JPH01259242A - ブレイクダウン分光分析プローブ - Google Patents
ブレイクダウン分光分析プローブInfo
- Publication number
- JPH01259242A JPH01259242A JP63085101A JP8510188A JPH01259242A JP H01259242 A JPH01259242 A JP H01259242A JP 63085101 A JP63085101 A JP 63085101A JP 8510188 A JP8510188 A JP 8510188A JP H01259242 A JPH01259242 A JP H01259242A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- breakdown
- spectroscopic analysis
- probe
- sample
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 title claims abstract description 56
- 239000000523 sample Substances 0.000 title claims abstract description 53
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 title description 3
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 claims abstract description 34
- 239000000835 fiber Substances 0.000 claims abstract description 25
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims abstract description 19
- 238000004611 spectroscopical analysis Methods 0.000 claims description 24
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims 7
- 239000012510 hollow fiber Substances 0.000 claims 1
- 239000013618 particulate matter Substances 0.000 claims 1
- 239000011162 core material Substances 0.000 description 17
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 10
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 8
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 5
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 5
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 238000012625 in-situ measurement Methods 0.000 description 4
- 239000004793 Polystyrene Substances 0.000 description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 229920002223 polystyrene Polymers 0.000 description 3
- 238000011088 calibration curve Methods 0.000 description 2
- 229910021642 ultra pure water Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000012498 ultrapure water Substances 0.000 description 2
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 1
- 239000010419 fine particle Substances 0.000 description 1
- 238000011065 in-situ storage Methods 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 238000004020 luminiscence type Methods 0.000 description 1
