JPH01242404A - オゾナイザ及びオゾン発生方法 - Google Patents
オゾナイザ及びオゾン発生方法Info
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- JPH01242404A JPH01242404A JP6823188A JP6823188A JPH01242404A JP H01242404 A JPH01242404 A JP H01242404A JP 6823188 A JP6823188 A JP 6823188A JP 6823188 A JP6823188 A JP 6823188A JP H01242404 A JPH01242404 A JP H01242404A
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Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
- C01B13/00—Oxygen; Ozone; Oxides or hydroxides in general
- C01B13/10—Preparation of ozone
- C01B13/11—Preparation of ozone by electric discharge
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Inorganic Chemistry (AREA)
- Oxygen, Ozone, And Oxides In General (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、オゾンを製造するオゾナイザ及びオゾン発生
方法の改良に関する。
方法の改良に関する。
オゾンを製造するオゾナイザとしてはオゾン発生量が多
いこと、消費電力が少ないこと、電極及びオゾナイザ素
子の寿命が長く、長期間にわたり安定した状態でオゾン
を発生できること及び製造コストを低く抑えることがで
きること等が要求されるが、これらの条件を総て満足す
るオゾナ・イザは未だ開発されていない。
いこと、消費電力が少ないこと、電極及びオゾナイザ素
子の寿命が長く、長期間にわたり安定した状態でオゾン
を発生できること及び製造コストを低く抑えることがで
きること等が要求されるが、これらの条件を総て満足す
るオゾナ・イザは未だ開発されていない。
従来公知のオゾナイザは、オゾンを大量に発生すること
ができず、しかも消費電力が多く、電Ｊ】及びオゾナイ
ザ素子の寿命が短く、長期間にわたり安定した状態でオ
ゾンを発生することができないと云う問題点があった。
ができず、しかも消費電力が多く、電Ｊ】及びオゾナイ
ザ素子の寿命が短く、長期間にわたり安定した状態でオ
ゾンを発生することができないと云う問題点があった。
而して、オゾナイザにおいてオゾンを大量、且つ効率的
に発生することを妨げる要因としては種々のものを上げ
ることができる。即ち、〔１〕電極に関するものとして
は、 （１）電極の酸化分解。
に発生することを妨げる要因としては種々のものを上げ
ることができる。即ち、〔１〕電極に関するものとして
は、 （１）電極の酸化分解。
（２）電極の電蝕。
（３）電極の電気分解。
（４）電気分極。
（５）電極の電気析出。
等が挙げられるが、これらはコロナ放電による整流作用
、電源波形のかたよりによる極性変位又は電極金属中に
含まれる不純物の影古等により起こるものである。
、電源波形のかたよりによる極性変位又は電極金属中に
含まれる不純物の影古等により起こるものである。
〔２〕オゾナイザ素子の構造上の問題に関するものとし
ては、 （＋） 電極の静電容量が大きいため、放電電力に比
べて静電容量によるロス電力が太き（なる。
ては、 （＋） 電極の静電容量が大きいため、放電電力に比
べて静電容量によるロス電力が太き（なる。
（２） オゾナイザ素子にかける電界が平等電界にな
らない。
らない。
（３） オゾナイザ素子に流入する全電力に比しオゾ
ンの発生量が少ない。
ンの発生量が少ない。
（４）放電発生面がオゾナイザ素子の片方の面のみであ
