JPH01248939A - ラジアル磁気軸受装置 - Google Patents

ラジアル磁気軸受装置

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JPH01248939A
JPH01248939A JP7494688A JP7494688A JPH01248939A JP H01248939 A JPH01248939 A JP H01248939A JP 7494688 A JP7494688 A JP 7494688A JP 7494688 A JP7494688 A JP 7494688A JP H01248939 A JPH01248939 A JP H01248939A
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Yoichi Kanemitsu
金光 陽一
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Ebara Research Co Ltd
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Ebara Research Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明はターボ機械や工作機械のラジアル磁気軸受装置
に関し、特に回転軸に回転子継鉄を固着し、該回転子継
鉄から微小間隙を設けて起磁力を発生させる励磁フィル
を備えた電磁石固定子をケーシングに固定し、回転軸と
ケーシング間の相対変位を測定する変位センサを設け、
該変位センサからの出力信号をもとに前記回転子と電磁
石固定子間に磁気吸引力を作用きせる回転軸を固定子中
心付近に支受承するラジアル磁気軸受装置に関するもの
である。
〔従来技術〕
第3図乃至第5図は従来の5軸制御型磁気軸受の構造を
示す図で、第3図は縦断面図、第4図は第3図のI−1
線上断面矢視図、第5図は第3図のII−I線上断面矢
視図である。
第3図において、回転軸1はケーシング7の中央部に配
設された電動機固定子8と電動機回転子9を具備する電
動機によって駆動され、該回転軸1は上記電動機の両側
に配置された2個のラジアル磁気軸受とその一方のラジ
アル磁気軸受けに隣接したスラスト磁気軸受けとによっ
て支持されている。
前記ラジアル磁気軸受は、固定子コイル5を備えたラジ
アル軸受固定子継鉄3と回転軸1に取付けられたラジア
ル軸受回転子継鉄4と半径方向変位センサー6とから構
成されている。また、前記スラスト磁気軸受は、固定子
フィル12を備えたスラスト軸受固定子11と回転軸1
に取付けられたスラスト軸受ヨーク10とから構成され
ている。また、2は非常時用軸受(転がり軸受)である
従来の固定子磁極の配置及び変位センサーの配置は第4
図及び第5図に示すようになっており、磁気吸引力の方
向は、X方向とY方向の直交する2方向となり、この2
軸方向の回転軸1の変位を第5図のようにX方向とY方
向に配設された変位センサー6A、6Bで検出し、該検
出信号をもとに制御する。回転軸のX方向の制御は、X
方向の変位センサー6Aの出力に基づき、固定子コイル
5A又は固定子フィル5Cに所定の電流を通電して、ラ
ジアル軸受固定子継鉄3とラジアル軸受回転子継鉄4の
間に発生する磁気吸引力によって行なう。また、Y方向
の半径方向変位センサー6Bの出力に基づき図示は省略
するが、固定子コイル5B又は固定子フィル5Dに同様
に所定の電流を流す。
第6図は固定子フィル5に所定の電源を通電するための
制御回路の構成を示す回路ブロック図である。
第6図の制御回路では、半径方向め変位センサー6から
の信号を位相補償回路21に導き、その出力及び反転し
た出力に一定の電圧V、を加算し、その出力を更に直線
検波回路22a、22cを通して片電源の電力増幅器2
3a、23cに入力し、固定子フィル5A、5Cに流す
所定の電流を得ている。また、図示は省略するが固定子
コイル5B、5Dに流す電流も同様な制御回路より得る
〔発明が解決しようとする課題〕
しかしながら上記従来のラジアル磁気軸受装置において
