JPH01272078A - Ceramic heater - Google Patents

Ceramic heater

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JPH01272078A
JPH01272078A JP9919888A JP9919888A JPH01272078A JP H01272078 A JPH01272078 A JP H01272078A JP 9919888 A JP9919888 A JP 9919888A JP 9919888 A JP9919888 A JP 9919888A JP H01272078 A JPH01272078 A JP H01272078A
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JP
Japan
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resistor
temperature
ceramic heater
heater
resistance value
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JP9919888A
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Inventor
Atsushi Ando
安藤 厚史
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Rinnai Corp
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Rinnai Corp
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  • Resistance Heating (AREA)

Abstract

PURPOSE:To simplify the circuit structure when detecting the temperature of a ceramic heater for control by providing multiple resistors and using one of them as a heating resistor and the other as a temperature detecting resistor. CONSTITUTION:When the resistor 3 of a ceramic heater 1 is excited by a current controller 42 as an ignition action, the temperature of the heater 1 is detected by a resistor 4, the heater 1 is controlled at the fixed temperature based on it. When the temperature of the heater 1 is detected as 1200 deg.C, for example, solenoid valves 21 and 22 are opened, fuel is fed to a burner group 11a. When the air-fuel mixture fed to the burner group 11a is ignited and the temperature of the heater 1 rises and the detected resistance value of the resistor 4 is abruptly increased, this change is detected by a resistance value change detecting unit 44, and an ignition signal is outputted. The excitation to the resistor 3 is stopped by the ignition signal, the ignition action is completed.

Description

【発明の詳細な説明】 「産業」・、の利用分野] 本発明は、各種燃料の点火用、あるいは各種の加熱用に
使用されるセラミックヒータに関する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Field of Application in Industry] The present invention relates to a ceramic heater used for igniting various fuels or for heating various types.

[従来の技術] セラミックヒータでは、印刷された発熱体がセラミック
基板内に密閉されていて、薬品などに対する化学的耐久
性、耐熱性、熱衝撃に対する特性等が優れている。この
ため通電には高温を発生するために商用電源を直接利用
して大電流を供給することが多い。
[Prior Art] Ceramic heaters have a printed heating element sealed within a ceramic substrate, and have excellent chemical durability against chemicals, heat resistance, thermal shock resistance, and the like. For this reason, in order to generate high temperatures, commercial power sources are often used directly to supply large currents.

また通電開始後の昇温特性を改善するために、印加電圧
に対して発熱体の抵抗値を小さく設定した急速昇温型の
セラミックヒータがある。
Furthermore, in order to improve the temperature increase characteristics after the start of energization, there is a rapid temperature increase type ceramic heater in which the resistance value of the heating element is set to be small with respect to the applied voltage.

[発明が解決しようする課題] しかし、セラミックヒータの温度を細かく制御する場合
や、その温度に基づいてマイコン等で他の制御を行う場
合には、発熱体への印加電圧や電流に基づいて温度を検
出する必要があるため、温度検出回路と通電制御回路と
を設けなければならないが、大電流が供給されている発
熱体からその温度を検出しようとすると、これらの回路
構成が複雑になるという問題がある。
[Problems to be Solved by the Invention] However, when the temperature of a ceramic heater is to be precisely controlled, or when other controls are performed using a microcomputer etc. based on the temperature, the temperature cannot be controlled based on the voltage or current applied to the heating element. Because it is necessary to detect the There's a problem.

本発明は、セラミックヒータの温度を検出して何らかの
制御を行う場合に、回路構成を簡単にできるセラミック
ヒータを提供することを目的とする。
An object of the present invention is to provide a ceramic heater whose circuit configuration can be simplified when detecting the temperature of the ceramic heater and performing some kind of control.

[課題を解決するための手段] 本発明のセラミックヒータは、セラミック焼結体の内部
または表面に複数の抵抗体を設け、一方を発熱用抵抗体
として他方を温度検出用抵抗体として使用することを技
術的手段とする。
[Means for Solving the Problems] The ceramic heater of the present invention includes a plurality of resistors provided inside or on the surface of a ceramic sintered body, one of which is used as a heat generating resistor and the other as a temperature detecting resistor. as a technical means.

