JPH01251288A - Picture processor for inspection system - Google Patents

Picture processor for inspection system

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Publication number
JPH01251288A
JPH01251288A JP63078870A JP7887088A JPH01251288A JP H01251288 A JPH01251288 A JP H01251288A JP 63078870 A JP63078870 A JP 63078870A JP 7887088 A JP7887088 A JP 7887088A JP H01251288 A JPH01251288 A JP H01251288A
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JP
Japan
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image data
data
amplitude
product
target image
Prior art date
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Pending
Application number
JP63078870A
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Japanese (ja)
Inventor
Eiji Osaki
大崎 英二
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Toshiba Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
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Publication date
Application filed by Toshiba Corp filed Critical Toshiba Corp
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Publication of JPH01251288A publication Critical patent/JPH01251288A/en
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Abstract

PURPOSE:To correctly execute the position and dimension matching of a product by correcting so that the phase and amplitude of the object picture data transformed by a transforming means and the reference data can be coincident. CONSTITUTION:Reference picture data and object picture data image-picked up by an ITV camera 21 are inputted through a picture input device 22 to a picture processor 23. Input picture data are Fourier-transformed by a frequency data transforming part 24 in the device 23 and inputted to a phase amplitude correcting part 25. At the correcting part 25, the correction coefficient is obtained by the Fourier transformed reference data, the correction coefficient is multiplied to the Fourier transformed object image data, and the amplitude and phase are made coincident to the reference picture data. The corrected object picture data are performed inverse Fourier transform by a frequency area data inverse transforming part 26, and the position and the dimension of the product are coincident to the reference picture. Further, since the difference calculation between the reference picture and the corrected object picture is executed by an inter-picture element arithmetic part 27 and when an abnormal part is present, it is detected, the position and dimension of the product can be correctly matched.

Description

【発明の詳細な説明】 [発明の目的] (産業上の利用分野) 本発明は、製品の傷等の異常の有無を検査する検査シス
テムに用いられ、画像処理によって検査を行う検査シス
テム用画像処理装置に間する。
[Detailed Description of the Invention] [Object of the Invention] (Industrial Application Field) The present invention is used for an inspection system that inspects products for the presence or absence of abnormalities such as scratches, and is an image processing system for inspection systems that performs inspection by image processing. to the processing equipment.

(従来の技術) 一般に、製造業における製品の製造ラインにはその製品
に応じた検査システムが設けられるが、検査の対象とな
る製品に化学薬品等を用いることができない場合、目視
による検査、あるいは産業用テレビジョン(ITV)カ
メラ、X線装置、超音波探傷装置等に画像処理装置を組
合わせたシステムによる検査が行われている。この種の
検査システムにおいては、例えば製品の傷や印刷物の印
刷むら等の異常を検出する場合、傷あるいは印刷むらの
ない正常な製品の画像データを予め記憶しておき、被検
査製品の画像データを取得した後、予め記憶された正常
製品の画像データと被検査製品の画像データの差分をと
り、この差分結果によって被検査製品が正常であるかど
うかを判定するようになっている。
(Prior art) In general, inspection systems are installed on product production lines in the manufacturing industry depending on the product. However, when it is not possible to use chemicals, etc. for the product to be inspected, visual inspection or Inspection is performed using a system that combines an industrial television (ITV) camera, an X-ray device, an ultrasonic flaw detector, etc. with an image processing device. In this type of inspection system, when detecting an abnormality such as a scratch on a product or uneven printing on a printed matter, image data of a normal product without scratches or uneven printing is stored in advance, and the image data of the product to be inspected is After obtaining the image data, the difference between the pre-stored image data of the normal product and the image data of the product to be inspected is calculated, and it is determined whether the product to be inspected is normal based on the difference result.

