JPH0122679B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 この発明は圧力、変位、張力、温度、光量等の
物理量を電気信号に変換する物理量変換装置に関
し、特に外乱等に対し安定に動作するこの種変換
装置を提供しようとするものである。

各種の物理量を電気信号に変換する方法は各種
考えられている。これらを大別すれば検出素子の
違いにより可変容量式、可変抵抗式、可変インダ
クタンス式、光電変換素子を用いた方式等に分け
ることができる。更にこれら各方式において一対
の検出素子のインピーダンス値が互いに差動的に
変化する形式のものと、固定素子と可変素子の組
合せから成る単一可変インピーダンス形式のもの
に分けることができる。この発明ではどの方式の
変換装置にも適用できるものであり、先ずここで
は差圧又は圧力検出器として極く一般的に用いら
れている差動可変容量式を例示して説明すること
とする。

第１図に従来の物理量変換装置を示す。図中１
は差圧又は圧力等のプロセス変量を電気信号に変
換する回路を示す。この回路には上述した差動容
量式変位検出器を具備し、差圧又は圧力の変化に
より移動電極が変位し、その変位により一対の可
変容量素子の容量値が変化してその出力端子２に
電圧変化をもたらすように動作するものとする。
出力端子２の出力電圧は増幅器３で増幅され、そ
の増幅出力が電圧−電流変換回路４に入力され、
この電圧−電流変換回路４によつて電流信号I₀に
変換され、２線式伝送線５ａ，５ｂを通じて受信
部６に電流信号I₀を伝送する点は周知の如くであ
る。

ここで重要な点は電圧−電流変換回路４の出力
電流値を帰還用抵抗器７によつて検出し、その検
出信号を増幅器３に負帰還した構成にある。この
ように負帰還を施こすことにより増幅器３と電圧
−電流変換回路４によつて構成される回路は検出
回路１からの入力電圧と出力電流値とが常にバラ
ンスするように動作し、このようにして増幅器３
及び電流−電圧変換回路４を構成するトランジス
タの利得変動等を除去するように考慮されてい
る。

然し乍らこの構成によれば検出回路１と増幅器
３との間において外来雑音が混入すると、その外
来雑音は出力電流に変換されて受信部６に伝送さ
れ、測定誤差を発生させる要因として働く欠点が
ある。

この欠点を解消する目的で本出願人は先に「特
願昭55−17293号、名称：物理量変換装置」にお
いて第２図に示すような変換回路を提案した。こ
の変換回路は全ての回路が負帰還ループに含まれ
るように構成されたものであり、このように構成
することによりどの回路部分に外来雑音が混入し
てもその外来雑音成分は出力されないように動作
し、外来雑音による測定誤差が発生しない利点が
得られる。

つまりこの変換回路は差圧又は圧力変化を電気
信号に変換する検出回路８と、この検出回路８か
ら出力される第１信号e₁を一定電圧e_sと比較し、
第１信号e₁が一定電圧e_sと常にバランスするよう
に出力電流I₀を制御する増幅器３と、増幅器３の
出力電圧を２線式伝送線５ａ，５ｂを流れる出力
電流I₀に変換する電圧−電流変換回路４と、検出
回路８から得られる第２信号e₂が供給される制御
回路１１と、この制御回路１１の出力により検出
回路８に与える出力振幅が制御される電源１２と
により構成される。

検出回路８はこの例では一対の差動的に容量値
が変化する容量素子によつて構成される検出素子
８ａ，８ｂを有し、この検出素子８ａ，８ｂに電
源１２から交流電圧が供給される。従つて電源１
２はこの例では交流発振器によつて構成される。
検出素子８ａ，８ｂを流れる電流はダイオード
D₁，D₂及びD₃，D₄によつて整流され、その一方
の極性の電流が抵抗器９ａ，９ｂによつて検出さ
れる。ダイオードD₃，D₄及び抵抗器９ｃによつ
て検出素子８ａ，８ｂの負の半サイクルの整流回
路が構成される。抵抗器９ａ，９ｂに発生した電
圧は抵抗器１０ａ，１０ｂを通じて加算して検出
素子８ａ，８ｂを流れる電流和として取出され
る。この電流和信号をここでは第１信号e₁と称
し、この第１信号e₁を増幅器３のこの例では反転
入力端子に供給する。増幅器３の非反転入力端子
には一定電圧e_sが与えられる。よつて増幅器３は
一定電圧e_sと検出回路８から出力される第１信号
e₁との偏差信号を出力し、その偏差信号を電圧−
電流変換回路３で電流信号I₀に変換して出力す
る。尚第１信号e₁は後述において明らかになるよ
うに一定電圧e_sと等しくなるように制御される。

