JPH01285845A - 回折ｘ線測定装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明はＸ線を試料π照射した時に発生イろ回折Ｘ線の
回折角及び強度を測定する装置、特に微小試料に対する
測定が可能であり、かつ可搬型化するのに適しており、
かつ製作するに容易な測定装置に関する。

〔従来の技術〕

結晶の格子網面π、該網面に対し１角度θで波長λのＸ
線を入射させた場合、θが（１）式に示した１３ｒａｇ
ｇの式を満足する角度であると、入射Ｘ線の方向に対し
て２θの角度をなす方向ｒ向け１強い回折Ｘ線が出射さ
ｔ′ｌる。以後この２θの角度を回折角といい、また上
述のθをブラッグ角ということがある。（１）式におけ
ろｄは隣接する格子網面間の距離で、ｎは正整数である
。

ｎ２＝９ｄａｓｉｎθ　　　　　　　　・川・・（１）
さて、結晶ＶｒＸ線を入射させると上述のような回折Ｘ
＠が生じろか、この回折Ｘ線の発生態様は前記結晶内部
の結晶構造に依存しているので、従来、多結晶体である
全域試料ＶｒＸ線を照射し”ｃ得られろ回折Ｘ線の回折
角や強度を測定することによって、該試料における残留
応力の測定や該試料に対する定性分析、定を分析等が行
われ℃いろ。

第５図は上述した測定や分析などを行うために従来使用
されている回折Ｘ線測定装置の基本構成図である。図ｆ
おい”ｉｃ、１）Ｘビーム状のＸ線２を出射するＸ線管
球、４はＸ線２で金属試料３０表面３ａ上の点０を照射
１ろことによって数点Ｏから出射された回折Ｘ線、５は
回折Ｘ線４が前面部５ａから入射するように配置された
０Ｍ計数管や比例計数管等の四角柱状Ｘ線検出器で、検
出器５は入射したＸ線の強度に応じた検出傷号５ｂを出
力するようｆ構成されている。そうして、検出器５を丁
、また１回折Ｘ線４π対する検出感度の一様化を図るた
めとか回折角度測定に好都合であるようにするためなど
の理由で１点Ｏからの距離がＲである仮想円弧６ｉ’ｒ
沿つ℃前面部５ａが移動するように図示し℃いない検出
器移動機ｖＮｔｆｆよって支持され℃いろ。７はＸ線２
や回折Ｘ線４Ｖｃ対して人体を保護するために設けた保
護カバーで、８は保６カバー７や前述の検出器移動機構
等から出射された。Ｘ＠２や回折Ｘ線４ｗもとづく散乱
Ｘ線である。９は後述する理由で検出器前面部５８ｗ固
定したソーラースリット、１０は上述の各部を備えた回
折Ｘ＠測定装置である。

さ℃、測定装置ｔＯＣおける回折Ｘ線４の円弧６上の強
ｆＦ’は、Ｘ＠２を平面状試料表面３ａとαの角度をな
すようｆし１点Ｏｖｒ入射させた時数Ｘ線２の進行方向
と２αの角度？なす方向に点０から出射されろＸ線を検
出するように検出器５を配置して、Ｘ線２０入射角αを
変化させた場合。

通常第６図π示したよっな吊鐘状パターン１１になる。

そうして、第６図ｆおい１強度Ｆが最大のＦ、を示す角
度２θがこの場合の回折Ｘ１ｔｌｌｉ！４の回折角であ
る。測定装置１０Ｖｒおい℃は回折Ｘ線４が円弧６上に
おいて上述の強度変化を示すので。

前述の検出器移動機構ｆよつ工検出器５を移動させてＸ
線４０強度がＦｌを示す角度２αを見出すことにより回
折角２θを求めることができるが。

この場合、第６図の吊鐘状パターン１１が鋭（ないと回
折角測定の精度が低下することは明らかである。そうし
て、測定装置１０において、検出器５１′ｒ回折Ｘ線４
　ｆｆ　、＊Ｉ］えて散乱Ｘ線８が入射すると。

パターン１１４おげろ最小値Ｆ、が太き（なつ１、回折
Ｘ線４の強度と散乱Ｘ線８の強度の比であるＳＮ比を表
すＦｌ／Ｆ！が小さくなり、さらに、この場合１図示の
半値幅Δαが大きくなって、パターン１１の鋭さが低下
することもまた明らかである。つまり、検出器５Ｖｒ散
乱Ｘ線８が入射すると回折角測定の精度が低下する。第
６図におけろＦｎは（Ｆ＋　＋Ｆｔ　）／　２　ｔｒｒ
等しい強度である。

