JPH01267853A - Optical pickup - Google Patents

Optical pickup

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Publication number
JPH01267853A
JPH01267853A JP63094896A JP9489688A JPH01267853A JP H01267853 A JPH01267853 A JP H01267853A JP 63094896 A JP63094896 A JP 63094896A JP 9489688 A JP9489688 A JP 9489688A JP H01267853 A JPH01267853 A JP H01267853A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
transparent plate
mirror film
light
laser element
photodetector
Prior art date
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Pending
Application number
JP63094896A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Kazunori Tsukiki
槻木 和徳
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Sony Corp
Original Assignee
Sony Corp
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Filing date
Publication date
Application filed by Sony Corp filed Critical Sony Corp
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Abstract

PURPOSE:To decrease manday by locating a laser element and photodetectors on the sides of both the main faces of a transparent plate and making only the two parallel main faces of the transparent plate into optical faces. CONSTITUTION:A laser element 3 and photodetectors 5a and 5b are located on the sides of both main faces 8a and 8b of a transparent plate 7, and a half mirror film 9 to reflect a laser beam from the laser element 3 to the side of a recording medium and transmit return light from the recording medium and another mirror film 11 are provided only on the main faces 8a and 8b of the transparent plate 7. Gratings 10 and 12 to put downward light emitted from the transparent plate 7 and lead it to the photodetectors 5a and 5b is provided on the face of the transparent plate 7 on the side of the photodetectors 5a and 5b. Thus, for example, the work of lapping the end faces of the transparent plate 7 in the state of small pieces of individual transparent plates 7 becomes unnecessary and the manday can be decreased.

Description

【発明の詳細な説明】 以下の順序に従って本発明を説明する。[Detailed description of the invention] The present invention will be described in the following order.

A、産業上の利用分野 B6発明の概要 C1従来技術[第2図コ D1発明が解決しようとする問題点 E0問題点を解決するための手段 F0作用 G、実施例[第1図] H0発明の効果 (A、産業上の利用分野) 本発明は光ピツクアップ、特に1つの半導体基板にレー
ザ素子と、フォトデテクタと、上記レーザ素子からのレ
ーザ光を記録媒体側へ反射し該記録媒体からの戻り光を
フォトデテクタへ導くプリズムである透明板とを設けた
光ピツクアップに関する。
A. Industrial field of application B6 Overview of the invention C1 Prior art [Fig. 2 D1 Problem to be solved by the invention E0 Means for solving the problem F0 Effect G. Examples [Fig. 1] H0 Invention Effects (A, Industrial Application Field) The present invention relates to an optical pickup, in particular, a method that includes a laser element and a photodetector on one semiconductor substrate, and reflects the laser light from the laser element toward a recording medium to emit light from the recording medium. The present invention relates to an optical pickup equipped with a transparent plate that is a prism that guides returned light to a photodetector.

(B、発明の概要) 本発明は、上記の光ピツクアップにおいて、プリズムで
ある透明板を製造し易くして光ピツクアップの低価格化
を図るため、 透明板の両主面側にレーザ素子とフォトデテクタを位置
させることとし、透明板の主面のみにレーザ素子からの
レーザ光を記録媒体側へ反射し記録媒体からの戻り光を
透過させるハーフミラ−膜その他のミラー膜を設け、且
つ透明板から出射される光を下向きにしてフォトデテク
タに導くグレーティングを透明板のフォトデテクタ側の
面に設けたものである。
(B. Summary of the Invention) In the above-mentioned optical pickup, the present invention includes a laser element and a photodetector on both principal surfaces of the transparent plate in order to make it easier to manufacture the transparent plate, which is a prism, and to reduce the cost of the optical pickup. A half-mirror film or other mirror film is provided only on the main surface of the transparent plate to reflect the laser light from the laser element toward the recording medium and to transmit the return light from the recording medium. A grating that guides the emitted light downward to the photodetector is provided on the surface of the transparent plate on the photodetector side.

