JPH01226155A - 洗浄機の基板取込装置 - Google Patents
洗浄機の基板取込装置Info
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- JPH01226155A JPH01226155A JP5151688A JP5151688A JPH01226155A JP H01226155 A JPH01226155 A JP H01226155A JP 5151688 A JP5151688 A JP 5151688A JP 5151688 A JP5151688 A JP 5151688A JP H01226155 A JPH01226155 A JP H01226155A
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- Japan
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- substrate
- cleaning
- carrier
- elevator
- guide
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Landscapes
- Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)
- Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は配線回路基板の洗浄機の基板取込装置に関する
。
。
従来の装置は、配線回路基板(以下「基板」という)を
水平状態に保ち搬送コンベア上に載置して洗浄剤による
洗浄が行われていた。
水平状態に保ち搬送コンベア上に載置して洗浄剤による
洗浄が行われていた。
なお、この種の装置として関連するものには例えば特開
昭62−25495号が挙げられる。
昭62−25495号が挙げられる。
上記従来技術においては、洗浄剤が水平状態の基板上に
残留したまま搬出され、作業域を汚染したり、洗浄残滓
が基板上に残留して基板の品質を落したり、また上記の
洗浄液残留を起さぬための乾燥手段が必要となる問題が
あった。
残留したまま搬出され、作業域を汚染したり、洗浄残滓
が基板上に残留して基板の品質を落したり、また上記の
洗浄液残留を起さぬための乾燥手段が必要となる問題が
あった。
本発明の目的は、洗浄時、洗浄液の排除を活発にして基
板上の洗浄液や洗浄残滓の残留をなくするため、基板を
立てた状態で洗浄可能な洗浄機の基板取込装置を提供す
るにある。
板上の洗浄液や洗浄残滓の残留をなくするため、基板を
立てた状態で洗浄可能な洗浄機の基板取込装置を提供す
るにある。
上記目的は、水平状態で搬入された基板を垂直状態にす
る姿勢変換装置と、垂直状態の基板を姿勢変換装置から
受は取り下降して下部の洗浄部で基板を搬送するキャリ
ヤに受は渡す搬入エレベータと、基板を洗浄室に搬送す
るキャリヤと洗浄された基板をキャリヤから受は取って
上昇搬送する搬出用エレベータと、垂直状態の基板を搬
出用エレベータから受は取って水平状態に戻す搬出用姿
勢変換装置とから構成することにより、達成される。
る姿勢変換装置と、垂直状態の基板を姿勢変換装置から
受は取り下降して下部の洗浄部で基板を搬送するキャリ
ヤに受は渡す搬入エレベータと、基板を洗浄室に搬送す
るキャリヤと洗浄された基板をキャリヤから受は取って
上昇搬送する搬出用エレベータと、垂直状態の基板を搬
出用エレベータから受は取って水平状態に戻す搬出用姿
勢変換装置とから構成することにより、達成される。
姿勢変換装置を第4図で説明する。水平状態で搬入され
た基板は両側縁を溝状のガイドに案内されて所定位置に
挿入され、挿入されたことを検出するセンサによって水
平状態のガイドは姿勢変換モータにより矢印方向に回動
して基板を垂直状態に立てる。ガイドの終端には伸縮可
能なストッパを設けて基板を垂直状態に立てたときの基
板の落下を防止する。
た基板は両側縁を溝状のガイドに案内されて所定位置に
挿入され、挿入されたことを検出するセンサによって水
平状態のガイドは姿勢変換モータにより矢印方向に回動
して基板を垂直状態に立てる。ガイドの終端には伸縮可
能なストッパを設けて基板を垂直状態に立てたときの基
板の落下を防止する。
搬入エレベータを第23図で説明する。チェノに代表さ
れる可撓性を有するエンドレスの搬体を上部の駆動軸と
下部の従動輪に所定の張力を有してかけまわし、搬体に
は所定数の受けを前記ストッパと駆動軸と従動輪と干渉