- 238000011002 quantification Methods 0.000 description 1
- 238000004445 quantitative analysis Methods 0.000 description 1
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011882 ultra-fine particle Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/62—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light
- G01N21/71—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light thermally excited
- G01N21/718—Laser microanalysis, i.e. with formation of sample plasma
Landscapes
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Nuclear Medicine, Radiotherapy & Molecular Imaging (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Ultrasonic Waves (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明はブレイクダウン分光分析装置に係り、特に、ブ
レイクダウン分光分析のその場測定、遠隔測定に好適な
ブレイクダウン分光分析装置に関する。
レイクダウン分光分析のその場測定、遠隔測定に好適な
ブレイクダウン分光分析装置に関する。
従来、ブレイクダウン分光分析については、アプライ１
− スペク１−ロスコピー第３８巻 第５号（１９８４
年）第７２１頁から第７２９頁（ＡｐｐｌｉｅｄＳｐｅ
ｃｔｒｏｓｃｏｐｙ、 Ｖｏｆｌ ３８． Ｎｕｍｂｅ
ｒ ５．（１９８４）ｐｐ７２１−７２９）において論
じられているように、レーザ光を固定されたミラーとレ
ンズにより試料の入ったセル部へ送光し、ブレイクダウ
ンにより発生した光を固定されたレンズで集光して分光
器へ送っていた。
− スペク１−ロスコピー第３８巻 第５号（１９８４
年）第７２１頁から第７２９頁（ＡｐｐｌｉｅｄＳｐｅ
ｃｔｒｏｓｃｏｐｙ、 Ｖｏｆｌ ３８． Ｎｕｍｂｅ
ｒ ５．（１９８４）ｐｐ７２１−７２９）において論
じられているように、レーザ光を固定されたミラーとレ
ンズにより試料の入ったセル部へ送光し、ブレイクダウ
ンにより発生した光を固定されたレンズで集光して分光
器へ送っていた。
上記の従来技術は、ブレイクダウンを発生するために照
射する光の光路は固定されていないため、測定したいポ
イントへ光を照射するための光学系を組むための時間を
要し、その変更は困難であった。また、試料の入ったセ
ルは光学窓を設けておく必要があった。また、遠隔分析
をするための考慮はされておらず、光源や検出器を測定
したいポイントの近くに設置する必要があった。
射する光の光路は固定されていないため、測定したいポ
イントへ光を照射するための光学系を組むための時間を
要し、その変更は困難であった。また、試料の入ったセ
ルは光学窓を設けておく必要があった。また、遠隔分析
をするための考慮はされておらず、光源や検出器を測定
したいポイントの近くに設置する必要があった。
本発明の目的は、ブレイクダウン分光分析のその場測定
及び遠隔測定を可能とし、測定点の変更も容易なブレイ
クダウン分光分析プローブを提供することにある。
及び遠隔測定を可能とし、測定点の変更も容易なブレイ
クダウン分光分析プローブを提供することにある。
上記目的は、ブレイクダウンを発生させるための光を送
光する手段として、光ファイバのような損失が少なく、
かつ、容易に曲げることができる光伝送手段を用い、ブ
レイクダウンの発生位置の近くに、音響波の検出器や、
発光を受光して送光する光ファイバに備えたプローブ部
を設置することにより達成される。
光する手段として、光ファイバのような損失が少なく、
かつ、容易に曲げることができる光伝送手段を用い、ブ
レイクダウンの発生位置の近くに、音響波の検出器や、
発光を受光して送光する光ファイバに備えたプローブ部
を設置することにより達成される。
光源は、ブレイクダウンを発生させるのに必要なエネル
ギの光を発生しうるちのを用い、その光源からの光を光
ファイバのように光伝送手段を用いて、測定したいポイ
