JPH01206208A - Checking apparatus of optical information storage medium - Google Patents

Checking apparatus of optical information storage medium

Info

Publication number
JPH01206208A
JPH01206208A JP3078688A JP3078688A JPH01206208A JP H01206208 A JPH01206208 A JP H01206208A JP 3078688 A JP3078688 A JP 3078688A JP 3078688 A JP3078688 A JP 3078688A JP H01206208 A JPH01206208 A JP H01206208A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
optical
displacement
amount
optical disk
information storage
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP3078688A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Kouichi Tabe
多部 光一
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toshiba Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Toshiba Corp filed Critical Toshiba Corp
Priority to JP3078688A priority Critical patent/JPH01206208A/en
Publication of JPH01206208A publication Critical patent/JPH01206208A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
  • Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
  • Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)
  • Manufacturing Optical Record Carriers (AREA)

Abstract

PURPOSE:To measure continuously an amount of displacement, such as an amount of warp and an amount of plane vibration, of an optical information storage medium, by a method wherein an optical head element is moved continuously in the direction of the radius of the optical information storage medium to detect a physical characteristic continuously. CONSTITUTION:An optical disk 1, a body to be checked, is rotated at a prescribed speed by a spindle motor 3. An optical head 9 is disposed on the back side of the optical disk 1 so that it faces the disk, and it is displaced after the displacement of the optical disk 1. By moving the optical head 9 at a prescribed speed in the direction of the radius of the optical disk 1 while the optical disk 1 rotates, the amount of displacement, such as plane vibration, of the optical disk 1 is checked continuously on the whole of the optical disk 1. A displacement amount detector 53 detects the amount of displacement in the direction of the radius of the optical disk 1 and the amount of displacement in the direction of the rotating axis of the optical disk 1 on the basis of displacement amount signals from a plurality of photosensors, and delivers to an arithmetic processing device 57 informations on these detected amounts of displacement.

Description

【発明の詳細な説明】 [発明の目的] (産業上の利用分野) 本発明は光ディスク等の光学的情報記憶媒体を検査する
光学的情報記憶媒体検査装置に関し、特に光ディスクの
而振れ等の変位量を当該光ディスクの全面を連続的に検
査するようにした光学的情報記憶媒体検査装置に関する
ものである。
[Detailed Description of the Invention] [Object of the Invention] (Industrial Application Field) The present invention relates to an optical information storage medium inspection device for inspecting optical information storage media such as optical disks, and in particular to an optical information storage medium inspection device that inspects optical disks for displacement such as wobbling. The present invention relates to an optical information storage medium inspection device that continuously inspects the entire surface of an optical disk.

(従来の技術) 近年においては、光ディスク等の光学的情報記憶媒体が
画像情報記憶検索装置や音楽、あるいは映像再生装置等
で広く用いられている。この光ディスクは光学的情報記
憶媒体検査装置等を用いて製造工程の最終段階等におい
て各種の品質検査、例えば而振れや反り等の物理的特性
に係る検査を受ける。
(Prior Art) In recent years, optical information storage media such as optical disks have been widely used in image information storage and retrieval devices, music or video playback devices, and the like. This optical disk is subjected to various quality inspections at the final stage of the manufacturing process using an optical information storage medium inspection device, for example, inspections regarding physical characteristics such as wobbling and warping.

従来のこのような光学的情報記憶媒体検査装置において
は、光学的情報記憶媒体である光ディスクを定速度回転
させるスピンドルモータを備え、さらにトラッキング制
御、フォーカシング制御を行なってこの光ディスクの回
転に伴なう面撮れ等の変位に追従して変位すると共に、
送りモータ等の移動手段により光ディスクの半径方向に
移動可能状態に設けられる光学ヘッド部を備えている。
Such a conventional optical information storage medium inspection device is equipped with a spindle motor that rotates an optical disk, which is an optical information storage medium, at a constant speed, and also performs tracking control and focusing control to control the rotation of the optical disk. In addition to being displaced to follow the displacement such as surface shooting,
The optical head section is provided so as to be movable in the radial direction of the optical disk by a moving means such as a feed motor.