しない位置に固着し、受け(10−5)がC位置にて停
止しているときに前記の姿勢変換装置を回動して基板を
垂直に立て前記のストッパを縮めて基板の受は渡しを行
う。
れる可撓性を有するエンドレスの搬体を上部の駆動軸と
下部の従動輪に所定の張力を有してかけまわし、搬体に
は所定数の受けを前記ストッパと駆動軸と従動輪と干渉
しない位置に固着し、受け(10−5)がC位置にて停
止しているときに前記の姿勢変換装置を回動して基板を
垂直に立て前記のストッパを縮めて基板の受は渡しを行
う。
受は渡し終了後姿勢変換装置は垂直位置を保持した状態
で搬入エレベータを下降し、基板は前記ガイドから抜け
ると次は下部ガイドに案内されて下部のキャリヤ部まで
下降して搬入エレベータは停+hする。
で搬入エレベータを下降し、基板は前記ガイドから抜け
ると次は下部ガイドに案内されて下部のキャリヤ部まで
下降して搬入エレベータは停+hする。
搬入エレベータからキャリヤの基板受けへの受は渡しに
ついて説明する。搬入エレベータが下降動作を開始する
とキャリヤは所定位置にて停+hLでキャリヤの基板受
けは搬入エレベータの受けと干渉しない位置に停止し待
機する。搬入エレベータの下降動作は、キャリヤの停止
を検出してから開始してもよい。前記の受けが前記の基
板受けの位置を通過した時に搬入エレベータの下降動作
停止し、基板の受は渡しが終了する。キャリヤの前記基
板受けには、基板を垂直に保持する基板ガイドを有し、
前記下部ガイドの下端の位置は前記基板ガイドと干渉し
ない高さとなっている。
ついて説明する。搬入エレベータが下降動作を開始する
とキャリヤは所定位置にて停+hLでキャリヤの基板受
けは搬入エレベータの受けと干渉しない位置に停止し待
機する。搬入エレベータの下降動作は、キャリヤの停止
を検出してから開始してもよい。前記の受けが前記の基
板受けの位置を通過した時に搬入エレベータの下降動作
停止し、基板の受は渡しが終了する。キャリヤの前記基
板受けには、基板を垂直に保持する基板ガイドを有し、
前記下部ガイドの下端の位置は前記基板ガイドと干渉し
ない高さとなっている。
基板受けに受は渡された基板は、キャリヤにより洗浄室
に搬送され洗浄剤による洗浄を終ると所定位置で搬出エ
レベータに受は渡す。受は渡しは前記の搬入エレベータ
からキャリヤへの受は渡しと逆の順序で行う。さらに搬
出エレベータに受は渡された基板は搬出用姿勢変換装置
に前記姿勢変換装置から搬入エレベータへの受は渡しと
逆の順序で受は渡しを行い、基板を水平状態に戻して搬
出を行う。
に搬送され洗浄剤による洗浄を終ると所定位置で搬出エ
レベータに受は渡す。受は渡しは前記の搬入エレベータ
からキャリヤへの受は渡しと逆の順序で行う。さらに搬
出エレベータに受は渡された基板は搬出用姿勢変換装置
に前記姿勢変換装置から搬入エレベータへの受は渡しと
逆の順序で受は渡しを行い、基板を水平状態に戻して搬
出を行う。
以下、本発明の一実施例を第1図から第5図により説明
する。
する。
本発明を適用する洗浄装置の基本構造を第1図。
第2図に示す。本洗浄装置の構成要素は次の様になって
いる。即ち洗浄装置上部に設けた一対の基板搬入口より
基板を水に取込み、搬入装置により姿勢変換装置に送ら
れ、ここで、基板を水平から垂直に変換し、次に下部ガ
イドに案内されながら、下降用エレベータでキャリヤの
位置迄降下して、キャリヤの基板受は部に挿入される。
いる。即ち洗浄装置上部に設けた一対の基板搬入口より
基板を水に取込み、搬入装置により姿勢変換装置に送ら
れ、ここで、基板を水平から垂直に変換し、次に下部ガ
イドに案内されながら、下降用エレベータでキャリヤの
位置迄降下して、キャリヤの基板受は部に挿入される。
基板の挿入が確認されると、キャリヤは、チェンコンベ
アで洗浄装置下部の洗浄室に送われ、精密洗浄を行う。
アで洗浄装置下部の洗浄室に送われ、精密洗浄を行う。
洗浄を完了すると、キャリヤはチェンコンベアで搬出位
置に停止し、上昇用エレベータで、下部ガイドで案内さ
れながら姿勢変換装置に挿入され、次いで、基板を水平
に変換した変換装置で、搬出口に送り出す。本発明では
、これらの構成要素の内、主として姿勢変換装置からキ
ャリヤ迄の構成要素について取扱っている。
置に停止し、上昇用エレベータで、下部ガイドで案内さ
れながら姿勢変換装置に挿入され、次いで、基板を水平
に変換した変換装置で、搬出口に送り出す。本発明では
、これらの構成要素の内、主として姿勢変換装置からキ
ャリヤ迄の構成要素について取扱っている。