(C,従来技術)[第2図] 半導体レーザ装置は光学式記録媒体に対して情報の記録
や再生を光学的に行う光学式ヘッドに光源として多く用
いられるようになっている。そして、従来の光学式ヘッ
ドは一般に光源からの光を対物レンズにより光学式記録
媒体(例えばコンパクトディスク、ビデオディスク等)
の表面上に集束し、その光学式記録媒体からの戻り光を
ビームスプリッタにより受光装置側に反射し、受光装置
によりその戻り光を検出するようになっていた。
(C, Prior Art) [FIG. 2] Semiconductor laser devices are increasingly used as light sources in optical heads that optically record and reproduce information on optical recording media. Conventional optical heads generally transmit light from a light source to an optical recording medium (e.g. compact disc, video disc, etc.) using an objective lens.
The returning light from the optical recording medium is reflected by a beam splitter to the light receiving device, and the returned light is detected by the light receiving device.

しかし、光学式ヘッドの小型化、構造の簡単化の要請に
応えるべき半導体レーザ素子と受光素子とを近接して配
置し、半導体レーザ素子から出射されたレーザ光を受光
素子形成面にて光学式記録媒体側に反射し、光学式記録
媒体からの戻り光を受光素子にて検出して信号の読み取
りを行うことが研究され、その成果の1つが実開昭61
−158970号公報により紹介されている。
However, in order to meet the demands for downsizing and simplifying the structure of optical heads, the semiconductor laser element and the light receiving element are placed close together, and the laser light emitted from the semiconductor laser element is transferred to the optical head on the surface where the light receiving element is formed. Research has been conducted on reading signals by detecting the returned light from the optical recording medium with a light-receiving element, which is reflected on the recording medium side.
It is introduced in the publication No.-158970.

そして、本願出願人会社は、上記公報に記載された技術
を更に発展させたものとして受光素子が形成された半導
体基板の該受光素子が形成されていない領域上に半導体
レーザ素子を固着すると共に半導体基板の受光素子形成
領域上にプリズムを固着した装置を開発し、それに関す
る技術を特願昭61−38576、特願昭61−385
75、特願昭61−126318等により提案した。
As a further development of the technology described in the above-mentioned publication, the applicant company fixes a semiconductor laser element on the area where the light-receiving element is not formed on the semiconductor substrate on which the light-receiving element is formed, and Developed a device in which a prism was fixed on the light-receiving element forming area of a substrate, and applied related technology in Japanese Patent Applications No. 61-38576 and No. 61-385.
75, Japanese Patent Application No. 61-126318, etc.

第3図はそのような光集積回路装置の一例を示すもので
ある。図面において、aは半導体基板、b、bは代数の
フォトダイオードc、c””によって構成されたフォト
デテクタで、フォーカシング、トラッキング等のサーボ
及び信号の読取りを行う。dは半導体基板aのフォトデ
テクタb、bとは別の領域上に固着されたサブマウント
、eは該サブマウントd上にチップボンディングされた
半導体レーザ素子で、レーザ光出射端面がフォトデテク
タ側を向くようにポンディングされている。
FIG. 3 shows an example of such an optical integrated circuit device. In the drawing, a is a semiconductor substrate, b and b are photodetectors constituted by algebraic photodiodes c and c"", which perform servo operations such as focusing and tracking, and signal reading. d is a submount fixed on a region different from the photodetector b of the semiconductor substrate a, and e is a semiconductor laser element chip-bonded onto the submount d, with the laser beam emitting end face facing the photodetector side. Pounded to face.

