JPH01230260A - 半導体パッケージの冷却構造 - Google Patents
半導体パッケージの冷却構造Info
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- JPH01230260A JPH01230260A JP5714288A JP5714288A JPH01230260A JP H01230260 A JPH01230260 A JP H01230260A JP 5714288 A JP5714288 A JP 5714288A JP 5714288 A JP5714288 A JP 5714288A JP H01230260 A JPH01230260 A JP H01230260A
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Landscapes
- Cooling Or The Like Of Electrical Apparatus (AREA)
- Cooling Or The Like Of Semiconductors Or Solid State Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔概 要〕
各種電子機器に広く使用されるプリント板に実装した半
導体パッケージの冷却構造に関し、半導体パッケージの
入出力ピンに外圧が掛からない構造と高い冷却性能を有
し、且つ確実にプリント基板と接続することを目的とし
、 半導体パッケージを冷却する液路を形成して冷却板を設
け、上記半導体パッケージを該冷却板に密着させる締着
孔を配した冷却モジュールの本体と、該半導体パッケー
ジを保持する保持部を形成して、任意の位置に雌ネジを
穿設した保持部材と、該半導体パッケージの入出力ピン
と接触するコンタクト部を設けたソケットとからなり、
上記保持部材の該保持部に上記半導体パッケージを挿入
して保持し、該半導体パッケージの各該入出力ビンにソ
ケットを嵌入して、その状態で基板のパッドと該ソケッ
トを半田により結合し、ボルトを介して該本体に該保持
部材を締着することにより、該冷却板に該半導体パッケ
ージの上面を密着して、咳液路に冷却液を循環させるこ
とにより該半導体パッケージを冷却するように構成する
。
導体パッケージの冷却構造に関し、半導体パッケージの
入出力ピンに外圧が掛からない構造と高い冷却性能を有
し、且つ確実にプリント基板と接続することを目的とし
、 半導体パッケージを冷却する液路を形成して冷却板を設
け、上記半導体パッケージを該冷却板に密着させる締着
孔を配した冷却モジュールの本体と、該半導体パッケー
ジを保持する保持部を形成して、任意の位置に雌ネジを
穿設した保持部材と、該半導体パッケージの入出力ピン
と接触するコンタクト部を設けたソケットとからなり、
上記保持部材の該保持部に上記半導体パッケージを挿入
して保持し、該半導体パッケージの各該入出力ビンにソ
ケットを嵌入して、その状態で基板のパッドと該ソケッ
トを半田により結合し、ボルトを介して該本体に該保持
部材を締着することにより、該冷却板に該半導体パッケ
ージの上面を密着して、咳液路に冷却液を循環させるこ
とにより該半導体パッケージを冷却するように構成する
。
本発明は、各種電子機器に広く使用されるプリント板に
実装した半導体パッケージの冷却構造に関する。
実装した半導体パッケージの冷却構造に関する。
最近特に、大型電算機等に装着されるプリント板は大型
化と電子部品の高密度実装されているが、一方ではプリ
ント板に実装される半導体パッケージ(以下LSiと略
称する)は更に高密度集積化されて発熱量が増大し、そ
のLStの冷却性能に対する要求も大変厳しいものとな
っている。
化と電子部品の高密度実装されているが、一方ではプリ
ント板に実装される半導体パッケージ(以下LSiと略
称する)は更に高密度集積化されて発熱量が増大し、そ
のLStの冷却性能に対する要求も大変厳しいものとな
っている。
そのため、冷却効率の高い液体により冷却する方法が使
用されているが、冷却構体の構造によりその弾性圧、お
よび冷却水の水圧等がLSiの入出力ビンに掛かるので
、その外圧が発生しない構造で且つ、高い冷却性能を有
し、確実にプリント基板と接続することができる半導体
パッケージの冷却構造が要求されている。
用されているが、冷却構体の構造によりその弾性圧、お
よび冷却水の水圧等がLSiの入出力ビンに掛かるので
、その外圧が発生しない構造で且つ、高い冷却性能を有
し、確実にプリント基板と接続することができる半導体
パッケージの冷却構造が要求されている。
従来使用されている半導体パッケージの冷却構造は、例
えば第4図に示すようにプリント板1に実装された各L
Si2と対向する位置に、その基板1−2と対向した開