るためオゾンの発生量が少ない。
るためオゾンの発生量が少ない。
等が挙げられる。
〔３〕電源に関するものとしては、
（１） コロナ放電効率を向上させるために電源の周
波数を高くしなければならない。
波数を高くしなければならない。
（２） コロナ放電電力よりも電極とオゾナイザ素子
の静電容量による電力ロスの方が大きいため電源回路と
して大型のものを使用しなければならない。
の静電容量による電力ロスの方が大きいため電源回路と
して大型のものを使用しなければならない。
〔４〕オゾナイザ素子としてセラミック素子を使用した
場合には、 （１） セラミック素子にピンホール、クランク、ボ
イド等が生じやすく、絶縁破壊等が起こりやすい。
場合には、 （１） セラミック素子にピンホール、クランク、ボ
イド等が生じやすく、絶縁破壊等が起こりやすい。
（２） 電極とセラミック素子の膨張係数の違いによ
り歪が生じやすい。
り歪が生じやすい。
（３）オゾナイザ素子が電気分解又は分極しやすい。
（４） セラミック素子の表面が粗いためセラミンク
素子の表面に水分が付着しやすい。
素子の表面に水分が付着しやすい。
（５）オゾンによる還元が起こりやすい。
等が挙げられる。
本発明は、叙上の観点にたってなされたものであって、
その目的とするところは、上記の種々の問題点の解決を
図り、消費電力が少なく、電極及びオゾナイザ素子の寿
命が長く、長期間にわたり安定した状態で使用でき、し
かも製造コストを低く抑えることができるオゾナイザ及
びオゾン発生方法を提供することにある。
その目的とするところは、上記の種々の問題点の解決を
図り、消費電力が少なく、電極及びオゾナイザ素子の寿
命が長く、長期間にわたり安定した状態で使用でき、し
かも製造コストを低く抑えることができるオゾナイザ及
びオゾン発生方法を提供することにある。
而して、上記の目的は、誘電体から成る薄板の表裏両面
に一対の電極を設け、これを酸素を含む原料ガスを供給
しつ＼電圧パルスを印加してオゾンを製造するオゾナイ
ザに於いて、上記薄板が少なくともその表面がガラス質
から成る低誘電率材料から成り、上記薄板の表裏両面に
設けられる電極が互いに重なり合うことがないよう板厚
の２倍以上の最短距罷を隔て＼設けることによって達成
される。
に一対の電極を設け、これを酸素を含む原料ガスを供給
しつ＼電圧パルスを印加してオゾンを製造するオゾナイ
ザに於いて、上記薄板が少なくともその表面がガラス質
から成る低誘電率材料から成り、上記薄板の表裏両面に
設けられる電極が互いに重なり合うことがないよう板厚
の２倍以上の最短距罷を隔て＼設けることによって達成
される。
なお、両電極間には、酸素を含む原料ガスを供給しつゝ
、ゼロ又は適宜のバイアス電圧Ｖａに保たれる休止時間
Ｔａを介して、正負□に交互にスイングする電圧パルス
を印加するものである。
、ゼロ又は適宜のバイアス電圧Ｖａに保たれる休止時間
Ｔａを介して、正負□に交互にスイングする電圧パルス
を印加するものである。
上記の如く構成することにより、オゾナイザの消費電力
を減少させ、電極及びオゾナイザ素子の寿命を大幅に延
ばすことができ、長期間にわたり安定した状態でオゾン
を発生させることかでき、更にはオゾナイザの製造コス
トを低く抑えることができるものである。
を減少させ、電極及びオゾナイザ素子の寿命を大幅に延
ばすことができ、長期間にわたり安定した状態でオゾン
を発生させることかでき、更にはオゾナイザの製造コス
トを低く抑えることができるものである。
以下、図面を参照しつ一本発明の構成を具体的に説明す
る。
る。
第１図は、本発明にかかるオゾナイザに使用する電極の
構成を示す説明図、第２図は、オゾナイザ素子の一実施
例を示す縦方向拡大断面図、第３図は、セラミックを使
用したオゾナイザ素子の一実施例を示す縦方向拡大断面
図、第４図及び第５図は、従来公知のオゾナイザ素子の
一実施例を示す説明図、第６図乃至第９図は、それぞれ
本発明にかかるオゾナイザ素子に印加する電圧パルス波
形を示す説明図、第１０図は、本発明にかかるオゾナイ
ザ素子と従来公知のオゾナイザ素子の寿命を比較したグ
ラフである。