fは側面形状が台形のガラスからなるプリズムで、それ
の傾斜端面gが半導体レーザ素子e側を向くようにして
底面りにて半導体基板aのフォトデテクタb、b上に接
着されている。上記傾斜端面gと、底面りの第2図にあ
ける右側のフォトデテクタbに対応する部分にはハーフ
ミラ−膜が形成されている。また、プリズムfの上面略
中夫にはフルミラー膜iが形成されている。これ等のミ
ラー膜は例えばアモルファスシリコン層とTi0層によ
って二層構造に形成されている。
Reference numeral f denotes a prism made of glass with a trapezoidal side surface shape, and is bonded to the photodetectors b and b of the semiconductor substrate a at the bottom surface thereof, with the inclined end face g of the prism facing toward the semiconductor laser element e. A half-mirror film is formed on the inclined end surface g and on the bottom surface corresponding to the photodetector b on the right side in FIG. Further, a full mirror film i is formed approximately in the middle of the upper surface of the prism f. These mirror films are formed in a two-layer structure, for example, by an amorphous silicon layer and a Ti0 layer.

第2図に示したこの光ピツクアップにおいては、半導体
レーザ素子eから出射されたレーザ光をプリズムfの傾
斜端面gにて上側の図示しない記録媒体側へ反射し、該
記録媒体からの戻り光を傾斜端面gにて受けてプリズム
f内に導き、その戻り光の一部が右側のフォトデテクタ
bにより受光され、残りがプリズム6底面りのハーフミ
ラ−膜によって斜め上側へ反射される。この反射された
戻り光はプリズムf上面のフルミラー膜iによって反射
され左側のフォトデテクタbによって受光される。
In this optical pickup shown in FIG. 2, the laser beam emitted from the semiconductor laser element e is reflected by the inclined end face g of the prism f toward the upper side of the recording medium (not shown), and the return light from the recording medium is A part of the returned light is received by the right photodetector b, and the rest is reflected diagonally upward by the half mirror film on the bottom of the prism 6. This reflected return light is reflected by the full mirror film i on the upper surface of the prism f and is received by the left photodetector b.

(D、発明が解決しようとする問題点)ところで、第2
図に示す光集積回路装置においては、プリズムfは傾斜
端面gと底面りと上面の三つの面において光の反射、入
射、出射が行われるので、その三つの面を光学面に仕上
げなければならない。また、その三つの面に反射膜9a
、9b、9Cを形成しなければならない。これは非常に
面倒であり、また、プリズムfの小型化も難しい。とい
うのは、ガラスをカッティングしただけでは面粗度が大
きくて光学面にはならないのでラッピングが必要であり
、そしてプリズムfの傾斜端面gのラッピングが非常に
難しいからである。即ち、プリズムfを形成する方法と
して透明板をウェハ状に形成し、その後ダイシングする
ことが考えられ、この場合、そのダイシングをする前に
(換言すればウェハ状の段階で)、上面、底面をラッピ
ングしておけば、プリズムに細片化された状態では上面
、底面のラッピングをする必要がなく、従って、プリズ
ムの上面、底面のラッピングについては特に面倒である
という問題はない。また、プリズムの上面、底面のハー
フミラ−あるいはフルミラーの形成もウェハの状態で行
うことができるので困難とはいえない。しかし、傾斜端
面gを光学面にするラッピング及びラッピング後の反射
膜の形成はウェハ状の透明板をダイシングして個々のプ
リズムに細片化した後でなければ行うことができず、そ
して細片化した状態でプリズムの端面をラッピングする
こと、そして反射膜を形成することは容易なことではな
い。従って、プリズムの形成が面倒で、プリズムの製造
コストが高くなり、延いては光ピツクアップの高価格化
を招く。
(D. Problem that the invention attempts to solve) By the way, the second
In the optical integrated circuit device shown in the figure, the prism f reflects, enters, and emits light on three surfaces: the inclined end surface g, the bottom surface, and the top surface, so these three surfaces must be finished as optical surfaces. . In addition, a reflective film 9a is provided on the three surfaces.
, 9b, 9C must be formed. This is very troublesome, and it is also difficult to miniaturize the prism f. This is because lapping is necessary because the surface roughness is too large to form an optical surface just by cutting the glass, and lapping of the inclined end face g of the prism f is extremely difficult. That is, one possible method for forming the prism f is to form a transparent plate into a wafer shape and then dice it. In this case, before dicing (in other words, at the wafer stage), the top and bottom surfaces are If the prism is wrapped, there is no need to wrap the top and bottom surfaces of the prism in a state where it is cut into pieces, and therefore there is no problem that lapping the top and bottom surfaces of the prism is particularly troublesome. Furthermore, it is not difficult to form a half mirror or a full mirror on the top and bottom surfaces of the prism since it can be done in the form of a wafer. However, lapping to make the inclined end face g an optical surface and formation of a reflective film after lapping can only be performed after dicing a wafer-shaped transparent plate into individual prisms, and It is not easy to wrap the end face of the prism and form a reflective film while the prism is in a stained state. Therefore, it is troublesome to form the prism, and the manufacturing cost of the prism increases, leading to an increase in the price of the optical pickup.