光ディスクの而振れや反り等の変位量を測定づ−る場合
には、移動手段を駆動して光学ヘッド部を光ディスクの
半径方向の特定の測定地点に位置させると共に、この特
定の測定地点に光学ヘッド部を位置させた状態で光ディ
スクを回転させ、この光ディスクの回転に伴なう変位量
を測定するようにしている。この特定の測定地点におけ
る変位量の測定が終了すると、移動手段を駆動して次の
測定地点へ光学ヘッド部を移動させると共に、この次の
測定地点へ光学ヘッド部を位置させた状態で光ディスク
の回転に伴なう変位量を測定する。
When measuring the amount of displacement such as wobbling or warping of an optical disk, the moving means is driven to position the optical head section at a specific measurement point in the radial direction of the optical disk, and the optical head is positioned at a specific measurement point in the radial direction of the optical disk. The optical disc is rotated with the head section positioned, and the amount of displacement accompanying the rotation of the optical disc is measured. When the measurement of the amount of displacement at this specific measurement point is completed, the moving means is driven to move the optical head to the next measurement point, and the optical disk is moved with the optical head positioned at the next measurement point. Measure the amount of displacement associated with rotation.

以下同様に順次光ディスクの半径方向に設定した特定の
測定地点へ光学ヘッド部を移動させると共に、この特定
の測定地点へ光学ヘッド部を位置させた状態で回転する
光ディスクの変位量を測定する。
Thereafter, the optical head section is sequentially moved to specific measurement points set in the radial direction of the optical disk in the same manner, and the amount of displacement of the rotating optical disk is measured while the optical head section is positioned at the specific measurement point.

(発明が解決しようとする課題) このように従来の光学的情報記憶媒体検査装置において
は、光ディスクの半径方向に対して予め複数の測定地点
、例えば最外周部等の大きな変位量が存在すると思われ
る地点を設定すると共に、これらのそれぞれの測定地点
に光学ヘッド部を位置させた状態で光ディスクの回転に
伴なう変位量を順次測定するようにしていたことから、
多数の測定地点を設定すると、光ディスクを全面に渡っ
て検査する際に時間を要する。
(Problem to be Solved by the Invention) As described above, in the conventional optical information storage medium inspection device, it is assumed that there are multiple measurement points in advance in the radial direction of the optical disk, for example, a large amount of displacement at the outermost circumference. At the same time, the amount of displacement caused by the rotation of the optical disk was sequentially measured with the optical head section positioned at each of these measurement points.
If a large number of measurement points are set, it takes time to inspect the entire surface of the optical disc.

又、逆に光ディスクの測定すべき測定地点を少なく設定
すると、測定時間を短縮することができる反面、測定洩
れを生じる場合がある。
On the other hand, if the number of measurement points on the optical disk to be measured is set to a small number, measurement time can be shortened, but on the other hand, measurement may be omitted.

本発明は上記に鑑みてなされたもので、光ディスクの而
振れ等の変位量をこの光ディスクの全面に渡って迅速に
検査することのできる光学的情報記憶媒体検査装置を提
供することを目的とする。
The present invention has been made in view of the above, and an object of the present invention is to provide an optical information storage medium inspection device that can quickly inspect the amount of displacement such as wobbling of an optical disk over the entire surface of the optical disk. .