第3図は従来の検査システム用画像処理装置の構成例を
示す図である。第3図において、ITVカメラ1によっ
て撮像される製品の画像は画像入力装置2を通して画像
処理装置3に入力され、画像処理装M3内の2値化処理
郡4で2値化される。
FIG. 3 is a diagram showing an example of the configuration of a conventional image processing device for an inspection system. In FIG. 3, an image of a product taken by an ITV camera 1 is input to an image processing device 3 through an image input device 2, and is binarized by a binarization processing group 4 in an image processing device M3.

まず、このITVカメラ1および画像入力装置2によっ
て傷等のない理想的な製品の画像(以下基準画像と呼ぶ
)を得る。
First, an image of an ideal product without any scratches or the like (hereinafter referred to as a reference image) is obtained using the ITV camera 1 and the image input device 2.

次に、ITVカメラ1および画像入力装置2によって検
査の対象となる製品の画像(以下対象画像と呼ぶ)を入
力する。ここで、対象画像内の製品の位置と基準画像内
の製品の位置がずれている場合、位置合わせ処理15に
おいて位置の補正が行われる。位置合わせ処理部5では
高速フーリエ変換(FFT)によるマツチング、輪郭の
アドレスの差分検出、重心の差分検出等積々の手法を用
いることにより基準画像との位置のずれを求め、アフィ
ン変換によって位置合わせを行う。また、対象画像デー
タの取得時において画像内の製品の寸法が異なる場合、
これを寸法合わせ処理部6において補正する。この補正
は、輪郭のアドレスの差分を検出し、この検出結果を基
にして対象画像をアフィン変換することによって行われ
る。
Next, an image of a product to be inspected (hereinafter referred to as a target image) is input using the ITV camera 1 and the image input device 2. Here, if the position of the product in the target image and the position of the product in the reference image are misaligned, the positions are corrected in alignment processing 15. The alignment processing unit 5 uses a number of techniques such as matching using fast Fourier transform (FFT), detecting differences in contour addresses, and detecting differences in centroids to find the positional deviation from the reference image, and performs alignment using affine transformation. I do. Also, if the dimensions of the product in the image differ when acquiring the target image data,
This is corrected in the dimension adjustment processing section 6. This correction is performed by detecting a difference between contour addresses and performing affine transformation on the target image based on the detection result.

以上のような画像処理により、基準画像内の製品の像と
対象画像内の製品の像の位置および寸法を画像上で一致
させた後、差分検出部7において両画像間で差をとり、
この差分結果から製品の傷等の有無を検出する。この検
出結果は画像出力装置8を通してデイスプレィ9に表示
される。
After the image processing described above matches the position and dimensions of the product image in the reference image and the product image in the target image on the images, the difference detection section 7 calculates the difference between the two images,
The presence or absence of scratches on the product is detected from this difference result. This detection result is displayed on a display 9 through an image output device 8.

これらの処理は中央演算処理装置10によって1i11
@されている。また、前述した処理以外の処理およびそ
の処理結果の表示には周辺装置11、例えばデータ記憶
装置、プリンタが用いられるが、この周辺装置11も中
央演算処理装置f10によって制御されている。なお、
必要に応じて各装置に画像メモリが装備されている。
These processes are carried out by the central processing unit 10.
@ is being done. Further, a peripheral device 11, such as a data storage device or a printer, is used for processing other than the above-mentioned processing and for displaying the processing results, and this peripheral device 11 is also controlled by the central processing unit f10. In addition,
Each device is equipped with an image memory as required.

しかしながら、上記のような従来の検査システムでは、
例えば印刷物等が検査の対象となる場合、画11m度が
微妙であるためにその輪郭が明確に検出されにくい。す
なわち、基準画像と対象画像の位置合わせが容易であっ
ても、数ビクセルの違いしか生じない寸法を合わせるこ
とは困難であり、検査システムの自動化において大きな
問題となっていた。
However, in conventional inspection systems such as those mentioned above,
For example, when a printed matter is to be inspected, it is difficult to clearly detect its outline because the 11-meter-degree image is delicate. That is, even if it is easy to align the reference image and the target image, it is difficult to align dimensions that differ by only a few pixels, which has been a major problem in automating inspection systems.

