JPH01243568A - Manufacture of electronic component and lead frame to be used for it - Google Patents

Manufacture of electronic component and lead frame to be used for it

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JPH01243568A
JPH01243568A JP6953988A JP6953988A JPH01243568A JP H01243568 A JPH01243568 A JP H01243568A JP 6953988 A JP6953988 A JP 6953988A JP 6953988 A JP6953988 A JP 6953988A JP H01243568 A JPH01243568 A JP H01243568A
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JP
Japan
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lead
resin
sectional shape
burr
electronic component
Prior art date
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JP6953988A
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Japanese (ja)
Inventor
Sadao Yoshino
定雄 吉野
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Hitachi Ltd
Renesas Eastern Japan Semiconductor Inc
Original Assignee
Hitachi Tokyo Electronics Co Ltd
Hitachi Ltd
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Abstract

PURPOSE:To reduce that a resin remains stuck to a lead by a method wherein a resin burr is pressed from a long side to a short side in a cross-sectional shape of a nearly trapezoid of the lead so that the resin burr can be easily dropped. CONSTITUTION:In an electronic component 20 which has been taken out from a metal mold after a resin sealing operation, resin burrs 17 are formed in a region surrounded by a lead 11, a dam part 16 of a lead frame and a resin- sealed part 18. The burrs 17 are formed in a cross-sectional shape of a nearly trapezoid which is opposite to a cross-sectional shape of a nearly trapezoid of the lead 11. A burr-dropping punch 21 with protruding parts 22 is situated in a corresponding position where the burrs 17 have been formed. By this setup, the burrs 17 can be easily dropped from the lead 11; it can be reduced that a resin remains stuck to the lead 11.

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、電子部品の製造方法および電子部品用リード
フレームの構造に関するものであって、樹脂封止による
電子部品の製造に利用して有効な技術に関する。
Detailed Description of the Invention [Field of Industrial Application] The present invention relates to a method for manufacturing electronic components and a structure of a lead frame for electronic components, and is effective when used in manufacturing electronic components by resin sealing. related to technology.

〔従来の技術〕[Conventional technology]

樹脂封止により電子部品を創造する場合には、半導体素
子の樹脂封止部およびリード、リードフレームのダム部
に囲まれる領域には樹脂バリが形成される。この樹脂バ
リは電子部品にとりて不用であるため、従来は特開昭6
0−180126号公報に示されるように、ダム切断ポ
ンチによりダム部と共に切断するか、若しくはホーニン
グ等の処理により除去していた。
When creating an electronic component by resin sealing, resin burrs are formed in a region surrounded by the resin sealing part of the semiconductor element, the leads, and the dam part of the lead frame. Since this resin burr is unnecessary for electronic parts, it was
As shown in Japanese Patent No. 0-180126, the dam part is cut together with a dam cutting punch or removed by honing or other processing.

〔発明が解決しようとする課題〕[Problem to be solved by the invention]

前記従来技術においては、樹脂封止の際に形成される樹
脂バリを容易に除去するためのリードの断面形状につい
ては全く考慮されていなかりた。
In the prior art, no consideration was given at all to the cross-sectional shape of the leads for easily removing resin burrs formed during resin sealing.

従って、樹脂バリを単に押圧して除去しても、樹脂バリ
はリードから脱落しきれずにリードに付着した状態で残
る場合がある。そして、電子部品の製造に用いる樹脂に
は通常5102等からなる微細なフイ2−が含まれてお
り、このような樹脂バリが残った状態でダム切断を行々
うとダム切断金型の摩耗が著しく、ダム切断金型の寿命
が短かくなる。また、リード成形の際にはリード打痕や
リード折れ不良が生じ電子部品の外観を損ねるという問
題が生じる。
Therefore, even if the resin burr is simply pressed and removed, the resin burr may not completely fall off the lead and may remain attached to the lead. The resin used for manufacturing electronic components usually contains fine fins made of 5102, etc., and if dam cutting is performed with such resin burrs remaining, the dam cutting die will wear out. This significantly shortens the life of the dam cutting die. Furthermore, during lead molding, lead dents and lead bending defects occur, which impairs the appearance of the electronic component.