口部3−1aを有する冷却室3−1を配設して、隣接す
る冷却室3−1 との間に隔壁3−1bを設けた冷却モ
ジュールの本体3を成形している。また、本体3の両端
に配設した冷却室3−1に冷却液を循環させるパイプ3
−3を設けて、それぞれの冷却室3−1にL字形のパイ
プ3−2の先端を開口部3−18から外部に突出させて
状態で隔壁3−1bに固定する。その各開口部3−1a
に、熱伝導性の優れた金属1例えば銅合金よりなる冷却
板4−3を弾性を有する伸縮自在な3例えばベローズ4
−1の一方に配設した冷却構体4のフランジ4−2を固
着してそれぞれの開口部3−1aを密封するように構成
している。
えば第4図に示すようにプリント板1に実装された各L
Si2と対向する位置に、その基板1−2と対向した開
口部3−1aを有する冷却室3−1を配設して、隣接す
る冷却室3−1 との間に隔壁3−1bを設けた冷却モ
ジュールの本体3を成形している。また、本体3の両端
に配設した冷却室3−1に冷却液を循環させるパイプ3
−3を設けて、それぞれの冷却室3−1にL字形のパイ
プ3−2の先端を開口部3−18から外部に突出させて
状態で隔壁3−1bに固定する。その各開口部3−1a
に、熱伝導性の優れた金属1例えば銅合金よりなる冷却
板4−3を弾性を有する伸縮自在な3例えばベローズ4
−1の一方に配設した冷却構体4のフランジ4−2を固
着してそれぞれの開口部3−1aを密封するように構成
している。
そして、基板1−2の図示していない接続パッドに入出
力ピン2−1を半田付けして実装した各LSi2の上面
に、冷却構体4の冷却板4−3外面が圧接するように上
記冷却モジールを押し付けて、ベローズ4−1の弾性に
より実装高さの異なる各LSi2と各冷却板4−3を密
着させ、図示しないポンプにより冷却液をパイプ3−3
から冷却室3−1内に圧送する。それにより、冷却液は
2点鎖線で示すようにLSi2により加熱された冷却構
体4の冷却板4−3の内面に当たり、その冷却板4−3
の熱を吸収することによりLSi2を冷却して隣接する
冷却構体4に圧送され、順次冷却構体4で上記作動をお
こなってプリント板1の各LSt2を冷却するように構
成されている。
力ピン2−1を半田付けして実装した各LSi2の上面
に、冷却構体4の冷却板4−3外面が圧接するように上
記冷却モジールを押し付けて、ベローズ4−1の弾性に
より実装高さの異なる各LSi2と各冷却板4−3を密
着させ、図示しないポンプにより冷却液をパイプ3−3
から冷却室3−1内に圧送する。それにより、冷却液は
2点鎖線で示すようにLSi2により加熱された冷却構
体4の冷却板4−3の内面に当たり、その冷却板4−3
の熱を吸収することによりLSi2を冷却して隣接する
冷却構体4に圧送され、順次冷却構体4で上記作動をお
こなってプリント板1の各LSt2を冷却するように構
成されている。
〔発明が解決しようとする問題点3
以上説明した従来の冷却構造で問題となるのは、冷却構
体の冷却板の外面をLSi上面に密着させて、各冷却室
に設けたパイプより冷却液を冷却板の外面に噴出させて
そのLSiを冷却し、その冷却液は冷却構体の内部を流
れて隣接する冷却室に順次圧送されているため、ベロー
ズの弾性圧や、冷却水の水圧をLSiの入出力ピンの半
田付は部にて支えるようになっており、その半田付は部
にクリープ破壊、あるいは疲労破壊が発生するという問
題が生じている。
体の冷却板の外面をLSi上面に密着させて、各冷却室
に設けたパイプより冷却液を冷却板の外面に噴出させて
そのLSiを冷却し、その冷却液は冷却構体の内部を流
れて隣接する冷却室に順次圧送されているため、ベロー
ズの弾性圧や、冷却水の水圧をLSiの入出力ピンの半
田付は部にて支えるようになっており、その半田付は部
にクリープ破壊、あるいは疲労破壊が発生するという問
題が生じている。
本発明は上記ような問題点に鑑み、半導体パッケージの
入出力ピンに外圧が掛からない構造と高い冷却性能を有
し、且つ確実にプリント基板と接続することができる半
導体パッケージの冷却構造の提供を目的とする。
入出力ピンに外圧が掛からない構造と高い冷却性能を有
し、且つ確実にプリント基板と接続することができる半
導体パッケージの冷却構造の提供を目的とする。
第1図の側断面図で示すように冷却液が循環する液路1
2−2を形成して冷却板12−1を設け、その冷動板1
2−1へLSi2を密着させる複数個の締着孔12−3
を配設した冷却モジュールの本体12と、第2図に示す
ようにLSi2を保持する保持部13−1を中央に設け
て、その周囲の任意の位置に雌ネジ13−2を穿設した
保持部材13と、第3図に示すようにLSi2の入出力
ピン2−1と接触するコンタクト部14−1を配したソ
ケット14とからなり、上記保持部材13の保持部13
−1にLSi2を挿入して保持し、そのLSi2の各入