(発明が解決しようとする課題) 以上述べたように、従来の検査システムでは対象画像内
の製品の輪郭が明確に検出されない場合、基準画像との
間で位置や寸法を合わせることが非常に困難であった。
(Problems to be Solved by the Invention) As described above, in conventional inspection systems, if the outline of the product in the target image cannot be clearly detected, it is extremely difficult to match the position and dimensions with the reference image. Met.

そこで本発明の目的は上記の課題を解決するためになさ
れたもので、基準画像および対象画像内における製品の
位置および寸法を容易にかつ確実に一致させることので
きる検査システム用画像処理装置を提供することを目的
とする。
SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention was to solve the above-mentioned problems, and to provide an image processing device for an inspection system that can easily and reliably match the position and dimensions of a product in a reference image and a target image. The purpose is to

(課題を解決するための手段) 上記の課題を解決するため、本発明に係る検査システム
用画也処理装置は、前記基準画像データおよび対象画像
データをそれぞれ所定の周波数領域の画像データに変換
する変換手段と、この変換手段により変換された対象画
像データの位相および振幅を前記変換手段により変換さ
れた基準画像データの位相および振幅と一致するように
補正する補正手段と、この補正手段によって補正された
対象画像データを前記変換手段とは逆に変換する逆変換
手段と、この逆変換手段により逆変換された対象画像デ
ータと前記撮像により得られた基準画像データとの差を
とり、この差分結果を基にして前記対象画像データの異
常の有無を検出する検出手段とを具備して構成される。
(Means for Solving the Problems) In order to solve the above problems, the image processing device for an inspection system according to the present invention converts the reference image data and the target image data into image data in a predetermined frequency domain, respectively. a converting means; a correcting means for correcting the phase and amplitude of the target image data converted by the converting means to match the phase and amplitude of the reference image data converted by the converting means; an inverse transformer that transforms the target image data inversely to the transformer, and calculates the difference between the target image data inversely transformed by the inverse transformer and the reference image data obtained by the imaging, and calculates the difference result. and detecting means for detecting the presence or absence of an abnormality in the target image data based on.

(作用) 上記の構成による検査システム用画@処理装置は、基準
画像データと対象画像データをそれぞれ周波数領域の画
像データに変換し、変換された対象画像データの振幅お
よび位相を基準画像データを基にして両者が一致するよ
うに補正することにより、両画像間における製品の位置
合わせおよび寸法合わせを行い、基準画像と補正された
対象画像間において差をとることにより製品の傷等を検
出することができる。
(Function) The inspection system image processing device configured as described above converts the reference image data and target image data into frequency domain image data, and calculates the amplitude and phase of the converted target image data based on the reference image data. By correcting the two images so that they match, the position and dimensions of the product can be aligned between both images, and scratches on the product can be detected by taking the difference between the reference image and the corrected target image. Can be done.

(実線例) 以下、図面を参照して本発明の一実施例について説明す
る。
(Example of Solid Line) An embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings.

第1図は本発明を適用した検査システムの構成を示すブ
ロック図である。第1図において、ITVカメラ21に
よって搬像される基準画像データおよび対象画像データ
は画像入力装置22を通して画像処理装置23に入力さ
れる。この画像処理装置23では、周波数領域データ変
換部24で入力画像データをフーリエ変換し、フーリエ
変換された画像データを位相振幅補正部25に入力する
FIG. 1 is a block diagram showing the configuration of an inspection system to which the present invention is applied. In FIG. 1, reference image data and target image data conveyed by an ITV camera 21 are input to an image processing device 23 through an image input device 22. In this image processing device 23, a frequency domain data converter 24 performs Fourier transform on the input image data, and inputs the Fourier transformed image data to a phase/amplitude corrector 25.