[発明の構成] (課題を解決するための手段) 上記目的を達成するため、本発明は被検査体としての光
学的情報記憶媒体を回転駆動する回転駆動手段と、前記
光学的情報記憶媒体の物理的特性に対応して変位する光
学ヘッド部と、この光学ヘッド部を当該光学的情報記憶
媒体に係る一定の方向に連続的に移動させる移動手段と
、前記光学ヘッド部の変位を連続的に検出する検出手段
とを有して構成した。
[Structure of the Invention] (Means for Solving the Problem) In order to achieve the above object, the present invention provides a rotary drive means for rotationally driving an optical information storage medium as an object to be inspected; an optical head part that is displaced in accordance with physical characteristics; a moving means that continuously moves the optical head part in a certain direction related to the optical information storage medium; Detection means for detecting.

(作用) 本発明は回転駆動手段が光学的情報記憶媒体を回転させ
る。又、この光ディスクの回転に伴なう変位に追従して
変位する光学ヘッド部を光学的情報記憶媒体に係る一定
の方向、例えば半径方向に連続的に移動させるための移
動手段とを備えているので、移動手段を駆動して光学ヘ
ッド部を光学的情報記憶媒体の半径方向に連続的に移動
させると、検出手段が光学ヘッド部の連続的な移動に応
じた光学的情報記憶媒体の物理的特性を連続的に検出す
る。
(Function) In the present invention, the rotation drive means rotates the optical information storage medium. It also includes a moving means for continuously moving the optical head section, which is displaced in accordance with the displacement caused by the rotation of the optical disk, in a certain direction relative to the optical information storage medium, for example, in the radial direction. Therefore, when the moving means is driven to continuously move the optical head section in the radial direction of the optical information storage medium, the detection means detects the physical state of the optical information storage medium according to the continuous movement of the optical head section. Detect characteristics continuously.

即ち回転する光学的情報記憶媒体に対して光学ヘッド部
を光学的情報記憶媒体の半径方向に連続的に移動させる
ことにより、面振れ等の変位量を光学的情報記憶媒体の
全面に渡って渦巻(スパイラル)状に連続的に検査する
ものである。
In other words, by continuously moving the optical head section in the radial direction of the optical information storage medium with respect to the rotating optical information storage medium, the amount of displacement such as surface runout is swirled over the entire surface of the optical information storage medium. The test is performed continuously in a (spiral) pattern.

(実施例) 以下、図面を参照して本発明に係る実施例を詳細に説明
する。
(Example) Hereinafter, an example according to the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

まず、第2図を参照して本発明が適用される光学的情報
記憶媒体検査装置の概略的な構成について説明する。
First, a schematic configuration of an optical information storage medium inspection apparatus to which the present invention is applied will be described with reference to FIG.

被検査体としての光学的情報記憶媒体である光ディスク
1は、スピンドルモータ3の上に載置され、このスピン
ドルモータ3を一定速度、例えば600 rpmで回転
駆動することにより光ディスク1を定速度回転させる。
An optical disk 1, which is an optical information storage medium to be inspected, is placed on a spindle motor 3, and the spindle motor 3 is driven to rotate at a constant speed, for example, 600 rpm, thereby rotating the optical disk 1 at a constant speed. .

一方、送りモータ5により移動可能に設けられたベース
7の上には、光学ヘッド9と各種の光学系が配置されて
いる。レーザヘッド11は変位量測定用のレーザ光、例
えばHe−Neレーザ光の平行光を出力する。ビームス
プリッタ13はレーザヘッド11からのレーザ光を入射
すると、二方向に均等に分配して出力する。このビーム
スプリッタ13により分配された一方のレーザ光は干渉
計15.レンズ17.全反射プリズム19a、19bを
介して光学ヘッド9へ与えられる。このようにして光学
ヘッド9へ入射した入射光P1は第3図に示すように、
光学ヘッド9の所定の位置に貼設した全反射ミラー23
で反射される。
On the other hand, an optical head 9 and various optical systems are arranged on a base 7 that is movable by a feed motor 5. The laser head 11 outputs a laser beam for displacement measurement, for example, a parallel beam of He-Ne laser beam. When the beam splitter 13 receives the laser beam from the laser head 11, it equally distributes it in two directions and outputs it. One of the laser beams split by this beam splitter 13 is sent to an interferometer 15. Lens 17. The light is applied to the optical head 9 via total reflection prisms 19a and 19b. The incident light P1 that has entered the optical head 9 in this way is as shown in FIG.
A total reflection mirror 23 attached to a predetermined position of the optical head 9
reflected.