一方検出回路８からは第２信号e₂が取出され
る。この第２信号e₂は検出素子８ａ，８ｂを流れ
る電流差信号として取出し、この電流差信号をこ
こでは第２信号と称し、この第２信号e₂を制御回
路１１に供給する。制御回路１１により電源１２
の出力電圧を制御する。電源１２はこの例では発
振器の場合を示す。電源１２の出力振幅は第２信
号e₂が常に一定となるように制御回路１１により
制御される。制御回路１１には出力電流I₀に相当
する量が帰還手段１３により帰還される。尚１４
はゼロ調用バイアス源である。

このように構成することにより検出素子８ａ，
８ｂが互いに差動的にその容量値が変化すること
により抵抗器９ａ，９ｂの電圧が差動的に変化す
る。この変化量は制御回路１１を通じて電源１２
に供給され、抵抗器９ａと９ｂに発生する電圧の
差が常に一定値を保持するように検出回路８に印
加される電圧が制御される。この電源１２の制御
により第１信号e₁が変化を来し、一定電圧e_sとの
偏差値が電圧−電流変換回路４に供給され出力電
流I₀を変化させる。出力電流I₀の変化は抵抗器７
の電圧降下により検出され、帰還手段１３を通じ
て制御回路１１に帰還される。この帰還により電
源１２の出力が補正される。ここで増幅器３及び
制御回路１１を構成する増幅器の利得がほぼ無限
大に近い充分大きい値とすれば、その補正により
第１信号e₁は一定電圧e_sと等しくなる状態でバラ
ンスし、そのバランス点で出力電流I₀が安定す
る。

このように全ての回路を縦続接続して一つの帰
還ループを構成することにより、外来雑音の混入
による測定誤差を除去することができる。

ところでこのように多くの回路を縦続接続し、
その縦続回路の全体に負帰還を施こすときは、各
回路における位相回転の加算値が大きくなり位相
余裕が小さくなつて発振が起き易い回路となる。
因みに第３図に第２図で説明した制御回路１１−
電源１２−検出回路８−増幅器３−電圧・電流変
換回路４の縦続回路の周波数特性と位相特性を示
す。第３図においてＧは周波数特性を示し、θは
位相特性を示す。この図から解るようにこの回路
構成によれば利得余裕及び位相余裕がなく、安定
性に欠ける欠点がある。位相余裕を改善するには
一般に遅れ回路又は進み回路等の要素を回路に附
加することにより実施できる。然し乍ら遅れ要素
又は進み要素を回路に附加するときは、その遅れ
要素の遅れ量を最適状態に設計することがむずか
しい。然も遅れ要素を附加するときは回路全体の
応答特性が低下してしまう欠点がある。

この発明の目的はこのように外来雑音に対し安
定に動作する物理量変換装置において、その応答
特性を悪くすることなく位相余裕を改善し、然も
設計を容易に行なうことができる変換装置を提供
するにある。

この発明では検出回路９において物理量の変化
により変化するが、終局的に電源１２の出力値の
修正により一定値となるように制御される信号つ
まり上述の第１電気信号e₁に相当する信号の一部
を制御回路１１に負帰還させるように構成したも
のである。

第４図にその実施例を示す。この発明において
は検出回路８において物理量の変化にかかわら
ず、一定値となるように制御される第１電気信号
e₁又はこれと対応する電気信号の一部を制御回路
１１に負帰還するように構成したものである。

この例では物理量に応じて互いに差動的に変化
する検出素子８ａ，８ｂを流れる電流変化を抵抗
器９ａ，９ｂによつて電圧信号に変換し、その電
圧信号を抵抗器１０ａ，１０ｂによつて加算して
取出し、その加算出力を第１電気信号e₁として増
幅器３に供給するようにし、抵抗器９ａ，９ｂに
発生する電圧の差を第２電気信号e₂として取出
し、その第２電気信号e₂を制御回路１１に供給す
るように構成するものである。