本発明は前記問題点を解決するためになされた・ もの
で、樹脂バリをリードから容易に除去することができる
電子部品の製造方法を提供することをを第1の目的とす
る。また、電子部品の製造の際に樹脂バリを容易に除去
することができろリードフレームを提供することを第2
の目的とする。
The present invention has been made to solve the above-mentioned problems, and its first object is to provide a method for manufacturing electronic components that allows resin burrs to be easily removed from leads. In addition, our second objective is to provide a lead frame from which resin burrs can be easily removed during the manufacture of electronic components.
The purpose of

〔課題を解決するための手段〕[Means to solve the problem]

前記第1の目的は略台形の断面形状からなるリードを樹
脂封止し、樹脂封止の際に前記リードに隣接して形成さ
れる樹脂バリを、前記リードの略台形の断面形状の長辺
側から短辺側の方向へ押圧することにより達成される。
The first purpose is to resin-seal a lead having a substantially trapezoidal cross-sectional shape, and remove resin burrs formed adjacent to the lead during resin sealing from the long side of the substantially trapezoidal cross-sectional shape of the lead. This is achieved by pressing from the side toward the short side.

また、前記M2の目的はリードの断面形状を略台形とす
ることにより達成される。
Further, the purpose of M2 is achieved by making the cross-sectional shape of the lead substantially trapezoidal.

〔作 用〕[For production]

前記した本発明の電子部品の製造方法によれば、樹脂封
止の際にリードに隣接して形成される樹脂バリは、リー
ドの断面形状が略台形であるため、リードの断面形状と
は逆向きの略台形の断面形状となって形成される。そし
て、樹脂バリをリードの略台形の断面形状における長辺
側から短辺側の方向へ樹上バリを押圧する。即ち、樹脂
バリは、略台形の断面形状の短辺側から長辺側へ押圧さ
れる。樹脂バリは、その断面形状が押圧方向に対して末
広がりの形状となっているため、リードと樹脂バリとの
界面にはリードから樹脂バリを引き離す方向に力が働き
、容易に樹脂バリを除去することができる。
According to the above-described method of manufacturing an electronic component of the present invention, the resin burr formed adjacent to the lead during resin sealing is opposite to the cross-sectional shape of the lead because the cross-sectional shape of the lead is approximately trapezoidal. It is formed to have a substantially trapezoidal cross-sectional shape. Then, the resin burr is pressed against the resin burr in a direction from the long side to the short side of the approximately trapezoidal cross-sectional shape of the lead. That is, the resin burr is pressed from the short side to the long side of the substantially trapezoidal cross-sectional shape. Since the resin burr has a cross-sectional shape that widens toward the end in the pressing direction, a force acts at the interface between the lead and the resin burr in the direction of separating the resin burr from the lead, making it easy to remove the resin burr. be able to.

〔実施例〕〔Example〕

本発明の一実施例を図面により説明する。第1図は、本
発明の電子部品製造方法を適用して製造した半導体装置
であり、樹脂封止の際に形成される樹脂バリは除去され
ている。リード1の断面形状は、第1図の半導体装置2
のAA’ 断面を示す第2図から明らかなように略台形
となっている。
An embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 1 shows a semiconductor device manufactured by applying the electronic component manufacturing method of the present invention, and resin burrs formed during resin sealing have been removed. The cross-sectional shape of the lead 1 is similar to that of the semiconductor device 2 in FIG.
As is clear from FIG. 2, which shows the AA' cross section, it has a substantially trapezoidal shape.

以下本発明の電子部品の製造方法を第3図乃至第8図に
より説明する。はじめに、第3図に示すリードフレーム
lOを準備する。このリードフレームは半導体素子を載
置するタブを設ける代りに、リード11上に半導体素子
を載置する構造としたリードフレーム(タブレスリード
フレーム)である、さらに、このリードフレーム10の
リード11の断面形状は、BB’ 断面を示す第4図の
とおり、略台形となっている。
The method of manufacturing an electronic component according to the present invention will be explained below with reference to FIGS. 3 to 8. First, a lead frame IO shown in FIG. 3 is prepared. This lead frame is a lead frame (tableless lead frame) that has a structure in which the semiconductor element is placed on the leads 11 instead of providing a tab on which the semiconductor element is placed. The cross-sectional shape is approximately trapezoidal, as shown in FIG. 4, which shows the BB' cross section.