第５図のソーラースリット９は上述の原因による回折角
測定の精度低下を防止するために設けられていて、この
ソーラースリット９は第７図に示したように構成され℃
いろ。すなわち、第７図πおいて、１２は断面が長方形
の金属製筒体状枠体。

１３は枠体Ｉ２内において約１［ｗ）の間隔で平行Ｗ配
置されるよう＆ｒ該枠体Ｌ２ｆ固定された厚さ約５０〔
μｍ〕の金属箔で、枠体１２Ｖｒおけろ図示の寸法＆１
　ａ　＝　１５　［ｍ：］、　　ｂ　＝　５０　Ｃｍ）
、　Ｃｍ６０〔■〕となっている。そうして、第５図π
おいては、ソーラースリット９の一開口端が検出器前面
部５ａｌｆ固定さｉ′１１いろ。第５図におい℃は、こ
のようｔ【ソーラースリット９が設けられていて金属箔
Ｉ３に平行な回折Ｘ線だけが検出器５１Ｃ入射し℃散乱
Ｘ線８が検出器５Ｖｒ入射しないようになっているので
、この結果測定装ＭｌＯは回折角を高精度に測定できる
装置となつ℃いろ。

〔発明が解決しようとする課題〕

回折Ｘ線測定裂傷１０は上述のようＶｒ構成されている
ので回折角を高精度に測定することができるが、この場
合検出器５が０Ｍ計数管や比例計数管であるうえ上記の
ようなソーラースリットが設けられており、かつ上述の
検出器移動機構Ｗは測定精度を高めるために微動機構が
設けられているので、測定装置１０が自ら大形となりか
つ重くなっていて、このため測定装置１０Ｖｒは可搬型
化が困難であるという問題点がある。そうして、また。

１ｆｆｔｌ　定装置ｔ　ｏＶｒは、ソーラースリットが
上述したような複雑な構造ｆなつ℃いるので製作が面倒
であるという間曜点もあり、さらπ、試料３が微小であ
ると回折Ｘ線４０強度か弱（なるため第５図におけろ距
離Ｒを短くして検出器５の感度低下を防ぐ必をがあるか
、Ｒを短くするとソーラースリット９が設けられていて
も矢張り散乱Ｘ線８が検出器５ｆｆ人射するようになる
ので、測定装置１０に＆工試料３が微小であると回折角
の測定が困難πなろという問題点もある。

本発明の目的は１回折Ｘ線を検出イろ機構及び回折角度
を検出する機構を共に小形化並びに軽量化１−て、もっ
て可搬型の回折Ｘ線測定装置が得らオ］ろように１ろこ
とｆある。また、回折Ｘ線を検出−する機構を試料に近
づけても散乱Ｘ線が該機構π入射イろことのないよ５ｗ
する散乱Ｘ線遮蔽機構を簡単な構成で実現して、もって
製作が容易でかつ微小試料に対しても高精度π回折角測
定を行うことのできろ回折Ｘ線測定装置が得られろよう
にすることにある。

〔課題を解決イろだめの手段〕

上記目的を達成１ろため１本発明によれば、ダイオード
構造を・有しかつ該ダイオード構造において空乏層が少
なくとも一本一次元状に形成されておりかつ前記空乏層
に入射したＸ線の強度に応じ線検出素子と１回折Ｘ線が
透過する窓と、前記検出素子π対して前記窓を移動させ
て該窓を透過する前記回折Ｘ線を前記空乏層π入射させ
ろ窓移動機構と、散乱Ｘ線が前記窓を透過して前記空乏
層ｆ入射することのないようＶｒ″ｔろ散乱Ｘ線遮蔽機
構とを備え、前記窓の前記空乏層π対向する位置と前記
検出信号とにもとづき前記回折Ｘ線の回折角及び強度を
測定するように回折Ｘ線測定装置を構成するものとする
。