[作用および発明の効果] 本発明のセラミックヒータには、複数の抵抗体が設けら
れ、一方の抵抗体を発熱用の抵抗体として、他方の抵抗
体を温度検出用の抵抗体としてそれぞれ機能分けして使
用することができる。従って、発熱温度を制御する場合
には、一方の抵抗体を入力用に他方の抵抗体を出力用に
することによって回路構成が簡単になるため、発熱用の
抵抗体の通電電流を適切に制御することができる。
[Operation and Effects of the Invention] The ceramic heater of the present invention is provided with a plurality of resistors, and one resistor functions as a heat generating resistor and the other resistor functions as a temperature detecting resistor. and can be used. Therefore, when controlling the heat generation temperature, the circuit configuration can be simplified by using one resistor for input and the other for output, so the current flowing through the heat generation resistor can be appropriately controlled. can do.

また、セラミックヒータの温度を検出して他の制御をす
る場合にも、一方の抵抗体を温度検出用の抵抗体として
発熱用回路と回路的に独立して設けることができるため
、発熱用の抵抗体の通電状態とは関係なく温度を検出で
き、その温度に基づいて容易に他の制御をすることがで
きる。
In addition, when detecting the temperature of the ceramic heater to perform other controls, one of the resistors can be used as a temperature detection resistor and can be installed independently from the heat generation circuit. Temperature can be detected regardless of the energization state of the resistor, and other controls can be easily performed based on the temperature.

[実施例] 次に本発明のセラミックヒータを図面に示す実施例に基
づいて説明する。
[Example] Next, a ceramic heater of the present invention will be described based on an example shown in the drawings.

第1図は、本発明にかかるセラミックヒータ1を示す。FIG. 1 shows a ceramic heater 1 according to the present invention.

このセラミックヒータ1は、窒化珪素(Si。This ceramic heater 1 is made of silicon nitride (Si).

N4 )の粉末を乾式プレスによって成型した薄板形状
のセラミック基板2の両面に、抵抗体3.4をプリンl
−L、さらにその両面に上記と同様のセラミック基板5
.6を重ね、ホットプレス焼成法によって一体化したも
ので、各抵抗体3.4はセラミック基板2.5.6によ
って完全に密閉されている。
Resistors 3.4 are printed on both sides of a thin plate-shaped ceramic substrate 2 formed by dry pressing N4) powder.
-L, and the same ceramic substrate 5 as above on both sides.
.. Each resistor 3.4 is completely sealed by a ceramic substrate 2.5.6.

一体化されたセラミック基板2.5.6の側面には、各
抵抗体3.4とそれぞれ導通処理された複数のメタライ
ズ部が形成され、これらのメタライズ部には、端子7.
8.9.10が固定されている。これらの端子は、セラ
ミック基板2に印刷された抵抗体3.4を外部回路と接
続するために設けられたものであり、端子7.8は抵抗
体3と、端子9.10は抵抗体4とそれぞれ導通処理さ
れている。
A plurality of metallized portions are formed on the side surface of the integrated ceramic substrate 2.5.6 and are electrically connected to each of the resistors 3.4, and these metallized portions are provided with terminals 7.
8.9.10 is fixed. These terminals are provided to connect the resistor 3.4 printed on the ceramic substrate 2 with an external circuit, the terminal 7.8 is connected to the resistor 3, and the terminal 9.10 is connected to the resistor 4. and conduction treatment.

抵抗体3は、発熱用に設けられたもので、通電によって
最大的1400℃まで昇温させることができる。−力紙
抗体4は、セラミックヒータ1の温度検出用に設けられ
たもので、抵抗体3とは導通していない独立したパター
ンとして印刷されたものである。ここでは、抵抗体3と
抵抗体4は同じ特性を有したものである。
The resistor 3 is provided for generating heat, and can be heated to a maximum of 1400° C. by energization. - The paper antibody 4 is provided for detecting the temperature of the ceramic heater 1, and is printed as an independent pattern that is not electrically connected to the resistor 3. Here, the resistor 3 and the resistor 4 have the same characteristics.

次にこのセラミックヒータ1を点火用に使用したガス給
湯器に基づいて、セラミックヒータ1の作用を説明する
Next, the function of the ceramic heater 1 will be explained based on a gas water heater using the ceramic heater 1 for ignition.