この全反射ミラー23で反射された反射光は、再び全反
射プリズム19b、19a、レンズ17を通って干渉計
15へ進行する。干渉計15では全反射ミラー23で反
射された反射光とビームスプリッタ13を介して入射す
るレーザヘッド11からのレーザ光とを干渉せしめる。
The reflected light reflected by the total reflection mirror 23 passes through the total reflection prisms 19b and 19a and the lens 17 again and travels to the interferometer 15. In the interferometer 15, the reflected light reflected by the total reflection mirror 23 and the laser light from the laser head 11 which is incident via the beam splitter 13 are caused to interfere with each other.

受光器25は干渉計15からの干渉光を受光して光学ヘ
ッド9の変位量信号、即ち光ディスク1の半径方向に偏
心した変位量に相当する信号を出力する。
The light receiver 25 receives the interference light from the interferometer 15 and outputs a displacement signal of the optical head 9, that is, a signal corresponding to the eccentric displacement of the optical disk 1 in the radial direction.

ビームスプリッタ13により分配された他方のレーザ光
は全反射ミラー33.干渉計35.レンズ37及び全反
射プリズム19Cを介して光学ヘッド9へ与えられる。
The other laser beam distributed by the beam splitter 13 passes through a total reflection mirror 33. Interferometer 35. The light is applied to the optical head 9 via the lens 37 and the total reflection prism 19C.

このようにして光学ヘッド9へ入射した入射光P2は第
3図に示すように、光学ヘッド9の所定の位置に配設さ
れた全反射ブリブム41で垂直に立ち上げられ、更に全
反射ミラー43で反射される。この全反射ミラー43で
反射された反射光は再び全反射プリズム41,19c、
及びレンズ37を通って干渉計35へ進行する。干渉計
35では全反射ミラー43で反射された反射光と全反射
ミラー33及びビームスプリッタ13を介して入射する
レーザヘッド11からのレーザ光とを干渉せしめる。受
光器45は干渉計35からの干渉光を受光して光学ヘッ
ド9の変位量信号、即ち光ディスク1の回転軸方向の而
振れの変位量に相当する信号を出力する。また、この干
渉計35及び干渉計15の分解能は、例えばそれぞれ光
の波長の1/64若しくは1/128程度に設定される
As shown in FIG. 3, the incident light P2 that has entered the optical head 9 in this manner is vertically raised by a total reflection blob 41 disposed at a predetermined position of the optical head 9, and then further reflected by a total reflection mirror 43. reflected. The reflected light reflected by this total reflection mirror 43 is returned to total reflection prisms 41, 19c,
and passes through lens 37 to interferometer 35 . The interferometer 35 causes the reflected light reflected by the total reflection mirror 43 to interfere with the laser light from the laser head 11 that is incident via the total reflection mirror 33 and the beam splitter 13. The light receiver 45 receives the interference light from the interferometer 35 and outputs a displacement signal of the optical head 9, that is, a signal corresponding to the displacement of the optical disk 1 in the direction of the rotation axis. Further, the resolution of the interferometer 35 and the interferometer 15 is set to, for example, about 1/64 or 1/128 of the wavelength of light, respectively.

次に第1図を参照して本発明に係る光学的情報記憶媒体
検査装置の要部の装置構成と共に電気的な回路構成を説
明する。
Next, with reference to FIG. 1, the device configuration and electrical circuit configuration of the main parts of the optical information storage medium inspection apparatus according to the present invention will be explained.