〔作用〕

上記のように構成すると１回折Ｘ線を検出する機構とし
ての半導体Ｘ線検出素子と回折角度を検出する機構とし
ての窓移動機構とを共に容易に小形化しかつ軽量化する
ことができるので、このため回折Ｘ線測定装置の可搬型
化が可能になる。また１回折Ｘ線を検出″ｆ′ろ機構と
し℃の半導体Ｘ線検出素子を試料に近づけても、単なる
筒体のような極めて簡単な構成の散乱Ｘ線遮蔽機構を窓
にとりつけて散乱Ｘ線が半導体Ｘ線検出素子に入射（−
ないようにすることかできるので、製作が容易でかつ微
小試料ｆ対し王も高精度の回折角測定か行える回折Ｘ線
測定装置が得られろことπなる。

〔実施例〕

第１図は本発明の第１実施例の構成図である。

第１図ｆにおいて、１４は仮想円弧６Ｖｒ沿うようπ設
けた薄板状の回折Ｘ線遮蔽体で、この遮蔽体ｌ４Ｖｒは
回折Ｘ線４が透過する後述する構成の一個の窓１５と、
散乱Ｘ線８が窓１５を透過することのないようにする散
乱Ｘ線遮蔽機構としての筒体１６とが設けらｔ１℃いろ
。なお、遮蔽体Ｉ４は回折Ｘ線４を透過させないように
構成されている。１７ａ、１７ｂは遮蔽体１４ｆｆ対し
Ｃ％たとえば１巻き欧り１巻き戻しを行って窓１５の位
置を移動させろよ’）ｆｆした遮蔽体駆動装置で、この
場合、遮蔽体１４に、駆動装置１７３．１７ｂで駆動さ
れた時、Ｖ示ｌ−ていない案内機構によって円弧６Ｖｒ
沿つ℃窓１５が移動するように構成されている。

１８は該案内機構と窓Ｉ５及び筒体１６が設けられた遮
蔽体１４と遮蔽体駆動装置１７ａ及び１７ｂとからなる
窓移動機構である。なお、この窓移動機構１８は、窓１
５の円弧６上の位置に応じた位置信号１８ａを駆動装置
１７ａから出力するように構成されている。２０は、Ｐ
Ｎ接合を有し。

該接合に形成された空乏層１９ｆｆ筒体１６．窓１５を
順次透過した回折Ｘ線４が入射″ｔろように該空乏層１
９が円弧６１′ｒはぼ沿って配置されろようｆした半導
体Ｘ線検出素子で５図においては、素子２０が円弧６ｗ
沿って２個配置さねている。そうして、検出素子２０．
窓Ｉ５及び筒体Ｉ６は第２図に示したように構成されて
いる。、２０ａは後述する機構によって素子２０が出力
する検出信号で。

ｔｏｏｔ”ｚ試料３を除く図示の各部を備えた回折Ｘ線
測定装置である。

第２図においｃ、　　（Ａ）図に第１図におけろ要部の
構成並びに機能を説明するための側断面図、（Ｂ）図は
（Ａ）図ｆおげろ半導体Ｘ線検出素子２０のＱ矢視図で
ある。第２図に示したようｉｆ　、検出素子２０は＠１
０　Ｃｗｗ〕、長さ４５〜５０〔畷〕程度のｎ形シリコ
ンの短冊状基板２１１’ｊｐ　　層２２とｎ　層−１〇
− ２３とが形成され℃生じたブレーナ形ＰＮ接合２４を有
し、９層２２．ｎ　層２３の各表面にはそハぞれアルミ
ニウム電極２５．２６が蒸着によって形成されている。

そうして、電極２５が設けられた仰が遮蔽体１４に接近
して対向するように１℃、図示していない手段で素子２
０が空間的に固定されたうえ電極２６が接地され、さら
に、電極２５が結合コンデンサ２７を介し℃増幅器２８
ｆｆ接続さ４ると共ｆ抵抗２９を介して端子３０１ｆも
接続されている。なお、素子２０Ｔ／ｒおい工は、電極
２６＋ が０層２３０表面のほぼ全面ｆわたつ℃設げられている
が、電極２５は基板２１の長手方向にのびる一本の細長
い帯状π形成さねた９層２２の上に一本の線状に設けら
れている。そうし℃、端子３０Ｖｒ正電圧を印加するこ
とｆよって幅がほぼ１００［μｍ〕で長さがほぼ４０〔
醐〕の空乏層１９がＰＮ接合２４に形成されろようｆな
っている。