第2図に概略を示すガス給湯器の給湯器ケース11内に
は、複数のリボンバーナを2列に配した2連式のバーナ
群11aが設けられ、バーナ群11aには、送風8!1
12によって燃焼用空気が供給され、ノズル13から供
給される燃料ガスと混合して燃焼され、燃焼ガスは排気
口12aから排出される。バーナ群11aの近傍には、
点火用のセラミックヒータ1と、炎温度を検知するサー
モカップル15が設けられている。
Inside the water heater case 11 of the gas water heater schematically shown in FIG. 2, there is provided a two-bar burner group 11a in which a plurality of ribbon burners are arranged in two rows.
Combustion air is supplied by the nozzle 12, mixed with the fuel gas supplied from the nozzle 13 and burned, and the combustion gas is discharged from the exhaust port 12a. Near the burner group 11a,
A ceramic heater 1 for ignition and a thermocouple 15 for detecting flame temperature are provided.

このセラミックヒータ1は、特に発熱用に設けられた抵
抗体3の抵抗値が印加電圧に対して小さく設定された急
速昇温型のものである。従って、通電による発熱温度が
約1400℃を超えると自己溶断してしまうため、後述
する制御回路40によって約1200℃以上にならない
ように電流が制御されている。また、温度検出用の抵抗
体4は、セラミックヒータ1の温度検出とともに、バー
ナ群11aの炎検知手段としても使」される。
This ceramic heater 1 is of a rapid temperature rise type in which the resistance value of a resistor 3 provided especially for heat generation is set to be small with respect to the applied voltage. Therefore, if the heat generation temperature due to energization exceeds about 1400°C, self-melting will occur, so the current is controlled by a control circuit 40, which will be described later, so that it does not exceed about 1200°C. Further, the temperature detection resistor 4 is used not only to detect the temperature of the ceramic heater 1 but also as a flame detection means for the burner group 11a.

ノズル13へ燃料ガスを導くガス管20には、上流より
元電磁弁21、主電磁弁22、燃料供給量を調節する比
例弁23が設けられ、ガス管20は比例弁23の下流で
分岐して2連式のバーナ群11aの各連へ燃料ガスを導
いている0分岐したガス管20の一方には、バーナ群1
1aの一連のみを燃焼させるために電磁弁24が設けら
れている。
The gas pipe 20 that guides the fuel gas to the nozzle 13 is provided with a main solenoid valve 21, a main solenoid valve 22, and a proportional valve 23 for adjusting the fuel supply amount from upstream, and the gas pipe 20 branches downstream of the proportional valve 23. The burner group 1 is connected to one side of the branched gas pipe 20 that guides fuel gas to each of the two burner groups 11a.
A solenoid valve 24 is provided to combust only the series 1a.

木管30は、図示しない水供給源および給湯口とそれぞ
れ接続された供給管31および給湯管31aと、これら
を連通して給湯器ケース11内に設けられた熱交換器3
2、バイパス管32aとからなり、熱交換器32および
バイパス管32aのそれぞれを通過する水の割合は、バ
イパス弁33によって調節される。
The wood pipe 30 communicates with a supply pipe 31 and a hot water supply pipe 31a connected to a water supply source and a hot water supply inlet (not shown), respectively, and a heat exchanger 3 provided in the water heater case 11.
2 and a bypass pipe 32a, and the proportion of water passing through each of the heat exchanger 32 and the bypass pipe 32a is adjusted by a bypass valve 33.

一方、供給管31には水撒制御弁34、水流センサ35
および入水温サーミスタ36が、また熱交換器32の下
流には熱交換サーミスタ37が、さらに給湯管31aに
は出湯温サーミスタ38がそれぞれ備えられている。
On the other hand, the supply pipe 31 includes a water spray control valve 34 and a water flow sensor 35.
A heat exchange thermistor 37 is provided downstream of the heat exchanger 32, and an outlet water temperature thermistor 38 is provided in the hot water supply pipe 31a.

制御回路40は、第3図に示すとおりマイコン40aを
中心としたもので、コントローラ41により操作される
The control circuit 40 is centered around a microcomputer 40a, as shown in FIG. 3, and is operated by a controller 41.

制御回路40は、コントローラ41からの操作信号に応
じて所定のシーケンスで燃焼を開始するとともに、コン
トローラ41による設定温度、入−水量および各サーミ
スタによって検知される温度に基づいて、燃焼量制御お
よび給湯及制御を行う。
The control circuit 40 starts combustion in a predetermined sequence in response to an operation signal from the controller 41, and controls the combustion amount and hot water supply based on the temperature set by the controller 41, the amount of water input, and the temperature detected by each thermistor. control.