この発明では例えば負の整流電流を検出素子８
ａ，８ｂに与える抵抗器９ｃをポテンシヨメータ
とし、その可動子から検出素子８ａ，８ｂを流れ
る電流和に相当する信号、つまり第１電気信号e₁
に相当する電気信号を得、この電気信号を制御回
路１１に帰還させる。この場合その可動子の位置
を調整することによつて検出回路８から制御回路
１１に帰還する帰還量を適当量に設定できるよう
に構成した場合を示す。１５はこのポテンシヨメ
ータ９ｃから制御回路１１に帰還信号を与える第
２帰還手段を示す。

このように縦続回路の途中から帰還ループを形
成することにより、その帰還ループ内の伝達関数
を変化させることができる。これによつて全体の
伝達関数も変化させることができ、利得余裕及び
位相余裕を改善することができる。実測の結果第
５図に示すような周波数特性Ｇと、位相特性θを
得ることができた。この第５図に示す特性Ｇと、
θによれば位相余裕Wθと利得余裕WGが充分得
られ安定に動作する変換装置を得ることができる
ことが確認された。尚ポテンシヨメータ９ｃの可
動子を調整し、その帰還量を変更することにより
電源１２の発振振幅が変化する。これにより増幅
器３の出力が変化し、電圧−電流変換回路４の出
力を変化させることができる。よつてポテンシヨ
メータ９ｃは帰還量を調整する手段として利用す
ると共に２線式伝送路で規定された最小電流例え
ば４ｍＡを設定するゼロ調手段としても利用でき
る。このときポテンシヨメータ９ｃの他端を抵抗
器９ｅを通じて正極電源ラインに接続すればその
ゼロ調電圧はダイオードD₃，D₄の整流電流で発
生する負電圧から正電圧まで可変させることがで
き広範囲のゼロ調が可能となる。つまり位相余裕
Wθ及び利得余裕WGが充分得られる領域におい
てゼロ調を行えばよい。

第６図はこの発明の他の実施例を示す。この例
では抵抗器９ａ，９ｂの他端を共通接続し、その
共通接続点と共通電位との間に抵抗器９ｄを接続
し、この抵抗器９ｄに得られる電流和に相当する
信号を第１電気信号e₁として取出し、その第１電
気信号e₁を増幅器３に供給するようにした場合を
示す。またこの場合にも抵抗器９ａ，９ｂに発生
する電圧の差を第２電気信号e₂として取出し、こ
の第２電気信号e₂を制御回路１１に供給し、その
制御回路１１の出力によつて電源１２の発振振幅
を制御するようにした場合にこの発明を適用した
場合を示す。

この場合にも検出素子８ａ，８ｂに負の整流電
流を流す抵抗器９ｃをポテンシヨメータとし、こ
のポテンシヨメータ９ｃの可動子から制御回路１
１の非反転入力端子に負帰還を掛けるように構成
する。

このように構成することにより第５図と同様の
利得余裕WG及び位相余裕Wθを得ることができ、
安定に動作する物理量変換装置を得ることができ
る。尚この第６図の実施例において抵抗器９ｄを
ポテンシヨメータとし、その可動子に得られる信
号を制御回路１１に帰還するように構成すること
もできる。この場合にはポテンシヨメータとして
の抵抗器９ｄの可動子に得られた信号を制御回路
１１の反転入力端子に供給すればよい。

一方上述では物理量に応じて一対の検出素子８
ａ，８ｂが互いに差動的に変化する検出回路の場
合にこの説明を適用した例を説明したが、一方が
固定素子とされ、他方が物理量によつて変化する
可変素子とした単一可変素子形の検出器の場合に
もこの発明を適用できる。単一可変素子形の検出
器によれば構造が簡単にできることから検出器を
安価に提供できる利点が得られ、特に圧力検出器
として有効に利用される。

第７図はその一例を示す。図中８ａは物理量に
よつて変化する検出素子であり、８ｃは固定素子
である。検出素子８ａと直列接続した抵抗器９ａ
から第１電気信号e₁を取出し、固定素子８ｃから
第２電気信号e₂を取出す。第１電気信号e₁は増幅
器３のこの例では非反転入力端子に供給し、第２
電気信号e₂は抵抗器１８，１９から成る分圧回路
を通じて制御回路１１の反転入力端子に供給す
る。