本発明はこのような問題点を解決すべく為されたもので
あり、使用するプリズムを量産性のある方法で製造でき
るようにし、更にはプリズムの製造コストの低減を図り
、延いては光ピツクアップの低価格化を図ることを目的
とする。
The present invention has been made in order to solve these problems, and makes it possible to manufacture the prisms to be used in a mass-producible manner, further reducing the manufacturing cost of the prisms, and further improving the optical pickup. The aim is to reduce the price of.

(E、問題点を解決するための手段) 本発明光ピツクアップは上記問題点を解決するため、透
明板の両主面側にレーザ素子とフォトデテクタを位置さ
せることとし、透明板の主面のみにレーザ素子からのレ
ーザ光を記録媒体側へ反射し記録媒体からの戻り光を透
過させるハーフミラ−膜その他のミラー膜を設け、且つ
透明板から出射される光を下向きにしてフォトデテクタ
に導くグレーティングを透明板のフォトデテクタ側の面
に設けたことを特徴とする。
(E. Means for Solving the Problems) In order to solve the above problems, the optical pickup of the present invention has a laser element and a photodetector located on both main surfaces of the transparent plate, and only the main surface of the transparent plate A grating is provided with a half mirror film or other mirror film that reflects the laser light from the laser element toward the recording medium and transmits the return light from the recording medium, and also directs the light emitted from the transparent plate downward to the photodetector. is provided on the photodetector side surface of the transparent plate.

(F、作用) 本発明光ピツクアップによれば、透明板の平行な二主面
のみ光学面とすればよいので、透明板を透明クエへのダ
イシングによって形成することとし、その形成にあたっ
てダイシング前に透明ウェハの両主面をラッピングして
光学面に仕上げておけばダイシング後には光学面に仕上
げる作業は必要としない。従って、個々の透明板に細片
化された状態で透明板の端面をラッピングするという作
業が必要でなくなり、その分透明板の製造コストが安く
なる。また、光学面の反射膜、グレーティングを形成す
るに必要な作業工数に関しても同様に工数の低減を図る
ことができ、製造コストの低減に貢献することができる
。そして、半導体基板表面よりも高い位置でレーザ素子
からレーザ光が発生しても透明板に設けたグレーティン
グにより下側に曲げられるので半導体基板表面に形成さ
れたフォトデテクタにレーザ光が導光されるようにする
ことができる。
(F. Effect) According to the optical pickup of the present invention, only the two parallel principal surfaces of the transparent plate need to be used as optical surfaces. If both principal surfaces of the transparent wafer are lapped to form an optical surface, there is no need to perform the work of finishing the transparent wafer into an optical surface after dicing. Therefore, it is no longer necessary to wrap the end faces of each transparent plate after it has been cut into pieces, and the manufacturing cost of the transparent plate is reduced accordingly. Furthermore, the number of man-hours required to form the reflective film and grating on the optical surface can be similarly reduced, contributing to a reduction in manufacturing costs. Even if laser light is generated from the laser element at a position higher than the surface of the semiconductor substrate, it is bent downward by the grating provided on the transparent plate, so that the laser light is guided to the photodetector formed on the surface of the semiconductor substrate. You can do it like this.

