JPH01236381A - 検査装置 - Google Patents
検査装置Info
- Publication number
- JPH01236381A JPH01236381A JP63063879A JP6387988A JPH01236381A JP H01236381 A JPH01236381 A JP H01236381A JP 63063879 A JP63063879 A JP 63063879A JP 6387988 A JP6387988 A JP 6387988A JP H01236381 A JPH01236381 A JP H01236381A
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- JP
- Japan
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- component
- circuit
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- inspected
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- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
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- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 21
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Landscapes
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Image Processing (AREA)
- Supply And Installment Of Electrical Components (AREA)
- Image Analysis (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は検査装置、特に、半田処理後の微小チップ部品
５例えば極性を持つチップコンデンサの実装済基板の部
品位置及び部品の取り付は方向を検査する検査装置に関
する。
５例えば極性を持つチップコンデンサの実装済基板の部
品位置及び部品の取り付は方向を検査する検査装置に関
する。
従来の検査装置は、被検査物である例えば印刷基板上の
半田ランド位置に載置されたチップ部品を撮影する手段
、例えば工業用カメラと、前記工業用カメラを基準とし
た一定領域の画像を２値化し白黒レベルに変換する手段
と、前記白黒レベルとあらかじめ記憶させておいたチッ
プ部品の正確な基準パターン画像の白黒レベルを比較す
る手段とを含んで構成される。
半田ランド位置に載置されたチップ部品を撮影する手段
、例えば工業用カメラと、前記工業用カメラを基準とし
た一定領域の画像を２値化し白黒レベルに変換する手段
と、前記白黒レベルとあらかじめ記憶させておいたチッ
プ部品の正確な基準パターン画像の白黒レベルを比較す
る手段とを含んで構成される。
上記の構成による検査装置の基準パターンとの比較処理
の方法としては、まず良品と言われる基準パターンの白
黒レベルの数を計算し、この数をあらかじめ記憶させて
おく。
の方法としては、まず良品と言われる基準パターンの白
黒レベルの数を計算し、この数をあらかじめ記憶させて
おく。
その後、被検査物の画像から、カメラの位置を基準とし
て前記基準パターンと同一領域を二値化し、白黒レベル
の数を計算する。そして、前記被検査物の白黒レベルの
数と該基準パターンの白黒レベルとの数を比較し、どの
程度一致しているかにより検査を行う。
て前記基準パターンと同一領域を二値化し、白黒レベル
の数を計算する。そして、前記被検査物の白黒レベルの
数と該基準パターンの白黒レベルとの数を比較し、どの
程度一致しているかにより検査を行う。
また取り付は方向についても、画面上で定められた小領
域の濃淡レベルの大・小により検査を行う。
域の濃淡レベルの大・小により検査を行う。
上述した従来の検査装置は、カメラ等の画像撮影手段に
よる位置を基準として、所定の領域内の画像を取り込み
、その領域に対する位置ズレ等を検出しているため、検
査対象基板等の取りつけ及び基板自体の製造誤差により
基準となるパターンの画像取り込み位置と、被検査物の
画像取り込み位置からかならずしも一致せず、正確な検
査が行なえないという欠点があった。
よる位置を基準として、所定の領域内の画像を取り込み
、その領域に対する位置ズレ等を検出しているため、検