制御回路１１の非反転入力端子には、電源電圧
Ｖを抵抗器１６，１７により分圧した電圧e₃を抵
抗器２１を介して印加し、基準電圧を設定すると
共に、２線式変換回路の基準電位２２と線路端子
□−との間へ挿入された帰還用抵抗器７の端子電圧
を、抵抗器２３を経て印加しており、これによつ
て全装置としての負帰還ループを形成している。
この負帰還ループにより第１電気信号e₁は基準電
圧e_sと常にバランスする状態に制御され、出力電
流I₀は検出素子８ａの容量値に比例して変化す
る。

このように構成される変換装置においても例え
ば検出素子８ａ、固定素子８ｃに負の整流電流を
流す抵抗器９ｃをポテンシヨメータに置替え、こ
のポテンシヨメータ９ｃの可動子から抵抗器２４
を経て制御回路１１の非反転入力端子に負帰還を
施すことによりその全体の周波数特性及び位相特
性を第５図で説明したような特性とすることがで
き、安定に動作する物理量変換装置を得ることが
できる。

第８図は検出素子８ａの変化特性が非直線性と
なるのを補正するため、直線性補正用素子８ｄ
を、検出素子８ａに並列接続すると共に、入力抵
抗器２５，２６，２７，２８及び増幅器３により
減算回路を構成している。従つてこの例では第１
電気信号はe₁−e₂で表わされ、この第１電気信号
e₁−e₂は抵抗器７からの負帰還によりe₁−e₂＝e_s
となるように、電源１２の出力振幅を制御してい
る。

このような構成の物理量変換装置においても例
えば抵抗器９ｃをポテンシヨメータとし、このポ
テンシヨメータ９ｃの可動子から抵抗器２４を通
じて制御回路１１に負帰還を掛けることにより安
定に動作する変換装置を得ることができる。

第９図は、検出すべき物理量に従う機械的変位
に応じて、差動的に抵抗値が変化する一対の可変
抵抗素子を、検出素子８ａ，８ｂとして用いた場
合の回路図である。この場合には電源１２として
は直流可変電源が用いられ、制御回路１１の制御
電圧によつてその出力電圧が制御され、その出力
をストレインゲージ等の検出素子８ａ，８ｂに印
加し、各素子８ａ，８ｂの差動的な抵抗値変化に
応じて第１、第２電気信号e₁，e₂を得ているほか
は、第４図と同様である。ただし、抵抗器７から
制御回路１１への帰還回路には、制御回路１１の
非反転入力を所定の電圧とするためにバイアス電
源３１を挿入する。

このように可変抵抗素子を検出素子８ａ，８ｂ
として用いる場合でも、抵抗器９ａ，９ｂの端子
電圧を抵抗器３２，３３を通じて加算し、その加
算値をポテンシヨメータ９ｄに供給し、そのポテ
ンシヨメータ９ｄの可動子から抵抗器２４を通じ
て制御回路１１の反転入力端子に負帰還を掛ける
ことにより安定に動作する変換装置を得ることが
できる。

尚第９図において検出素子８ａ，８ｂの中のい
ずれか一方のみを物理量の検出に用いる場合に
は、他方を同等の特性を有する固定抵抗素子に置
換し、第７図に準ずる構成とすればよい。尚この
ように固定抵抗素子を用いることなく単一の可変
抵抗素子のみを用いて物理量の検出を行なうこと
も可能である。

第１０図以降は受光素子を用いた実施例を示
す。第１０図においては、直流電源１２の出力電
圧を発光ダイオード等の発光素子３５へ印加し、
この発光素子３５を発光させていると共に、これ
の発光を受光するフオトトランジスタ等の一対の
検出素子８ａ，８ｂを設け、後述の光量制御機構
により、検出すべき物理量に応じて検出素子８ａ
と８ｂに入射する光量を差動的に変化させる構成
となつている。

このように構成すれば例えば温度変動等により
検出素子８ａ，８ｂを流れる電流i₁，i₂が変化し
たとしても、これによつて生じた抵抗器９ａ，９
ｂの端子電圧が制御回路１１の両入力端子に印加
され、この端子電圧の差e₂に基づいて直流電源１
２の出力が変化し、これに応じて発光素子３５の
発光々量が制御され、検出素子８ａ，８ｂを流れ
る電流i₁，i₂の変動が抑圧され、検出素子８ａ，
８ｂに対する入射光量に差動的な変化がない限
り、電流i₁，i₂が一定に保たれ温度変動域は電源
電圧変動に影響されない構造となつている。