(G、実施例)[第1図] 以下、本発明光ピツクアップを図示実施例に従って詳細
に説明する。
(G. Embodiment) [FIG. 1] Hereinafter, the optical pickup of the present invention will be explained in detail according to the illustrated embodiment.

第1図は本発明光ピツクアップの一つの実施例を示す斜
視図である。
FIG. 1 is a perspective view showing one embodiment of the optical pickup of the present invention.

1は半導体基板、2は該半導体基板1の表面上に配置さ
れた例えばシリコン半導体からなるサブマウント、3は
該サブマウント2上に設けられた半導体レーザ素子、4
はサブマウント2表面部に形成されたモニター用フォト
デテクタである。半導体レーザ素子3は半導体基板1の
中央部から第1図における左側へ適宜寄ったところに配
置され、光軸が半導体基板1の表面に対して平行く即ち
、水平)であって且つ第1図における右斜め手前側を向
くような半導体基板1の各辺に対して斜めになるように
されている。
1 is a semiconductor substrate; 2 is a submount made of, for example, a silicon semiconductor, disposed on the surface of the semiconductor substrate 1; 3 is a semiconductor laser element provided on the submount 2; 4;
is a monitor photodetector formed on the surface of the submount 2. The semiconductor laser element 3 is disposed at a location appropriately shifted to the left side in FIG. 1 from the center of the semiconductor substrate 1, and its optical axis is parallel to the surface of the semiconductor substrate 1 (that is, horizontal), and the optical axis is parallel to the surface of the semiconductor substrate 1, and It is made to be diagonal with respect to each side of the semiconductor substrate 1, which faces diagonally to the right and toward the front.

5a、5bは半導体基板1の第1図における右側の部分
において表面部に形成されたフォトデテクタで、共に3
つの互いに平行に形成されたフォトダイオード6.6.
6からなる。フォトデテクタ5aが半導体基板lの第1
図における前後方向の略中央部に、フォトデテクタ5b
がフォトデテクタaよりも稍奥側の部分に位置されてい
る。
5a and 5b are photodetectors formed on the surface of the right side of the semiconductor substrate 1 in FIG.
Two photodiodes formed parallel to each other 6.6.
Consists of 6. The photodetector 5a is the first photodetector of the semiconductor substrate l.
A photodetector 5b is located approximately at the center in the front and back direction in the figure.
is located slightly further back than photodetector a.

7はプリズムを成す直方体形状の透明板で、半導体基板
1を略中央部にて左右に2分するように半導体基板1上
に固着されている。8a、8bは透明板7のラッピング
により光学面に仕上げられた主面で、互いに平行であり
、この両主面8a、8bがレーザ素子側及びフォトデテ
クタ5a、5b側を向くように透明板7が半導体基板1
に固着されている。
Reference numeral 7 denotes a rectangular parallelepiped-shaped transparent plate forming a prism, which is fixed onto the semiconductor substrate 1 so as to divide the semiconductor substrate 1 into left and right halves at approximately the center. 8a and 8b are main surfaces finished as optical surfaces by wrapping the transparent plate 7, and are parallel to each other. is semiconductor substrate 1
is fixed to.