査対象基板等の取りつけ及び基板自体の製造誤差により
基準となるパターンの画像取り込み位置と、被検査物の
画像取り込み位置からかならずしも一致せず、正確な検
査が行なえないという欠点があった。
本発明の検査装置は、
（Ａ）被検査微小チップ部品を撮像するカメラからの映
像信号をデジタル信号に変換するＡ／Ｄ変換回路、 （Ｂ）前記Ａ／Ｄ変換回路からのデータを記憶する画像
メモリ回路、 （Ｃ）前記画像メモリ内の画像のノイズを除去する平滑
化回路、 （Ｄ）前記平滑化回路を通した濃淡画像の濃淡値の変化
状態を算出する微分回路、 （Ｅ）前記微分した画像の微分値の局所的極大・極小点
を検出するエツジ検出回路、（Ｆ）前記検出したエツジ
部分を表わした画像、を記憶するエツジ画像記憶回路、 （Ｇ）前記エツジ画像の任意の位置のデータを水平また
は垂直方向に読込むラインデータ読込み回路、 （Ｈ）前記エツジのラインデータを設計基準データと比
較し、該被検査部品の実装されるパッドの位置を検出す
るパッド位置検出回路、（Ｉ）該エツジのラインデータ
を設計基準データと比較し、該被検査部品の位置を検出
する部品輪郭検出回路、 （Ｊ）前記検出した部品の位置から該被検査部品の極性
を示するマーク位置を定めその極性方向を検出する極性
マーク検出回路、 （Ｋ）該パッド位置と部品位置よりそれらの相対位置を
求めるズレ検出回路、 とを含んで構成される。
像信号をデジタル信号に変換するＡ／Ｄ変換回路、 （Ｂ）前記Ａ／Ｄ変換回路からのデータを記憶する画像
メモリ回路、 （Ｃ）前記画像メモリ内の画像のノイズを除去する平滑
化回路、 （Ｄ）前記平滑化回路を通した濃淡画像の濃淡値の変化
状態を算出する微分回路、 （Ｅ）前記微分した画像の微分値の局所的極大・極小点
を検出するエツジ検出回路、（Ｆ）前記検出したエツジ
部分を表わした画像、を記憶するエツジ画像記憶回路、 （Ｇ）前記エツジ画像の任意の位置のデータを水平また
は垂直方向に読込むラインデータ読込み回路、 （Ｈ）前記エツジのラインデータを設計基準データと比
較し、該被検査部品の実装されるパッドの位置を検出す
るパッド位置検出回路、（Ｉ）該エツジのラインデータ
を設計基準データと比較し、該被検査部品の位置を検出
する部品輪郭検出回路、 （Ｊ）前記検出した部品の位置から該被検査部品の極性
を示するマーク位置を定めその極性方向を検出する極性
マーク検出回路、 （Ｋ）該パッド位置と部品位置よりそれらの相対位置を
求めるズレ検出回路、 とを含んで構成される。
次に、本発明の実施例について、図面を参照して詳細に
説明する。
説明する。
第１図は本発明の一実施例を示すブロック図である。
第１図に示す検査装置は、カメラ１からの信号を濃淡信
号に変換するＡ／’Ｄ変換回路２と、濃淡信号を記憶す
る画像メモリ回路３と、画像メモリ回路３内の画像のノ
イズを除去する平滑化回路４と、平滑化された画像の濃
淡値の垂直方向及び水平方向の局所的変化量を求める微
分回路５と、前記微分回路５の微分値の極大・極小点の
位置を検出するエツジ検出回路６と、前記エツジ画像を
記憶するエツジ画像記憶回路７と、前記エツジ画像記憶
回路７内のデータを読み出すラインデータ読込み回路８
と、前記読み込んだデータからパッドの位置及び部品の
位置を検出するパッド位置検出回路９及び部品輪郭検出
回路１０と、部品の位置から、部品上に付けである部品
の方向を示すマークを認識する極性マーク検出回路１１
と、該パッド位置と該部品位置から実装のズレを算出す
るズレ検出回路１２とを含んで構成される。
号に変換するＡ／’Ｄ変換回路２と、濃淡信号を記憶す
る画像メモリ回路３と、画像メモリ回路３内の画像のノ
イズを除去する平滑化回路４と、平滑化された画像の濃
淡値の垂直方向及び水平方向の局所的変化量を求める微
分回路５と、前記微分回路５の微分値の極大・極小点の
位置を検出するエツジ検出回路６と、前記エツジ画像を
記憶するエツジ画像記憶回路７と、前記エツジ画像記憶
回路７内のデータを読み出すラインデータ読込み回路８
と、前記読み込んだデータからパッドの位置及び部品の
位置を検出するパッド位置検出回路９及び部品輪郭検出
回路１０と、部品の位置から、部品上に付けである部品
の方向を示すマークを認識する極性マーク検出回路１１
と、該パッド位置と該部品位置から実装のズレを算出す
るズレ検出回路１２とを含んで構成される。
カメラ１からの映像信号ａはＡ Ｉ’ Ｄ変換回路２に
よって各画素単位にデジタルの濃淡レベルを持つ濃淡信
号すに変換され濃淡画像Ｃとして画像メモリ回路３に記
憶される。平滑化回路４では濃淡画像Ｃを局所的に平滑
化し、ノイズ除去を行う。平滑化画像ｄは微分回路５に
より局所的な濃淡値の変化を垂直方向、水平方向にそれ
ぞれ検出し、微分画像ｅとして出力される。
