JPH01199137A - Suspension particle detector - Google Patents
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- Investigating Or Analysing Biological Materials (AREA)
Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
「産業上の利用分野」
この発明は、血球浮遊液などの懸濁液中の粒子の数を測
定する懸濁粒子検出器に関するものである。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION "Field of Industrial Application" The present invention relates to a suspended particle detector that measures the number of particles in a suspension such as a blood cell suspension.
「従来の技術」
粒子の懸濁液を微細孔を通過させ、液と粒子との電気イ
ンピーダンスの差異に基づく変化により、粒子を一個づ
つ検出する型式の懸濁粒子検出部として、従来、第６図
に示す構造のものが知られている（特公昭５６−３４８
１０号公報）。``Prior Art'' As a suspended particle detection unit of the type that detects particles one by one by passing a suspension of particles through micropores and detecting the particles one by one by changes based on the difference in electrical impedance between the liquid and the particles, The structure shown in the figure is known (Special Publication Publication No. 56-348
Publication No. 10).
図中、符号１は検出器本体を示すもので、この検出器本
体１は、有底円筒状の検出器筒体２の内部に順次シール
ド用金属筒（外部電極）３、円筒状の内筒４が嵌着され
てなるものである。前記検出器筒体２および内筒４は、
絶縁性の合成樹脂等の絶縁材料から構成されており、こ
れら筒体２および内筒４は前記外部電極３の外周面およ
び内周面を電気的に絶縁するとともに、外部電極３の腐
食を防止する役目を果たしている。外部電極３の上端は
、後述するように計数・検出回路に電気的に接続される
ためにフランジ状に形成されて外部に露出されている。In the figure, reference numeral 1 indicates a detector main body, and this detector main body 1 includes a shielding metal cylinder (external electrode) 3 and a cylindrical inner cylinder inside a detector cylinder body 2 having a cylindrical shape with a bottom. 4 is fitted. The detector cylinder body 2 and the inner cylinder 4 are
The cylinder body 2 and the inner cylinder 4 electrically insulate the outer and inner peripheral surfaces of the external electrode 3 and prevent corrosion of the external electrode 3. It fulfills its role. The upper end of the external electrode 3 is formed into a flange shape and exposed to the outside in order to be electrically connected to a counting/detection circuit as described later.
また、外部電極３の下端は、前記筒体２の切欠部（図示
しない）の位置で外部に対して露出している。この露出
部分は白金や金などの耐腐食性の金属により被覆され、
保護されている。Further, the lower end of the external electrode 3 is exposed to the outside at a notch (not shown) of the cylindrical body 2. This exposed part is coated with a corrosion-resistant metal such as platinum or gold.
protected.
前記のようにして内部中心に孔５が形成された検出器本
体ｌの下部一側部には、前記孔５に連通する細孔６が穿
設され、この細孔６の外部開口部分には微細孔７ａが穿
設されている検出器ペレット７が固定されている。A small hole 6 communicating with the hole 5 is bored in one side of the lower part of the detector main body l in which the hole 5 is formed at the center of the interior as described above, and the outer opening of this hole 6 is provided with a hole 6. A detector pellet 7 in which a fine hole 7a is bored is fixed.
また、前記孔５の内部には、電極８が配置され、この電
極８と前記外部電極３とが検出・計数回路９に電気的に
接続されて懸濁粒子検出器が完成されている。Further, an electrode 8 is disposed inside the hole 5, and this electrode 8 and the external electrode 3 are electrically connected to a detection/counting circuit 9 to complete a suspended particle detector.
前記構成の検出器により懸濁液中の粒子数を測定するに
は、検出器の先端を試料中に浸漬して内筒４の上端を図
示しない吸引ポンプなどの吸引手段に接続して試料を吸
引する。検出ペレット７の周辺には、前記電極８とシー
ルド用金属筒３を介して予め微定常電流が流れている。To measure the number of particles in a suspension using the detector configured as described above, the tip of the detector is immersed in the sample, and the upper end of the inner cylinder 4 is connected to a suction means such as a suction pump (not shown) to remove the sample. Suction. A slight steady current is flowing in advance around the detection pellet 7 via the electrode 8 and the shielding metal cylinder 3.
従って、試料中の粒子が検出器ペレット７の微細孔７ａ
を通過すると瞬間的に電圧が上がり、これが電気パルス
となって検出・計数回路９により検出・計数されること
になる。Therefore, the particles in the sample are exposed to the fine pores 7a of the detector pellet 7.
When it passes through, the voltage increases instantaneously, and this becomes an electric pulse, which is detected and counted by the detection/counting circuit 9.
「発明が解決しようとする課題」
ところが、前記従来の懸濁粒子検出器には、次のような
課題があり、その解決が望まれているのが現状である。"Problems to be Solved by the Invention" However, the conventional suspended particle detector has the following problems, and it is currently desired to solve them.
（イ）部品点数（特に、試料流入部分の部品点数）が多
く、しかも、それらの部品は精密な加工および組み立て
を必要とするので、製造工数がかかる。(a) The number of parts (particularly the number of parts in the sample inlet part) is large, and these parts require precise processing and assembly, which requires a lot of manufacturing man-hours.