9は透明板7の半導体レーザ素子3側の主面8aに形成
されたハーフミラ−膜で、透明板7の中央よりも第1図
における相手前側に位置されており、半導体レーザ素子
3からのレーザ光が右斜め方向(ハーフミラ−膜9の立
場で)に入射され、そしてそのレーザ光を左斜め方向(
ハーフミラ−膜9の立場で)にある図示しない例えばレ
ーザディスクあるいはコンパクトディスク等の記録媒体
へ反射する。そして、該ハーフミラ−膜9は戻り光の透
過を許容するのでその戻り光は透明板7に入射されるこ
とになる。10は透明板7のフォトデテクタ側の主面8
bに形成されたグレーティング及びハーフミラ−膜で、
上記ハーフミラ−膜9を透過して透明板7内に入射した
上記戻り光を受ける位置に設けられている。該グレーテ
ィング及びハーフミラ−膜10は透明板7の主面8bに
凹凸からなるグレーティングを形成し、該凹凸状のグレ
ーティング上にハーフミラ−膜を形成することにより形
成される。ハーフミラ−膜9を透過してグレーティング
及びハーフミラ−膜10に入射した戻り光は一部が反射
され残りがグレーティングによって下側に曲げられて透
明板7から出射してフォトデテクタ5aにより受光され
る。
Reference numeral 9 denotes a half mirror film formed on the main surface 8a of the transparent plate 7 on the side of the semiconductor laser element 3, which is located on the opposite side in FIG. Light is incident diagonally to the right (from the perspective of the half mirror film 9), and the laser beam is directed diagonally to the left (from the perspective of the half mirror film 9).
The light is reflected onto a recording medium (not shown), such as a laser disc or a compact disc (not shown) located at the half-mirror film 9. Since the half mirror film 9 allows the return light to pass through, the return light is incident on the transparent plate 7. 10 is the main surface 8 of the transparent plate 7 on the photodetector side.
With the grating and half mirror film formed in b,
It is provided at a position to receive the returned light that has passed through the half mirror film 9 and entered the transparent plate 7. The grating and half-mirror film 10 are formed by forming a grating made of unevenness on the main surface 8b of the transparent plate 7, and forming a half-mirror film on the uneven grating. Part of the returned light that has passed through the half mirror film 9 and entered the grating and the half mirror film 10 is reflected, and the rest is bent downward by the grating, exits the transparent plate 7, and is received by the photodetector 5a.

工1は透明板7の主面8aに形成されたフルミラー膜で
、該主面8aの略中央部であるところのグレーティング
及びハーフミラ−膜10からのレーザ光を受ける位置に
形成されており、そしてグレーティング及びハーフミラ
−膜10からのレーザ光を反射する。
A full mirror film 1 is formed on the main surface 8a of the transparent plate 7, and is formed at a position that receives laser light from the grating and the half mirror film 10, which is approximately in the center of the main surface 8a. The laser beam from the grating and half mirror film 10 is reflected.

12は透明板7の主面8bに形成されたグレーティング
で、フルミラー膜11で反射された戻り光を受ける位置
に設けられており、その戻り光を下側に適宜曲げて出射
してフォトデテクタ5bにより受光されるようにする。
Reference numeral 12 denotes a grating formed on the main surface 8b of the transparent plate 7, and is provided at a position to receive the returned light reflected by the full mirror film 11, and bends the returned light appropriately downward and emits it to the photodetector 5b. so that the light is received by the

尚、フォトデテクタ5a及び5bの受光量から記録媒体
に記録された信号の読み取りフォーカスエラーの検出、
トラッキングエラーの検出が為されるのである。
In addition, detection of focus error by reading signals recorded on the recording medium from the amount of light received by the photodetectors 5a and 5b;
Tracking errors are detected.

透明板7において、各フォトデテクタ5a、5bに対応
してグレーティングがフォトデテクタ側の主面8bに設
けられているのは次の理由による。
The reason why gratings are provided on the main surface 8b on the photodetector side in the transparent plate 7 corresponding to each of the photodetectors 5a and 5b is as follows.

即ち、半導体レーザ素子3から出射されるレーザ光の光
軸が半導体基板1の表面に対して平行であり、光路が半
導体基板1の表面より高い位置の該表面と平行な1つの
平面上に形成されることになりそのままでは戻り光が半
導体基板1表面部に形成されたフォトデテクタ5a、5
bに受光されないことになる。そこで、透明板7のフォ
トデテクタ5a、5b側へ向うレーザ光を出射する部分
に斜め下側へ光を曲げるグレーティングを設け、フォト
デテクタ5a、5bに受光されるようにするのである。
That is, the optical axis of the laser beam emitted from the semiconductor laser element 3 is parallel to the surface of the semiconductor substrate 1, and the optical path is formed on one plane parallel to the surface of the semiconductor substrate 1 at a position higher than the surface. If left as is, the returned light will reach the photodetectors 5a and 5 formed on the surface of the semiconductor substrate 1.
This means that the light will not be received by b. Therefore, a grating that bends the light obliquely downward is provided in the portion of the transparent plate 7 that emits the laser light toward the photodetectors 5a and 5b so that the light is received by the photodetectors 5a and 5b.