この位相振幅補正部25では、フーリエ変換された基準
画像データを用いて補正係数データを求める。また、こ
の補正係数データをフーリエ変換された対象画像データ
に乗算することにより、振幅および位相を基準画像デー
タに一致させた補正対象画像データが得られる。
The phase/amplitude correction section 25 obtains correction coefficient data using the Fourier-transformed reference image data. Further, by multiplying the Fourier-transformed target image data by this correction coefficient data, correction target image data whose amplitude and phase match the reference image data can be obtained.

第2図は画像処理装W23の周波数領域データ変換部2
4および位相振幅補正部25の構成を示すブロック図で
ある。第2図において、フーリエ変換回路41は入力さ
れた画像データをフーリエ変換する。フレームメモリ4
2には基準画像データが記憶される。比演算回路44で
はフーリエ変換された基準画像データの振幅の実部およ
び虚部の比が計算され、補正係数演算回路45では1″
をこの比で内分した補正係数データが求められる。
FIG. 2 shows the frequency domain data conversion section 2 of the image processing device W23.
4 and a block diagram showing the configurations of a phase and amplitude correction section 25. FIG. In FIG. 2, a Fourier transform circuit 41 performs Fourier transform on input image data. frame memory 4
2 stores reference image data. The ratio calculation circuit 44 calculates the ratio of the real part and the imaginary part of the amplitude of the Fourier-transformed reference image data, and the correction coefficient calculation circuit 45 calculates the ratio of the amplitude of 1''.
Correction coefficient data is obtained by internally dividing this ratio.

フレームメモリ43にはフーリエ変換された対象画像デ
ータが記憶され、乗算回路46ではこの対象画像データ
に補正係数演算回路45で求められた補正係数データが
乗算される。このような処理により対象画像データの補
正が行われる。
The frame memory 43 stores Fourier-transformed target image data, and the multiplication circuit 46 multiplies the target image data by the correction coefficient data obtained by the correction coefficient calculation circuit 45. Through such processing, the target image data is corrected.

上記位相振幅補正部25によって補正された対象画像デ
ータは周波数領域データ逆変換部26においてフーリエ
逆変換され、画像上の製品の位置および寸法が基準画像
と一致したものになる。画素間演韓部27では、周波数
領域データ変換部24内に記憶されている基準画像デー
タと補正された対象画像データにおいて差分計算が行わ
れ、傷等のある異常部分が検出される。
The target image data corrected by the phase/amplitude corrector 25 is subjected to inverse Fourier transform in the frequency domain data inverse transformer 26, so that the position and dimensions of the product on the image match those of the reference image. In the pixel interoperation section 27, a difference calculation is performed between the reference image data stored in the frequency domain data conversion section 24 and the corrected target image data, and abnormal portions such as scratches are detected.

これらの処理は中央演算処理装置30によって制御され
る。また、前述した処理以外の処理およびその処理結果
の表示等を行う周辺装置31、例えばデータ記憶装置、
プリンタ等も中央演算処理装置30によって制御される
。なお、各装置には画像データを記憶するメモリが装備
されている。
These processes are controlled by the central processing unit 30. Additionally, a peripheral device 31 that performs processing other than the processing described above and displaying the processing results, such as a data storage device,
Printers and the like are also controlled by the central processing unit 30. Note that each device is equipped with a memory for storing image data.

次に、本装置の作用について説明する。Next, the operation of this device will be explained.