一方抵抗器９ｄには電流i₁とi₂の和が通ずるた
め、両者の和に応じた端子電圧e₁が生じ、これが
増幅器３及び電圧−電流変換回路４により出力電
流I₀に変換される。つまり検出素子８ａ，８ｂに
対する入射光量の差に比例した出力電流I₀が得ら
れる。

このような構成の変換装置においても抵抗器９
ｄをポテンシヨメータとし、そのポテンシヨメー
タ９ｄの可動子から抵抗器２４を通じて制御回路
１１の反転入力端子に負帰還を掛けることにより
安定な変換回路を得ることができる。

第１１図は光量制御機構の一例を示す断面図で
あり、Ａは正面図、Ｂは側面図を示す。例えば金
属等により作られたケース３９の開放面には、ダ
イヤフラム等の受圧板４１がその周辺を固着され
ており、その外面に透孔４２が形成されたカバー
４３が固定してある。

また受圧板４１の中央部内面にシヤフト４４の
一端が固着され、その他端には遮光板４５が固定
されており、遮光板４５を挾んで発光素子３５と
一対の検出素子８ａ，８ｂが対向して設けてあ
る。

ただし、遮光板４５の位置及び形状は受圧板４
１に圧力Ｐが印加されない状態において、発光素
子３５からの発光が均等な光量として検出素子８
ａ，８ｂに入射するものとなつている。

従つて圧力Ｐが印加され、受圧板４１が機械的
な変位を生ずると、遮光板４５が図において上方
へ移動し、検出素子８ａへの入射光量が減ずる反
面、検出素子８ｂへの入射光量が増加し、両素子
８ａ，８ｂの電流i₁，i₂が差動的に変化する。

なおかかる光量制御機構は条件に応じた選定が
任意であり、検出素子８ａ，８ｂと各個に対応し
て発光素子を設け、各光路間を遮光板により差動
的に開閉しても同様である等、種々の変形が自在
である。

第１２図は、検出素子８ａ，８ｂとして一対の
光電池を用いた場合の回路図である。この場合に
は検出素子８ａ，８ｂへの入射光量に応じた電流
i₁，i₂が生じ、これが抵抗器９ａ，９ｂ及び９ｄ
へ通ずるため、両者の和に応じた端子電圧を第１
電気信号e₁として抵抗器９ｄから取出すと共に、
検出素子８ａ，８ｂの発生電圧の差を第２電気信
号e₂としているほかは、第１０図と同様である。
このように光電池を用いた変換装置においても抵
抗器９ｄをポテンシヨメータとし、その可動子か
ら抵抗器２４を通じて制御回路１１の非反転入力
端子に負帰還を掛けることにより安定に動作する
変換装置を得ることができる。

なお上述において検出素子８ａ，８ｂの中のい
ずれか一方のみの入射光を、検出すべき物理量に
応じて変化させても同様である。

このほか、差動増幅器３の出力を単線回路の電
流として送出してもよい。また電源１２を直流に
限ることなく交流電源を用い、各検出素子の出力
を検波して用いても同様である。また制御回路１
１、増幅器３の各入力の極性を同時に入れ替えて
も動作は同一である等、種々の変形が自在であ
る。