この場合、検出素子２０におけろＰＮ接合２４の拡散深
さは１〜■、５〔μｍ〕程度で、また、窓Ｌ５を透過し
た回折Ｘ線４が電極２５及び９層２２なとおして空乏層
１９Ｖｒ入射しうろように遮蔽体１４が検出素子２０Ｖ
ｒ対して配置さ４ている。そうして、窓１５）工、検出
素子２０に対する窓１５の回折Ｘ線４の方向の射影２０
０の長手方向が９層２２の長手方向ｆはぼ垂直になるよ
うにし℃射影２００が該ｐ　層を横切るように構成され
た幅が約３〔■〕、長さが約６〔祁〕の矩形となってい
℃、筒体１６は窓１５と同じ寸法形状の断面を有する四
角筒状に形成さ４．かつ軸線が第１図の点Ｏを指向する
ようπして一端１６ａが遮蔽体１４に固定さｈ＋いる。

筒体Ｉ６の長さＬはこの場合５０Ｃ＋ｍ）程度である。

３１は検出素子２０とコンデンサ２７と増幅器２８と抵
抗２９と端子３０とからなる回折Ｘ線検出部である。

回折Ｘ線検出部３１を丁上述のように構成されているの
で１回折Ｘ線４が空乏層１９に入射すると電極２５から
Ｘ線４０強度に応じたパルス頻度のパルス列状電圧であ
ろ検出信号２０ａが出力され。

この結果増幅器２Ｂから信号２０ａを増幅した信号２８
ａが出力されろ。

第１図Ｗおいては各部が上述のように構成されているの
で、窓移動機構１８ｆｆよって窓１５をＸ線検出素子２
０ｆｆ対して移動させると、検出信号２０ａが回折Ｘ線
４の態様に応じ℃変化する。そうして、この場合、窓１
５ｆｆは筒体１６が設けら４ているので散乱Ｘ線８が空
乏層１９ｆｆ入射することはなく、この結果円弧６ｖｒ
おける回折Ｘ線４０強度Ｆの変化の第６図のバダーンｌ
ＩＩ／ｒ対応したパターンが、たとえば、第３図ｆ示し
たパターン３２のようになる。第３図は第１図π示した
回折Ｘ線測定装置Ｉ００を用いて行ったー実験結果を示
すもので、第３図における縦軸は第２図に示した増幅器
出力信号２８ａを構成するパルスを所定時間計数し℃得
た計数値を示しており、第３図のパターン３３を了測定
装置ｌＯＯから筒体１６を除いた場合の実験結果を示し
ている。そうして、この場合、Ｘ線管球１は対陰極がＣ
ｒ製で、試料３はＣ「粉末である。そう１−１．第３図
から、パターン３２がバグーン３３ｆｆ比べ℃、散乱Ｘ
線８の影響がないために、前述のＳ　／Ｎ弗が大きくか
つ１３−一 半値幅が小さくなっていて、この結果鋭さが向上してい
ることが明らかである。したがって１回折Ｘ線測定装置
１００を用いろと、検出信号２０ａと位置信号１８ａと
にもとづい−Ｃ１回折Ｘ線４０回折角２θと強度とを散
乱Ｘ線８の影響を受けろことなく精度よく測定できるこ
とπなろ。

測定装置ｔｏｏ　Ｖｒおいては１回折Ｘ線４を検出する
素子２０が上述した幅１０Ｃｗｍ：ｌ、長さ５０Ｃｍ＊
：１程度の矩形板状であるため、従来の回折Ｘ線測定装
置ｔｏＶｒおける０Ｍ計数管のようなＸ線検出器５に比
べて１回折Ｘ線４を検出する機構が簡単な構成となつ℃
いろことが明らかで、この結果、窓１５及び筒体１６と
窓移動機構１８とからなる回折角度を検出する機構が第
５図で説明した検出器移動機構に比べて簡単な構成ｆな
ろ。そうして。

さらに、第１図においては回折Ｘ線４を検出するのに比
例計数管を用いないので計数ガス注入装置は不要である
。故に１回折Ｘ線測定装置１００　においては１回折Ｘ
線４を検出する機構及び回折角２０を検出する機構を共
に小型かつ軽量Ｗ構成すろことかできろグ〕で、該測定
装置Ｉ００の可搬型化が容易ｉｌｌ″なる。

まブ：、ＬＮ１１定ｆｔ１＝ｆｌｏＯＶｒおいて＋ｕ、
筒体１６が設け１″、１１３ことによって散乱Ｘ線８の
影響が除去さｆｌて、第５図σ）Ｖ４合と同様に精度の
高い回折角の＋１１ｉ：定か行えるようじなっ工いる。