まず、ITVカメラ21によって正常な製品を搬像する
ことにより得られる画像データは、基準画像データとし
て画像入力@置22を通して画像処理装置23に入力さ
れる。この画像処理装置23に入力された基準画像デー
タは、周波数領域データ変換部24のフーリエ変換回路
41でフーリエ変換された後、フレームメモリ42に一
時記憶される。このフレームメモリ42に記憶されてい
る基準画像データの振幅の実部と虚部の比は比演算回路
44で計算され、1”をこの比で内分(m:n、m+n
−1)した補正係数データが補正係数演算回路45で求
められる。
First, image data obtained by conveying a normal product by the ITV camera 21 is inputted to the image processing device 23 through the image input unit 22 as reference image data. The reference image data input to the image processing device 23 is subjected to Fourier transformation in the Fourier transformation circuit 41 of the frequency domain data transformation section 24, and then temporarily stored in the frame memory 42. The ratio between the real part and the imaginary part of the amplitude of the reference image data stored in the frame memory 42 is calculated by the ratio calculation circuit 44, and 1" is internally divided by this ratio (m:n, m+n
-1) correction coefficient data is obtained by the correction coefficient calculation circuit 45.

次に、対象画像データが基準画像データと同じように入
力され、フーリエ変換回路41でフーリエ変換された後
、フレームメモリ43に記憶される。このフレームメモ
リ43に記憶された対象画像データは乗惇回路46で補
正係数と乗算され、これによって両画像データの振幅の
実部と虚部の比が一致される。乗算回路46で補正係数
データが乗算された対像画像データは周波数領域データ
逆変換部26でフーリエ逆変換されるが、このとき両画
像データの振幅の実部と虚部の比が一致しているので、
逆変換されるデータの振幅と位相は一致している。これ
によって基準画像および対象画像内の製品の位置および
寸法合わせが行われたことになる。
Next, target image data is input in the same manner as the reference image data, subjected to Fourier transformation in the Fourier transformation circuit 41, and then stored in the frame memory 43. The target image data stored in the frame memory 43 is multiplied by a correction coefficient in a multiplication circuit 46, whereby the ratios of the real part and the imaginary part of the amplitudes of both image data are matched. The image data multiplied by the correction coefficient data in the multiplication circuit 46 is subjected to Fourier inverse transform in the frequency domain data inverse transform section 26, but at this time, the ratio of the real part and the imaginary part of the amplitude of both image data matches. Because there are
The amplitude and phase of the data to be inversely transformed match. This means that the position and dimensions of the product in the reference image and the target image have been aligned.

上記基準画像と補正された対象画像との差分は画素間演
算部27によって計算され、これにより製品の傷等の異
常が検出され、検出された結果は画像出力装置28を通
してデイスプレィ29に表示される。
The difference between the reference image and the corrected target image is calculated by the pixel-to-pixel calculation unit 27, thereby detecting abnormalities such as scratches on the product, and the detected results are displayed on the display 29 through the image output device 28. .

ここで、フーリエ変換の代表的手法としてFFTがある
が、このFFTの式は以下のように記述される。
Here, FFT is a typical method of Fourier transform, and the formula of this FFT is described as follows.

(k =N/2 、・・・、  (N/2 )−1)た
だし、XKは周波数領域のデータ列、Xρは空間領域の
データ列、Nはサンプルデータ数である。
(k = N/2, . . . , (N/2)-1) where XK is a data string in the frequency domain, Xρ is a data string in the spatial domain, and N is the number of sample data.

上記の式において位相が変化した場合、次式のように変
形される。
When the phase changes in the above equation, it is transformed as shown in the following equation.

すなわち、周波数領域のに′番目データをに′ビクセル
分だけシフトすれば、位相変化分を消去することができ
る。これによって本実施例では、空間領域における画像
上の製品の寸法、位置等のずれが周波数領域における位
相のずれとなることを利用する。すなわち、基準画像デ
ータおよび対象画像データをそれぞれFFT処理した後
、基準画像データの振幅の実部と虚部の比を求め、この
比を基にして対象画像データをシフトすることにより両
画像データの振幅および位相が一致するように補正する
。なお、FFT以外のフーリエ変換手法によっても同様
に補正することができる。
That is, by shifting the 2'th data in the frequency domain by the 2'th pixel, the phase change can be eliminated. As a result, this embodiment utilizes the fact that a deviation in the dimensions, position, etc. of a product on an image in the spatial domain becomes a phase deviation in the frequency domain. That is, after each of the reference image data and target image data is subjected to FFT processing, the ratio of the real part to the imaginary part of the amplitude of the reference image data is determined, and by shifting the target image data based on this ratio, the difference between both image data is Correct the amplitude and phase to match. Note that correction can be similarly performed using a Fourier transform method other than FFT.