ンＩ〜へと送光する。ここで、用いる光伝送手段は、損
失が少なく、かつ、曲げることも容易なものであるため
、狭い場所でも容易に光路を設定でき、遠くまで光を送
光することができ、かつ、光路の変更も容易となる。光
ファイバなどを光伝送手段に用いるときは、大口径コア
の単心ファイバや、二本以上の光ファイバを用いれば、
ブレイクダウンを発生させるに足る高エネルギの光をフ
ァイバの端面を損傷させることなく送光できる。ブレイ
クダウンの発生位置には、音響波を測定する場合は検出
器が、発光を測定する場合は受光部と受光送光用の光フ
ァイバが設置され、必要な情報を測定し、それらの信号
は信号ケーブルや光ファイバにより信号処理系に送られ
〔実施例〕 以下、本発明の一実施例を第１図により説明する。
ギの光を発生しうるちのを用い、その光源からの光を光
ファイバのように光伝送手段を用いて、測定したいポイ
ンＩ〜へと送光する。ここで、用いる光伝送手段は、損
失が少なく、かつ、曲げることも容易なものであるため
、狭い場所でも容易に光路を設定でき、遠くまで光を送
光することができ、かつ、光路の変更も容易となる。光
ファイバなどを光伝送手段に用いるときは、大口径コア
の単心ファイバや、二本以上の光ファイバを用いれば、
ブレイクダウンを発生させるに足る高エネルギの光をフ
ァイバの端面を損傷させることなく送光できる。ブレイ
クダウンの発生位置には、音響波を測定する場合は検出
器が、発光を測定する場合は受光部と受光送光用の光フ
ァイバが設置され、必要な情報を測定し、それらの信号
は信号ケーブルや光ファイバにより信号処理系に送られ
〔実施例〕 以下、本発明の一実施例を第１図により説明する。
まず、本発明の全体構成を記す。光源として用いられる
レーザ１から励起光２１が発生され、その励起光２１送
光手段として用いられる光ファイバ２によりプローブ４
へ送光する。プローブ４において光ファイバ２から出射
された励起光２１はレンズ８により集光され、測定した
い媒質のブレイクダウンを発生させ、ブレイクダウンに
より発生する音響波２２を圧電素子３により検出し、そ
の電気信号をケーブル５で信号処理装置６へ送り、記録
計７に記録する。図中３１は槽、３２は試料。
レーザ１から励起光２１が発生され、その励起光２１送
光手段として用いられる光ファイバ２によりプローブ４
へ送光する。プローブ４において光ファイバ２から出射
された励起光２１はレンズ８により集光され、測定した
い媒質のブレイクダウンを発生させ、ブレイクダウンに
より発生する音響波２２を圧電素子３により検出し、そ
の電気信号をケーブル５で信号処理装置６へ送り、記録
計７に記録する。図中３１は槽、３２は試料。
次に、本発明の原理及び各部の詳細を以下に記す。
本発明で実施するブレイクダウン分光分析は、レーザ光
を集光して、エネルギ密度を高くし、高い電場をつくる
ことにより、媒質のブレイクダウン（一種の絶縁破壊）
を発生させ、ブレイクダウンにより発生する音響波を検
出する。第２図にブレイクダウン音響波を検出し、超純
水中の０．０３８μｍのポリスチリレン超微粒子を計数
した実験結果の一例を示す。ここでは、液体である超純
水はブレイクダウンを起こさず、超微粒子のみブレイク
ダウンさせるようにエネルギ密度を設定して測定したも
のであるが、計数値は粒子数密度に比例して増加してお
り、微粒子を計数できていることがわかる。
を集光して、エネルギ密度を高くし、高い電場をつくる
ことにより、媒質のブレイクダウン（一種の絶縁破壊）
を発生させ、ブレイクダウンにより発生する音響波を検
出する。第２図にブレイクダウン音響波を検出し、超純
水中の０．０３８μｍのポリスチリレン超微粒子を計数
した実験結果の一例を示す。ここでは、液体である超純
水はブレイクダウンを起こさず、超微粒子のみブレイク
ダウンさせるようにエネルギ密度を設定して測定したも
のであるが、計数値は粒子数密度に比例して増加してお
り、微粒子を計数できていることがわかる。
上記のことから、了解されるように、ブレイクダウンを
誘起するためには高エネルギの光が必要である。実用的
な値としては、例えば、パルスレーザの出力３０ｍＪ／
パルス幅Ｉｏｎｓ程度の光を要し、これだけの光を容易
に遠隔分析できるように送光するのは容易ではなかった
。例えば、コア径８００μｍ程度の単心の光ファイバー
本のみでは、光ファイバの入射側のコア面が高エネルギ
のレーザ光により損傷を受けてしまう。また、コア径の
小さいファイバを数十水束ねたバンドルファイバでは、
ファイバをたばねるための接着剤が損傷を受けるなどの
問題があった。
誘起するためには高エネルギの光が必要である。実用的
な値としては、例えば、パルスレーザの出力３０ｍＪ／
パルス幅Ｉｏｎｓ程度の光を要し、これだけの光を容易
に遠隔分析できるように送光するのは容易ではなかった
。例えば、コア径８００μｍ程度の単心の光ファイバー