、下記のような問題点があった。
■ラジアル軸受固定子継鉄3、矩形断面の磁極3A、3
B、ラジアル軸受回転子継鉄4で部分的に磁気飽和が発
生し、磁気軸受けの最大負荷能力が低下する。これを防
止するため、磁束線に直角な断面積を略等しくなるよう
に固定子継鉄3、固定子磁極3A、3B、回転継鉄4の
寸法を決めている。このため、第4図に示すように、従
来の回転子に対向する励磁フィルを挿入する矩形断面状
の磁極の数が1制御軸方向の対向する電磁石につき2個
の場合には、突起した磁極3A、3Bの周方向の断面積
とその外周にある固定子継鉄3の半径方向の断面積を略
等しく決めなければならない。このため、軸受負荷能力
が大きい場合には、回転子外径と固定子外径が大きくな
り、回転子磁性材料の回転遠心力に対する材料強度上の
制限から、回転軸の回転数上限が制限された。
■また、固定子継鉄3の外周が大きくなり、大きな軸受
用空間を必要とした。
■また、回転軸の前向き固有振動数と後向き固有振動数
での発振防止のために磁気軸受の制御回路において、各
周波数での位相を進める補償回路を直列又は並列に組み
込んでいたが、この方法では大きな位相進みを与える必
要があり、このためこの周波数の付近及びそれ以上の周
波数での制御回路の伝達関数のゲインが大きくなり、こ
れらの周波数より高い回転軸の固有振動数の発振を誘発
することがあった。
本発明は上述の点に鑑みてなされたもので、上記間点を
除去し、小型、高速回転でしかも回転軸の固有振動数の
自励振動が発生しないラジアル磁気軸受装置を提供する
ことにある。
〔課題を解決するための手段〕
上記課題を解決するため本発明は、ラジアル磁気軸受装
置を下記の如く構成した。
■第1図に示すように、電磁石固定子の回転子に対向し
、回転子方向に突起した励磁コイルをさし込む断面矩形
状の磁極の数を1制御軸方向の対向する電磁石につき3
個とし、その3個の断面矩形状の磁極の内中央の磁極3
−1の円周方向断面積をその両側の2個の磁極3−2.
3−3の断面積の略2倍とする構成とした。
■また、前記磁気軸受の3個の断面矩形状の磁極のうち
両側の磁極3−2.3−3に対して、回転方向(矢印F
)の磁極3−2の励磁コイル5Af、5Cf’、5Bf
’、5Df’には第2図に示すように、回転軸1の前向
き固有振動数を中心周波数とするバンドパスフィルタ2
5f’を通過した変位信号と位相補償回路21を通過し
た変位信号を加算した信号61に比例した電流を流し、
反回転方向の磁極3−3の励磁コイル5Ab、5Cb。
5Bb 、5Dbには回転軸の後向き固有振動数を中心
周波数とするバンドパスフィルタ25bll過した変位
信号と位相補償回路21を通過した変位信号を加算した
信号62に比例した電流を流す構成とした。なお、第2
図では励磁コイル5Bf’、5Df’、5Bb、5Db
に関する制御回路部分は省略している。
〔作用〕
ラジアル磁気軸受装置を上記の如く構成することにより
、下記の作用を奏する。
■固定子の中央部磁極3−1を貫通する磁束線は回転子
継鉄4、固定子両側の2個の磁極3−2.3−3、固定
子継鉄3で2分され、このため各部の磁束は、従来の磁
気軸受けの半分になる。
従って、同一磁束密度で磁気軸受を製作する場合には、
固定子継鉄3、固定子両側磁極3−2 、3−3、回転
子継鉄4の磁束線方向の断面積を略半分にできる。この
結果回転子の外径を小さくできるので、回転子周速を一
定にして磁気軸受を製作する場合、その回転数を高くで
きる。また、回転子の外径と同時に固定子継鉄4の半径
方向の厚さも小さくできるため、大幅に固定子の外径を
小さくできる。
■また、3個の磁極の内両側磁極3−2.3−3を独立
に制御し、回転軸1の前向き固有振動数と、後向き固有
振動数に対する位相進み補償を電気的でなく、空間的に
行なうことができる。このため制御回路に大きい電気的
位相進みを与えることがないので、高周波数のゲインが
大きくなることはない。従って、この着目している周波
数より高い周波数の固有振動数を励振することはないの
で、これらの固有振動数の発振を防止できる。
〔実施例〕
以下、本発明の一実施例を図面に基づいて説明する。
第1図は本発明に係るラジアル磁気軸受装置の固定子、