したがって、画像処理装置を用いた検査システムは、基
準画像を基にして対象画像の周波数領域における位相お
よび振幅を補正することにより、容易にかつ正確に位置
合わせおよび寸法合わせを行い、基準画像と補正された
対象画像との差をとることによって製品の儂等の異常を
検出することができる。
Therefore, an inspection system using an image processing device can easily and accurately align and dimension the target image by correcting the phase and amplitude in the frequency domain of the target image based on the reference image. By taking the difference from the target image, it is possible to detect any abnormalities in the product.

本発明は上記−実流例に限定されることなく、本発明の
要旨の範囲内で種々の変形実施が可能である。例えば、
第1図において周波数領域データ変換部24と周波数領
域データ逆変換部26は同一のものを用いても良い。ま
た、各部の処理は、例えばディジタル信号処理装置を用
い、ソフトウェアの変更により同一のハードウェアで実
施することもできる。さらに、検査の対象となる製品の
画像の特性に応じて、初めに2値化処理、大まかな位置
合わせ処理等を行ってから必要な処理をすることも可能
である。
The present invention is not limited to the above-mentioned actual example, and various modifications can be made within the scope of the gist of the present invention. for example,
In FIG. 1, the frequency domain data transformer 24 and the frequency domain data inverse transformer 26 may be the same. Moreover, the processing of each part can be performed by the same hardware by using, for example, a digital signal processing device and by changing the software. Furthermore, depending on the characteristics of the image of the product to be inspected, it is also possible to first perform binarization processing, rough positioning processing, etc., and then perform necessary processing.

[発明の効果] 以上述べたように、本発明によれば基準画像および対象
画像内における製品等の位置および寸法を周波数領域に
おける画像データの位相および振幅を補正することによ
って一致させ、対象画像内の製品の輪郭が不明確であっ
ても容易にかつ正確に基準画像および対象画像内の製品
の位置および寸法を合わせることができる検査システム
用画像処理装買を提供することができる。
[Effects of the Invention] As described above, according to the present invention, the positions and dimensions of products, etc. in the reference image and the target image are matched by correcting the phase and amplitude of image data in the frequency domain, and It is possible to provide image processing equipment for an inspection system that can easily and accurately match the position and dimensions of a product in a reference image and a target image even if the outline of the product is unclear.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図は本発明の一実施例である検査システム用画像処
理装置の構成を示すブロック図、第2図は第1図におけ
る周波数領域データ変換部および位相振幅補正部の構成
を示すブロック図、第3図は従来の検査システム用画@
処理H画の構成を示すブロック図である。 21・・・ITVカメラ、22・・・画像入力装置、2
4・・・周波数領域データ変換部、25・・・位相振幅
補正部、26・・・周波数領域データ逆変換部、27・
・・画素間演算部、28・・・画像出力装置、29・・
・デイスプレィ、30・・・中央演算処理vi装置、4
1・・・フーリエ変換回路、42.43・・・フレーム
メモリ、44・・・比演算回路、45・・・補正係数演
算回路、46・・・乗算回路。 第1図 第3図
FIG. 1 is a block diagram showing the configuration of an image processing device for an inspection system which is an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a block diagram showing the configuration of the frequency domain data conversion section and the phase amplitude correction section in FIG. 1, Figure 3 is a drawing for a conventional inspection system.
FIG. 3 is a block diagram showing the configuration of a processed H image. 21... ITV camera, 22... Image input device, 2
4... Frequency domain data conversion unit, 25... Phase amplitude correction unit, 26... Frequency domain data inverse conversion unit, 27.
... Inter-pixel calculation unit, 28... Image output device, 29...
・Display, 30...Central processing VI device, 4
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1...Fourier transform circuit, 42.43...Frame memory, 44...Ratio calculation circuit, 45...Correction coefficient calculation circuit, 46...Multiplication circuit. Figure 1 Figure 3