第1図Aに示すようにスピンドルモータ3の上に載置さ
れる光ディスク1は直径130mmの円板状に形成され
る。又この光ディスク1は第1図Bに示すように渦巻状
の溝1aが光ディスク1の表面側及び裏面側の双方の面
に形成されている。この溝1aの深さは測定しようとす
る光ディスク1の而振れ又は反り等の変位量の値よりも
十分量さい値である。またスピンドルモータ3は回転速
度300〜3600 rpmの範囲内の一定の回転速度
で回転することにより、光ディスク1を一定速度で回転
させる。又送りモータ5は1秒間当りに例えば0.01
〜1011111の範囲内の一定の速度でベース7を移
動させることにより、光学ヘッド9を光ディスク1の半
径方向に一定の速度で移動させる。この送りモータ5に
よる光学ヘッド9の移動量は、光ディスク1の情報エリ
アをカバーするために例えば最大200IIII11の
値に設定される。
As shown in FIG. 1A, the optical disk 1 placed on the spindle motor 3 is formed into a disk shape with a diameter of 130 mm. Further, this optical disc 1 has spiral grooves 1a formed on both the front and back sides of the optical disc 1, as shown in FIG. 1B. The depth of this groove 1a is a value that is sufficiently smaller than the amount of displacement such as wobbling or warping of the optical disc 1 to be measured. Further, the spindle motor 3 rotates at a constant rotation speed within the range of 300 to 3600 rpm, thereby rotating the optical disc 1 at a constant speed. Also, the feed motor 5 has a speed of, for example, 0.01 per second.
By moving the base 7 at a constant speed within the range of ~1011111, the optical head 9 is moved at a constant speed in the radial direction of the optical disk 1. The amount of movement of the optical head 9 by the feed motor 5 is set to, for example, a maximum value of 200III11 in order to cover the information area of the optical disc 1.

角度検出器51はスピンドルモータ3からの出力信号に
基づいて光ディスク1の回転角度を検出する。変位量検
出器53は第2図に示した受光器25及び45と接続さ
れており、これらの受光器25及び45からのそれぞれ
の変位量信号に基づいて光ディスク1の半径方向の変位
量及び光ディスク1の回転軸方向の変位量をそれぞれ検
出する。
The angle detector 51 detects the rotation angle of the optical disc 1 based on the output signal from the spindle motor 3. The displacement amount detector 53 is connected to the light receivers 25 and 45 shown in FIG. The amount of displacement in the direction of the rotation axis of 1 is detected.

半径位置検出器55は送りモータ5からの出力信号に基
づいて光学ヘッド9が存在する光ディスク1の半径方向
の位置を検出する。演算処理装置57は前]ホした角度
検出器51、変位ω検出器53及び半径位置検出器55
のそれぞれと接続されており、この演算処理装置57は
角度検出器51、変位量検出器53及び半径位置検出器
55からのそれぞれの検出信号に基づいて光ディスク1
の検査に関する演算処理を実行する。
The radial position detector 55 detects the radial position of the optical disk 1 where the optical head 9 is located based on the output signal from the feed motor 5. The arithmetic processing unit 57 includes an angle detector 51, a displacement ω detector 53, and a radial position detector 55.
The arithmetic processing unit 57 detects the optical disc 1 based on the detection signals from the angle detector 51, the displacement detector 53, and the radial position detector 55.
Executes arithmetic processing related to inspection.

次に第4図及び第5図を参照して実施例の動作を説明す
る。
Next, the operation of the embodiment will be explained with reference to FIGS. 4 and 5.