構成を示す説明図、第２図は、オゾナイザ素子の一実施
例を示す縦方向拡大断面図、第３図は、セラミックを使
用したオゾナイザ素子の一実施例を示す縦方向拡大断面
図、第４図及び第５図は、従来公知のオゾナイザ素子の
一実施例を示す説明図、第６図乃至第９図は、それぞれ
本発明にかかるオゾナイザ素子に印加する電圧パルス波
形を示す説明図、第１０図は、本発明にかかるオゾナイ
ザ素子と従来公知のオゾナイザ素子の寿命を比較したグ
ラフである。
第１図乃至第１０図中、１は本発明にかかるオゾナイザ
素子に使用する電極であり、２及び３は一対の電極、４
は絶縁材料、５はセラミック板、６及び７は上記セラミ
ンク板５０表面を覆うコーテイング材、８はガードリン
グ、９はセラミック板、１０．１１．１２及び１３は電
極、Ａ及びＢは従来のセラミックを使用したオゾナイザ
素子、Ｃは従来のセラミンクを使用したオゾナイザ素子
に本発明で使用する電圧パルスを印加した場合、Ｄは本
発明にかかるセラミックを使用したオゾナイザ素子（但
し、セラミック板表面にガラス質等から成る低誘電率材
料による処理無し。）に本発明で使用する電圧パルスを
印加した場合、Ｄは本発明にかかるセラミックを使用し
たオゾナイザ素子（但し、セラミック板表面にガラス質
等から成る低誘電率材料による処理有り。）に本発明で
使用する電圧パルスを印加した場合である。
素子に使用する電極であり、２及び３は一対の電極、４
は絶縁材料、５はセラミック板、６及び７は上記セラミ
ンク板５０表面を覆うコーテイング材、８はガードリン
グ、９はセラミック板、１０．１１．１２及び１３は電
極、Ａ及びＢは従来のセラミックを使用したオゾナイザ
素子、Ｃは従来のセラミンクを使用したオゾナイザ素子
に本発明で使用する電圧パルスを印加した場合、Ｄは本
発明にかかるセラミックを使用したオゾナイザ素子（但
し、セラミック板表面にガラス質等から成る低誘電率材
料による処理無し。）に本発明で使用する電圧パルスを
印加した場合、Ｄは本発明にかかるセラミックを使用し
たオゾナイザ素子（但し、セラミック板表面にガラス質
等から成る低誘電率材料による処理有り。）に本発明で
使用する電圧パルスを印加した場合である。
而して、従来公知のオゾナイザ素子は、第４図及び第５
図に示す如く、アルミナ系等のセラミック板９の一表面
に電極１０．１０を張りつけると共に、上記セラミック
板９の内部に上記電極ｌ０１１０と相対向するように電
極１１を埋め込むか、又はセラミック板９を挟んで相対
向するよう一対の電極１２及び１３を設けるものである
。
図に示す如く、アルミナ系等のセラミック板９の一表面
に電極１０．１０を張りつけると共に、上記セラミック
板９の内部に上記電極ｌ０１１０と相対向するように電
極１１を埋め込むか、又はセラミック板９を挟んで相対
向するよう一対の電極１２及び１３を設けるものである
。
而して、従来公知のオゾナイザ素子は、表面粗さの粗い
セラミック板９の片面又は両面に電極を直接張り付ける
ため、電極とセラミック板９との間の接触抵抗が大きく
、又セラミック板９の表面に水分が付着しやすいと云う
問題点があった。また、セラミック板９にピンホール、
クランク、ボイド等が生じやすいため絶縁破壊が起こり
やすく、更には電極とセラミック板９の膨張係数の相違
により歪が起こったり、オゾナイザ素子が電気分解又は
分極しやすいと云う問題点もあった。
セラミック板９の片面又は両面に電極を直接張り付ける
ため、電極とセラミック板９との間の接触抵抗が大きく
、又セラミック板９の表面に水分が付着しやすいと云う
問題点があった。また、セラミック板９にピンホール、
クランク、ボイド等が生じやすいため絶縁破壊が起こり
やすく、更には電極とセラミック板９の膨張係数の相違
により歪が起こったり、オゾナイザ素子が電気分解又は
分極しやすいと云う問題点もあった。
更にまた、電極間の静電容量が大きいため、放電電力に
比べて静電容量による無効電流が大きく、オゾナイザ素
子に流入する全電力に比ベオゾンの発生量が少なく、又
オゾナイザ素子の片面でしかオゾンが発生しないと云う
極めて効率の悪いものであった。
比べて静電容量による無効電流が大きく、オゾナイザ素