よって各画素単位にデジタルの濃淡レベルを持つ濃淡信
号すに変換され濃淡画像Ｃとして画像メモリ回路３に記
憶される。平滑化回路４では濃淡画像Ｃを局所的に平滑
化し、ノイズ除去を行う。平滑化画像ｄは微分回路５に
より局所的な濃淡値の変化を垂直方向、水平方向にそれ
ぞれ検出し、微分画像ｅとして出力される。
微分画像ｅはエツジ検出回路６により各方向の微分値が
極大及び極小となる点が画像のエツジとして認識され、
エツジ信号ｆとして出力される。
極大及び極小となる点が画像のエツジとして認識され、
エツジ信号ｆとして出力される。
エツジ信号ｆはエツジ画像記憶回路７内にエツジ画像ｇ
として記憶される。ラインデータ読込み回路８ではエツ
ジ画像ｇの任意の位置のデータを水平方向または垂直方
向に、それぞれ微分方向に合ったエツジデータを１ライ
ン読み込みエツジラインデータｈとして出力する。
として記憶される。ラインデータ読込み回路８ではエツ
ジ画像ｇの任意の位置のデータを水平方向または垂直方
向に、それぞれ微分方向に合ったエツジデータを１ライ
ン読み込みエツジラインデータｈとして出力する。
パッド位置検出回路９ではエツジラインデータｈより設
計基準にあうパッド幅を工・ンジの組み合せから見つけ
だし、同様に部品輪郭検出回路１０ではエツジラインデ
ータｈから部品の大きさに合ったエツジの組み合せを抽
出し、それぞれノ（・ンド位置ｉ１部品位置ｊとして出
力する。極性マーク検出回路１１では部品位置ｊに従い
部品の取り付は方向を示す極性マークによる画像の工・
ソジ位置を探索し、その部品方向を調べ、極性方向にと
して出力する。
計基準にあうパッド幅を工・ンジの組み合せから見つけ
だし、同様に部品輪郭検出回路１０ではエツジラインデ
ータｈから部品の大きさに合ったエツジの組み合せを抽
出し、それぞれノ（・ンド位置ｉ１部品位置ｊとして出
力する。極性マーク検出回路１１では部品位置ｊに従い
部品の取り付は方向を示す極性マークによる画像の工・
ソジ位置を探索し、その部品方向を調べ、極性方向にと
して出力する。
ズレ検出回路１２では、パッド位置ｉと部品位置ｊの相
対位置を算出し、その値をズレ量２として出力する。以
上、極性方向にとズレ量！を検査結果として出力する。
対位置を算出し、その値をズレ量２として出力する。以
上、極性方向にとズレ量！を検査結果として出力する。
第２図（ａ）〜（ｇ）は第１図のプロ・ンク図内のデー
タを模式的に表わしたものである。
タを模式的に表わしたものである。
第２図（ａ）に示すような極性マーク付チ・ツブ部品の
平滑化後の画像のＡ−Ｂライン上のデータに着目した場
合、その濃淡値は第２図（ｂ）のようになる。これを水
平方向に微分処理を行うと第２図（ｃ）のような信号が
得られる。第２図（ｄ）は微分値の極大・極小となる点
を抽出したものであり、この位置が第２図（ａ）に示し
た画像のエツジ部分、すなわちパッド及び部品の輪郭と
なる。
平滑化後の画像のＡ−Ｂライン上のデータに着目した場
合、その濃淡値は第２図（ｂ）のようになる。これを水
平方向に微分処理を行うと第２図（ｃ）のような信号が
得られる。第２図（ｄ）は微分値の極大・極小となる点
を抽出したものであり、この位置が第２図（ａ）に示し
た画像のエツジ部分、すなわちパッド及び部品の輪郭と
なる。
第２図（ｅ）、（ｆ）に示すように前記のエツジ位置よ
りあらかじめ与えられているパッド間隔の設計基準及び
部品幅に合ったエツジの組み合せを選択し、それらの位
置を決定する。
りあらかじめ与えられているパッド間隔の設計基準及び
部品幅に合ったエツジの組み合せを選択し、それらの位
置を決定する。
第２図（ｇ）は極性マークの検出を示したもので、決定
した部品の位置から、既知データの極性マークの幅だけ
内側の位置に極性マークによるエツジが存在するかを調
べ、存在した方向を部品の極性と判定する。
した部品の位置から、既知データの極性マークの幅だけ
内側の位置に極性マークによるエツジが存在するかを調
べ、存在した方向を部品の極性と判定する。
〔発明の効果〕
本発明の検査装置は、被検査部品の位置ズレを測定及び
極性を判定する場合、カメラから取り込んだ濃淡画像を
微分することにより、被検査部品の輪郭及び被検査部品
が半田付けされるパッドの輪郭をそれぞれ独立に検出で
きるため、同一画像より部品とパッドの相対位置を求め
ることができ、また検出した部品の位置から部品上に捺
印されている極性マークの位置を自動的に検出できるた
め、カメラと、被検査部品が実装された基板の位置との
位置ずれが生じ、パッドの位置が不明瞭になった場合で
も、正確に部分の検査を行うことができるという効果が
ある。
極性を判定する場合、カメラから取り込んだ濃淡画像を
微分することにより、被検査部品の輪郭及び被検査部品