(H,発明の効果) 以上に述べたように、本発明光ピックアップは、半導体
基板の一部分上にレーザ素子が配置され、上記半導体基
板の他の部分の表面部に複数のフォトデテクタが設けら
れ、上記半導体基板の上記レーザ素子が配置された部分
と上記フォトデテクタが設けられた部分との間に、両主
面が平行な光学面に形成された透明板が、その両主面を
レーザ素子側及びフォトデテクタ側を向くように配置さ
れ、該透明板は、上記レーザ素子からのレーザ光を記録
媒体側に反射し記録媒体側からの戻り光の透過を許容す
るところのレーザ素子側の面に設けられた第1のハーフ
ミラ−膜と、該第1のハーフミラ−膜を透過して透明板
内に入射した光の一部を反射するところのフォトデテク
タ側に設けられた第2のハーフミラ−膜と、該第2のハ
ーフミラ−膜に設けられた部分に形成されたところの該
ハーフミラ−膜を透過した光を回折して一部のフォトデ
テクタへ導くグレーティングと、第2のハーフミラ−膜
で反射された光を反射するところのレーザ素子側の面に
設けられたミラー膜と、該ミラー膜により反射された光
を回折して他のフォトデテクタへ導くところのレーザ素
子側に設けられたグレーティングとを少なくとも有する
ことを特徴とするものである。
(H, Effect of the Invention) As described above, the optical pickup of the present invention includes a laser element disposed on a portion of the semiconductor substrate, and a plurality of photodetectors provided on the surface of the other portion of the semiconductor substrate. , a transparent plate having both principal surfaces parallel to each other is formed between a portion of the semiconductor substrate where the laser element is arranged and a portion where the photodetector is provided; The transparent plate has a surface on the laser element side that reflects the laser light from the laser element toward the recording medium and allows the return light from the recording medium to pass through. a first half-mirror film provided on the photodetector side, and a second half-mirror provided on the photodetector side that reflects a part of the light that passes through the first half-mirror film and enters the transparent plate. a grating formed in a portion provided on the second half-mirror film that diffracts the light transmitted through the half-mirror film and guides it to a part of the photodetector; A mirror film provided on the surface on the laser element side that reflects the reflected light, and a grating provided on the laser element side that diffracts the light reflected by the mirror film and guides it to another photodetector. It is characterized by having at least the following.