洗浄装置本体1には、上部に搬入搬出口を、その内側に
搬入装置2.搬出装置3を設ける。搬入搬出装置の接し
て姿勢変換装置9.下部ガイド12を設ける。下部ガイ
ドの下端は、適当な間隙aをはさんでキャリヤ5があり
、上部で姿勢変換されて垂直になった基板6は、姿勢変
換装置9゜下部ガイド12、キャリヤ5の基板ガイド5
−5に対向して設置したエレベータ10によって、キャ
リア5に挿入される。キャリヤに基板の挿入が確認され
ると、キャリヤはチェンコンベア4によって洗浄室に送
られ、複数個の洗浄ノズル8によリ洗浄が行われる。1
3は各種センサー類で、これら一連の動作を確実に行う
ための確認信号発信装置で、設置場所に応じて、機械式
、近接式、光フアイバー式、光学式等を使用すれば良い
。1−1は、洗浄装置本体のフレームで、キャリヤ5の
走行路のガイド1−2.レール1−3や、下部ガイド1
2その他構成要素の支床となっている。H面は、洗浄作
業によって発生する洗浄液の気化ガスの上限面で、一般
に使用されている洗浄液の気化ガスの比重は空気より重
いから、H面より高くなることはない。搬入搬出口は、
H面より更にh高さ上方に設けであるから、ガスの洗浄
装置外れの洩れ出しの恐れはない。
搬入装置2.搬出装置3を設ける。搬入搬出装置の接し
て姿勢変換装置9.下部ガイド12を設ける。下部ガイ
ドの下端は、適当な間隙aをはさんでキャリヤ5があり
、上部で姿勢変換されて垂直になった基板6は、姿勢変
換装置9゜下部ガイド12、キャリヤ5の基板ガイド5
−5に対向して設置したエレベータ10によって、キャ
リア5に挿入される。キャリヤに基板の挿入が確認され
ると、キャリヤはチェンコンベア4によって洗浄室に送
られ、複数個の洗浄ノズル8によリ洗浄が行われる。1
3は各種センサー類で、これら一連の動作を確実に行う
ための確認信号発信装置で、設置場所に応じて、機械式
、近接式、光フアイバー式、光学式等を使用すれば良い
。1−1は、洗浄装置本体のフレームで、キャリヤ5の
走行路のガイド1−2.レール1−3や、下部ガイド1
2その他構成要素の支床となっている。H面は、洗浄作
業によって発生する洗浄液の気化ガスの上限面で、一般
に使用されている洗浄液の気化ガスの比重は空気より重
いから、H面より高くなることはない。搬入搬出口は、
H面より更にh高さ上方に設けであるから、ガスの洗浄
装置外れの洩れ出しの恐れはない。
次に、発明要素の詳細について第3図から第5図によっ
て説明する。
て説明する。
第3図は姿勢変換装置9.エレベータ10.下部ガイド
12.キャリヤ5の配置を示す。また第4図は姿勢変換
装置を第5図はキャリヤの構造を示す、搬入装置2より
送り込まれた基板6は、姿勢変換装置9に挿入される。
12.キャリヤ5の配置を示す。また第4図は姿勢変換
装置を第5図はキャリヤの構造を示す、搬入装置2より
送り込まれた基板6は、姿勢変換装置9に挿入される。
姿勢変換装置9は、側板9−1とその一端に固定された
軸9−2.揺動モータ9−3.これを支える軸受9−4
からなり、揺動モータの駆動により側板9−1は軸受9
−4を支点として矢の方向にほぼ90°回動することが
できる。この時の側板位置を9−1′で示す。側板の上
方は口字形を形成して基板の溝状ガイド9−5となし、
溝状ガイドの終端部附近には、ストッパシリンダ9−6
を取付け、ストッパシリンダの操作により、ストッパシ
リンダのピストンロッド先端に取付けたストッパ9−7
が自由に出入できるよう構成する。即ちストッパ突出時
は、基板はストッパ位置で停止し、ストッパが縮んだ時
は基板は、溝状ガイドを通って次の位置に自由に通過で
きる。側板9−1′の下方には下部ガイドを設け、最下
部のキャリヤ5の基板ガイド迄の連続ガイドを構成する
。姿勢変換装置9.下部ガイド12.キャリヤ5の基板
ガイドに適当な間隔を以て対面し且つ基板を最下部のキ
ャリア連送る為のエレベータ10は、2条の搬体10−
1.上方の駆動軸10−2. yjA動モータ10−3
最下部の従動輪、搬体10−1には距離Xの等間隔に受
け10−5を設け、基板の下縁部を支えて基板を昇降せ
しめるものとする。受け10−5の間隔はB巾とし、姿
勢変換装置のストッパ間隔A Illに対して干渉しな
い配置としである。またストッパ9−7.基板受け5−
6と、受け10−5には若干の高低差を付けて受け10
−5が停止するよう、停止信号発生用センサー13の位
置を調整する。
軸9−2.揺動モータ9−3.これを支える軸受9−4
からなり、揺動モータの駆動により側板9−1は軸受9