回転子の断面図(第3図のI−I線上断面矢視図に相当
する)であり、第2図は固定子の3個の磁極の励磁コイ
ルを独立に制御するための制御回路ブロック図である。
なお、第1乃至第2図におて、第3図乃至第6図と同一
符号を付した部分は同−又は相当部分を示す。
従来の磁気軸受における磁束線を第4図の点線51で示
す。この磁束線51において、ラジアル軸受固定子継鉄
3とラジアル軸受回転子継鉄4の空隙以外の部分での磁
束密度を同一にし、局部的磁気飽和を避け、軸受負荷能
力を最大とするためには、磁束線に直角な断面積を等し
くしなければならない。このため、第4図中のA−A線
上断面積、B−B線上断面積、C−C線−ヒ断面積を同
一にする必要がある。
通常、固定子、回転子の軸方向長さを同一にし、磁束線
を回転軸の軸心に直角な面内に積層した薄い珪素鋼板を
通過させ、渦電流の発生を防止するので、第4図のラジ
アル軸受固定子継鉄3の厚さΔr6、ラジアル軸受回転
子継鉄4の半径方向の浮きΔr1を磁極の幅Tと同じに
する必要がある。このため、Δr、とΔrcが比較的に
大きくなり、大容量の磁気軸受けでは広い空間を必要と
した。また、高速回転軸用磁気軸受では、回転子周速が
高くなり、回転子用磁性材料の強度上の制約から、回転
数を大きくできないこともあった。
本実施例では第1図に示すように、ラジアル磁気軸受固
定子の回転子に対向し、回転子方向に突起した、励磁コ
イルを挿入する断面矩形状の磁極の数を1制御軸方向の
対向する電磁石につき3個(中央磁極3−1と両側磁極
3−2.3−3)とし、この3個の断面矩形状の磁極の
内、中央磁極3−1の円周方向の断面積を、その両側の
磁極3−2.3−3の断面積の略2倍とすることにより
、電磁石内に発生する磁束線を第1図の磁束線51aと
51bのように分割できる。
上記3つの固定子磁極の回転子に対向する表面積の合計
と、第4図に示す従来の磁気軸受の2つの磁極の回転子
に対向する表面積の合計を同一にして、回転子と固定子
間の空隙の磁束密度も同一にすれば、同じ軸受負荷能力
となる。従って、両側磁極3−2.3−3、固定子継鉄
3、回転子継鉄4の磁束は、中央の磁極の磁束の1/2
となるのでこれらの部分の磁束密度が同一になるように
回転子及び固定子を作ることにすれば、第1図のB−B
 、C−C,D−D線上断面積はA−A線上の断面積の
1/2とすることができる。よって、従来の磁気軸受と
同様に回転子、固定子の軸方向長さを同一にすると、回
転子継鉄の半径方向の厚さΔr5、回転子継鉄4の半径
方向の厚さΔr。を中央の磁極の周方向幅Tの1/2に
することができ、従来の磁気軸受と比較して回転子の外
径を略T1固定子の外径を略2Tだけ小さくできる。
第1図に示す構成の固定子継鉄3及び回転子継鉄4を有
するラジアル磁気軸受においても、第1図の5A、5A
f’、5Abを直列又は並列に接続することで、上記従
来のラジアル磁気軸受と同様の制御が可能である。しか
しながら、従来の制御回路での高周波発振を防止するた
め、本発明では、第2図に示す制御回路を用い、第1図
の3つの磁極の励磁コイルを独立に制御する。
第6図の制御回路ブロック図において、回転軸1の変位
を測定する半径方向変位センサー6からの変位信号60
は、先ず位相補償回路21に導き、所定の位相進み補償
を行なう。同時に回転軸1に自励振動を誘発する可能性
のある、或いは誘発している前向き振れ回り固有振動数
と後向き振れ回り固有振動数を中心周波数とするバンド
パスフィルタ25f’、25bを通過した信号を作り、
この信号を位相補償回路21を通過した信号に加え、前
向き振れ回り周波数成分を多く含む可能性のある信号6
1と、後向き振れ回り周波数成分を多く含む可能性のあ
る信号62を作る。信号61の信号にバイアス電圧V、
を加算し、直流検波回路22及び電力増幅器23を通し
て、第1図の回転方向に位置する磁極3−2.3−2の
励磁コイル5Af’及び5Cf’に所定の電流を流す。
励磁フィル5Af’、5Cf’の磁極は制御軸から回転
力向に進んだ位置にあるため、前向き振れ回り固有振動
数の制御力の位相を空間的方法で進めることになる。
また、信号62にバイアス電圧V、を加算し、直流検波
