JPH01205067A - 分子線源の停電保護装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は分子１ＩＪＩＩＩＩｉＩの停電保護装置に係り
、特に停止は詩の分子線源の保護に好適な分子線源の停
電保護装置１こ関するものである。

〔従来の技術〕

ＭＢｇ！Ａｉｉは、′電気学会雑誌、１０４巻８号。

第６７７ＪＡから第６７９貞に記載のよう曇こ超高真空
容器内に分子線源と基板とを配置し１Ｍ４仮を加熱する
とともに分子線−一（のるつぼの周りに巻いたヒータに
よってるつぼを加熱し、るつぼ中の原料の固体蒸気を発
生させて基板上に薄膜を結晶させるものであり、例えば
、ＭＢｇ装置の運転中に停電が発生した場合、るつぼの
加熱が停止され、特に原料がＭの場合にはＭの凝固、収
縮によってるつぼが破損するという問題が生じるので、
これを解決するために無停電電源装置を設け、停電して
〔発明が解決しようとする課題〕 上記従来技術は無停電電源装置の容量の点について配慮
されておらず、停電中１分子線源は無停電電源装置より
電力を供給されることとなり、無停°屯電源装置の容量
の大きなものが必要となるという問題がある。

本発明の目的は、ＭＢＥ装置の運転中に停電が発生して
もるつぼを破損させることのない分子線泊の停電保護装
置を提供することにある。

〔課題を解決するための手段〕

上記目的は、電力供給線に無停′ＲＬ電源装置および温
調器を順次介して接続した分子線源のヒータ回路に、電
力供給線からの電力停止によってｉ調器の温度を下げる
手段を設けることにより、達成される。

〔作　　用〕

電力供給線に無停電電源装置および温調器を順次介して
接続された分子線源のヒータは、停電が発生じた場合、
無停電電源装置から電力を供給されて熱を発生しるつぼ
を加温するとともに、その加［１は温調器の温度を下げ
る手段によってるつぼ内の原料が急激に凝固しないよう
に制御されるので、ＭＢＢ装置の運転中に停電が発生し
てもるつぼを破損させることがない。

〔実　施　例〕

以下１本発明の一実施例を第１図により説明する。

電立供給線１３には、温調器３ａないし３Ｃを介して分
子線源のヒータ、すなわち、にセルヒータ２ａないし２
ｃが接続しである。また、電力供給線１３には通電状態
で「人」になって通電中止によって所定時間で「切」に
なるオフデイレイタイマ６と、スイッチ４ａとが設けで
ある。

この場合１Ｍの原料を収納した分子線源のにセルヒータ
２ａの回路には、電力供給線１３と温調器３ａとの間に
無停電＠諒装［１が配置しである。

無停′＃１電源装＠１とｉ調器３ａとの間の配線１４に
はスイッチ５ａを設けるとともに、配線１４を分岐して
スイッチ、リレー、コンタクタおよび接点を組め合せた
回路が配置しである。

この回路は、押すと「人」になる復帰式のオンスイッチ
１１と、押すと「切」になる復帰式のオフスイッチＬと
、オフデイレイタイマ６の「切」の動作で「切」になる
タイマー接点６ａと１通電状態で「人」になるリレー８
とを直列に接続するとともに、オンスイッチ１１に並列
でリレー８の「人」の動作によって「入」になる接点８
ａと、リレー８に並列で通電状態で「入」になるコンタ
クタ４とを接続してなる第１の回路と。

第１の回路のオンスイッチ１１およびオフスイッチ１２
と２１！動して動鴫オンスイッチ１１およびオフスイッ
チ校と、後述するタイマー７の「切」の動作で「切Ｊに
なるタイマー接点７ａと１通電状態で１人」になるリレ
ー９とを直列に接続するとともに、オンスイッチ１１に
並列でリレー９の「入」の動作によって「入」になる接
点９ａと、リレー９に並列で通電状態で「入」になるコ
ンタクタ５とを接続してなる第２の回路と。

リレー９の「入」の動作で「入」になる接点９ｂと、リ
レー８の「入」の動作で「切」になる接点８ｂと、通電
停止状態で「入」をニなり通電によつてタイマーが作動
し所定時間で「切」・こなるオンデイレイタイマ７とを
直列に接続するとともに、オンデイレイタイマ１に並列
で通電状態「人」になるリレー１０を接続してなる第３
の回路とから成る。

スイッチ４ａはコンタクタ４が「切」修こなることによ
って［切Ｊになり、スイッチ５ａはコンタクタ５が「切
」になることによって「切」になる。

また、温調器３ａにはリレー１０の「入」の動作によっ
て「人」命こなる接点１０　ａが設けてあり１ｍ調器３
ａは接点１０　ａの「入」によって温度設定値が低い値
にセットされる。

上記のように構成された装置によれば、通常の運転にお
いては、オンデイレイタイマ６が「入」になっておりタ
イマ接点６ａが「入」になっていて、オンスイッチ１１
を押すことにより、リレー８が入り接点８ａが入って第
１の回路が自己保持されるとともに、コンタクタ４が入
ってスイッチ４ａが入り、他のにセルヒータ２ｂ、２ｃ
に温調器３ｂ、３ｃを介して電力が供給されにセルヒー
タ２ｂ、２ｃが加熱される。またリレー８が入ることに
よって接点８ｂは切れ、第３の回路は通電されないので
、オンデイレイタイマ７は作動せずタイマー接点７膳は
「人」になっていて、オンスイッチ１１を押すことによ
ってリレー８と同時にリレー９が入り、接点９ａが入っ
て第２の回路が自己保持されるとともに、コンタクタ５
が人ってスイッチ５ａが入り、ｄ！調器３ａを介してに
セルヒータ２ａｌこ電力が供給されにセルヒータ２ｂ、
２ｃが加熱される。また、第３の回路は通電されないの
で、リレー１０は「切」のままで接点１０　ａも「切」
のままの状態で温調器３ａは低い温度設定値にならず通
常の温度設定が行われ、運転される。