−4を支点として矢の方向にほぼ90°回動することが
できる。この時の側板位置を9−1′で示す。側板の上
方は口字形を形成して基板の溝状ガイド9−5となし、
溝状ガイドの終端部附近には、ストッパシリンダ9−6
を取付け、ストッパシリンダの操作により、ストッパシ
リンダのピストンロッド先端に取付けたストッパ9−7
が自由に出入できるよう構成する。即ちストッパ突出時
は、基板はストッパ位置で停止し、ストッパが縮んだ時
は基板は、溝状ガイドを通って次の位置に自由に通過で
きる。側板9−1′の下方には下部ガイドを設け、最下
部のキャリヤ5の基板ガイド迄の連続ガイドを構成する
。姿勢変換装置9.下部ガイド12.キャリヤ5の基板
ガイドに適当な間隔を以て対面し且つ基板を最下部のキ
ャリア連送る為のエレベータ10は、2条の搬体10−
1.上方の駆動軸10−2. yjA動モータ10−3
最下部の従動輪、搬体10−1には距離Xの等間隔に受
け10−5を設け、基板の下縁部を支えて基板を昇降せ
しめるものとする。受け10−5の間隔はB巾とし、姿
勢変換装置のストッパ間隔A Illに対して干渉しな
い配置としである。またストッパ9−7.基板受け5−
6と、受け10−5には若干の高低差を付けて受け10
−5が停止するよう、停止信号発生用センサー13の位
置を調整する。
12は下部ガイドで姿勢変換装置の下端附近から、キャ
リヤ5の基板ガイド5−5に対しa間隔を持つ附近迄基
板6を案内する溝状ガイドでフレーム1−1に固定しで
ある。第5図は、キャリア5の詳細で、フレーム5−1
の下方には、レール1−3上を駆動する為の2個のロー
ラを設け、上方には、ローラガイド1−2内を転動する
ガイドローラ5−3を設ける。5−4はキャリヤをチェ
ンコンベアで駆動する為の駆動爪である。5−5は基板
ガイドで溝状をなし、溝状の一部を閉じて基板が下方へ
の落下を防止する為の基板受けを構成する。
リヤ5の基板ガイド5−5に対しa間隔を持つ附近迄基
板6を案内する溝状ガイドでフレーム1−1に固定しで
ある。第5図は、キャリア5の詳細で、フレーム5−1
の下方には、レール1−3上を駆動する為の2個のロー
ラを設け、上方には、ローラガイド1−2内を転動する
ガイドローラ5−3を設ける。5−4はキャリヤをチェ
ンコンベアで駆動する為の駆動爪である。5−5は基板
ガイドで溝状をなし、溝状の一部を閉じて基板が下方へ
の落下を防止する為の基板受けを構成する。
本発明によれば、基板を垂直状態で洗浄することにより
、洗浄剤の流出が容易で洗浄残滓も洗浄剤とともに洗い
流すので、洗浄効率が良い、また洗浄後の洗浄剤または
洗浄残渣の残留がなく、また洗浄機の洗浄部は下部に配
置できることから搬入と搬出は上部から行え、洗浄機内
部の駆動装置を洗浄部から離し上部に設置することがで
き各駆動装置の洗浄剤による損傷の防止と保守点検の容
易さをはかる効果がある。とくに洗浄剤の比重は空気よ
り大きいことから、洗浄部を下部に配置して基板の搬入
と搬出を洗浄剤の蒸気層または飛沫が届かない上部に配
置したことは、作業環境の汚染防止と安全性向上のうえ
から効果が大きい。
、洗浄剤の流出が容易で洗浄残滓も洗浄剤とともに洗い
流すので、洗浄効率が良い、また洗浄後の洗浄剤または
洗浄残渣の残留がなく、また洗浄機の洗浄部は下部に配
置できることから搬入と搬出は上部から行え、洗浄機内
部の駆動装置を洗浄部から離し上部に設置することがで
き各駆動装置の洗浄剤による損傷の防止と保守点検の容
易さをはかる効果がある。とくに洗浄剤の比重は空気よ
り大きいことから、洗浄部を下部に配置して基板の搬入
と搬出を洗浄剤の蒸気層または飛沫が届かない上部に配
置したことは、作業環境の汚染防止と安全性向上のうえ
から効果が大きい。
第1図から第5図は本発明に係る説明図で、第1図は洗
浄装置の平面図、第2図は第1図のイーイ断面図、第3
図は搬入、搬出用エレベータの詳細図、第4図は姿勢変
換装置の詳細図、第5図はキャリヤの詳細図を示す。 1・・・洗浄装置本体、1−1・・・フレー11.1−
2・・・ローラガイド、1−3・・・レール、2・・・
搬入装置、3・・・搬出装置、4・・・チェンコンベア
、4−1・・・チェノ、4−2・・・軸、4−3・・・
軸受部、5・・・キャリヤ、5−1・・・フレーム、5
−2・・・ローラ、5−3・・・ガイドローラ、5−4
・・・l1jll]爪、5−5・・・基板ガイド、5−
6・・・基板受ケ、6・・・基板、7・・・洗浄室、8
・・・洗浄ノズル、9・・・姿勢変換装置、9−1・・
・側板、9−1′・・・基板を垂直に立てた場合の側板