出力ピン2−1にソケット14を嵌入してその状態で基
板1−1のパッドとソケット14を半田16により結合
し、本体12の締着孔12−3から保持部材13の雌ネ
ジ13−2にボルト15を螺入することにより、本体1
2の冷却板12−1にLSi2上面の伝熱部を密着して
、液路12−2に冷却液を循環させることによりLSi
2を冷却するように構成される。
2−2を形成して冷却板12−1を設け、その冷動板1
2−1へLSi2を密着させる複数個の締着孔12−3
を配設した冷却モジュールの本体12と、第2図に示す
ようにLSi2を保持する保持部13−1を中央に設け
て、その周囲の任意の位置に雌ネジ13−2を穿設した
保持部材13と、第3図に示すようにLSi2の入出力
ピン2−1と接触するコンタクト部14−1を配したソ
ケット14とからなり、上記保持部材13の保持部13
−1にLSi2を挿入して保持し、そのLSi2の各入
出力ピン2−1にソケット14を嵌入してその状態で基
板1−1のパッドとソケット14を半田16により結合
し、本体12の締着孔12−3から保持部材13の雌ネ
ジ13−2にボルト15を螺入することにより、本体1
2の冷却板12−1にLSi2上面の伝熱部を密着して
、液路12−2に冷却液を循環させることによりLSi
2を冷却するように構成される。
本発明では、プリント板1に実装したLSi2の上部に
冷却板12−1が近接しか状態で本体12を配設して、
ボルト15により保持部材13を締着することにより、
LSi2の入出力ピン2−1を基板1−1に結合したソ
ケット14のコンタクト部14−1を摺動させて、LS
t2の伝熱部が本体12の冷却板12−1に密着してい
るため、LSi2の冷却効率が高くなるともに実装した
LSi2の高さの差が吸収され、且つ冷却液等による外
力は入出力ピン2−1とソケット14との摺動により吸
収されて確実にプリント基板と接続することが可能とな
る。
冷却板12−1が近接しか状態で本体12を配設して、
ボルト15により保持部材13を締着することにより、
LSi2の入出力ピン2−1を基板1−1に結合したソ
ケット14のコンタクト部14−1を摺動させて、LS
t2の伝熱部が本体12の冷却板12−1に密着してい
るため、LSi2の冷却効率が高くなるともに実装した
LSi2の高さの差が吸収され、且つ冷却液等による外
力は入出力ピン2−1とソケット14との摺動により吸
収されて確実にプリント基板と接続することが可能とな
る。
以下第1図乃至第3図について本発明の詳細な説明する
。
。
第1図は本実施例による半導体パッケージの冷却構造を
示す断面図、第2図は本実施例による半導体パッケージ
の保持部材を示す斜視図、第3図は本実施例のソケット
を示す断面図、第4図は本実施例の組立方法の側断面図
を示し、図中において、第4図と同一部材には同一記号
が付しであるが、その他の12は半導体パッケージを冷
却する冷却モジュールの本体、13は半導体パッケージ
を保持して本体に密着させる保持部材、14は半導体パ
ッケージの入出力ピンと基板のパッドとを接続するソケ
ット、15は保持部材を本体に締着するボルトである。
示す断面図、第2図は本実施例による半導体パッケージ
の保持部材を示す斜視図、第3図は本実施例のソケット
を示す断面図、第4図は本実施例の組立方法の側断面図
を示し、図中において、第4図と同一部材には同一記号
が付しであるが、その他の12は半導体パッケージを冷
却する冷却モジュールの本体、13は半導体パッケージ
を保持して本体に密着させる保持部材、14は半導体パ
ッケージの入出力ピンと基板のパッドとを接続するソケ
ット、15は保持部材を本体に締着するボルトである。
本体12は、第1図の側断面図で示すように熱伝導率の
高い金属2例えば銅合金よりなる厚板に、冷却液が循環
する液路12−2を形成して一方側に冷却板12−1を
配し、その冷却板12−1へLSi2を密着させるため
の貫通した複数個の締着孔12−3を、液路12−2か
ら冷却液が漏洩市内ように配設したものである。
高い金属2例えば銅合金よりなる厚板に、冷却液が循環
する液路12−2を形成して一方側に冷却板12−1を
配し、その冷却板12−1へLSi2を密着させるため
の貫通した複数個の締着孔12−3を、液路12−2か
ら冷却液が漏洩市内ように配設したものである。
保持部材13は、第2図の斜視図に示すように中央にL
Si2の外形が遊合する方形で、LSi2を挿入した時
にLSi2の図示していない伝熱板が突出する深さの保
持部13−1を中央に設けて、その周囲の任意の位置1
例えば各町に雌ネジ13−2を穿設した絶縁材料より形
成したものである。
Si2の外形が遊合する方形で、LSi2を挿入した時
にLSi2の図示していない伝熱板が突出する深さの保
持部13−1を中央に設けて、その周囲の任意の位置1