次に、第5図に示すようにリードフレーム1゜のリード
ll上に絶縁シー)12を介して半導体素子13を固着
する。そして、半導体素子13に形成されている電極1
4とリード11とをワイヤボンディング装置によりてボ
ンディングする0次に、仮想線15に示される形状にな
るように周知の金型(図示せず)を用いて樹脂封止を行
なう。
Next, as shown in FIG. 5, a semiconductor element 13 is fixed onto the leads 11 of the lead frame 1° via an insulating sheet 12. Then, the electrode 1 formed on the semiconductor element 13
4 and the lead 11 are bonded using a wire bonding device. Next, resin sealing is performed using a well-known mold (not shown) so that the shape shown by the imaginary line 15 is obtained.

樹脂封止後、金型から取出した電子部品20は、K 6
 (a)図に示すように、リード11とリードフレーム
のダム部16および樹脂封止部18に囲まれる領域に樹
脂バリ17が形成される。樹脂バリ17は、第66)図
に示すように、リード11の略台形の断面形状とは逆向
の略台形の断面形状となりて形成される。そして、樹脂
バリは、先に述べたとおり製品の外観上不用であるため
樹脂バリの除去を行なう、樹脂バリ17の除去は第7(
a)囚に示すように、樹脂バリ17の形成されている位
置に凸部22を有するバリ落しポンチ21を対応して位
置させ、バリ落しポンチ21の凸部22により樹脂バリ
17を矢印Gの方向へ押圧することにより行なう、さら
に、この樹脂バリ17の押圧方向を第7(b)図により
詳細に説明する。第7 (b)図に示すように、バリ落
しポンチ21の凸部22のそれぞれを樹脂バリ17の形
成されている位置に対応させてリード11の略台形の断
面形状における長辺側から短辺側の方向へ下降させ、樹
脂バリ17を押圧する。すなわち、樹脂バリ17の断面
形状においては、略台形の短辺側から長辺側に向かりて
押圧する。従って、樹脂バリ17はその略台形の断面形
状の末広がり方向に押圧することによりリード11と樹
脂バリ17との界面には、リード11かう樹脂バリ17
を引き離す方向に力が働き、樹脂バリ17はリード11
から脱落する。
After resin sealing, the electronic component 20 taken out from the mold has a K6
(a) As shown in the figure, a resin burr 17 is formed in a region surrounded by the lead 11, the dam part 16 of the lead frame, and the resin sealing part 18. As shown in FIG. 66), the resin burr 17 is formed to have a substantially trapezoidal cross-sectional shape opposite to the substantially trapezoidal cross-sectional shape of the lead 11. As mentioned above, the resin burr is unnecessary for the appearance of the product, so the resin burr is removed.
a) As shown in the figure, position the burr removal punch 21 having a protrusion 22 corresponding to the position where the resin burr 17 is formed, and use the protrusion 22 of the burr removal punch 21 to remove the resin burr 17 in the direction of arrow G. Further, the pressing direction of the resin burr 17 will be explained in detail with reference to FIG. 7(b). As shown in FIG. 7(b), each of the protrusions 22 of the burr punch 21 is aligned with the position where the resin burr 17 is formed, from the long side to the short side of the approximately trapezoidal cross-sectional shape of the lead 11. It is lowered to the side and presses the resin burr 17. That is, in the cross-sectional shape of the resin burr 17, the resin burr 17 is pressed from the short side to the long side of a substantially trapezoidal shape. Therefore, by pressing the resin burr 17 in the direction in which its substantially trapezoidal cross-sectional shape widens toward the end, the resin burr 17 is formed at the interface between the lead 11 and the resin burr 17.
A force acts in the direction of separating the resin burrs 17 from the leads 11.
fall off from

樹脂バリ17を除却すると、次に、リードフレーム11
のダム部16をダム切断ポンチ(図示せず)により切断
する。切断後の電子部品は第8図に示す状態となり、そ
の後にリード11の折曲げを行なうことにより所定の形
状に成形し、第1図に示す電子部品となる。
After removing the resin burr 17, the lead frame 11 is removed.
The dam portion 16 is cut using a dam cutting punch (not shown). The electronic component after cutting is in the state shown in FIG. 8, and then the leads 11 are bent to form a predetermined shape, resulting in the electronic component shown in FIG.