子に流入する全電力に比ベオゾンの発生量が少なく、又
オゾナイザ素子の片面でしかオゾンが発生しないと云う
極めて効率の悪いものであった。
これに対して、本発明にかかるオゾナイザ素子は、絶縁
材料４の表裏両面に一対の電極２．３が互いに重なり合
わないよう上記絶縁材料４の２倍以上の最短距離を隔て
＼設けるものである。
材料４の表裏両面に一対の電極２．３が互いに重なり合
わないよう上記絶縁材料４の２倍以上の最短距離を隔て
＼設けるものである。
このため電極面積を広くしても電極間の静電容量は小さ
な値に止まり、このためコロナ放電以外の無効電流が殆
ど発生せず、電力効率が飛躍的に向上する。
な値に止まり、このためコロナ放電以外の無効電流が殆
ど発生せず、電力効率が飛躍的に向上する。
また、絶縁材料としてセラミック板５を使用する場合に
は、セラミック板５の表面を緻密なガラ・ス質から成る
低誘電率材料で覆い、その上に表裏両面に一対の電極２
．３が互いに重なり合わないよう上記セラミック板５の
２倍以上の最短距離を隔て＼設けるものである。
は、セラミック板５の表面を緻密なガラ・ス質から成る
低誘電率材料で覆い、その上に表裏両面に一対の電極２
．３が互いに重なり合わないよう上記セラミック板５の
２倍以上の最短距離を隔て＼設けるものである。
このように構成すると、セラミック板５がオゾンやコロ
ナ放電のプラズマに接触しないので損傷を受けることが
ない。
ナ放電のプラズマに接触しないので損傷を受けることが
ない。
電極２及び３としてはアルミニウム、ステンレス、グラ
ファイト、カーボンコロイド等のオゾンに耐性を有する
導電性物質を使用し、電極の厚さは１５μｍ 〜３００
μｍ、電極の幅Ｔは０．５〜５ ｍｍ、電極間距離ｔは
０．１〜５世とする。
ファイト、カーボンコロイド等のオゾンに耐性を有する
導電性物質を使用し、電極の厚さは１５μｍ 〜３００
μｍ、電極の幅Ｔは０．５〜５ ｍｍ、電極間距離ｔは
０．１〜５世とする。
上記絶縁材料４としては塩化ビニール、ポリエチレン及
びポリプロピレン等を使用し、又セラミック板５として
は、アルミナ、ステアタイト及びマイカレックス等を使
用し、これらを厚さ０．１〜２ｍ［ｌＩに形成する。ま
た、上記セラミック板５の表面を覆う低誘電率材料とし
ては、石英ガラス、ソーダガラス等が推奨される。なお
、セラミック板５の表面をガラス質から成る低誘電率材
料で覆ったならば、その表面をグリス等でコーティング
する。
びポリプロピレン等を使用し、又セラミック板５として
は、アルミナ、ステアタイト及びマイカレックス等を使
用し、これらを厚さ０．１〜２ｍ［ｌＩに形成する。ま
た、上記セラミック板５の表面を覆う低誘電率材料とし
ては、石英ガラス、ソーダガラス等が推奨される。なお
、セラミック板５の表面をガラス質から成る低誘電率材
料で覆ったならば、その表面をグリス等でコーティング
する。
而して、本発明にかかるオゾナイザに於いては、上記の
如く形成されたオゾナイザ素子の両電極間に、酸素を含
む原料ガスを供給しつ−１第６図乃至第９図に示す如き
ゼロ又は適宜の正又は負のバイアス電圧Ｖａに保たれる
休止時間Ｔａを介して、正負に交互にスイングする電圧
パルスを印加して電極間にコ゛ロナ放電を起こさせ、オ
ゾンを発生させるものである。
如く形成されたオゾナイザ素子の両電極間に、酸素を含
む原料ガスを供給しつ−１第６図乃至第９図に示す如き
ゼロ又は適宜の正又は負のバイアス電圧Ｖａに保たれる
休止時間Ｔａを介して、正負に交互にスイングする電圧
パルスを印加して電極間にコ゛ロナ放電を起こさせ、オ
ゾンを発生させるものである。
このようにするとオゾナイザ素子の両面で交互にコロナ
放電が生じるので、効率が向上し、又コロナ放電が一方
向性でなくなるので、誘電体の電食や金属の析出が防止
される。
放電が生じるので、効率が向上し、又コロナ放電が一方
向性でなくなるので、誘電体の電食や金属の析出が防止
される。
なお、大型のオゾナイザ素子の場合には、ガードリング
８を設け、上記ガードリング８を接地し、これにより電
界を均一化する。
８を設け、上記ガードリング８を接地し、これにより電
界を均一化する。
而して、絶縁材料４又はセラミック板５の薄板を挟んで