例えば各町に雌ネジ13−2を穿設した絶縁材料より形
成したものである。
ソケット14は、第3図に示すようにLSi2の底面に
配列された入出力ピン2−1の外周と接触する弾性を備
えたコンタクト部14−1を配し、接触抵抗を少なくす
るために必要により金メツキを全表面に施したものであ
る。
配列された入出力ピン2−1の外周と接触する弾性を備
えたコンタクト部14−1を配し、接触抵抗を少なくす
るために必要により金メツキを全表面に施したものであ
る。
ボルト15は、冷却モジュールの本体12を貫通させて
保持部材13の雌ネジ13−2に螺入できる汎用の小ネ
ジである。
保持部材13の雌ネジ13−2に螺入できる汎用の小ネ
ジである。
上記部材を使用した半導体パッケージの冷却構造は、第
2図に示す上記保持部材13の保持部13−1にLSi
2を挿入して保持し、第3図に示すように挿入したLS
i2の各入出力ピン2−1にソケット14を嵌入して、
その状態で第1図に示すように基板1−1の図示してい
ないパッドとソケット14を半田16により結合してプ
リント板1を形成する。
2図に示す上記保持部材13の保持部13−1にLSi
2を挿入して保持し、第3図に示すように挿入したLS
i2の各入出力ピン2−1にソケット14を嵌入して、
その状態で第1図に示すように基板1−1の図示してい
ないパッドとソケット14を半田16により結合してプ
リント板1を形成する。
そして、基板1−1に実装したLSi2の上部に上記本
体12の冷却板12−1が近接した状態で配設し、本体
12の締着孔12−3から保持部材13の雌ネジ13−
2にボルト15を螺入して締着することにより、保持部
材13が冷却板12−1に近づくと同時にLSi2の入
出力ピン2−1が基板1−1に結合したソケット14の
コンタクト部14−1を摺動し、LSi2の前記伝熱部
が本体12の冷却板12−1に密着するように構成して
いる。
体12の冷却板12−1が近接した状態で配設し、本体
12の締着孔12−3から保持部材13の雌ネジ13−
2にボルト15を螺入して締着することにより、保持部
材13が冷却板12−1に近づくと同時にLSi2の入
出力ピン2−1が基板1−1に結合したソケット14の
コンタクト部14−1を摺動し、LSi2の前記伝熱部
が本体12の冷却板12−1に密着するように構成して
いる。
その結果、LSi2の伝熱部が本体12の冷却板12−
1に密着するのでLSi2の冷却効率が高くなるともに
、冷却液等による外力は入出力ビン2−1とソケット1
4との摺動により吸収されて確実にプリント基板と接続
することができる。
1に密着するのでLSi2の冷却効率が高くなるともに
、冷却液等による外力は入出力ビン2−1とソケット1
4との摺動により吸収されて確実にプリント基板と接続
することができる。
以上、図示実施例に基づき説明したが、本発明は上記実
施例の態様のみに限定されるものでなく、例えばLSi
を保持部材で締着した冷却板の液路側に冷却効果を向上
させる複数枚のフィンを冷却液の流れと平行に配設して
もよく、また、保持部材の雌ネジ部を一方の対角である
2箇所に設け、2本のボルトで冷却モジュールの冷却板
に締着しても良い。
施例の態様のみに限定されるものでなく、例えばLSi
を保持部材で締着した冷却板の液路側に冷却効果を向上
させる複数枚のフィンを冷却液の流れと平行に配設して
もよく、また、保持部材の雌ネジ部を一方の対角である
2箇所に設け、2本のボルトで冷却モジュールの冷却板
に締着しても良い。
以上の説明から明らかなように本発明によれば極めて簡
単な構成で、半導体パッケージの入出力ビンに外圧が掛
からずに高い冷却性能を有し、且つ確実にプリント基板
と接続することができる等の利点があり、著しい経済的
及び、信頼性向上の効果が期待できる半導体パッケージ
の冷却構造を提供することができる。
単な構成で、半導体パッケージの入出力ビンに外圧が掛
からずに高い冷却性能を有し、且つ確実にプリント基板
と接続することができる等の利点があり、著しい経済的
及び、信頼性向上の効果が期待できる半導体パッケージ
の冷却構造を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の一実施例による半導体パフケージの冷
却構造を示す断面図、 第2図は本実施例による半導体パンケージの保持部材を
示す断面図、 第3図は本実施例のソケットを示す断面図、第4図は従
来の半導体パッケージの冷却構造を示す側断面図である
。 図において、 1はプリント板、 1−1は基板、 2はt、si。 2−1は入出力ビン、 2−2は伝熱板、12は本体
、 12−1は冷却板、 12−2は液路、12−3
は締着孔、 13は保持部材、 13−1は保持部、 13−2は雌ネジ、14
