JPH01240842A - 回析粒子線の検出器 - Google Patents
回析粒子線の検出器Info
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- JPH01240842A JPH01240842A JP63067289A JP6728988A JPH01240842A JP H01240842 A JPH01240842 A JP H01240842A JP 63067289 A JP63067289 A JP 63067289A JP 6728988 A JP6728988 A JP 6728988A JP H01240842 A JPH01240842 A JP H01240842A
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Links
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims description 24
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 abstract description 27
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 abstract description 8
- 238000010586 diagram Methods 0.000 abstract description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 description 2
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 2
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Measurement Of Radiation (AREA)
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は、回折図形および回折斑点強度を同時に測定す
る回折粒子線検出器に間するものである。
る回折粒子線検出器に間するものである。
［従来の技術］
従来より、回折粒子線検出器は、回折図形および回折斑
点強度を同時に測定する場合、回折粒子線を蛍光板で光
に変換した後にその蛍光板上で回折図形を観察し、また
その蛍光板上の特定の回折斑点を光学レンズと絞りによ
り選択した後にこの斑点の光強度を光電子増倍管等によ
り測定し、回折斑点強度を観測していた。
点強度を同時に測定する場合、回折粒子線を蛍光板で光
に変換した後にその蛍光板上で回折図形を観察し、また
その蛍光板上の特定の回折斑点を光学レンズと絞りによ
り選択した後にこの斑点の光強度を光電子増倍管等によ
り測定し、回折斑点強度を観測していた。
例えば、昭和６３年１月１０日発行の市川晶相・土井隆
久著の応用物理第５７巻５°１頁記載の構成が知られて
いる。
久著の応用物理第５７巻５°１頁記載の構成が知られて
いる。
以下、第２図を参照しながら簡単にその構成を説明する
。この構成では粒子線として電子線を用いており、反射
回折電子線を測定している。
。この構成では粒子線として電子線を用いており、反射
回折電子線を測定している。
電子銃１０から電子線１１が試料１２に照射される。試
料１２からの反射回折電子線１３は蛍光板１４上に回折
図形を作る。その回折図形の特定の回折斑点を真空外に
置かれている光学レンズ１５と紋り１６によって選択し
、この斑点の光強度を光ファイバー１７により光電子増
倍管１８に導き、回折斑点強度を観測していた。
料１２からの反射回折電子線１３は蛍光板１４上に回折
図形を作る。その回折図形の特定の回折斑点を真空外に
置かれている光学レンズ１５と紋り１６によって選択し
、この斑点の光強度を光ファイバー１７により光電子増
倍管１８に導き、回折斑点強度を観測していた。
［発明が解決しようとする課題］
しかし、従来の回折粒子線検出器は、回折図形および回
折斑点強度を同時に測定する場合、蛍光板上の特定の回
折斑点を光学レンズと絞りにより選択し、光電子増倍管
等により回折斑点強度を観測していた。この際、光学レ
ンズで集光できる立体角が小さいために、蛍光板上で発
生した光子のうち約千分の一程度しか検出できない。こ
の結果、この回折斑点が本来持っている量子雑音よりも
検出した量子雑音の方が約１０倍大きくなり、同様に、
この回折斑点が本来持っている信号対雑音比と比較して
、検出した回折斑点強度の信号対雑音比も約１０倍悪化
するという課題があった。
折斑点強度を同時に測定する場合、蛍光板上の特定の回
折斑点を光学レンズと絞りにより選択し、光電子増倍管
等により回折斑点強度を観測していた。この際、光学レ