一対の電極２．３が互いに重なり合わないよう２倍以上
の最短距離を隔て＼設けであるので、コロナ放電の発生
範囲が広くなり、上記薄板の両面でオゾンを発生させる
ことができ、更には第１０図に示す如く、オゾナイザ素
子の寿命を従来のものに比べて大幅に向上させることが
できる。
一対の電極２．３が互いに重なり合わないよう２倍以上
の最短距離を隔て＼設けであるので、コロナ放電の発生
範囲が広くなり、上記薄板の両面でオゾンを発生させる
ことができ、更には第１０図に示す如く、オゾナイザ素
子の寿命を従来のものに比べて大幅に向上させることが
できる。
特に、セラミック板の表面を石英ガラスで被覆処理し、
電極にゼロ又は適宜の正又は負のバイアス電圧Ｖａに保
たれる休止時間Ｔａを介して、正負に交互にスイングす
る電圧パルスを印加してオゾンを発生させるようにする
と、第１０図中Ｅ１に示す如くオゾナイザ素子の寿命を
大幅に向上させることができる。
電極にゼロ又は適宜の正又は負のバイアス電圧Ｖａに保
たれる休止時間Ｔａを介して、正負に交互にスイングす
る電圧パルスを印加してオゾンを発生させるようにする
と、第１０図中Ｅ１に示す如くオゾナイザ素子の寿命を
大幅に向上させることができる。
本発明は叙上の如く構成されるから、本発明によるとき
には、オゾナイザの消費電力を減少させ、電極及びオゾ
ナイザ素子の寿命を大幅に延ばすことができ、長期間に
わたり安定した状態でオゾンを発生することができ、更
にはオゾナイザの製造コストを低く抑えることができる
ものである。
には、オゾナイザの消費電力を減少させ、電極及びオゾ
ナイザ素子の寿命を大幅に延ばすことができ、長期間に
わたり安定した状態でオゾンを発生することができ、更
にはオゾナイザの製造コストを低く抑えることができる
ものである。
なお、本発明は叙上の実施例に限定されるものでない。
即ち、例えば、本実施例に於いては、セラミック板とし
てアルミナ、ステアタイト及びマイカレックスを使用し
たが、上記のものに限定されず広く公知のセラミック材
が使用できるものであり、電極間に印加する電圧パルス
波形も電極にゼロ又は適宜の正又は負のバイアス電圧Ｖ
ａに保たれる休止時間Ｔａを介して、正負に交互にスイ
ングする条件を満足する電圧パルスであれば、他の波形
の電圧パルスであってもよく、本発明はその目的の範囲
内において上記の説明から当業者が容易に想到し得るす
べての変更実施例を包摂するものである。
てアルミナ、ステアタイト及びマイカレックスを使用し
たが、上記のものに限定されず広く公知のセラミック材
が使用できるものであり、電極間に印加する電圧パルス
波形も電極にゼロ又は適宜の正又は負のバイアス電圧Ｖ
ａに保たれる休止時間Ｔａを介して、正負に交互にスイ
ングする条件を満足する電圧パルスであれば、他の波形
の電圧パルスであってもよく、本発明はその目的の範囲
内において上記の説明から当業者が容易に想到し得るす
べての変更実施例を包摂するものである。
第１図は、本発明にかかるオゾナイザに使用する電極の
構成を示す説明図、第２図は、オゾナイザ素子の一実施
例を示す縦方向拡大断面図、第３図は、セラミックを使
用したオゾナイザ素子の一実施例を示す縦方向拡大断面
図、第４図及び第５図は、従来公知のオゾナイザ素子の
一実施例を示す説明図、第６図乃至第９図は、それぞれ
本発明にかかるオゾナイザ素子に印加する電圧パルス波
形を示す説明図、第１Ｏ図は、本発明にかかるオゾナイ
ザ素子と従来公知のオゾナイザ素子の寿命を比較したグ
ラフである。 １−−−−−・・−・−−−−−−−ｍ−−−−−−−
−・オゾナイザ素子に使用する電極２．３−−−−一・
−・・・・−−−一−−−電極４−・・−−−−−一−
−−−−−−−−−−−−絶縁材料５．９−−−−−−
−−−−−・・・・−セラミック板６．７−・・・−−
−−−−−ｍ−・−コーティング材８−・−・−・−−
−一−−−−−−−−−−−−−・−ガードリング１０
．１１．１２．１３−電極 特許出願人 ユニソイド株式会社
構成を示す説明図、第２図は、オゾナイザ素子の一実施
例を示す縦方向拡大断面図、第３図は、セラミックを使
用したオゾナイザ素子の一実施例を示す縦方向拡大断面