回路 22及び電力増幅器23を通し、反回転方向に位
置する磁極3−3の励磁コイル5Ab及び5Cbに所定
の電流を流す。この励磁コイル5Ab 、5Cbの磁極
は制御軸から反回転方向にあるため、後向き振れ回り固
有振動数の制御力の位相を空間的に進めることができる
電気的に位相を進める場合、高周波数でゲインが高くな
るか、位相を進める周波数前後で位相が遅れる等のため
、他の周波数の自動振動が発生することがあるが、上記
本実施例の方法では他の周波数領域に対して悪影響を与
えることはない。
なお、第2図においては、励磁フィル5B、5Bf’、
5Bb、5D、5Df’、5Dbの制御回路部は省略し
ている。
〔発明の効果〕
以上説明したように本発明によれば、下記のような優れ
た効果が得られる。
■磁気軸受の電磁石固定子の周方向継鉄と回転子継鉄の
半径方向の厚さを小さくできるので、ラジアル磁気軸受
をコンパクトにすることが可能となり、回転子外径も小
さくなるため高速回転が可能となる。
■固定子の3個の磁極の励磁コイルを独立に制御するこ
とにより、制御力に空間的に位相進みを与えることがで
き、このため電気的位相進みを小さくしても差し支えが
ないので、高周波数領域のゲインを低くでき、高周波数
の回転軸の固有振動数の自励振動を肪止できる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明に係るラジアル磁気軸受の固定子及び回
転子の断面図、第2図はその制御回路の構成を示す回路
ブロック図、第3図乃至第5図は従来の5軸制御型磁気
軸受の構造を示す図で、第3図は縦断面図、第4図は第
を図のI−I線上断面矢視図、第5図は第番図の■−■
線上断面矢視図、第6図はその制御回路の構成を示す回
路ブロック図である。 図中、1・・・・回転軸、2・・・・非常時用軸受、3
・・・・ラジアル軸受固定子継鉄、4・・・・ラジアル
軸受回転子継鉄、5,5A、5B、5C・・・・固定子
フィル、6、.6A、6B、6C,6D・・・・半径方
向変位センサー、21・・・・位相補償回路、22・・
・・直流検波回路、23・・・・電力増幅器、24・・
・・電流検出回路、25f’・・・・前向き振れ回り固
有振動数を中心周波数とするバンドパスフィルタ、25
b・・・・後向き振れ回り固有振動数を中心周波数とす
るバンドパスフィルタ。 代理人 弁理士 熊谷 隆(外1名) C 第1図 第4図

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)回転軸に固着した磁性材料製の回転子継鉄と、該
    回転子継鉄から微小間隙を設けてケーシングに固定され
    且つ起磁力を発生させるコイルを備えた電磁石固定子と
    、前記回転軸とケーシング間の相対変位を測定する変位
    センサと、該変位センサからの出力信号をもとに前記回
    転子継鉄と前記電磁石固定子に作用する磁気吸引力を制
    御する位相補償回路と電力増幅器を具備するラジアル磁
    気軸受装置において、前記電磁石固定子の回転子に対向
    し、回転子方向に突起し励磁コイルをさし込む断面矩形
    の磁極の数を1制御軸方向の対向する電磁石につき3個
    とし、この3個の磁極の内中央の磁極の円周方向断面積
    をその両側の2個の磁極の略2倍としたことを特徴とす
    るラジアル磁気軸受装置。
  2. (2)前記3個の断面矩形の磁極の内両側の磁極の励磁
    コイルに対して、回転方向の磁極の励磁コイルには回転
    軸の前向き固有振動数を中心周波数とするバンドパスフ
    ィルタを通過した変位信号と前記位相補償回路を通過し
    た変位信号とを加算した信号に比例した電流を流し、反
    回転方向の磁極の励磁コイルには回転軸の後向き固有振
    動数を中心周波数とするバンドパスフィルタを通過した
    変位信号と前記位相補償回路を通過した変位信号とを加
    算した信号に比例した電流を流すことを特徴とする請求
    項(1)記載のラジアル磁気軸受装置。
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