また、バーナ群11aへの混合気が適切な空燃比で供給
されるように、サーモカップル15の出力電圧に基づい
て、燃焼用空気と燃料ガスとの割合を補正する。さらに
、セラミックヒータ1の抵抗体3への通電電流を制御し
て点火作動を行うとともに、セラミックヒータ1の抵抗
体4の抵抗値に基づいて炎検知を行うために、電流制御
部42、抵抗値検出部43、抵抗値変化検出部44の各
機能部を備えている。
Furthermore, the ratio of combustion air to fuel gas is corrected based on the output voltage of the thermocouple 15 so that the air-fuel mixture is supplied to the burner group 11a at an appropriate air-fuel ratio. Furthermore, in order to perform ignition operation by controlling the current flowing to the resistor 3 of the ceramic heater 1, and to perform flame detection based on the resistance value of the resistor 4 of the ceramic heater 1, a current control unit 42, a resistance value Each functional unit includes a detection unit 43 and a resistance value change detection unit 44.

電流制御部42は、マイコン40aの制御に基づいて抵
抗体3への通電電流を制御してその温度を約1200℃
に維持するように通電を行う回路である。
The current control unit 42 controls the current flowing to the resistor 3 based on the control of the microcomputer 40a to maintain its temperature at about 1200°C.
This is a circuit that energizes the device to maintain it.

抵抗値検出部43は、抵抗体3への通電電流をセラミッ
クヒータ1の温度に基づいて制御するために、抵抗体4
の抵抗値を印加電圧と電流値とから求める部分である。
The resistance value detection unit 43 controls the current flowing to the resistor 3 based on the temperature of the ceramic heater 1.
This is the part where the resistance value of is determined from the applied voltage and current value.

抵抗値変化検出部44は、セラミックヒータ1の温度に
基づいてバーナ群11aの炎検知をするために設けられ
たものである。セラミックヒータ1は、その温度に応じ
て抵抗体4の抵抗値が変化するものである。従って、例
えばバーナ群11aの名犬によって自己発熱による温度
より高くなると、抵抗値が変化するため、着火として検
知することができる。このとき、より早く炎を検知する
ために、抵抗値そのものに基づいて炎を検知するのでは
なく、時間変化に対する抵抗値変化を微分することによ
って、着火に伴って生じる抵抗値の変化を検知して炎検
知することができる。従ってこの場合には、着火によっ
てセラミックヒータ1の温度が変化し、それに応じて抵
抗体4の抵抗値が変化した場合に、抵抗値の変化によっ
て抵抗体4が示す抵抗値がどの値になるかに関係なく、
着火として検知できる。
The resistance value change detection section 44 is provided to detect the flame of the burner group 11a based on the temperature of the ceramic heater 1. In the ceramic heater 1, the resistance value of the resistor 4 changes depending on its temperature. Therefore, for example, when the temperature becomes higher than that due to self-heating caused by the burner group 11a, the resistance value changes, so that ignition can be detected. At this time, in order to detect flames more quickly, instead of detecting flames based on the resistance value itself, the change in resistance value that occurs with ignition is detected by differentiating the change in resistance value over time. flame can be detected. Therefore, in this case, when the temperature of the ceramic heater 1 changes due to ignition and the resistance value of the resistor 4 changes accordingly, what value will the resistance value of the resistor 4 become due to the change in resistance value? regardless of,
Can be detected as ignition.

また、同時に着火信号をマイコン40aへ出力すること
によって、ガス給湯器の作動を着火後の制御へ移行させ
ることができる。
Furthermore, by simultaneously outputting an ignition signal to the microcomputer 40a, the operation of the gas water heater can be shifted to post-ignition control.

マイコン40aでは、抵抗値検出部43によって検出さ
れる抵抗体4の抵抗値に基づいてセラミックヒータ1の
温度が演算され、その演算値に基づいて電流制御部42
による通電が行われる。さらに、抵抗値変化検出部44
によって所定の抵抗値変化が検出されると、着火信号が
得られ、同時に電流制御部42による通電が停止される
In the microcomputer 40a, the temperature of the ceramic heater 1 is calculated based on the resistance value of the resistor 4 detected by the resistance value detection unit 43, and the temperature of the ceramic heater 1 is calculated based on the calculated value.
energization is performed. Furthermore, the resistance value change detection section 44
When a predetermined change in resistance value is detected, an ignition signal is obtained, and at the same time, the current supply by the current control section 42 is stopped.