以上のように、本発明の電子部品の製造方法によるとリ
ードの略台形の断面形状の長辺側から短辺側へ樹脂バリ
を押圧するようにしたため、樹脂バリをリードから容易
に脱落させることができる。
As described above, according to the electronic component manufacturing method of the present invention, the resin burr is pressed from the long side to the short side of the approximately trapezoidal cross-sectional shape of the lead, so that the resin burr can easily fall off from the lead. Can be done.

従って、樹脂バリの除去工程でリードに樹脂が付着して
残ることを低減することができ、樹脂に含まれるStO
,等の微細なフィラーによりダム切断金型が摩耗するこ
とを低減できる。また、リード折り曲げ時にリード打痕
、リード折れ等の外観不良を低減することができる。
Therefore, it is possible to reduce the amount of resin that remains on the lead during the resin burr removal process, and the StO contained in the resin can be reduced.
, etc. can reduce wear of the dam cutting die. Furthermore, appearance defects such as lead dents and lead bending can be reduced when the leads are bent.

本実施例においてはリードの断面形状を略台形としたが
、更にダム部の断面形状を略台形とすることにより、樹
脂バリはより容易に除去することができるようになる。
In this embodiment, the cross-sectional shape of the lead is approximately trapezoidal, but by further making the cross-sectional shape of the dam portion approximately trapezoidal, resin burrs can be more easily removed.

また、リードフレームのどちらかの面に樹脂バリの押圧
力向を示す印を形成しておくことにより、作業上のiス
を起すことなく電子部品を確実に製造することができる
。また、樹脂バリの押圧は、バリ落しポンチにかぎられ
るものではなく、デフラッシ為等の処理によりて行なり
ても良い。
Further, by forming a mark indicating the pressing force direction of the resin burr on either side of the lead frame, electronic components can be manufactured reliably without causing any operational inconvenience. Further, the pressing of the resin burr is not limited to a burr removal punch, and may be performed by deflashing or other processing.

次に、本発明に用いるリードフレームにおける、リード
の略台形の断面形状の製造方法の一例を第9図乃至第1
1図により説明する。第9図に示すようにリードフレー
ムとなる金属板200表裏曲にレジスト21を塗布する
0次に第10図に示すように、金属板20のリードとな
る部分のレジスト21が残るように他の部分のレジスト
を除去する6次にエツチング液により金属板20の不要
部分を除去して略台形の断面形状からなるリード22を
形成する。そして、このリード22の断面形状である略
台形の斜辺23と、リードフレームの厚さ方向の仮想線
とのなす角度θを3〜lO度となるよ5に形成するのが
望ましい、この角8度θは、樹脂モールド型金型に形成
される樹力旨七−ルド後の電子部品を金型かも取出しや
すくするために形成する抜きテーパα(第12図参照)
に対応させた値である。また、リードの略台形の断面形
状は、樹脂バリを除去を容易にするための形状であれば
よく、第13図、第14図に示す構造であってもよい0
以上のように形成したリードフレームを用いることによ
り、樹脂バリを容易に除去することができる電子部品の
製造方法を提供することができる。
Next, an example of a method for manufacturing a lead having a substantially trapezoidal cross-sectional shape in a lead frame used in the present invention is shown in FIGS.
This will be explained using Figure 1. As shown in FIG. 9, resist 21 is applied to the front and back curves of the metal plate 200 that will become the lead frame. Next, as shown in FIG. The unnecessary portions of the metal plate 20 are removed using a sixth-stage etching solution to remove the resist portions, thereby forming the leads 22 having a substantially trapezoidal cross-sectional shape. The angle θ between the substantially trapezoidal oblique side 23 that is the cross-sectional shape of the lead 22 and the imaginary line in the thickness direction of the lead frame is desirably 5 to 3 to 10 degrees. The degree θ is the drawing taper α (see Figure 12), which is formed in order to make it easier to take out electronic components from the mold after being molded.
This value corresponds to Further, the approximately trapezoidal cross-sectional shape of the lead may be any shape that facilitates the removal of resin burrs, and may have the structure shown in FIGS. 13 and 14.
By using the lead frame formed as described above, it is possible to provide a method of manufacturing an electronic component in which resin burrs can be easily removed.