が半田付けされるパッドの輪郭をそれぞれ独立に検出で
きるため、同一画像より部品とパッドの相対位置を求め
ることができ、また検出した部品の位置から部品上に捺
印されている極性マークの位置を自動的に検出できるた
め、カメラと、被検査部品が実装された基板の位置との
位置ずれが生じ、パッドの位置が不明瞭になった場合で
も、正確に部分の検査を行うことができるという効果が
ある。
第１図は本発明の一実施例を示すブロック図、第２図は
第１図に示す回路の各信号を説明するための模式図であ
る。 １・・・カメラ、２・・・Ａ／Ｄ変換回路、３・・・画
像メモリ回路、４・・・平滑化回路、５・・・微分回路
、６・・・エツジ検出回路、７・・・エツジ画像記憶回
路、８・・・ラインデータ読込み回路、９・・・パッド
位置検出回路、１０・・・部品輪郭検出回路、１１・・
・極性マーク検出回路、１２・・・ズレ検出回路。 ａ・・・映像信号、ｂ・・・濃淡信号、Ｃ・・・濃淡画
像、ｄ・・・平滑化画像、ｅ・・・微分画像、ｆ・・・
エツジ信号、ｇ・・・エツジ画像、ｈ・・・エツジライ
ンデータ、ｉ・・・パッド位置、ｊ・・・部品位置、ｋ
・・・極性方向、ｅ・・・ズレ量、ｍ・・・パッド間隔
、ｎ・・・部品幅、Ｏ・・・極性マーク幅。
第１図に示す回路の各信号を説明するための模式図であ
る。 １・・・カメラ、２・・・Ａ／Ｄ変換回路、３・・・画
像メモリ回路、４・・・平滑化回路、５・・・微分回路
、６・・・エツジ検出回路、７・・・エツジ画像記憶回
路、８・・・ラインデータ読込み回路、９・・・パッド
位置検出回路、１０・・・部品輪郭検出回路、１１・・
・極性マーク検出回路、１２・・・ズレ検出回路。 ａ・・・映像信号、ｂ・・・濃淡信号、Ｃ・・・濃淡画
像、ｄ・・・平滑化画像、ｅ・・・微分画像、ｆ・・・
エツジ信号、ｇ・・・エツジ画像、ｈ・・・エツジライ
ンデータ、ｉ・・・パッド位置、ｊ・・・部品位置、ｋ
・・・極性方向、ｅ・・・ズレ量、ｍ・・・パッド間隔
、ｎ・・・部品幅、Ｏ・・・極性マーク幅。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 （Ａ）被検査微小チップ部品を撮像するカメラからの映
像信号をデジタル信号に変換するＡ／Ｄ変換回路、 （Ｂ）前記Ａ／Ｄ変換回路からのデータを記憶する画像
メモリ回路、 （Ｃ）前記画像メモリ内の画像のノイズを除去する平滑
化回路、 （Ｄ）前記平滑化回路を通した濃淡画像の濃淡値の変化
状態を算出する微分回路、 （Ｅ）前記微分した画像の微分値の局所的極大・極小点
を検出するエッジ検出回路、 （Ｆ）前記検出したエッジ部分を表わした画像を記憶す
るエッジ画像記憶回路、 （Ｇ）前記エッジ画像の任意の位置のデータを水平また
は垂直方向に読込むラインデータ読込み回路、 （Ｈ）前記エッジのラインデータを設計基準データと比
較し、該被検査部品の実装されるパッドの位置を検出す
るパッド位置検出回路、 （Ｉ）該エッジのラインデータを設計基準データと比較
し、該被検査部品の位置を検出する部品輪郭検出回路、 （Ｊ）前記検出した部品の位置から該被検査部品の極性
を示するマーク位置を定めその極性方向を検出する極性
マーク検出回路、 （Ｋ）該パッド位置と部品位置よりそれらの相対位置を
求めるズレ検出回路、 とを含むことを特徴とする検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63063879A JPH01236381A (ja) | 1988-03-16 | 1988-03-16 | 検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63063879A JPH01236381A (ja) | 1988-03-16 | 1988-03-16 | 検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01236381A true JPH01236381A (ja) | 1989-09-21 |
Family
ID=13242020
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63063879A Pending JPH01236381A (ja) | 1988-03-16 | 1988-03-16 | 検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01236381A (ja) |
-
1988
- 1988-03-16 JP JP63063879A patent/JPH01236381A/ja active Pending
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