以上の構成からなるガス給湯器は、使用者がコントロー
ラ41によって出湯温度を設定し、運転スイッチを入れ
、図示しない給湯栓を操作すると、水管30内を水が通
過するとともに、制御回路40による所定のシーケンス
が開始され、送風1112が回転して燃焼用空気を供給
し、点火作動として電流制御部42によってセラミック
ヒータ1の抵抗体3が通電されると、抵抗体4によって
セラミックヒータ1の温度が検出され、それに基づいて
セラミックヒータ1が一定温度に制御される。
In the gas water heater configured as described above, when the user sets the hot water temperature using the controller 41, turns on the operation switch, and operates the hot water tap (not shown), water passes through the water pipe 30, and a predetermined temperature is set by the control circuit 40. When the sequence starts, the blower 1112 rotates to supply combustion air, and the current control unit 42 energizes the resistor 3 of the ceramic heater 1 as an ignition operation, the resistor 4 causes the temperature of the ceramic heater 1 to increase. Based on the detected temperature, the ceramic heater 1 is controlled to a constant temperature.

検出されるセラミックヒータ1の温度が、例えば120
0°Cとして検知されたとき、各電磁弁21.22が開
状態にされバーナ群11aに燃料が供給される。
If the detected temperature of the ceramic heater 1 is, for example, 120
When the temperature is detected as 0°C, each electromagnetic valve 21, 22 is opened and fuel is supplied to the burner group 11a.

バーナ群11aへ供給された混合気に着火し、セラミッ
クヒータ1の温度が」−昇し、抵抗体4に検出される抵
抗値が急激に増大すると、その変化が抵抗値変化検出部
44によって検出され、着火信号が出力される6着火信
号により、抵抗体3への通電が停止され、点火作動が終
了する。また同時に各電磁弁21.22は開状態に保持
される。
When the air-fuel mixture supplied to the burner group 11a is ignited, the temperature of the ceramic heater 1 rises, and the resistance value detected by the resistor 4 increases rapidly, this change is detected by the resistance value change detection unit 44. In response to the ignition signal 6, the ignition signal is outputted, the current supply to the resistor 3 is stopped, and the ignition operation is completed. At the same time, each electromagnetic valve 21, 22 is held open.

逆に、着火信号が得られない場合には、所定時間後に各
電磁弁21.22は閉状態にされるとともに、抵抗体3
への通電も停止されるため、セラミックヒータ1の温度
は低下する。
Conversely, if the ignition signal is not obtained, each electromagnetic valve 21, 22 is closed after a predetermined period of time, and the resistor 3 is closed.
Since power supply to the ceramic heater 1 is also stopped, the temperature of the ceramic heater 1 decreases.

着火後は、一定時間が経過すると、コントローラ41の
設定温度および各センサからの信号に応じて燃焼量制御
と水量制御が行われる。
After ignition, after a certain period of time has elapsed, combustion amount control and water amount control are performed according to the set temperature of the controller 41 and signals from each sensor.

また何らかの原因で失火すると、抵抗体4の抵抗値が減
少し、その変化の割合から失火を検知することができる
Furthermore, if a misfire occurs for some reason, the resistance value of the resistor 4 decreases, and the misfire can be detected from the rate of change.

本実施例では、抵抗体3と抵抗体4とが同じ特性を有す
る場合を示したが、発熱用に設けられた抵抗体3の抵抗
値のみを小さくし、温度検出用に設けられた抵抗体4の
抵抗値を大きくすることによって、発熱の立ち上がりを
速くするとともに、温度検出の感度を向上させることも
できる。
In this embodiment, the case where the resistor 3 and the resistor 4 have the same characteristics is shown, but only the resistance value of the resistor 3 provided for heat generation is reduced, and the resistance value of the resistor 3 provided for temperature detection is reduced. By increasing the resistance value of No. 4, the rise of heat generation can be made faster, and the sensitivity of temperature detection can also be improved.

また、この場合には、各抵抗体との接続のために設けら
れた各端子の大きさを抵抗体毎に変えることによって、
誤接続を防止するとよい。
In addition, in this case, by changing the size of each terminal provided for connection with each resistor,
It is a good idea to prevent incorrect connections.

本実施例では、セラミックヒータに、急速昇温型のもの
を使用したが、抵抗値が印加電圧に対して十分な値を示
し、電流制御を行わなくても発熱温度を一定温度に制御
できる飽和型のセラミックヒータでも、同様にセラミッ
クヒータの温度に基づいた制御等を行う場合に効果的で
ある。
In this example, a rapid temperature rise type ceramic heater was used, but the resistance value is sufficient for the applied voltage, and the heat generation temperature can be controlled at a constant temperature without current control. A type of ceramic heater is also effective when performing control based on the temperature of the ceramic heater.