そうして、この場合、筒体１６が第５Ｖπおけろソーラ
ースリット９よりも製作が容易であることに明らかであ
る。

故Ｋ　、１ｌｌｌ定装置１００は筒体Ｉ６のような散乱
Ｘ線遮蔽機構の製作が容易な（ロ）折Ｘ線測ｌ定装置で
あるということができろ。

次に％第１図におい工（・工、試料３が微小であるため
に回折Ｘ線４σ〕強度が弱くなっている場合に。

検出素子２０の感度を上げようとして円弧６の半径Ｒを
ケυくｌ−ても、筒体１６が前述したように極めて細長
く形成さ第１″Ｃいろグ〕で、散乱ｘ、１ｓが検出素子
２０げ入射するという事態か発生（ろことはな（・。し
たがって、測定装置１００によれば、微小試料に対し、
ても大形の試料ｗ対′するのと同様な高い精度で回折Ｘ
線４の測定が行えることになる。

第４図は本発明の第２実施例におけろ要部の構成並びに
機能を訝、明するための側面図で１本図は第２図（Ａ）
　ｖｒ対応した図である。第４図ｆおい１゜第２図（Ａ
）と大きく異なる所は、遮蔽体１４と同様な構成の薄板
状遮蔽体３４が支柱３５を介して遮蔽体１４に固定さハ
℃いろことで、この場合。

回折Ｘ線４を遮蔽体１−４　ＶｒおけるさＩ５に導くこ
とができるようで、遮蔽体３４πも窓１５と同じ寸法及
び形状の窓３６が設け１）ｔｌでいろ。遮蔽体３４に、
遮蔽体１４と同じく、窓３１を除いて回折Ｘ線４を透過
させないようＶｒ構成されている。

第４図におい′Ｃ（−ｓ、、遮蔽体３４が上述のように
構成すｆ１″ＣイアＳｒ）テ、コノ遮蔽体３４が、第２
図（Ａ）におけろ筒体１６と同様な機能？有してい℃、
第１図に示したような散乱Ｘ線８が窓Ｉ５を介し℃検出
素子２０Ｖ入射することを阻止する散乱Ｘ線遮蔽機構を
構成しｃいろことｂ’　ｔｌｌらかである。したがって
、第４図げ示ｌ−だ要部をＭ″ｆる本発明の第２実施例
が第１図に示した回折Ｘ線測定装置１００と伝１．１！
な利点を有してい乙ことか説明するまでもなく明ｌ：）
かである。

上述の実施例においＣは、検出素子２０げ一次元状空乏
層１９か一本だけ設けら′ＦＬ″Ｃいろとしたが１本発
明においては空乏Ｊ＠＋　９が一個の素子２０におい（
はぼ平行Ｖｒ複数個設けられ又もよく、その場合、窓１
５を透過した回折Ｘ＠４ｆよつ℃すべての空乏層Ｉ９が
照射されろよ５ｖｒ窓１５を構成すると共π各９乏層１
９のそｆｌぞれに対応１−て前述の回折Ｘ線検出部３１
を設けたうえ、各検出部３１が出力てろ出力（Ｓ号２８
ａπ対するパルス計数値をすべ又の検出部３１６？−わ
たって加算′ｆることに、よって、第１図の回折Ｘ線測
定装置１００よりも感度の高い測定装置か得られろ。そ
うして、このようπして感度向上を図った回折Ｘ線測定
装置が測定装置’Ｒ１００Ｖｒおけろ上述の利点と同様
な利点を有することに、これまた、同門す石までもなく
明らかである。

また、上述の実施例ｆおいＣに、窓１５が板切円弧６に
沿って移動−１ろものとしたが、本発明においＣは窓１
５が検出素子２０Ｖｒおけろシ１１コン基板２Ｉに平行
に移動するようＣしても差し支えない。さらｆｆ、上述
の実施例では空乏層１９が形成されるダイオード構造か
ＰＮ接合であるとしたが１本発明では空乏層１９が表面
障壁型あるいはへテロ接合型のダイオード構造に形成さ
ｔｌろようにしてもよい。また、第１図においては半導
体Ｘ線検出素子２０を２個設けたが２本発明の場合。