〔発明の効果〕〔Effect of the invention〕

本願において開示される発明によりて得られる効果を簡
単に説明すれば、下記のとおりである。
A brief explanation of the effects obtained by the invention disclosed in this application is as follows.

リードの略台形の断面形状の長辺側から短辺側へ樹脂バ
リを押圧するようにしたため、樹脂バリをリードから容
易に脱落させることができる。従りて、樹脂バリ除去工
程でリードに樹脂が付層して残ることを低減することが
でき、ダム切断金型の摩耗を低減し、寿命を長くするこ
とができる。また、リード折り曲げ時にリード打痕、リ
ード折れ等の外観不良を低減することができる。また、
略台形の断面形状からなるリードを有するリードフレー
ムを用いることにより、本発明の電子部品の製造方法を
実施することができる。
Since the resin burr is pressed from the long side to the short side of the approximately trapezoidal cross-sectional shape of the lead, the resin burr can be easily removed from the lead. Therefore, it is possible to reduce the amount of resin remaining on the lead in the resin burr removal process, reduce wear on the dam cutting die, and extend the life of the dam cutting die. Furthermore, appearance defects such as lead dents and lead bending can be reduced when the leads are bent. Also,
By using a lead frame having leads having a substantially trapezoidal cross-sectional shape, the method for manufacturing an electronic component of the present invention can be carried out.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図は本発明の電子部品の製造方法により製遺した半
導体装置の概略図、第2図は巣1図に示される半導体装
置のAA’ 断面の拡大図、第3図は本発明の電子部品
の製造に用いるリードフレームの概略図、第4は第3図
に示されるリードフレームのBB’断面の拡大図、第5
図は第3−に示されるリードフレームに半導体素子を[
i!1lffiしてボンディングを行りた状態の概略図
、第5(a)、(b)図は第5図に示される半導体装置
を樹脂モールドした直後の状態の概略図、第7(a)、
 (b)図は樹脂モールドにより形成された樹脂バリを
バリ落しポンチにより押圧する状態を示した概略図、第
8図はリードフレームのダム部を切断した状態の概略図
、第9図は金纏板にレジストを塗布した状態の概略図、
第1O図は第9図に示した金属板に塗布したレジストを
部分的に除去した状態を示す概略図、第11図はjg1
0図に示した金属板をエツチングすることによって形成
したリードフレームのリードの断面形状を示す概略図、
第12図は電子部品の製造に用いる金型の概略図、第1
3図および第14図は、本発明の他の実施例であるリー
ドフレームの断面形状を示す概略図である。 1.11・・・リード、2・・・半導体装置、10・・
・リードフレーム、12・・・M5縁シート、13・・
・半導体素子、14・・・電極、15・・・樹脂モール
ド部仮想−117・・・樹脂バリ。 代理人 弁理士  小 川 勝 男、−\第  1  
図 A′ 第2図 第3図 工■■ 第5図 /a 第6(tL)図 第6(b)図 1/ // 第7 (a−>図 第7(b)図 第8図 第9図 第10図 第11図 第13図
FIG. 1 is a schematic diagram of a semiconductor device produced by the method for manufacturing electronic components of the present invention, FIG. 2 is an enlarged view of the AA' cross section of the semiconductor device shown in Figure 1, and FIG. A schematic diagram of a lead frame used for manufacturing parts; 4th is an enlarged view of the BB' cross section of the lead frame shown in FIG. 3;
In the figure, a semiconductor element is mounted on a lead frame shown in No. 3.
i! 5(a) and 5(b) are schematic diagrams of the semiconductor device shown in FIG. 5 immediately after resin molding;
(b) is a schematic diagram showing the state in which the resin burr formed by the resin mold is pressed with a deburr punch, Figure 8 is a schematic diagram of the dam part of the lead frame cut away, and Figure 9 is a schematic diagram of the state in which the dam part of the lead frame is cut. Schematic diagram of the state in which resist is applied to the plate,
Figure 1O is a schematic diagram showing the state where the resist applied to the metal plate shown in Figure 9 has been partially removed, and Figure 11 is a schematic diagram showing the state where the resist applied to the metal plate shown in Figure 9 has been partially removed.
A schematic diagram showing the cross-sectional shape of a lead of a lead frame formed by etching the metal plate shown in Figure 0;
Figure 12 is a schematic diagram of a mold used for manufacturing electronic components.
3 and 14 are schematic diagrams showing cross-sectional shapes of lead frames according to other embodiments of the present invention. 1.11...Lead, 2...Semiconductor device, 10...
・Lead frame, 12...M5 edge sheet, 13...
- Semiconductor element, 14... Electrode, 15... Resin mold part virtual -117... Resin burr. Agent: Patent Attorney Katsuo Ogawa, -\No. 1
Figure A' Figure 2 Figure 3 Figure 5/a Figure 6 (tL) Figure 6 (b) Figure 1/ // Figure 7 (a-> Figure 7 (b) Figure 8 Figure 9 Figure 10 Figure 11 Figure 13