まず、被検査体である光ディスク1はスピンドルモータ
3の上に載置されており、スピンドルモータ3を一定の
速度で回転駆動をすることにより、光ディスク1を一定
の速度で回転させる。この回転する光ディスク1の裏面
側に光学ヘッド9を対向して配置すると共に、光学ヘッ
ド9を光ディスク1の変位に追従して変位させる。即ち
、光学ヘッド9に対してはフォー力スナーボ制御と、ト
ラッキングサーボ制御とを実行する。具体的に説明する
と、光学ヘッド9の図示しない対物レンズと光ディスク
1のW41aを形成したトラック面との距離を一定に保
つように制御するフォーカスサー水制御と、前述したト
ラックの′偏心に対して対物レンズを光ディスク1の半
径方向に移動して追従制御させるトラッキングサーボ制
御とを実行する。
First, the optical disk 1, which is an object to be inspected, is placed on a spindle motor 3, and by rotating the spindle motor 3 at a constant speed, the optical disk 1 is rotated at a constant speed. An optical head 9 is disposed facing the back side of the rotating optical disc 1, and is displaced to follow the displacement of the optical disc 1. That is, the optical head 9 is subjected to force servo control and tracking servo control. Specifically, focuser water control is performed to maintain a constant distance between the objective lens (not shown) of the optical head 9 and the track surface on which W41a of the optical disc 1 is formed, and the focuser water control is performed to prevent eccentricity of the track described above. Tracking servo control is performed in which the objective lens is moved in the radial direction of the optical disc 1 for follow-up control.

これにより光学ヘッド9は回転する光ディスク1の変位
に追従する。
Thereby, the optical head 9 follows the displacement of the rotating optical disk 1.

次に送りモータ5を一定の速度で回転させることにより
、光学ヘッド9を光ディスク1の半径方向へ一定の速度
で移動させる。このように回転する光ディスク1に対し
て光学ヘッド9を光ディスク1の半径方向へ一定の速度
で移動させることにより、光ディスク1の面娠れ等の変
位量をこの光ディスク1の全面に渡って渦巻状に且つ連
続的に検査することができる。
Next, by rotating the feed motor 5 at a constant speed, the optical head 9 is moved in the radial direction of the optical disk 1 at a constant speed. By moving the optical head 9 at a constant speed in the radial direction of the optical disc 1 with respect to the rotating optical disc 1, the amount of displacement such as surface waviness of the optical disc 1 can be controlled in a spiral shape over the entire surface of the optical disc 1. can be inspected continuously.

変位量検出器53は受光器25及び45からのそれぞれ
の変位量信号に基づいて光ディスク1の半径方向の変位
量及び光ディスク1の回転軸方向の変位量を検出し、こ
の検出した変位量に関する情報を演算処理装置57へ送
出する。又半径位置検出器55は送りモータ5からの出
力信号に基づいて光学ヘッド9が存在する光ディスク1
の半径方向の位置を検出し、この検出した光学ヘッド9
の位置即ち光ディスク1の中心点からの距離に関する情
報を演算処理装置57へ出力する。
The displacement amount detector 53 detects the amount of displacement of the optical disc 1 in the radial direction and the amount of displacement of the optical disc 1 in the direction of the rotational axis based on the displacement amount signals from the light receivers 25 and 45, and provides information regarding the detected displacement amount. is sent to the arithmetic processing unit 57. Further, the radial position detector 55 detects the position of the optical disk 1 on which the optical head 9 is located based on the output signal from the feed motor 5.
The detected optical head 9
, that is, information regarding the distance from the center point of the optical disc 1 to the arithmetic processing unit 57.

第4図は光ディスク1の中心点からの距離に対する変位
量を示した説明図であり、第4図に示すように回転する
光ディスク1に対して光学ヘッド9を一定の速度で光デ
ィスク1の半径方向へ移動させることにより、光ディス
ク1の変位量を連続的に検査することができる。
FIG. 4 is an explanatory diagram showing the amount of displacement with respect to the distance from the center point of the optical disc 1. As shown in FIG. By moving the optical disc 1 to , the amount of displacement of the optical disc 1 can be continuously inspected.

第5図は他の光ディスクを検査した場合を示し、第4図
に示すような連続した変位量を光ディスク1の回転周期
毎に処理したものである。
FIG. 5 shows a case where another optical disk was inspected, and the continuous displacement amounts as shown in FIG. 4 were processed for each rotation period of the optical disk 1.