以上の説明により明らかなとおり本発明によれ
ば、装置全体としての負帰還ループ形成により、
外乱に基づく測定誤差の発生が阻止されると共
に、検出回路８において一定電圧に制御される信
号を制御回路１１に負帰還することにより利得余
裕及び位相余裕が充分あり安定に動作する変換装
置を得ることができる。従つて遅れ要素又は進み
要素等を附加することなく回路の安定化をはかる
ことができる。よつて特に遅れ要素を用いなくて
済むため、装置全体の応答特性を低下させること
もなく安定で然も応答が速い物理量変換装置を得
ることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来一般に用いられている物理量変換
装置を説明するための接続図、第２図は従来の装
置の欠点を解消すべく提案した物理量変換装置を
説明するための接続図、第３図は第２図で説明し
た回路の周波数特性及び位相特性を示すグラフ、
第４図はこの発明の一実施例を示す接続図、第５
図はこの発明による装置の周波数特性及び位相特
性を示すグラフ、第６図乃至第１０図及び第１２
図はこの発明の他の実施例を示す接続図、第１１
図Ａ，Ｂは第１０図及び第１２図の実施例に利用
する光量制御機構の一例を示す断面図である。 ３：増幅器、４：電圧−電流変換回路、８：検
出回路、８ａ，８ｂ：検出素子、１１：制御回
路、１２：電源、１３：第１帰還手段、１５：第
２帰還手段、e₁：第１電気信号、e₂：第２電気信
号。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ 測定すべき物理量に応じた第１、第２電気信
   号を得る検出回路と、その検出回路からの第１電
   気信号と基準値との差を増幅する増幅回路と、上
   記第２電気信号が供給される制御回路と、その制
   御回路により出力が制御されその出力が上記検出
   回路に与えられる電源と、上記増幅回路の出力の
   少くとも一部に関連する電気量を上記制御回路に
   帰還する第１帰還手段と、上記検出回路に得られ
   る第１電気信号又はこれと対応する信号を上記制
   御回路に帰還する第２帰還手段とを具備して成る
   物理量変換装置。 ２ 上記検出回路の検出素子は、物理量に応じて
   インピーダンス値が互に差動的に変化する一対の
   可変インピーダンス素子によつて構成され、この
   一対の可変インピーダンス素子に上記電源から出
   力電圧が与えられ、そのインピーダンス変化から
   上記第１、第２電気信号を得るように構成された
   特許請求の範囲第１項記載の物理量変換装置。 ３ 上記検出回路の検出素子が物理量に応じてイ
   ンピーダンス値が変化する可変インピーダンス素
   子と、固定インピーダンス素子とによつて構成さ
   れ、これら可変インピーダンス素子と固定インピ
   ーダンス素子に上記電源から出力電圧が与えら
   れ、上記可変インピーダンス素子のインピーダン
   ス変化から第１、第２電気信号を得るように構成
   された特許請求の範囲第１項記載の物理量変換装
   置。 ４ 上記検出回路の検出素子は可変容量素子又は
   可変インダクタンス素子によつて構成され、上記
   電源は交流発振器によつて構成され、その発振振
   幅が上記制御回路によつて制御されるように構成
   された特許請求の範囲第１項記載の物理量変換装
   置。 ５ 上記検出回路の検出素子は可変抵抗素子によ
   つて構成され上記電源は直流電源とされ、その直
   流電源の出力電圧が上記制御回路によつて制御さ
   れるように構成された特許請求の範囲第１項記載
   の物理量変換装置。 ６ 上記検出回路の検出素子が一対の受光素子に
   よつて構成され、上記電源の出力によつて発光素
   子が励起され、この発光素子と上記受光素子との
   間に物理量に応じて上記受光素子に入射する光量
   を差動的に変化させる光量制御機構が設けられ、
   上記受光素子を流れる電流変化から上記第１、第
   ２電気信号を得るようにした特許請求の範囲第１
   項記載の物理量変換装置。 ７ 上記検出回路の検出素子が一対の光電池によ
   つて構成され、上記電源の出力によつて発光素子
   が励起され、この発光素子と上記光電池との間に
   物理量に応じて上記光電池に入射する光量を差動
   的に変化させる光量制御機構が設けられ、上記光
   電池から発生する電流変化から上記第１、第２電
   気信号を得るようにした特許請求の範囲第１項記
   載の物理量変換装置。 ８ 上記検出回路から得られる第１信号は一対の
   検出素子を流れる電流和として取出し、第２信号
   は一対の検出素子を流れる電流差として取出すよ
   うに構成され、上記第１信号はループの帰還によ
   り常時一定値となるように制御され、上記第２信
   号はその電流差が常時一定値となるように制御さ
   れるように構成された特許請求の範囲第１項記載
   の物理量変換装置。 ９ 上記第２帰還手段は帰還量調整手段を有し、
   その帰還量調整手段は上記増幅器の出力のゼロ調
   手段と兼用するようにした上記特許請求の範囲第
   １項記載の物理量変換装置。 １０ 上記増幅器の出力は電圧−電流変換回路に
   供給され、その電圧−電流変換回路の出力電流は
   ２線式伝送路を介し受信部に伝送されるようにし
   た上記特許請求の範囲第１項記載の物理量変換装
   置。