ンズで集光できる立体角が小さいために、蛍光板上で発
生した光子のうち約千分の一程度しか検出できない。こ
の結果、この回折斑点が本来持っている量子雑音よりも
検出した量子雑音の方が約１０倍大きくなり、同様に、
この回折斑点が本来持っている信号対雑音比と比較して
、検出した回折斑点強度の信号対雑音比も約１０倍悪化
するという課題があった。
本発明は以上のような回折斑点強度の信号対雑音比の悪
化に鑑み、回折図形を観測すると同時に、かつ、本来回
折斑点が持っている信号対雑音比と同じ大きさの信号対
雑音比で回折斑点強度を測定することを本発明の目的と
する。
化に鑑み、回折図形を観測すると同時に、かつ、本来回
折斑点が持っている信号対雑音比と同じ大きさの信号対
雑音比で回折斑点強度を測定することを本発明の目的と
する。
［課題を解決するための手段］
上記目的を達成するため本発明の技術的解決手段は、回
折粒子線を通過する少なくとも一個の小孔を有し、かつ
、この回折粒子線とほぼ垂直な面内で移動でき、かつ、
この面内に広がった回折粒子線を捕捉する第一の粒子線
検出器の蛍光板と、かつ、前記小孔を通過した回折粒子
線を検出する第二の粒子線検出器とを設けることである
。
折粒子線を通過する少なくとも一個の小孔を有し、かつ
、この回折粒子線とほぼ垂直な面内で移動でき、かつ、
この面内に広がった回折粒子線を捕捉する第一の粒子線
検出器の蛍光板と、かつ、前記小孔を通過した回折粒子
線を検出する第二の粒子線検出器とを設けることである
。
［作用］
本発明は、回折粒子線を通過する小孔を有する蛍光板が
回折図形を観測する第一の検出器となると同時に、かつ
、回折斑点強度を測定する第二の検出器に対する回折粒
子線の視野絞りとして作用するものである。皿ち、回折
斑点強度を測定する場合、まず、特定の回折斑点の位置
に小孔を移動することにより回折斑点を選択し、さらに
、その小孔を通過した回折粒子線を第二の検出器で検出
する。この際、光学レンズと紋りを用いる必要がなく、
光学レンズで集光できる立体角が小さいことによる回折
斑点強度の量子雑音の増大がなく、検出した回折斑点強
度の量子雑音は、本来回折斑点が持っている量子雑音と
同じ大きさである。従って、本発明は、回折図形を観測
すると同時に、かつ、本来回折斑点が持っている信号対
雑音比と同じ大きさの信号対雑音比で回折斑点強度を測
定することができる。
回折図形を観測する第一の検出器となると同時に、かつ
、回折斑点強度を測定する第二の検出器に対する回折粒
子線の視野絞りとして作用するものである。皿ち、回折
斑点強度を測定する場合、まず、特定の回折斑点の位置
に小孔を移動することにより回折斑点を選択し、さらに
、その小孔を通過した回折粒子線を第二の検出器で検出
する。この際、光学レンズと紋りを用いる必要がなく、
光学レンズで集光できる立体角が小さいことによる回折
斑点強度の量子雑音の増大がなく、検出した回折斑点強
度の量子雑音は、本来回折斑点が持っている量子雑音と
同じ大きさである。従って、本発明は、回折図形を観測
すると同時に、かつ、本来回折斑点が持っている信号対
雑音比と同じ大きさの信号対雑音比で回折斑点強度を測
定することができる。
［実施例コ
以下、第１図を参照しながら本発明の実施例について説
明する。この実施例では粒子線として電子線を用いてお
り、反射回折電子線を測定している。電子銃１から電子
線２が試料３に照射される。試料３からの反射回折電子
線４は、回折電子線を通過する小孔６を有する第一の電
子線検出器の蛍光板６上に回折図形を作る。この蛍光板
６は、反射回折電子線４に対して垂直な面内で移動する
ことができ、任意の回折斑点の位置に小孔５を移動する
ことができ、その斑点の反射回折電子線４の全であるい
は一部を小孔５から通過できる。小孔５を通過した反射
回折電子線７は、第二の電子線検出器に入射し、回折斑
点強度を観測することができる。本実施例では、第二の
電子線検出器は、反射回折電子線７を光に変換する別の
蛍光板８と、その光を検出する光電子増倍管９とにより
構成されている。この際、光学レンズと紋りを用いない
ために、蛍光板８で発生したほとんど全ての光子を光電
子増倍管９に導くことができる。このため、本来反射回
折電子線が持っている量子雑音と検出した量子雑音は同
じ大きさである。以上のように本実施例では、回折図形
を観測すると同時に、かつ、本来回折斑点が持っている
信号対雑音比と同じ大きさの信号対雑音比で回折斑点強
度を測定する効果がある。
明する。この実施例では粒子線として電子線を用いてお
り、反射回折電子線を測定している。電子銃１から電子
線２が試料３に照射される。試料３からの反射回折電子
線４は、回折電子線を通過する小孔６を有する第一の電
子線検出器の蛍光板６上に回折図形を作る。この蛍光板
６は、反射回折電子線４に対して垂直な面内で移動する
ことができ、任意の回折斑点の位置に小孔５を移動する
ことができ、その斑点の反射回折電子線４の全であるい
は一部を小孔５から通過できる。小孔５を通過した反射
回折電子線７は、第二の電子線検出器に入射し、回折斑
点強度を観測することができる。本実施例では、第二の
電子線検出器は、反射回折電子線７を光に変換する別の
蛍光板８と、その光を検出する光電子増倍管９とにより
構成されている。この際、光学レンズと紋りを用いない
ために、蛍光板８で発生したほとんど全ての光子を光電
子増倍管９に導くことができる。このため、本来反射回
折電子線が持っている量子雑音と検出した量子雑音は同
じ大きさである。以上のように本実施例では、回折図形
を観測すると同時に、かつ、本来回折斑点が持っている
信号対雑音比と同じ大きさの信号対雑音比で回折斑点強
度を測定する効果がある。
［発明の効果コ
以上のように、本発明の効果としては、回折図形を観測
すると同時に、かつ、本来回折斑点が持っている信号対
雑音比と同じ大きさの信号対雑音比で回折斑点強度を測
定することである。
すると同時に、かつ、本来回折斑点が持っている信号対
雑音比と同じ大きさの信号対雑音比で回折斑点強度を測
定することである。
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明の実施例における回折粒子線検出器の構
成図、第２図は従来の応用物理第５７巻５１頁記載の回
折粒子線検出器の構成図である。 】・・・電子銃 ２・・・電子線 ３・・・試料 ４・・・反射回折電子線 ５・・・小孔 ６・・・蛍光板 ７・・・反射回折電子線 ８・・・蛍光板 ９・・・光電子増倍管 １０・・・電子銃 １１・・・電子線 １２・・・試料 １３・・・反射回折電子線 １４・・・蛍光板 １５・・・光学レンズ １６◆・・紋り １７１・光ファイバー １８・・・光電子増倍管
成図、第２図は従来の応用物理第５７巻５１頁記載の回
折粒子線検出器の構成図である。 】・・・電子銃 ２・・・電子線 ３・・・試料 ４・・・反射回折電子線 ５・・・小孔 ６・・・蛍光板 ７・・・反射回折電子線 ８・・・蛍光板 ９・・・光電子増倍管 １０・・・電子銃 １１・・・電子線 １２・・・試料 １３・・・反射回折電子線 １４・・・蛍光板 １５・・・光学レンズ １６◆・・紋り １７１・光ファイバー １８・・・光電子増倍管
Claims (1)
- （１）回折粒子線を通過する少なくとも一個の小孔を有
し、かつ、この回折粒子線とほぼ垂直な面内で移動でき
、かつ、この面内に広がった回折粒子線を捕捉する第一
の粒子線検出器の蛍光板と、かつ、前記小孔を通過した
回折粒子線を検出する第二の粒子線検出器とを有する回
折粒子線検出器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63067289A JPH01240842A (ja) | 1988-03-23 | 1988-03-23 | 回析粒子線の検出器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63067289A JPH01240842A (ja) | 1988-03-23 | 1988-03-23 | 回析粒子線の検出器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01240842A true JPH01240842A (ja) | 1989-09-26 |
Family
ID=13340672
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63067289A Pending JPH01240842A (ja) | 1988-03-23 | 1988-03-23 | 回析粒子線の検出器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01240842A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008275387A (ja) * | 2007-04-26 | 2008-11-13 | Rigaku Corp | Ｘ線単結晶方位測定装置およびその測定方法 |
-
1988
- 1988-03-23 JP JP63067289A patent/JPH01240842A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008275387A (ja) * | 2007-04-26 | 2008-11-13 | Rigaku Corp | Ｘ線単結晶方位測定装置およびその測定方法 |
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