本のみでは、光ファイバの入射側のコア面が高エネルギ
のレーザ光により損傷を受けてしまう。また、コア径の
小さいファイバを数十水束ねたバンドルファイバでは、
ファイバをたばねるための接着剤が損傷を受けるなどの
問題があった。
そこで本実施例では、コア径の大きい単心ファイバを光
ファイバ２に適用することにより高エネルギのレーザ光
を送光する方法を示している。すなわち、光フアイバ入
射端面の実用に耐えるエネルギ密度はコア材に純粋石英
を用いた場合、１０６Ｗ／ｎｗ１１２以下であることを
用い、コア直径をｄ（ＩｌＩＴｌ）、パルスレーザ光の
１パルスのエネルギをＥ （Ｊ） 、パルス幅をｔ （
ｓｅｅ）、ファイバコアに入射するビームスポット径は
コア径の８０％にすると、 の関係が成り立つ。従って、この式のＥ＝３０ｍＪ、Ｊ
＝１０ｎｓを代入して、コア径を求めると、ｄ≧２．４
４ｍｍ となる。この値は、単心ファイバとしては非常
に大きいものであるが、技術的には製作可能な値であり
、本発明に利用することが可能となる。
ファイバ２に適用することにより高エネルギのレーザ光
を送光する方法を示している。すなわち、光フアイバ入
射端面の実用に耐えるエネルギ密度はコア材に純粋石英
を用いた場合、１０６Ｗ／ｎｗ１１２以下であることを
用い、コア直径をｄ（ＩｌＩＴｌ）、パルスレーザ光の
１パルスのエネルギをＥ （Ｊ） 、パルス幅をｔ （
ｓｅｅ）、ファイバコアに入射するビームスポット径は
コア径の８０％にすると、 の関係が成り立つ。従って、この式のＥ＝３０ｍＪ、Ｊ
＝１０ｎｓを代入して、コア径を求めると、ｄ≧２．４
４ｍｍ となる。この値は、単心ファイバとしては非常
に大きいものであるが、技術的には製作可能な値であり
、本発明に利用することが可能となる。
次に、プローブ部について論じる。プローブ４は光ファ
イバ２の出射口に取付けられ、ブレイクダウンを発生、
検出する部分である。光ファイバ２から出射された光は
約２０°の角度が広がっているので、レンズ８により集
光して、ブレイクダウンを発生させるためのエネルギ密
度（１０７Ｗ／ｍ２以上）にする。レンズ８は、−枚で
も二枚以上でも良い。そして、ブレイクダウンの発生位
置の側面部に圧電素子３等の音検出器をプローブ４に固
定して設置する。このプローブ４の大きさは１０ｃｌｎ
以下にできるので、小型で使い易い大きさにすることが
できる。圧電素子４からの電気信号は信号ケーブル５で
信号処理装置６に送る。
イバ２の出射口に取付けられ、ブレイクダウンを発生、
検出する部分である。光ファイバ２から出射された光は
約２０°の角度が広がっているので、レンズ８により集
光して、ブレイクダウンを発生させるためのエネルギ密
度（１０７Ｗ／ｍ２以上）にする。レンズ８は、−枚で
も二枚以上でも良い。そして、ブレイクダウンの発生位
置の側面部に圧電素子３等の音検出器をプローブ４に固
定して設置する。このプローブ４の大きさは１０ｃｌｎ
以下にできるので、小型で使い易い大きさにすることが
できる。圧電素子４からの電気信号は信号ケーブル５で
信号処理装置６に送る。
本実施例によれば、レーザ光、信号処理装置６、及び記
録計７とプローブ４部とを光ファイバ２と信号ケーブル
５によりつなぐことができるので、遠隔測定が可能とな
り、また、プローブ４は容易に移動可能であるが、その
場測定が可能となるという効果がある。
録計７とプローブ４部とを光ファイバ２と信号ケーブル
５によりつなぐことができるので、遠隔測定が可能とな
り、また、プローブ４は容易に移動可能であるが、その
場測定が可能となるという効果がある。
次に、本発明の第二の実施例を第３図を用いて説明する
。
。
本実施例は、ブレイクダウンにより発生する音響波では
なく、発光を検出し、媒質の成分や濃度を分析するもの
である。従ってブレイクダウンを発光するためのレーザ
、光ファイバ２．レンズ８は前述と同様のものを用いる
。そして、プローブ４には、ブレイクダウンによる発光
を受光して分光器１０へ送光するための受光ファイバを
設置する。この受光ファイバ９に入ってくる光は、レー
ザ光はど強いものではないので、受光ファイバ９のコア
径は、特に、指定する必要はないがバンドルにするなど
して受光面積を広くした方が、検出感度が向上する。受
光ファイバ９の設置位置は第３図に示すように、励起光
の散乱光が少ない側面が望ましい。
なく、発光を検出し、媒質の成分や濃度を分析するもの
である。従ってブレイクダウンを発光するためのレーザ
、光ファイバ２．レンズ８は前述と同様のものを用いる
。そして、プローブ４には、ブレイクダウンによる発光
を受光して分光器１０へ送光するための受光ファイバを
設置する。この受光ファイバ９に入ってくる光は、レー
ザ光はど強いものではないので、受光ファイバ９のコア
径は、特に、指定する必要はないがバンドルにするなど
