効率は上昇して
、多数の該チューブが接触しても同様脱気処理能力の低
下を起こさない。また該感光性塗布液の排出においては
ほとんど滞留なく排出可能となりさらに別の感光性塗布
液に切換えする時には極めて短い時間での洗浄により可
能となるので、洗浄の際の能率化・経済化が果され、そ
れによって、製品得率の向上、生産性の向上に寄与する
ことが出来た。

本発明の実施態様として更に以下が列挙できる。

（１）螺旋状に多段に設けた複数の該チューブを固定す
るガイドを螺旋状に該円筒体の周囲に設けたことを特徴
とする特許請求の範囲第１．２又は３項記載の脱気・脱
泡装置。

（２）該チューブが螺旋状に巻かれている該円筒体は直
径２〜１０ｍｍの多数の孔を有することを特徴とする特
許請求の範囲第１．２又は３項記載の脱気・脱泡装置。

（３）該チューブは分離膜及びその外側に高分子材料か
らなる多孔質体を設けたものからなることを特徴とする
特許請求の範囲第１．２又は３項記載の脱気・脱泡装置
。

（４）該多孔質性高分子膜複合チューブがポリ四フッ化
エチレン樹脂を用いることを特徴とする特許請求の範囲
第１．２又は３項記載の脱気・脱泡装置。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の脱気・脱泡装置の１実施例の概略説明
の側面断面図、第２図は第１図において円筒体に巻かれ
ている該複合チューブを説明するだめの部分拡大側面断
面図（ａ）及び該複合チューブの断面図（ｂ）、第３図
は本発明の実験装置の実施例の概略説明図、第４図は従
来の多孔質性高分子膜からなるデユープを用いた脱気・
脱泡装置の一般的な概略説明図、第５図及び第６図はそ
れそ：れ実施例−１，比較例−１及び実施例−２，比較
例−２における実験結果を示す図である。 １ノ・・脱気・脱泡装置 １０・・・ガイド　　　１１・・・孔 １２・・・円筒体 ■・・・多孔質性高分子膜複合チューブ１４・・・モジ
ュール　１５・・・減圧室２２ａ、２２ｂ・・・塗布液 ２３・・・補強用チューブ ２４・・・分離用チューブ ２６・・・ポンプ 代理人　弁理士（８１０７）佐々木　清隆（ほか　３名
） 手続補正書 特言午庁長′白′　殿　　　　　　　昭和６３年　９月
／ｑ日１、　事件の表示 昭和６３年特許願第１４０６３３号 ２゜　発明の名称 脱気・脱泡装置 ３、　補正をする者 事件どの関係：特許出願人 名称　　（５２０）富士写真フィルム株式会社４、代理
人 住所　〒１００　　東京都千代田区霞が関３丁目２番５
号　霞が関ビル２９階霞が関ビル内郵便局私書箱第４９
号 ５、　補正命令の日イｖｌ：（自発） 明細書箱１０頁３行目、「多孔質性膜設けたものをいう
」を［多孔質性膜を設（プたものをいい」と補正する。

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. （１）調製した感光性塗布液を塗布装置により基材に塗
   布する前に、溶存空気および微細気泡を含む該感光性塗
   布液を多孔質性高分子膜複合チューブの内側に通し、該
   チューブの外側を減圧すると共に該感光性塗布液を加圧
   しながら該感光性塗布液中の溶存空気及び微細気泡を同
   時に除去する感光性塗布液の脱気・脱泡装置において、
   多数本の該多孔質性高分子膜複合チューブを並列に平面
   的に接触させて円筒体の周囲に螺旋状に巻き、該円筒体
   の両端部に該感光性塗布液の出入口を設けたことを特徴
   とする脱気・脱泡装置。
2. （２）螺旋状に巻く多数本の該多孔質性高分子膜複合チ
   ューブの立ち上がり勾配が４°以上であることを特徴と
   する請求項（１）記載の脱気・脱泡装置。
3. （３）該多数本の多孔性高分子膜該複合チューブが並列
   に平面的に接触させたものを更にその上に重ねて多段に
   設けたものであることを特徴とする請求項（１）又は（
   ２）記載の脱気・脱泡装置。