JPH01215482A - レーザーマーキングシステム - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野〕 本発明は半導体装置（以後ＩＣと呼ぶ）のレーザーマー
キングシステムに関し、特に電気的特性試験で不良と判
定されたＩＣにレーザーによってマーキングするシステ
ムに関する。

〔従来の技術〕

従来、この種のマーキングシステムは半導体基板（以後
ウェハーと呼ぶ）上のＩＣが不良と判定された時点で、
レーザーに信号を送り、−発のレーザーによりマーキン
グしていた。

〔発明が解決しようとする課題〕

上述した従来のマーキングシステムは、　ＩＣに一発の
レーザーしか打たないため、目視で見た場合、判別しに
くいという欠点がある。

また、目視で見えるためにはある程度の大きさのレーザ
ー跡が必要になってくる。レーザー跡を見易くするには
、レーザー跡を大きくする必要があるが、−発のレーザ
ーしか打たない場合はこのレーザー跡を大きくするため
に、レーザー出力を上げるしか方法はない。

ところが、レーザー出力を上げるとレーザーによって飛
び散る半導体装置の溶ける部分の範囲が拡大するために
、結果的に半導体装置の測定工程の欠点である発塵が増
大することになる。

本発明の目的は前記課題を解決したレーザーマーキング
システムを提供することにある。

〔発明の従来技術に対する相違点〕

上述した従来のレーザーマーキングシステムに対し、本
発明はステージの駆動と同期して、一定時間レーザーを
発射することによりレーザー跡を直線状に刻設するとい
う相違点を有する。

〔課題を解決するための手段〕

上記目的を達成するため１本発明のマーキングシステム
においては、不良品として判定された半導体装置にレー
ザーでマーキングを施すレーザーマーカーと、レーザー
マーカーを制御するレーザー制御装置と、半導体装置を
移動させるステージとを有し、ステージの駆動に同期し
て、一定時間レーザーを発射することにより、直線状の
レーザー跡を刻設するものである。

〔実施例〕

以下、本発明の実施例を図により説明する。

（実施例１） 第１図は本発明の実施例１を示す構成図である。

第１図において、１は半導体装置の良品又は不良品を判
別するテスター、２はレーザービーム３にて半導体基板
４上にマーキングを施すレーザーマーカー、７はレーザ
ー制御装置、５はステージ、６はステージ駆動部である
。

実施例において、テスター１から不良と判定されたら、
その不良と判定した信号をレーザー制御装置７とステー
ジ駆動部６へ送る。ステージ５が移動するのに同期して
ステージ駆動部６からレーザー制御装置７に信号を送り
、直線送りを与えられるステージ５上の基板４上にレー
ザービーム３を発射し、基板４上にステージ５の移動に
同期した直線状のレーザー跡を刻設する。このときのレ
ーザーを発射する時間は、レーザー制御装置７で制御す
る。

（実施例２） 第２図は本発明の実施例２のシステム図である。

本実施例では、レーザー制御装置７に半導体装置定数記
憶部８を接続し、ステージ移動方向におけるＩＣの長さ
及びレーザー出力の情報を半導体装置定数記憶部８に蓄
えておき、半導体装置毎にその情報を基にレーザー制御
装置７でレーザー出力及びレーザー発射時間を自動的に
制御する。

この実施例では大きさの異なる半導体装置毎に、レーザ
ー出力及びレーザー発射時間を設定する必要がないとい
う利点がある。

〔発明の効果〕

以上説明したように本発明はステージの移動とレーザー
の発射とを同期させ、そのレーザーの発射時間を制御す
ることによってレーザー跡を直線状にし、目視確認及び
認識装置での良、不良の判定をやり易くする効果がある
。また、このときのレーザーの出力も特に上げる必要は
なく、発塵量も最小限に抑えることができる効果を有す
る。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の実施例１のシステム図、第２図は本発
明の実施例２のシステム図である。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １、不良品として判定された半導体装置にレーザーでマ
   ーキングを施すレーザーマーカーと、レーザーマーカー
   を制御するレーザー制御装置と、半導体装置を移動させ
   るステージとを有し、ステージの駆動に同期して、一定
   時間レーザーを発射することにより、直線状のレーザー
   跡を刻設することを特徴とするレーザーマーキングシス
   テム。