して受光面積を広くした方が、検出感度が向上する。受
光ファイバ９の設置位置は第３図に示すように、励起光
の散乱光が少ない側面が望ましい。
受光ファイバ９により送られた光は、分光器１０により
分光され、光検出器１１により検出され、信号処理装置
１２により処理され、記録計７に記録される。
分光され、光検出器１１により検出され、信号処理装置
１２により処理され、記録計７に記録される。
本実施例によれば、媒質の成分分析、定量分析可能なブ
レイクダウン分光分析を、遠隔測定、及−１１〜 び、その場測定できるという効果がある。
レイクダウン分光分析を、遠隔測定、及−１１〜 び、その場測定できるという効果がある。
本発明の第三の実施例を第４図を用いて説明する。
本実施例は、プローブ４に圧電素子３と受光ファイバ９
とを設置したもので、ブレイクダウンにより発光する音
響波と発光とを同時に測定できるようにしたものである
。各部の詳細は前述した実施例と同様である。
とを設置したもので、ブレイクダウンにより発光する音
響波と発光とを同時に測定できるようにしたものである
。各部の詳細は前述した実施例と同様である。
本実施例によれば、ブレイクダウンにより発光する音響
波と光とを同時に測定することができ、かつ、遠心測定
、その場測定できるという効果がある。
波と光とを同時に測定することができ、かつ、遠心測定
、その場測定できるという効果がある。
次に本発明の第四の実施例を第５図により説明する。
前述のようにレーザ光のエネルギ密度がしきい値を越え
ると光ファイバの端面に損傷を与える。
ると光ファイバの端面に損傷を与える。
その損傷を避けるにはコアの断面積を大きくすれば良い
が、あまり大きくすると、今度は光ファイバを曲げるこ
とができなくなり、プローブ４の移動が不可能となる。
が、あまり大きくすると、今度は光ファイバを曲げるこ
とができなくなり、プローブ４の移動が不可能となる。
そこで、第５図に示すように、曲げることが可能な単心
の光ファイバ１３を二本以上用いて、それぞれにハーフ
ミラ−１５やミラー１６により分岐した励起光を入射さ
せて送光し、それらの光ファイバ１３を出射側で束ねて
、−本のファイバロッド１４に接続する。このファイバ
ロッド１４のコア径は大きいが曲げることはできない一
種の光ファイバで、光ファイバ１３によって送られてき
た光は、このファイバロッド１４の中で一本化され、プ
ローブ４へ送光され、ブレイクダウンを起こす。
の光ファイバ１３を二本以上用いて、それぞれにハーフ
ミラ−１５やミラー１６により分岐した励起光を入射さ
せて送光し、それらの光ファイバ１３を出射側で束ねて
、−本のファイバロッド１４に接続する。このファイバ
ロッド１４のコア径は大きいが曲げることはできない一
種の光ファイバで、光ファイバ１３によって送られてき
た光は、このファイバロッド１４の中で一本化され、プ
ローブ４へ送光され、ブレイクダウンを起こす。
本実施例によれば高いエネルギの光を送光でき、ブレイ
クダウン分光分析の遠隔測定、その場測定ができるとい
う効果がある。
クダウン分光分析の遠隔測定、その場測定ができるとい
う効果がある。
本発明の第五の実施例を第６図を用いて説明する。
本実施例ではレーザ１からの励起光２１をファイバ切換
装置１７へ送光し、光ファイバ２へ入射されるが、この
ファイバ切換装置１７を駆動装置１８により回転させ、
二本以上の光ファイバ２への励起光２１の入射を切換え
る。これらの光ファイバ２の出射口には、それぞれ、プ
ローブ４が接続しており、得られた信号はファイバ切換
装置１７を径由して、信号処理装置６に送られる。図中
３３はプロセス配管、３４は反応管、３５はプロセスフ
ローである。
装置１７へ送光し、光ファイバ２へ入射されるが、この
ファイバ切換装置１７を駆動装置１８により回転させ、
二本以上の光ファイバ２への励起光２１の入射を切換え
る。これらの光ファイバ２の出射口には、それぞれ、プ
ローブ４が接続しており、得られた信号はファイバ切換
装置１７を径由して、信号処理装置６に送られる。図中
３３はプロセス配管、３４は反応管、３５はプロセスフ
ローである。
本実施例によれば、数ケ所の測定点を瞬時に切換えて測
定できる。
定できる。
本発明によれば、励起光の光路を容易に変更でき、測定
点を自由に設定できるので、粒子の計数や、成分の同定
や定量が可能なブレイクダウン分光分析のその場測定、
及び、遠隔測定が可能となる。
点を自由に設定できるので、粒子の計数や、成分の同定
や定量が可能なブレイクダウン分光分析のその場測定、
及び、遠隔測定が可能となる。
第１図は本発明の一実施例の系統図、第２図はポリスチ
レン超微粒子の検量線特性図、第３図は本発明の第二の
実施例の系統図、第４図は本発明の第三の実施例の系統
図、第５図は本発明の第四の実施例の系統図、第６図は
本発明の第五の系統図である。