第4図および第5図に本発明のセラミックヒータ1の第
2実施例および第3実施例をそれぞれ示す。
A second embodiment and a third embodiment of the ceramic heater 1 of the present invention are shown in FIGS. 4 and 5, respectively.

これらの実施例では、発熱用の抵抗体3と温度検出用の
抵抗体4とがセラミック基板2の同一面にプリントされ
ている。第4図に示す第2実施例では、抵抗体3の内側
に抵抗体4がプリントされ、抵抗体3と抵抗体4とは完
全に独立して設けられているが、第5図に示す第3実施
例では抵抗体3と抵抗体4とが直列接続されて設けられ
ており、その接続部3aには図示しない通電用の端子と
導通された導体パターン3bが接続されCいる。
In these embodiments, a heat generating resistor 3 and a temperature detecting resistor 4 are printed on the same surface of the ceramic substrate 2. In the second embodiment shown in FIG. 4, a resistor 4 is printed inside the resistor 3, and the resistors 3 and 4 are provided completely independently. In the third embodiment, a resistor 3 and a resistor 4 are connected in series, and a conductor pattern 3b electrically connected to a current-carrying terminal (not shown) is connected to the connecting portion 3a.

以上、のとおり、本発明では、複数の抵抗体が設けられ
ているため、ヒータ加熱用の通電回路と、温度検出用回
路とを分離することができ、回路構成が簡単になるため
、セラミックヒータの温度に基づいて他の制御をする場
合にも回路構成を簡単にすることができる。
As described above, in the present invention, since a plurality of resistors are provided, the energizing circuit for heater heating and the temperature detection circuit can be separated, and the circuit configuration is simplified. The circuit configuration can also be simplified when performing other controls based on the temperature.

本実施例では、セラミックヒータをガス給湯器の点火装
置として使用した場合を示したが、水、軽油、灯油等の
液体の加熱や、車両において機関や機関への吸入空気の
加熱に使用されるセラミックヒータにおいても、温度検
出、温度制御等を容易に行うことができる。
In this example, a ceramic heater is used as an ignition device for a gas water heater, but it can also be used to heat liquids such as water, diesel oil, kerosene, etc., or to heat an engine or intake air to an engine in a vehicle. Temperature detection, temperature control, etc. can be easily performed in ceramic heaters as well.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図は本発明のセラミックヒータの一部を切り欠いて
構造を示した斜視図、第2図は本実施例のガス給湯器の
構成を示す概略図、第3図は本実施例の制御回路を示す
ブロック図、第4図および第5図は本発明のセラミック
ヒータの第2実施例および第3実施例の一部分をそれぞ
れ示す抵抗体のプリント面における断面図である。 図中、1・・・セラミックヒータ、3・・・抵抗体(発
熱用抵抗体)、4・・・抵抗体(温度検出用抵抗体)。
Fig. 1 is a partially cutaway perspective view showing the structure of the ceramic heater of the present invention, Fig. 2 is a schematic diagram showing the configuration of the gas water heater of the present embodiment, and Fig. 3 is the control of the present embodiment. A block diagram showing the circuit, and FIGS. 4 and 5 are cross-sectional views of the printed surface of a resistor showing a part of the second and third embodiments of the ceramic heater of the present invention, respectively. In the figure, 1... Ceramic heater, 3... Resistor (heat generating resistor), 4... Resistor (temperature detection resistor).

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 1)セラミック焼結体の内部または表面に複数の抵抗体
を設け、一方を発熱用抵抗体として他方を温度検出用抵
抗体として使用することを特徴とするセラミックヒータ
1) A ceramic heater characterized in that a plurality of resistors are provided inside or on the surface of a ceramic sintered body, one of which is used as a heat generating resistor and the other as a temperature detecting resistor.
JP9919888A 1988-04-21 1988-04-21 Ceramic heater Pending JPH01272078A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP9919888A JPH01272078A (en) 1988-04-21 1988-04-21 Ceramic heater

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JP9919888A JPH01272078A (en) 1988-04-21 1988-04-21 Ceramic heater

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JP9919888A Pending JPH01272078A (en) 1988-04-21 1988-04-21 Ceramic heater

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Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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