Claims (1)

【特許請求の範囲】 1、電子部品の製造方法において、略台形の断面形状か
らなるリードを樹脂封止し、樹脂封止の際に前記リード
に隣接して形成される樹止バリを、前記略台形の断面形
状の長辺側から短辺側の方向へ押圧することを特徴とす
る電子部品の製造方法。 2、前記樹脂バリの押圧は、樹脂バリを押圧する押圧部
を有するバリ落しポンチにより行なうことを特徴とする
特許請求の範囲第1項記載の電子部品の製造方法。 3、電子部品の製造方法において、略台形の断面形状か
らなるリードを樹脂封止し、樹脂封止の一に前記リード
周辺に形成される樹脂バリを、前記略台形の断面形状の
長辺側から短辺側の方向へ押圧することにより脱落させ
た後、前記リードを連結しているダム部を切断し、前記
リードを所望の形状に成形することを特徴とする電子部
品の製造方法。 4、前記樹脂バリの押圧は、樹脂バリを押圧する押圧部
を有するバリ落しポンチにより行なうことを特徴とする
特許請求の範囲第3項に記載の電子部品の製造方法。 5、リードの断面形状が略台形であることを特徴とする
リードフレーム。
[Claims] 1. In a method of manufacturing an electronic component, a lead having a substantially trapezoidal cross-sectional shape is sealed with a resin, and a resin burr formed adjacent to the lead during the resin sealing is A method for manufacturing an electronic component, characterized by pressing from the long side to the short side of a substantially trapezoidal cross-sectional shape. 2. The method of manufacturing an electronic component according to claim 1, wherein the pressing of the resin burr is performed using a burr removing punch having a pressing part for pressing the resin burr. 3. In a method of manufacturing an electronic component, a lead having a substantially trapezoidal cross-sectional shape is sealed with a resin, and a resin burr formed around the lead is placed on the long side of the substantially trapezoidal cross-sectional shape. A method of manufacturing an electronic component, characterized in that the lead is dropped by pressing it in the direction of the short side, and then the dam part connecting the lead is cut, and the lead is molded into a desired shape. 4. The method of manufacturing an electronic component according to claim 3, wherein the pressing of the resin burr is performed using a burr removal punch having a pressing part for pressing the resin burr. 5. A lead frame characterized in that the cross-sectional shape of the leads is approximately trapezoidal.
JP6953988A 1988-03-25 1988-03-25 Manufacture of electronic component and lead frame to be used for it Pending JPH01243568A (en)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH04180662A (en) * 1990-11-15 1992-06-26 Nec Yamagata Ltd Manufacture of lead frame

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH04180662A (en) * 1990-11-15 1992-06-26 Nec Yamagata Ltd Manufacture of lead frame

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