レン超微粒子の検量線特性図、第３図は本発明の第二の
実施例の系統図、第４図は本発明の第三の実施例の系統
図、第５図は本発明の第四の実施例の系統図、第６図は
本発明の第五の系統図である。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、試料に照射する光の光源と、照射された光により前
記試料中に誘起されるブレイクダウンにより発生する音
響波の検出器と、前記検出器からの信号を処理する信号
処理装置とから成る分光分析装置において、 前記光源からの光を送光し前記試料に照射する手段と、
前記音響波の前記検出器を取り付けたプローブ部とを設
けたことを特徴とするブレイクダウン分光分析プローブ
。 ２、試料に照射する光の光源と、照射された光により前
記試料中に誘起されるブレイクダウンにより発生する光
を分光するための分光器と、分光された光を検出するた
めの検出器と、前記検出器からの信号を処理する信号処
理装置とから成る分光分析装置において、 前記光源からの光を送光し前記試料に照射する手段と、
ブレイクダウンによる光を受光するプローブ部と、受光
した光を前記分光器に送光する手段とを設けたことを特
徴とするブレイクダウン分光分析プローブ。 ３、特許請求の範囲第１項または第２項に記載のブレイ
クダウン分光分析プローブにおいて、前記音響波検出器
と前記ブレイクダウンによる光を受光する手段とを備え
たプローブ部を設け、前記ブレイクダウンにより発生す
る音響波と光とを同時測定することを特徴とするブレイ
クダウン分光分析プローブ。 ４、特許請求の範囲第１項、第２項または第３項に記載
のブレイクダウン分光分析プローブにおいて、 前記光源からの光を送光し試料に照射する手段として光
ファイバを用いることを特徴とするブレイクダウン分光
分析プローブ。 ５、特許請求の範囲第２項または第３項に記載のブレイ
クダウン分光分析プローブにおいて、受光した光を前記
分光器に送光する手段として光ファイバを用いることを
特徴とするブレイクダウン分光分析プローブ。 ６、特許請求の範囲第４項に記載のブレイクダウン分光
分析プローブにおいて、 前記光ファイバが大口径のコアを有する単心ファイバで
あることを特徴とするブレイクダウン分光分析プローブ
。 ７、特許請求の範囲第４項に記載のブレイクダウン分光
分析プローブにおいて、 前記光ファイバが中空ファイバであることを特徴とする
ブレイクダウン分光分析プローブ。 ８、特許請求の範囲第４項に記載のブレイクダウン分光
分析において、 前記光ファイバが、光源からの光を入射させる側は複数
の前記光ファイバから成り、照射側ではそれらを束ねて
一本の大口径の光ファイバロッドに接続して、前記光フ
ァイバロッドから光を出射させることを特徴とするブレ
イクダウン分光分析プローブ。 ９、特許請求の範囲第１項、第２項または第３項までに
記載のブレイクダウン分光分析プローブにおいて、 照射する光の前記光源がレーザ装置であることを特徴と
するブレイクダウン分光分析プローブ。 １０、特許請求の範囲第９項に記載のブレイクダウン分
光分析プローブにおぃて、 照射する光の前記光源がパルス発振のレーザ装置である
ことを特徴とするブレイクダウン分光分析プローブ。 １１、特許請求の範囲第１項、第２項または第３項に記
載のブレイクダウン分光分析プローブにおいて、 測定対象が前記試料内の粒子状物質であることを特徴と
するブレイクダウン分光分析プローブ。 １２、特許請求の範囲第１項、第２項または第３項まで
に記載のブレイクダウン分光分析プローブにおいて、 複数の測定点のすべてに、前記光源からの光を送光し前
記試料に照射する手段と、前記プローブ部と、受光した
光を送光する手段とを設置し、前記光源の光を送光して
照射する手段を選択あるいは切換えて、測定点を選択す
ることを特徴とするブレイクダウン分光分析プローブ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63085101A JPH01259242A (ja) | 1988-04-08 | 1988-04-08 | ブレイクダウン分光分析プローブ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63085101A JPH01259242A (ja) | 1988-04-08 | 1988-04-08 | ブレイクダウン分光分析プローブ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01259242A true JPH01259242A (ja) | 1989-10-16 |
Family
ID=13849223