従って、本発明光ピツクアップによれば、透明板の平行
な二重布のみ光学面とすればよいので、透明板を透明ウ
ェハのダイシングによって形成することとし、その形成
にあたフてダイシング前に透明ウェハの両主面をラッピ
ングして光学面に仕上げておけばダイシング後には光学
面に仕上げる作業は必要としない。従って、個々の透明
板に細片化された状態で透明板の端面をラッピングする
という作業が必要でなくなり、その分透明板の製造コス
トが安くなる。また、光学面の反射膜、グレーティング
を形成するに必要な作業工数に関しても同様に工数の低
減を図ることができ、製造コストの低減に貢献すること
ができる。そして、半導体基板表面よりも高い位置でレ
ーザ素子からレーザ光が発生しても透明板に設けたグレ
ーティングにより下側に曲げられるので半導体基板表面
に形成されたフォトデテクタにレーザ光が導光されるよ
うにすることができる。
Therefore, according to the optical pickup of the present invention, only the parallel double cloth of the transparent plate needs to be used as the optical surface, so the transparent plate is formed by dicing a transparent wafer, and in order to form the transparent plate, If both principal surfaces of the transparent wafer are lapped to form an optical surface, there is no need to perform the work of finishing the transparent wafer into an optical surface after dicing. Therefore, it is no longer necessary to wrap the end faces of each transparent plate after it has been cut into pieces, and the manufacturing cost of the transparent plate is reduced accordingly. Furthermore, the number of man-hours required to form the reflective film and grating on the optical surface can be similarly reduced, contributing to a reduction in manufacturing costs. Even if laser light is generated from the laser element at a position higher than the surface of the semiconductor substrate, it is bent downward by the grating provided on the transparent plate, so that the laser light is guided to the photodetector formed on the surface of the semiconductor substrate. You can do it like this.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図は本発明光ピツクアップの一つの実施例を示す斜
視図、第2図は従来技術を示す斜視図である。 符号の説明 1・・・半導体基板、3・・・レーザ素子、5a、5b
・・・フォトデテクタ、 7・・・透明板、8a、8b・・・主面・9・・・第1
のハーフのミラー膜、 10・・・グレーティング(及び第2のハーフミラ−膜
)、 11・・・ミラー膜、 12・・・グレーティング。 5a、5b   フォトテ゛テフタ
FIG. 1 is a perspective view showing one embodiment of the optical pickup of the present invention, and FIG. 2 is a perspective view showing a conventional technique. Explanation of symbols 1... Semiconductor substrate, 3... Laser element, 5a, 5b
...Photodetector, 7...Transparent plate, 8a, 8b...Main surface, 9...First
10... Grating (and second half mirror film), 11... Mirror film, 12... Grating. 5a, 5b Photo holder

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] (1)半導体基板の一部分上にレーザ素子が配置され、
上記半導体基板の他の部分の表面部に複数のフォトデテ
クタが設けられ、上記半導体基板の上記レーザ素子が配
置された部分と上記フォトデテクタが設けられた部分と
の間に、両主面が平行な光学面に形成された透明板が、
その両主面をレーザ素子側及びフォトデテクタ側を向く
ように配置され、上記透明板は、上記レーザ素子からの
レーザ光を記録媒体側に反射し記録媒体側からの戻り光
の透過を許容するところのレーザ素子側の面に設けられ
た第1のハーフミラー膜と、該ハーフミラー膜を透過し
て透明板内に入射した光の一部を反射するところのフォ
トデテクタ側に設けられた第2のハーフミラー膜と、該
第2のハーフミラー膜に設けられた部分に形成されたと
ころの該ハーフミラー膜を透過した光を回折して一部の
フォトデテクタへ導くグレーティングと、第2のハーフ
ミラー膜で反射された光を反射するところのレーザ素子
側の面に設けられたミラー膜と、該ミラー膜により反射
された光を回折して他のフォトデテクタへ導くところの
レーザ素子側に設けられたグレーティングとを少なくと
も有することを特徴とする光ピックアップ
(1) A laser element is placed on a portion of the semiconductor substrate,
A plurality of photodetectors are provided on a surface portion of another portion of the semiconductor substrate, and both main surfaces are parallel to each other between a portion of the semiconductor substrate where the laser element is arranged and a portion where the photodetector is provided. The transparent plate formed on the optical surface is
The transparent plate is arranged so that its main surfaces face the laser element side and the photodetector side, and the transparent plate reflects the laser light from the laser element toward the recording medium side and allows the return light from the recording medium side to pass through. However, there is a first half mirror film provided on the surface on the laser element side, and a second half mirror film provided on the photodetector side that reflects a part of the light that passes through the half mirror film and enters the transparent plate. a second half-mirror film, a grating formed in a portion provided on the second half-mirror film that diffracts the light transmitted through the half-mirror film and guides it to a part of the photodetector; A mirror film provided on the laser element side where the light reflected by the half mirror film is reflected, and a mirror film provided on the laser element side where the light reflected by the mirror film is diffracted and guided to another photodetector. An optical pickup characterized in that it has at least a grating provided therein.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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US6290134B1 (en) 1994-07-19 2001-09-18 Psc Scanning, Inc. Compact scanner module mountable to pointing instrument

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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