このような検出素子２０げ回折Ｘ線４の（ロ）１折角に
応じて少なくとも一偏設けらｆｌｈげよいものである。

そうして、また、第１図では位置信号＋８８にもとづい
て窓１５の位置が決定されろとしたが。

本発明でをゴ目視で窓１５の位置を決定できろようそう
して Ｖｒ９部が構成されても差し支えな、、ｙ町℃に１本発
明では、窓１５の形状が上述した矩形り、外１７）形状
であっても差し支えｔ［＜、また；　４１７１π示１−
１た散乱Ｘ線遮蔽轡構と１２℃の遮蔽体３４が初数枚の
遮蔽体で連続的あるいは不連続的に構成され℃もよい。

また１本発明においてに、＠出素子２０の基板２１をｐ
形半導体とｌ−てもよい。

〔発明の効果〕

１８−一 上述したよつＶｒ、本発明πおい℃は、ダイオード構造
を有しかつ該ダイオード構造において空乏層が少なくと
も一本一次元状ｒ形成されておりかつ前記空乏層π入射
したＸ線の強度に応じた検出信号を出力する少なくとも
一個の牛４体Ｘ線検出素子と１回折Ｘ線が透過する窓と
、前記検出素子に対して前記窓を移動させて該窓を透過
する前記回折Ｘ線を前記空乏層ｆ入射させろ窓移動機構
と。

散乱Ｘ線が前記窓を透過して前記空乏層π入射すること
のないようＶｒ″ｆる散乱Ｘ線遮蔽機構とを備え、前記
窓の前記空乏層ｆ対向する位置と前記検出信号にもとづ
き前記回折Ｘ線の回折角及び強度を測定するように回折
Ｘ線測定装置を構成した。

このため、上記のように構成すると１回折Ｘ線を検出す
る機構とし王の半導体Ｘ線検出素子と回折角度を検出て
る機構としての窓移動機構とを共に容易に小形化しかつ
軽量化することができるので、このため１本発明Ｖｒ＆
ヱ回折Ｘ線熊定装置の可搬型化が可能になる効果がある
。また１回折Ｘ線な検出する機構とし工の半導体Ｘ線検
出素子な試な構成の散乱Ｘ線遮蔽機構を窓にとりつけて
散乱Ｘ線が半導体Ｘ線検出７千に入射しないようＶｒ″
１−ろことができるので、２１Ｓ：発明には製作が容易
でかつ微小試料π対しても高Ｎ度の回折測定が行える回
折Ｘ線測定装置が得られろ効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の第１実施例の構成図、第２図は第１図
ｆおけろ要部の構成並びＶｒ機能を説明するもので、第
２図（Ａ／）は仙１断面図、第２図（Ｂ）は第２図（Ａ
）　ｆｆおけろ要部のＱ矢視図である。第３図は第１図
の実施例を用いて行ったー実験の結果説明図、第４図は
本発明の第２実施例ｆおけろ要部の側断面図、第５図は
従来の回折Ｘ線測定装置の構成図、第６図は第５図ｆ示
した回折Ｘ線測定装置の測定動作説明図、第７図は第５
図πおけろソーラースリットの構成を示しており、　ｉ
　７　図（Ａ）は正面図、穿、７図（Ｂ）は第７１シ＋
（Ａ、）におけろＨ矢視図である。 ２・・・・・・Ｘ線、４・・・・・・回折Ｘ線、５ｂ、
２０ａ・・・・・・　検出信号、８・・・・・・散乱Ｘ
線、１０．１００・・・・・・・回折Ｘ線測定装置、１
５．３６・・・・・・窓、　　１６・・・・・・筒体、
　　１８・・・・・・窓移動機構、１９・・・・・−空
乏層、２０・・・・・・半導体Ｘ１１Ｍ検出素子、２４
．．・、、、ＰＮ接合、３４・・・・・・遮蔽体。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １）ダイオード構造を有しかつ該ダイオード構造におい
   て空乏層が少なくとも一本一次元状に形成されておりか
   つ前記空乏層に入射したＸ線の強度に応じた検出信号を
   出力する少なくとも一個の半導体Ｘ線検出素子と、回折
   Ｘ線が透過する窓と、前記検出素子に対して前記窓を移
   動させて該窓を透過する前記回折Ｘ線を前記空乏層に入
   射させる窓移動機構と、散乱Ｘ線が前記窓を透過して前
   記空乏層に入射することのないようにする散乱Ｘ線遮蔽
   機構とを備え、前記窓の前記空乏層に対向する位置と前
   記検出信号とにもとづき前記回折Ｘ線の回折角及び強度
   を測定することを特徴とする回折Ｘ線測定装置。