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63085101A Pending JPH01259242A (ja) | 1988-04-08 | 1988-04-08 | ブレイクダウン分光分析プローブ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01259242A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011080768A (ja) * | 2009-10-02 | 2011-04-21 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | ガス分析装置 |
| JP2015038493A (ja) * | 2014-10-01 | 2015-02-26 | 三菱重工業株式会社 | ガス分析装置 |
-
1988
- 1988-04-08 JP JP63085101A patent/JPH01259242A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011080768A (ja) * | 2009-10-02 | 2011-04-21 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | ガス分析装置 |
| JP2015038493A (ja) * | 2014-10-01 | 2015-02-26 | 三菱重工業株式会社 | ガス分析装置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4753530A (en) | Analytical optical instruments | |
| JP5531219B2 (ja) | エアロゾル粒子のサイズおよび化学組成のリアルタイム測定システムおよび方法 | |
| JP5391429B2 (ja) | 空中に浮遊している化学物質、生体物質、及び爆発性物質をリアルタイムで分析するための分析方法及び分析装置 | |
| CN200989888Y (zh) | 使用毛细管透镜的x射线荧光分析仪 | |
| JPH04264236A (ja) | 光音響分析用プローブ | |
| EP2132561B1 (de) | Photoakustischer detektor zur messung von feinstaub | |
| CN106994984B (zh) | 激光声磁钢轨表面缺陷快速探伤系统及方法 | |
| CN103776815A (zh) | 一种便携式可调节的拉曼探头 | |
| CN106323826A (zh) | 一种超低排放烟尘监测装置及监测方法 | |
| CN103575705A (zh) | 一种浊度仪和水的浊度的测量方法 | |
| CN112730383A (zh) | 一种用于在线检测的光纤阵列libs探测系统 | |
| CN112924388A (zh) | 正交双通道声学谐振模块及包括该模块的装置 | |
| KR101003023B1 (ko) | 레이저 유도 파열에 의해 발생된 탐침 빔 편향신호 크기의 도수분포곡선을 이용한 나노입자 크기 측정방법 | |
| Schwarz et al. | Partial discharge detection in oil with optical methods | |
| JPH01259242A (ja) | ブレイクダウン分光分析プローブ | |
| CN204374087U (zh) | 一种基于液芯波导的拉曼光谱测试系统 | |
| CN108917931B (zh) | 一种瞬态光谱信号测量装置 | |
| CN116593582A (zh) | 基于光致超声的全光纤超声金属板缺陷检测装置及方法 | |
| CN110823786A (zh) | 一种液体中微小颗粒的检测装置和方法 | |
| CA1266509A (en) | Device for measuring the electrical field by an optical method | |
| US6756579B2 (en) | Optical fiber based apparatus and sensor with enhanced signal for pressure measurements | |
| JPS61288139A (ja) | 微粒子検出装置 | |
| CN206132625U (zh) | 一种基于libs技术的远程测量装置 | |
| US8288713B2 (en) | Laser multi-sensor system for the selective trace analysis of organic materials | |
| CN110261964B (zh) | 一种用于光纤光谱仪的光纤头 |