はソケット、 15はボルト、 16は半田、 を示す。 う /IF#EJ河−情C刈鰺夕づl;ハ苧A18トハー、
大、ジ+、>4即イ鼻遺告木す迷牟φb図第1図 第2図
却構造を示す断面図、 第2図は本実施例による半導体パンケージの保持部材を
示す断面図、 第3図は本実施例のソケットを示す断面図、第4図は従
来の半導体パッケージの冷却構造を示す側断面図である
。 図において、 1はプリント板、 1−1は基板、 2はt、si。 2−1は入出力ビン、 2−2は伝熱板、12は本体
、 12−1は冷却板、 12−2は液路、12−3
は締着孔、 13は保持部材、 13−1は保持部、 13−2は雌ネジ、14
はソケット、 15はボルト、 16は半田、 を示す。 う /IF#EJ河−情C刈鰺夕づl;ハ苧A18トハー、
大、ジ+、>4即イ鼻遺告木す迷牟φb図第1図 第2図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 半導体パッケージ(2)を冷却する液路(12−2)
を形成して冷却板(12−1)を設け、上記半導体パッ
ケージ(2)を該冷却板(12−1)に密着させる締着
孔(12−3)を配した冷却モジュールの本体(12)
と、該半導体パッケージ(2)を保持する保持部(13
−1)を形成して、任意の位置に雌ネジ(13−2)を
穿設した保持部材(13)と、 該半導体パッケージ(2)の入出力ピン(2−1)と接
触するコンタクト部(14−1)を設けたソケット(1
4)とからなり、 上記保持部材(13)の該保持部(13−1)に上記半
導体パッケージ(2)を挿入して保持し、該半導体パッ
ケージ(2)の各該入出力ピン(2−1)にソケット(
14)を嵌入して、その状態で基板(1−1)のパッド
と該ソケット(14)を半田(16)により結合し、ボ
ルト(15)を介して該本体(12)に該保持部材(1
3)を締着することにより、該冷却板(12−1)に該
半導体パッケージ(2)の上面を密着して、該液路(1
2−2)に冷却液を循環させることにより該半導体パッ
ケージ(2)を冷却するように構成してなることを特徴
とする半導体パッケージの冷却構造。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP5714288A JPH01230260A (ja) | 1988-03-09 | 1988-03-09 | 半導体パッケージの冷却構造 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP5714288A JPH01230260A (ja) | 1988-03-09 | 1988-03-09 | 半導体パッケージの冷却構造 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH01230260A true JPH01230260A (ja) | 1989-09-13 |
Family
ID=13047324
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP5714288A Pending JPH01230260A (ja) | 1988-03-09 | 1988-03-09 | 半導体パッケージの冷却構造 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH01230260A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0536896U (ja) * | 1991-10-17 | 1993-05-18 | 株式会社アドバンテスト | 半導体icの冷却構造 |
KR100955936B1 (ko) * | 2008-01-02 | 2010-05-03 | 주식회사 하이닉스반도체 | 반도체 패키지 모듈용 방열 장치 및 이를 갖는 반도체패키지 모듈 |
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1988
- 1988-03-09 JP JP5714288A patent/JPH01230260A/ja active Pending
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0536896U (ja) * | 1991-10-17 | 1993-05-18 | 株式会社アドバンテスト | 半導体icの冷却構造 |
KR100955936B1 (ko) * | 2008-01-02 | 2010-05-03 | 주식회사 하이닉스반도체 | 반도체 패키지 모듈용 방열 장치 및 이를 갖는 반도체패키지 모듈 |
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