また、ＭＢＥ装置による処理が終わり停止させる場合は
、オフスイッチ認を押すことによって、第ｌの回路およ
び第２の回路の通電が停止され、リレー８および９が切
れ接点８ｂが入るが接点９ｂが切れて、第３の回路は通
電しない。また、コンタクタ４および５が切れてスイッ
チ４ａおよび５ａか切れにセルヒータ２ａないし２ｃへ
の給電が停止される。このとき、Ｋセルヒータ２ａは第
１および第２の回路が自己保持された運転状態のときに
、図示しない制御手段によってｍ調器３ａが制御され分
子線源のるつぼが破損しないように徐々ににセルヒータ
２ａの温度を低下させる制御が行われ、ここまでの制御
が終γした時点で処理終了となりオフスイッチ１２の操
作となる。また、運転中には誤ってオフスイッチ認な押
してもスイッチ操作が無効になるように、図示しない制
御手段によって保護しである。

次に、運転中に停電が発生した場合の動作について説明
する。

停電が発生すると、無停電電源装置ｌがら電力が供給さ
れ、無停電電源装置ｌ以降の回路は運転を継続される。

また、停電が発生すると、オフデイレイタイマ６のタイ
マーが作動して所定時間。

例えば、数秒で切れ、これによってタイマー接点６ａが
切れ第１の回路の通電が停止し、リレー８およびコンタ
クタ４が切れる。コンタクタ４が切れることによってス
イッチ４ａが切れ、停電が回復したときに他のにセルヒ
ータ２ｂおよび２ｃが勝手に通電しないようにしである
。また、リレー８が切れることにより、接点８ｂが入る
。これにより、第３の回路が通電し、オンデイレイタイ
マ７のタイマーが作動して所定時間１例えば、約２時間
で「入」になる。また、この間、第３の回路の通電によ
ってリレー１０が入り、温調器３ａの接点１０　ｇが入
る。これにより、温調器３ａによるにセルヒータ２ａの
温度設定値が分子線源のるつぼ内のＭの業料が速く縦向
しないように設定される。

この状態で約２時間経過するとオンデイレイタイマ７が
入ってタイマー接点７ａが切れ、第２の回路の通電が停
止しリレー９およびコンタクタ５が切れる。リレー９が
切れることにより接点９ｂが切れて第３の回路の通電が
停止し、オンデイレイタイマ７が切れてタイマ接点７ａ
が入るが、リレー９が切れたときに接点９ａが同時に切
れて自己保持されないようになっているので、第２の回
路は通電しない。これにより、タイマー接点７ａが切れ
てコンタクタ５が切れさらにスイッチ５ａが切れた後に
、タイマー接点７ａが入ってもコンタクタ５は切れたま
まなので、スイッチ５ａは切れたままになり、Ｋセルヒ
ータ２ａへの電力供給は停止される。

なお、２時間程度かけて所定ｍ度まで冷却すれば、後は
にセルヒータ２ａの１１Ｌｌｌ＆１を切ってもるつぽ１
．を破損することはない。

以上、本−実施例によれば％ＭＢｈｉ装置の運転中に停
′亀が発生じても、無停電電源装置を設けることにより
にセルヒータ２ａへの電力供給が停止されることがなく
、また、停電が発生したことにより温調器３ａ”Ｉ’に
セルヒータ２ａが急激に冷えないように温度設定を下げ
て制御しているので、分子線＋１１＋１のるつぼの破損
防止を行なうことができるとともに、無停′ＲＬ電源装
置の負荷を減少させているので、容墓な小さくでき小型
化できる。

また、停電によって他のにセルヒータ２ｂ、２Ｃへの電
力供給線の配線をスイッチで切るようにし、停電［ｊｊ
］復後も勝手に入らないようにしであるので、他のにセ
ルヒータの保護も行なうことができる。

なお、本−実施領では、温調器３ａおよびスイッチ４ａ
、５ｍの操作をハード的に行なフたか。

無停電電源装置ｌからの電力を受けて制御装置、例えば
、マイクロコンピュータ等を作動させて制御するように
しても良い。

〔光切の効果〕

本発明によれば１ＭＢＥ４８ｋＷｔの運転中に停電が発
生してもるつぼを破損させることがないという効果があ
る。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実ｉ例である分子線源の停電保護装
置を示す回路図である。 ｌ・・・・・・無停［代電鯨装置８，２ａ・・・・・・
Ｋセルヒータ、３ａ・・・・・・温調器、５・・・・・
・コンタクタ、６・・間オフデイレイタイマ、７・・・
・・・オンデイレイタイマ、８゜１０・・・・・・　リ
レー 代理人　弁理士　　小　川　勝　男（り・）４Ｉ図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １、電力供給線に無停電電源装置および温調器を順次介
   して接続した分子線源のヒータ回路に、前記電力供給線
   からの電力停止によって前記温調器の温度設定を下げる
   手段を設けたことを特徴とする分子線源の停電保護装置
   。