第4図及び第5図に示すように演算処理装置57は変位
量検出器53及び半径位置検出器55からのそれぞれの
情報に基づいて而振れ闇[1及び反りIJ L 2のそ
れぞれを演算する。即ち、演算処理袋E57は光ディス
ク1が一回転する毎に、この光ディスク1の一回転に対
応して最大の変位量と最小の変位量との差を面振れfi
 L + としてこの而振れI& L + を光ディス
ク1の回転周期毎に演算する。又、演算処理装置57は
光ディスク1の全面に亘る最大の変位量と最小の変位量
との差を反り吊L2として演算する。
As shown in FIGS. 4 and 5, the arithmetic processing unit 57 calculates the deflection [1] and the warp IJ L 2 based on the respective information from the displacement amount detector 53 and the radial position detector 55. . That is, each time the optical disc 1 rotates, the calculation processing bag E57 calculates the difference between the maximum displacement amount and the minimum displacement amount corresponding to one rotation of the optical disc 1 as the surface runout fi.
As L + , this fluctuation I&L + is calculated for each rotation period of the optical disc 1. Further, the arithmetic processing unit 57 calculates the difference between the maximum amount of displacement and the minimum amount of displacement over the entire surface of the optical disc 1 as the warpage L2.

なお前述した実施例ではレーザ光を用いて光ディスク1
の変位量を光学的に検査する場合を例に取って示したが
、本発明はこれに限定されることなく適宜のセンサから
の信号に基づいて光ディスク1の変位量を検出するよう
に構成することができる。例えば、フォーカスサーボ制
御とトラッキングサーボ制御を実行するためのそれぞれ
のフォーカスコイルとトラックコイルを流れる双方の電
流値に基づいて光ディスク1の変位量を検出するように
しても同様に構成することができる。
Note that in the embodiment described above, the optical disc 1 is
Although the case where the amount of displacement of the optical disk 1 is optically inspected is shown as an example, the present invention is not limited to this, but the present invention is configured to detect the amount of displacement of the optical disk 1 based on a signal from an appropriate sensor. be able to. For example, a similar configuration can be made in which the amount of displacement of the optical disc 1 is detected based on the values of currents flowing through the respective focus coils and track coils for executing focus servo control and tracking servo control.

(発明の効果) 以上説明してきたように本発明によれば、光学的情報記
憶媒体の回転に伴なう変位に追従して変位する光学ヘッ
ド部を前述した光学的情報記憶媒体の半径方向に連続的
に移動させて、光学的情報記憶媒体の物理的特性を連続
的に検出するようにしたことから、光学的情報記憶媒体
の反り母や面振れ量等の変位量を光学的情報記憶媒体の
全面に渡って連続的に且つ短時間で測定することができ
、測定の精度及び有用性を向上させることができる。
(Effects of the Invention) As described above, according to the present invention, the optical head portion, which is displaced in accordance with the displacement accompanying the rotation of the optical information storage medium, is moved in the radial direction of the optical information storage medium. Since the physical characteristics of the optical information storage medium are continuously detected by moving the optical information storage medium continuously, the amount of displacement such as the amount of warpage and surface runout of the optical information storage medium can be measured by moving the optical information storage medium continuously. can be measured continuously and in a short period of time over the entire surface, improving the accuracy and usefulness of the measurement.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図は本発明の一実施例を示した説明図、第2図(A
>は第1図に示した実施例が適用される光学的情報記憶
媒体検査装置の平面図、第2図(8)は第2図(A)の
側面図、第3図は第2図に示した要部の拡大図、第4図
は光ディスクの全面に渡って連続的に変位量を検出する
場合を示した説明図、第5図は光ディスクの回転周期毎
に変位量を処理した場合を示した説明図である。 1・・・光ディスク 3−・・スピンドルモータ 5・・・送りモータ 7・・・ベース 9・・・光学ヘッド 53・・・変位量検出器 55・・・半径位置検出器 57・・・演算処理装置
FIG. 1 is an explanatory diagram showing one embodiment of the present invention, and FIG. 2 (A
> is a plan view of an optical information storage medium inspection apparatus to which the embodiment shown in FIG. 1 is applied, FIG. 2 (8) is a side view of FIG. 2 (A), and FIG. Fig. 4 is an explanatory diagram showing the case where the amount of displacement is continuously detected over the entire surface of the optical disc, and Fig. 5 is an enlarged view of the main part shown. FIG. 1... Optical disk 3... Spindle motor 5... Feed motor 7... Base 9... Optical head 53... Displacement amount detector 55... Radial position detector 57... Arithmetic processing Device