位置、9−2・・・軸、9−3・・・揺動モータ、9−
4・・・軸受、9−5・・・溝状ガイド、9−6・・・
ストッパシリンダ、9−7・・・ス1−ツバ、10・・
・搬入、搬出用エレベータ、10−1・・・搬体、10
−2・・・駆動輪、10−3・・・モータ、10−4・
・・従動輪、10−5・・・受け、12・・・下部ガイ
ド、13・・・位置決めセンサ。 第 3 図 第 4 口 e/−6 鴇 5 虐
浄装置の平面図、第2図は第1図のイーイ断面図、第3
図は搬入、搬出用エレベータの詳細図、第4図は姿勢変
換装置の詳細図、第5図はキャリヤの詳細図を示す。 1・・・洗浄装置本体、1−1・・・フレー11.1−
2・・・ローラガイド、1−3・・・レール、2・・・
搬入装置、3・・・搬出装置、4・・・チェンコンベア
、4−1・・・チェノ、4−2・・・軸、4−3・・・
軸受部、5・・・キャリヤ、5−1・・・フレーム、5
−2・・・ローラ、5−3・・・ガイドローラ、5−4
・・・l1jll]爪、5−5・・・基板ガイド、5−
6・・・基板受ケ、6・・・基板、7・・・洗浄室、8
・・・洗浄ノズル、9・・・姿勢変換装置、9−1・・
・側板、9−1′・・・基板を垂直に立てた場合の側板
位置、9−2・・・軸、9−3・・・揺動モータ、9−
4・・・軸受、9−5・・・溝状ガイド、9−6・・・
ストッパシリンダ、9−7・・・ス1−ツバ、10・・
・搬入、搬出用エレベータ、10−1・・・搬体、10
−2・・・駆動輪、10−3・・・モータ、10−4・
・・従動輪、10−5・・・受け、12・・・下部ガイ
ド、13・・・位置決めセンサ。 第 3 図 第 4 口 e/−6 鴇 5 虐
Claims (1)
- 1、基板を上部搬入口から搬入し、下部洗浄部で洗浄を
行つたのち上部の搬出口から搬出する自動洗浄機におい
て、水平状態で搬入された基板の両側縁部を案内するガ
イドを有し、基板の搬入を検出して基板を水平状態から
垂直状態に立てる姿勢変換装置と、姿勢変換装置上で垂
直状態にある基板を受けとつて下方へ移動するエレベー
タと、下部洗浄部に配置され前記エレベータから基板を
受けとつて垂直のまま収納し、洗浄室に搬送するキャリ
ヤから構成したことを特徴とする洗浄装置の基板取込装
置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP5151688A JPH01226155A (ja) | 1988-03-07 | 1988-03-07 | 洗浄機の基板取込装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP5151688A JPH01226155A (ja) | 1988-03-07 | 1988-03-07 | 洗浄機の基板取込装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH01226155A true JPH01226155A (ja) | 1989-09-08 |
Family
ID=12889172
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP5151688A Pending JPH01226155A (ja) | 1988-03-07 | 1988-03-07 | 洗浄機の基板取込装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH01226155A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6946498B2 (en) | 2001-06-13 | 2005-09-20 | Nippon Arc Co., Ltd. | Coating composition and article coated with the composition |
-
1988
- 1988-03-07 JP JP5151688A patent/JPH01226155A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6946498B2 (en) | 2001-06-13 | 2005-09-20 | Nippon Arc Co., Ltd. | Coating composition and article coated with the composition |
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