図、第４図及び第５図は、従来公知のオゾナイザ素子の
一実施例を示す説明図、第６図乃至第９図は、それぞれ
本発明にかかるオゾナイザ素子に印加する電圧パルス波
形を示す説明図、第１Ｏ図は、本発明にかかるオゾナイ
ザ素子と従来公知のオゾナイザ素子の寿命を比較したグ
ラフである。 １−−−−−・・−・−−−−−−−ｍ−−−−−−−
−・オゾナイザ素子に使用する電極２．３−−−−一・
−・・・・−−−一−−−電極４−・・−−−−−一−
−−−−−−−−−−−−絶縁材料５．９−−−−−−
−−−−−・・・・−セラミック板６．７−・・・−−
−−−−−ｍ−・−コーティング材８−・−・−・−−
−一−−−−−−−−−−−−−・−ガードリング１０
．１１．１２．１３−電極 特許出願人 ユニソイド株式会社
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １）誘電体から成る薄板の表裏両面に一対の電極を設け
、これを酸素を含む原料ガスを供給しつゝ電圧パルスを
印加してオゾンを製造するオゾナイザに於いて、 上記薄板が少なくともその表面がガラス質から成る低誘
電率材料から成り、上記薄板の表裏両面に設けられる電
極が互いに重なり合わないよう板厚の２倍以上の最短距
離を隔てゝ設けられていることを特徴とする上記のオゾ
ナイザ。 ２）第１請求項に記載のオゾナイザを用いてオゾンを製
造する方法に於いて、両電極間に、酸素を含む原料ガス
を供給しつゝ、ゼロ又は適宜のバイアス電圧Ｖａに保た
れる休止時間Ｔａを介して、正負に交互にスイングする
電圧パルスを印加してオゾンを製造することを特徴とす
る上記のオゾン製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63068231A JP2585694B2 (ja) | 1988-03-24 | 1988-03-24 | オゾナイザ及びオゾン発生方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63068231A JP2585694B2 (ja) | 1988-03-24 | 1988-03-24 | オゾナイザ及びオゾン発生方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01242404A true JPH01242404A (ja) | 1989-09-27 |
| JP2585694B2 JP2585694B2 (ja) | 1997-02-26 |
Family
ID=13367811
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63068231A Expired - Fee Related JP2585694B2 (ja) | 1988-03-24 | 1988-03-24 | オゾナイザ及びオゾン発生方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2585694B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8747763B2 (en) | 2011-04-13 | 2014-06-10 | Hitachi, Ltd. | Plasma sterilization apparatus |
-
1988
- 1988-03-24 JP JP63068231A patent/JP2585694B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8747763B2 (en) | 2011-04-13 | 2014-06-10 | Hitachi, Ltd. | Plasma sterilization apparatus |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2585694B2 (ja) | 1997-02-26 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |