JPH01238476A - 振動波モータ - Google Patents
振動波モータInfo
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- JPH01238476A JPH01238476A JP63064559A JP6455988A JPH01238476A JP H01238476 A JPH01238476 A JP H01238476A JP 63064559 A JP63064559 A JP 63064559A JP 6455988 A JP6455988 A JP 6455988A JP H01238476 A JPH01238476 A JP H01238476A
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- JP
- Japan
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- phase
- vibration wave
- frequency
- ccw
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- 230000000750 progressive effect Effects 0.000 claims description 4
- 238000004422 calculation algorithm Methods 0.000 abstract description 4
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000010363 phase shift Effects 0.000 description 2
- 235000006693 Cassia laevigata Nutrition 0.000 description 1
- 241000735631 Senna pendula Species 0.000 description 1
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- 230000002265 prevention Effects 0.000 description 1
- 229940124513 senna glycoside Drugs 0.000 description 1
Landscapes
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は、振動体上に設けられた移動体を進行性振動波
により摩擦駆動する振動波モータに関するものである。
により摩擦駆動する振動波モータに関するものである。
［従来の技術］
従来、円環状撮動波モータは、第６図に示すような電極
配置となっており、また特開昭８２−２０１０７２号公
報等に記載されているように、円環状振動体に励起され
る波長の１７２ピツチをもつ、２つの電極群（Ａ相およ
びＢ相）が、空間的にピッチの１７２、すなわち、前記
波長の１７４だけ位相ずれをもって配置され、さらに、
これら２つの電極群の間に、円環状振動体の振動状態を
検知するセンサ用Ｍ、極ｓ１つまり、該振動体の振動に
より圧電素７等に発生する起電圧を検知する電極、なら
びに、共通電極Ｃなと゛が設けられている。そして、Ａ
相とＢ相電極群は、それぞれ圧電素子の分極処理部を有
し、その分極極性は交互に逆となっている。
配置となっており、また特開昭８２−２０１０７２号公
報等に記載されているように、円環状振動体に励起され
る波長の１７２ピツチをもつ、２つの電極群（Ａ相およ
びＢ相）が、空間的にピッチの１７２、すなわち、前記
波長の１７４だけ位相ずれをもって配置され、さらに、
これら２つの電極群の間に、円環状振動体の振動状態を
検知するセンサ用Ｍ、極ｓ１つまり、該振動体の振動に
より圧電素７等に発生する起電圧を検知する電極、なら
びに、共通電極Ｃなと゛が設けられている。そして、Ａ
相とＢ相電極群は、それぞれ圧電素子の分極処理部を有
し、その分極極性は交互に逆となっている。
Ａ相電極群に、Ｖ＝Ｖｏ ｓｉｎ （ｌＪｔ、 Ｂ相電
極群には、■＝■。５ｉｎ（ωｔ±−）なる電圧を印加
することにより、振動体に進行性振動波が生し、加圧接
触された移動体は摩擦により移動する。
極群には、■＝■。５ｉｎ（ωｔ±−）なる電圧を印加
することにより、振動体に進行性振動波が生し、加圧接
触された移動体は摩擦により移動する。
前記式中の（＋） （−）により、移動体の進行方向
を切換えることが可能で、（−）の場合、すなわち、Ａ
相に印加する周波電圧よりも位相の−（９０°）遅れた
周波電圧をＢ相に印加した場合は、移動体は時計方向（
ＣＷ）に回転し、（＋）の場合、すなわち、Ａ相に印加
する周波電圧よりも位相の−（９０°）進んだ周波電圧
をＢ相に印加した場合は、移動体は反時計方向（ＣＣＷ
）に回転する。
を切換えることが可能で、（−）の場合、すなわち、Ａ
相に印加する周波電圧よりも位相の−（９０°）遅れた
周波電圧をＢ相に印加した場合は、移動体は時計方向（
ＣＷ）に回転し、（＋）の場合、すなわち、Ａ相に印加
する周波電圧よりも位相の−（９０°）進んだ周波電圧
をＢ相に印加した場合は、移動体は反時計方向（ＣＣＷ
）に回転する。
センサ用電極Ｓから検出される信号は、Ａ相に印加する
周波電圧と同じ周波数の信号であるが、Ａ相に印加する
周波電圧との位相のずれにより、振動が振幅の大きい共
振状態にあるのか、共振状態からどの程度はずれている
のかを知ることができ、この情報から印加する周波数を
決定することにより、回転速度の制御が可能である。
周波電圧と同じ周波数の信号であるが、Ａ相に印加する
周波電圧との位相のずれにより、振動が振幅の大きい共
振状態にあるのか、共振状態からどの程度はずれている
のかを知ることができ、この情報から印加する周波数を
決定することにより、回転速度の制御が可能である。
第７図（ａ） 、 （ｂ）は第６図の電極配置の円環状
振動波モータの場合の印加電圧の周波数ｆと、Ａ相入力
端子とセンナ出力電圧の位相差０Ａ−５の関係を示して
いる。ただし、（ａ）はＣＷ、（ｂ）はＣＣＷの場合で
ある。
振動波モータの場合の印加電圧の周波数ｆと、Ａ相入力
端子とセンナ出力電圧の位相差０Ａ−５の関係を示して
いる。ただし、（ａ）はＣＷ、（ｂ）はＣＣＷの場合で
ある。
第６図では駆動用Ａ相電極ＡＩ、Ａ２゜Ａ３．、Ａ４．
Ａ５．Ａ６．Ａ７と、駆動用Ｂ相電極Ｂｌ、Ｂ２．Ｂ３
．Ｂ４．Ｂ５．Ｂ６゜Ｂ７とが設けられており、すなわ
ち、この従来例では、円環上に８波長生ずる８波面外た
わみ振動モードを用いており、したがって、第７図にみ
られるように、これに相当するｆ８の周波数が正規の共
振周波数である。この周波数ｆ８において、位相差θＡ
−ｓはＣＷマチ−４５°、ＣＣＷで一１３５°であり、
振動波モータの回転中の前記θＡ、、、とこれらの角度
、つまり、第７図（ａ）では−４５°、第７図（ｂ）で
は−１３５６と比較することにより、振動の状態が共振
状態にどれほど近いかを知ることができる。
Ａ５．Ａ６．Ａ７と、駆動用Ｂ相電極Ｂｌ、Ｂ２．Ｂ３
．Ｂ４．Ｂ５．Ｂ６゜Ｂ７とが設けられており、すなわ
ち、この従来例では、円環上に８波長生ずる８波面外た
わみ振動モードを用いており、したがって、第７図にみ
られるように、これに相当するｆ８の周波数が正規の共
振周波数である。この周波数ｆ８において、位相差θＡ
−ｓはＣＷマチ−４５°、ＣＣＷで一１３５°であり、
振動波モータの回転中の前記θＡ、、、とこれらの角度
、つまり、第７図（ａ）では−４５°、第７図（ｂ）で
は−１３５６と比較することにより、振動の状態が共振
状態にどれほど近いかを知ることができる。
［発明が解決し、ようとする課Ｂ］
前述の従来の技術では、第７図に示した周波数ｆ対位相
差θに−Ｓの曲線の形が、正規の共振周波数ｆ６の所の
共振点付近では、ＣＷとＣＣＷで一致するのに対しくた
だし、ｆＩＳにおけるθＡ−５は、ＣＷで一４５’、Ｃ
ＣＷで一１３５° と９０°の差がある。）、ｆ８より
も周波数が高いほど、他の振動モードの影響でＣＷとＣ
ＣＷで、ｆ対ＯＡ４曲線の形に差が生じてくる。つまり
、他の振動モードの定在波の山や節が、正規の振動モー
ドの山や節と一致せず、またセンサの位置がＣＷとＣＣ
Ｗで等価ではないために、ＣＷとＣＣＷで差異が生ずる
と考えられる。このため、センサ信号の位相から印加す
る周波数を決定する場合、ＣＷとＣＣＷで別々の演算ア
ルゴリズムが必要となるという問題点がある。
差θに−Ｓの曲線の形が、正規の共振周波数ｆ６の所の
共振点付近では、ＣＷとＣＣＷで一致するのに対しくた
だし、ｆＩＳにおけるθＡ−５は、ＣＷで一４５’、Ｃ
ＣＷで一１３５° と９０°の差がある。）、ｆ８より
も周波数が高いほど、他の振動モードの影響でＣＷとＣ
ＣＷで、ｆ対ＯＡ４曲線の形に差が生じてくる。つまり
、他の振動モードの定在波の山や節が、正規の振動モー
ドの山や節と一致せず、またセンサの位置がＣＷとＣＣ
Ｗで等価ではないために、ＣＷとＣＣＷで差異が生ずる
と考えられる。このため、センサ信号の位相から印加す
る周波数を決定する場合、ＣＷとＣＣＷで別々の演算ア
ルゴリズムが必要となるという問題点がある。
本発明は、このような問題点を解決しようとするもので
ある。すなわち、本発明は、正方向への移動と逆方向へ
の移動とで、周波数ｆ対位相差θＡ−１の曲線が一致す
るようにして、印加する周波数を決定する演算アルゴリ
ズムが部槽であるようにした振動波モータを提供するこ
とを目的とするものである。
ある。すなわち、本発明は、正方向への移動と逆方向へ
の移動とで、周波数ｆ対位相差θＡ−１の曲線が一致す
るようにして、印加する周波数を決定する演算アルゴリ
ズムが部槽であるようにした振動波モータを提供するこ
とを目的とするものである。
［課題を解決するための手段］
上記目的を達成するために、本発明は、弾性体上に電気
−機械エネルギー変換素子が配置され、前記素子に第１
および第２の電極が設けられていて、前記第１および第
２の電極に互いに位相の異なる周波電圧を印加して進行
性振動波を発生させ、該振動波により、加圧接触させた
移動体を摩擦駆動し、前記互いに位相の異なる周波電圧
の位相差を変えることにより、前記移動体の進行方向を
変えることが可能で、第３の電極を介して振動状態を検
出する手段を有する振動波モータにおいて、前記移動体
の進行方向が正方向の時の電気−機械エネルギー変換素
子の電極配置と、逆方向の時の電気−機械エネルギー変
換素子の電極配置が、幾何学的に鏡面対称の関係となる
ようにした。
−機械エネルギー変換素子が配置され、前記素子に第１
および第２の電極が設けられていて、前記第１および第
２の電極に互いに位相の異なる周波電圧を印加して進行
性振動波を発生させ、該振動波により、加圧接触させた
移動体を摩擦駆動し、前記互いに位相の異なる周波電圧
の位相差を変えることにより、前記移動体の進行方向を
変えることが可能で、第３の電極を介して振動状態を検
出する手段を有する振動波モータにおいて、前記移動体
の進行方向が正方向の時の電気−機械エネルギー変換素
子の電極配置と、逆方向の時の電気−機械エネルギー変
換素子の電極配置が、幾何学的に鏡面対称の関係となる
ようにした。
［作 用］
本発明によれば、電気−機械エネルギー変換素子の配置
が、移動体の正方向の移動時と逆方向の移動時で、幾何
学的に鏡面対称になっているので、印加電圧周波数に対
するセンサ相出力と、印加電圧の位相差の特性が、前記
方向に依存しなくなって、正方向と逆方向とで一致する
ようになる。
が、移動体の正方向の移動時と逆方向の移動時で、幾何
学的に鏡面対称になっているので、印加電圧周波数に対
するセンサ相出力と、印加電圧の位相差の特性が、前記
方向に依存しなくなって、正方向と逆方向とで一致する
ようになる。
［実施例］
第１図は本発明の第１実施例を示したもので、中空円環
状振動波モータのステータにおける電気−機械エネルギ
ー変換素子としての圧電素子上の電極配置および圧電素
子の分極方向を示している。
状振動波モータのステータにおける電気−機械エネルギ
ー変換素子としての圧電素子上の電極配置および圧電素
子の分極方向を示している。
第１図において、Ａｌ、Ａ２．Ａ３．Ａ４゜Ａ５．Ａ６
．Ａ７は駆動用Ａ相電極、Ｂｌ。
．Ａ７は駆動用Ａ相電極、Ｂｌ。
Ｂ２．Ｂ３．Ｂ４．Ｂ５．Ｂ６．Ｂ７は駆動用Ｂ相電極
、Ｓ、は時計方向回転（ＣＷ）の時に用いるセンサの電
極、Ｂ２は反時計方向回転（ＣＣＷ）の時に用いるセン
サの電極、Ｃは共通電極であり、図示されていない圧電
セラミックの裏面全面電極と電気的に接続されている。
、Ｓ、は時計方向回転（ＣＷ）の時に用いるセンサの電
極、Ｂ２は反時計方向回転（ＣＣＷ）の時に用いるセン
サの電極、Ｃは共通電極であり、図示されていない圧電
セラミックの裏面全面電極と電気的に接続されている。
ここで、ＣＷの場合、駆動用Ａ相電極Ａ１〜Ａ７に、Ｖ
＝Ｖ、ｓｉｎωｔ、駆動用Ｂ相電極８１〜Ｂ７に、Ｖ
＝ Ｖｏ ５ｉｎ（ωｔ ）なる駆動用周波電圧を
印加し、センサの電極ｓ２および共通電極Ｃは接地する
。なお実質的に電極Ｓ２は共通電極Ｃとなっていること
に等しい。
＝Ｖ、ｓｉｎωｔ、駆動用Ｂ相電極８１〜Ｂ７に、Ｖ
＝ Ｖｏ ５ｉｎ（ωｔ ）なる駆動用周波電圧を
印加し、センサの電極ｓ２および共通電極Ｃは接地する
。なお実質的に電極Ｓ２は共通電極Ｃとなっていること
に等しい。
このとき、センサの電極Ｓ、から得られるセンサ信号の
周波数ｆ対位相差θＡ４曲線は第２図（ａ）のようにな
った。
周波数ｆ対位相差θＡ４曲線は第２図（ａ）のようにな
った。
つぎに、ＣＣＷの場合は、駆動用Ａ相電極Ａ１〜Ａ７に
、Ｖ ＝＝ Ｖ ｏ ５ｉｎ（ωｔ −−） 、駆動用
Ｂ相電極Ｂｌ〜Ｂ７に、Ｖ＝Ｖ、５ｉｎ（ＪＪｔなる駆
動用周波電圧を印加し、センサの電極Ｓ、および共通電
極Ｃは接地する。なお実質的に電’ｐｉ ｓ ｌは共通
電極Ｃとなっていることに等しい。
、Ｖ ＝＝ Ｖ ｏ ５ｉｎ（ωｔ −−） 、駆動用
Ｂ相電極Ｂｌ〜Ｂ７に、Ｖ＝Ｖ、５ｉｎ（ＪＪｔなる駆
動用周波電圧を印加し、センサの電極Ｓ、および共通電
極Ｃは接地する。なお実質的に電’ｐｉ ｓ ｌは共通
電極Ｃとなっていることに等しい。
このとき、センサの電極Ｓ２から得られるセンサ信号の
周波数ｆ対位相差０Ａ−８曲線は第２図（ｂ）のように
なった。
周波数ｆ対位相差０Ａ−８曲線は第２図（ｂ）のように
なった。
すなわち、第２図（ａ） 、 （ｂ）から、正規の共振
周波数ｆ６における位相差θい、は、ＣＷの場合−２２
５°、ＣＣＷの場合−１３５°という９０″の差がある
ものの、周波数ｆ対位相差０Ａ−３曲線は、すべての周
波数において一致する。
周波数ｆ６における位相差θい、は、ＣＷの場合−２２
５°、ＣＣＷの場合−１３５°という９０″の差がある
ものの、周波数ｆ対位相差０Ａ−３曲線は、すべての周
波数において一致する。
以上のように、ＣＷの電極配置とＣＣＷの電極配置が面
対称、いわゆる幾何学的に鏡面対称になるように電極配
置を回転方向によって切換えることで、センサ位置はＣ
ＷとＣＣＷで等価な位置となり、前記ｆ対θＡ−５曲線
は回転方向に依存しなくなる。
対称、いわゆる幾何学的に鏡面対称になるように電極配
置を回転方向によって切換えることで、センサ位置はＣ
ＷとＣＣＷで等価な位置となり、前記ｆ対θＡ−５曲線
は回転方向に依存しなくなる。
さらに説明すると、ＣＷの時に位相の進んだ周波電圧を
印加する電極群とＣＣＷの時に位相の進んだ周波電圧を
印加する電極群が鏡面対称、つまり、ＣＷのＡ相とＣＣ
ＷのＢ相が鏡面対称、同様に、ＣＷのＢ相とＣＣＷのＡ
相が鏡面対称、ＣＷのセンサとＣＣＷのセンサが鏡面対
称、ＣＷの共通電極ＣとＣＣＷの共通電極Ｃが鏡面対称
となる時に電極配置が幾何学的に鏡面対称である。
印加する電極群とＣＣＷの時に位相の進んだ周波電圧を
印加する電極群が鏡面対称、つまり、ＣＷのＡ相とＣＣ
ＷのＢ相が鏡面対称、同様に、ＣＷのＢ相とＣＣＷのＡ
相が鏡面対称、ＣＷのセンサとＣＣＷのセンサが鏡面対
称、ＣＷの共通電極ＣとＣＣＷの共通電極Ｃが鏡面対称
となる時に電極配置が幾何学的に鏡面対称である。
第３図は本発明の第２実施例を示したもので、圧電素子
上の電極配置および圧電素子の分極方向を示している。
上の電極配置および圧電素子の分極方向を示している。
第３図において、第１図に示した第１実施例と異なる点
は、センサの電極Ｓが駆動用Ａ相電極群Ａ１〜Ａ７と駆
動用Ｂ相電極群８１〜Ｂ７の中間にあり、ＣＷ時もＣＣ
Ｗ時も、同一のセンサを用いる点である。
は、センサの電極Ｓが駆動用Ａ相電極群Ａ１〜Ａ７と駆
動用Ｂ相電極群８１〜Ｂ７の中間にあり、ＣＷ時もＣＣ
Ｗ時も、同一のセンサを用いる点である。
この第２実施例の場合も、ＣＷ時の電極配置とＣＣＷ時
の電極配置とが幾何学的鏡面対称の関係となっている。
の電極配置とが幾何学的鏡面対称の関係となっている。
第４図（ａ）にＣＷの場合の周波数ｆ対位相差θＡ−３
曲線を、第４図（ｂ）にＣＣＷの場合の前記ｆ対０Ａ−
８曲線を示すように、９０゛の差があるものの、曲線の
形は一致する。この第２実施例ではセンサを回転方向に
よって切換える必要がない。
曲線を、第４図（ｂ）にＣＣＷの場合の前記ｆ対０Ａ−
８曲線を示すように、９０゛の差があるものの、曲線の
形は一致する。この第２実施例ではセンサを回転方向に
よって切換える必要がない。
第５図は本発明の第３実施例を示したもので、前述の第
１実施例および第２実施例では、中空円環状振動波モー
タの場合について説明したが、この第３実施例では、リ
ニア形振動波モータのステータを示している。
１実施例および第２実施例では、中空円環状振動波モー
タの場合について説明したが、この第３実施例では、リ
ニア形振動波モータのステータを示している。
第５図において、１は弾性体、２は圧電セラミック、３
は振動反射防止部材である。またＡ１〜Ａ４．Ｂｌ〜Ｂ
４．Ｓｌ、Ｓ２．Ｃは、第１図の実施例と同様であり、
またこの第３実施例では、円運動ではなく、直線などの
線運動をするという点で前述の第１実施例と異なるだけ
で、作用や効果の点では同様もしくは均等である。
は振動反射防止部材である。またＡ１〜Ａ４．Ｂｌ〜Ｂ
４．Ｓｌ、Ｓ２．Ｃは、第１図の実施例と同様であり、
またこの第３実施例では、円運動ではなく、直線などの
線運動をするという点で前述の第１実施例と異なるだけ
で、作用や効果の点では同様もしくは均等である。
［発明の効果］
以上説明したように、本発明によれば、電気−機械エネ
ルギー変換素子の配置が、移動体の正方向の移動時と逆
方向の移動時で、等価な位置、すなわち、幾何学的に鏡
面対称の関係になるように配置されているので、印加電
圧周波数に対するセンサ相出力と、印加電圧の位相差の
特性が、前記方向に依存しなくなって、正方向と逆方向
とで一致するようになり、したがって、印加する周波数
を決定する演算アルゴリズムが簡単になる。
ルギー変換素子の配置が、移動体の正方向の移動時と逆
方向の移動時で、等価な位置、すなわち、幾何学的に鏡
面対称の関係になるように配置されているので、印加電
圧周波数に対するセンサ相出力と、印加電圧の位相差の
特性が、前記方向に依存しなくなって、正方向と逆方向
とで一致するようになり、したがって、印加する周波数
を決定する演算アルゴリズムが簡単になる。
第１図は本発明の第１実施例の一部を示した平面図、第
２図（ａ） 、 （ｂ）は第１図の振動波モータの作用
の一例を示した説明図、第３図は本発明の第２実施例の
一部を示した平面図、第４図（ａ） 、 （ｂ）は第３
図の振動波（−夕の作用の一例を示した説明図、第５図
は本発明の第３実施例の一部を示した側面図、第６図は
従来の技術の一例を示した平面図、第７図（ａ） 、
（ｂ）は第６図の振動波上−夕の作用の一例を示した説
明図である。 １・・・弾性体 ２・・・圧電セラミック３・・
・振動反射防止部材 Ａ１〜Ａ７・・・振動用Ａ相電極 ８１〜Ｂ７・・・振動用Ｂ相電極 Ｃ・・・共通電極 ｓ、ｓ、、ｓ、・・・センサの電極 第１図 第２図 （α）（Ｄ） 第３図 第４図 （α）（ｂ） 寓７［ （ａ） 口 （ｂ）
２図（ａ） 、 （ｂ）は第１図の振動波モータの作用
の一例を示した説明図、第３図は本発明の第２実施例の
一部を示した平面図、第４図（ａ） 、 （ｂ）は第３
図の振動波（−夕の作用の一例を示した説明図、第５図
は本発明の第３実施例の一部を示した側面図、第６図は
従来の技術の一例を示した平面図、第７図（ａ） 、
（ｂ）は第６図の振動波上−夕の作用の一例を示した説
明図である。 １・・・弾性体 ２・・・圧電セラミック３・・
・振動反射防止部材 Ａ１〜Ａ７・・・振動用Ａ相電極 ８１〜Ｂ７・・・振動用Ｂ相電極 Ｃ・・・共通電極 ｓ、ｓ、、ｓ、・・・センサの電極 第１図 第２図 （α）（Ｄ） 第３図 第４図 （α）（ｂ） 寓７［ （ａ） 口 （ｂ）
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 弾性体上に電気−機械エネルギー変換素子が配置さ
れ、前記素子に第１および第２の電極が設けられていて
、前記第１および第２の電極に互いに位相の異なる周波
電圧を印加して進行性振動波を発生させ、該振動波によ り、加圧接触させた移動体を摩擦駆動し、前記互いに位
相の異なる周波電圧の位相差を変えることにより、前記
移動体の進行方向を変えることが可能で、第３の電極を
介して振動状態を検出する手段を有する振動波モータに
おいて、前記移動体の進行方向が正方向の時の電気−機
械エネルギー変換素子の電極配置と、逆方向の時の電気
−機械エネルギー変換素子の電極配置が、幾何学的に鏡
面対称の関係となるようにしたことを特徴とする振動波
モータ。 ２ ステータが中空円環状になっている請求項１記載の
振動波モータ。 ３ ステータがリニア形になっている請求項１記載の振
動波モータ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63064559A JPH01238476A (ja) | 1988-03-17 | 1988-03-17 | 振動波モータ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63064559A JPH01238476A (ja) | 1988-03-17 | 1988-03-17 | 振動波モータ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01238476A true JPH01238476A (ja) | 1989-09-22 |
Family
ID=13261709
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63064559A Pending JPH01238476A (ja) | 1988-03-17 | 1988-03-17 | 振動波モータ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01238476A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5198714A (en) * | 1989-11-29 | 1993-03-30 | Licentia Patent-Verwaltungs-Gmbh | Multiple-surface sensor control for a traveling wave motor |
| US5247221A (en) * | 1988-10-21 | 1993-09-21 | Canon Kabushiki Kaisha | Vibration wave driven actuator |
| CN107332460A (zh) * | 2017-02-27 | 2017-11-07 | 西安交通大学 | 一种高性能压电单晶贴片式环型超声电机用振子 |
-
1988
- 1988-03-17 JP JP63064559A patent/JPH01238476A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| CN107332460A (zh) * | 2017-02-27 | 2017-11-07 | 西安交通大学 | 一种高性能压电单晶贴片式环型超声电机用振子 |
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