Claims (1)

【特許請求の範囲】 被検査体としての光学的情報記憶媒体を回転駆動する回
転駆動手段と、 前記光学的情報記憶媒体の物理的特性に対応して変位す
る光学ヘッド部と、 前記光学ヘッド部を当該光学的情報記憶媒体に係る一定
の方向に連続的に移動させる移動手段と、前記光学ヘッ
ド部の変位を連続的に検出する検出手段と を有することを特徴とする光学的情報記憶媒体検査装置
[Scope of Claims] Rotational driving means for rotationally driving an optical information storage medium as an object to be inspected; an optical head section that is displaced in accordance with the physical characteristics of the optical information storage medium; and the optical head section. An inspection of an optical information storage medium, comprising a moving means for continuously moving the optical information storage medium in a certain direction relative to the optical information storage medium, and a detection means for continuously detecting displacement of the optical head section. Device.
JP3078688A 1988-02-15 1988-02-15 Checking apparatus of optical information storage medium Pending JPH01206208A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP3078688A JPH01206208A (en) 1988-02-15 1988-02-15 Checking apparatus of optical information storage medium

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP3078688A JPH01206208A (en) 1988-02-15 1988-02-15 Checking apparatus of optical information storage medium

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH01206208A true JPH01206208A (en) 1989-08-18

Family

ID=12313354

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP3078688A Pending JPH01206208A (en) 1988-02-15 1988-02-15 Checking apparatus of optical information storage medium

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH01206208A (en)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP0012603B1 (en) Method and apparatus for tracking an optically readable information track
US5818592A (en) Non-contact optical glide tester
KR100234506B1 (en) Laser texturing apparatus
JPS6367549A (en) Defect inspecting and film thickness measuring instrument for resist original disk
US3734626A (en) Light apparatus for testing surfaces
US5978091A (en) Laser-bump sensor method and apparatus
US5661559A (en) Optical surface detection for magnetic disks
US4886362A (en) Appratus for measuring the profile of an aspherical surface
JP2635608B2 (en) Optical information storage medium inspection device
US4390277A (en) Flat sheet scatterometer
JPH09229650A (en) Detecting method and device for eccentricity, inclination and warp
JP3988859B2 (en) Optical disk inspection device
JPH01206208A (en) Checking apparatus of optical information storage medium
JPS61277006A (en) Apparatus for inspecting recording disc
US7715017B2 (en) Dynamic fringe phase detection for measurement of very small spacing
JPS6071903A (en) Device for inspecting optical disc
JPS60166808A (en) Shape measuring apparatus
JPH01206209A (en) Checking apparatus of optical information storage medium
JPH1083580A (en) Optical disk measuring instrument
JPH01267403A (en) Measuring apparatus for warped shape of disc
JPS62291550A (en) Apparatus for inspecting optical disk
JPH0766554B2 (en) Recorded information reader
SU1298535A1 (en) Device for checking surface roughness
JPH06221809A (en) Apparatus for measuring mechanical characteristics of plate-shaped medium
JPH03292647A (en) Optical disk inspection device