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] (1)正常製品を撮像して得られる基準画像データと検
査の対象となる製品を撮像して得られる対象画像データ
とを比較することにより検査の対象となる製品の異常の
有無を検出する検査システム用画像処理装置において、 前記基準画像データおよび対象画像データをそれぞれ所
定の周波数領域の画像データに変換する変換手段と、 この変換手段により変換された対象画像データの位相お
よび振幅を前記変換手段により変換された基準画像デー
タの位相および振幅と一致するように補正する補正手段
と、 この補正手段によつて補正された対象画像データを前記
変換手段とは逆に変換する逆変換手段と、この逆変換手
段により逆変換された対象画像データと前記撮像により
得られた基準画像データとの差分を計算し、この差分結
果を基にして前記対象画像データの異常の有無を検出す
る検出手段とを具備することを特徴とする検査システム
用画像処理装置。
(1) An inspection that detects the presence or absence of an abnormality in the product to be inspected by comparing reference image data obtained by imaging a normal product and target image data obtained by imaging the product to be inspected. An image processing device for a system includes a conversion means for converting the reference image data and the target image data into image data in a predetermined frequency domain, respectively, and a phase and amplitude of the target image data converted by the conversion means by the conversion means. a correction means for correcting the converted reference image data to match the phase and amplitude; an inverse conversion means for converting the target image data corrected by the correction means in the opposite direction to that of the conversion means; Detecting means for calculating the difference between the target image data reverse-transformed by the converting means and the reference image data obtained by the imaging, and detecting the presence or absence of an abnormality in the target image data based on the difference result. An image processing device for an inspection system, characterized in that:
(2)前記補正手段は前記変換手段により周波数領域の
データに変換された基準画像データの振幅の実部と虚部
の比を計算する計算手段と、 この計算手段で計算された基準画像データの振幅の実部
と虚部の比を1で内分することにより補正係数データを
取得する取得手段と、 この取得手段によつて得られた補正係数データを周波数
領域のデータに変換された対象画像データに乗算して対
象画像データの振幅を前記周波数領域のデータに変換さ
れた基準画像データの振幅に一致させる手段とを有する
ことを特徴とする請求項(1)に記載の検査システム用
画像処理装置。
(2) The correction means includes a calculation means for calculating the ratio of the real part and the imaginary part of the amplitude of the reference image data converted into frequency domain data by the conversion means; an acquisition means for acquiring correction coefficient data by internally dividing the ratio between the real part and the imaginary part of the amplitude by 1; and a target image in which the correction coefficient data obtained by the acquisition means is converted into frequency domain data. Image processing for an inspection system according to claim 1, further comprising means for multiplying the data to match the amplitude of the target image data with the amplitude of the reference image data converted into the frequency domain data. Device.
JP63078870A 1988-03-31 1988-03-31 Picture processor for inspection system Pending JPH01251288A (en)

Priority Applications (1)

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JP63078870A JPH01251288A (en) 1988-03-31 1988-03-31 Picture processor for inspection system

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JP63078870A JPH01251288A (en) 1988-03-31 1988-03-31 Picture processor for inspection system

Publications (1)

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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0652137A (en) * 1992-07-31 1994-02-25 Nippon Steel Corp Pattern classification device
JPH0816785A (en) * 1994-06-27 1996-01-19 Nec Corp Image recognition device and method
JP2011134062A (en) * 2009-12-24 2011-07-07 Hamamatsu Photonics Kk Image pattern collation device and method

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