（ロ） シールド壁と一方の電極とを兼ねるために金属
筒３を設けなければならず、検出器本体ｌのコンパクト
化が図りに（い。(b) It is necessary to provide a metal tube 3 to serve both as a shield wall and one of the electrodes, which makes it difficult to make the detector body l compact.
（ハ）外表面に露出する検出器筒体２は、合成樹脂製な
ので、比較的機械的強度が低く、傷や汚れ等を受けやす
く、耐久性に１ｏＩＢがある。(c) Since the detector cylinder 2 exposed on the outer surface is made of synthetic resin, it has relatively low mechanical strength, is susceptible to scratches and dirt, and has a durability of 1oIB.
（ニ）また、検出器筒体２は強度の低い合成樹脂製であ
るので、検出器の薄肉化、小型化が図りにくい。(d) Furthermore, since the detector cylinder body 2 is made of synthetic resin with low strength, it is difficult to make the detector thinner and smaller.
（ホ）外部電極３の外部露出部分を保護するために用い
られている白金、金は、高価であるため、検出器の製造
コストの上昇を招いている。(e) Platinum and gold used to protect the externally exposed portions of the external electrodes 3 are expensive, leading to an increase in the manufacturing cost of the detector.
この発明は、上記事情に鑑みてなされたもので、その目
的は、部品点数が少なく、製造容易で、耐久性に優れ、
コンパクトで、測定精度の高い懸濁粒子検出器を提供す
ることにある。This invention was made in view of the above circumstances, and its purpose is to have a small number of parts, easy manufacture, excellent durability,
The object of the present invention is to provide a compact suspended particle detector with high measurement accuracy.
「課題を解決するための手段」
本願の第１の発明に係る懸濁粒子検出器は、検出器筒体
をセラミックスにより構成し、このセラミックス製の検
出器筒体の外周面にメタライズ層を形成し、かつ前記メ
タライズ層の外周面にセラミックス製の保護層を接合、
一体化したことを特徴とするものである。"Means for Solving the Problems" The suspended particle detector according to the first invention of the present application has a detector barrel made of ceramics, and a metallized layer is formed on the outer peripheral surface of the detector barrel made of ceramics. and bonding a ceramic protective layer to the outer peripheral surface of the metallized layer,
It is characterized by being integrated.
また、本願の第２の発明に係る懸濁粒子検出器は、
検出器筒体をＡＱ＊Ｏｓ、ＺｒＯ，などの電気絶縁性セ
ラミックスにより構成し、下部−側面を所定の厚みの薄
肉に成形するとともに、この薄肉部分のほぼ中央に真円
度の高い微細孔を穿設し、前記検出器筒体の外周面にＴ
ｉＮ５ＺｒＮ、ＴｉＢ、、ＺｒＢ＊、ＴｉＮ＋ＺｒＮ固
溶体などの導電性および耐腐食性を有するセラミ−ツク
、スまたは白金（ｐｔ）、金（Ａｕ）またはこれらの合
金などの耐腐食性を有する金属からなる外筒を形成した
ことを特徴とするものである。Further, in the suspended particle detector according to the second invention of the present application, the detector cylinder is made of electrically insulating ceramics such as AQ*Os, ZrO, etc., and the lower and side surfaces are formed into a thin wall with a predetermined thickness. At the same time, a fine hole with high roundness is bored approximately in the center of this thin part, and a T is formed on the outer circumferential surface of the detector cylinder.
Ceramics with electrical conductivity and corrosion resistance such as iN5ZrN, TiB, ZrB*, TiN+ZrN solid solution, etc., or metals with corrosion resistance such as platinum (PT), gold (Au), or alloys thereof. It is characterized by forming a cylinder.
本願の第３の発明に係る懸濁粒子検出器は、検出器筒体
をＡ Ｉ２ｍ０ ｓ、ＺｒＯ＊などの電気絶縁性セラミ
ックスにより構成し、下部−側面を所定の厚みの薄肉に
成形するとともに、この薄肉部分のほぼ中央に真円度の
高い微細孔を穿設し、前記検出器筒体の外周面にＴｉＮ
、ＺｒＮ、ＴｉＢ＊、ＺｒＢ、、ＴｉＮ＋ＺｒＮ固溶体
などの導電性および耐腐食性を有するセラミックスまた
は白金（ｐｔ）、金（Ａｕ）またはこれらの合金などの
耐腐食性を有する金属からなるコーティング層を形成し
たことを特徴とするものである。The suspended particle detector according to the third invention of the present application has a detector cylinder made of electrically insulating ceramics such as AI2m0s, ZrO*, etc., and the lower and side surfaces are formed into a thin wall with a predetermined thickness, A fine hole with high roundness is bored approximately in the center of this thin part, and a TiN film is formed on the outer peripheral surface of the detector cylinder.
, ZrN, TiB*, ZrB, , forming a coating layer made of conductive and corrosion-resistant ceramics such as TiN+ZrN solid solution, or corrosion-resistant metals such as platinum (PT), gold (Au), or their alloys. It is characterized by the fact that
「作用」
上記構成の懸濁粒子検出器によれば、次のような利点を
得ることができる。"Operation" According to the suspended particle detector having the above configuration, the following advantages can be obtained.
（ａ） 懸濁液に直接に接する部分である内筒が非汚
染性のセラミックスから構成されているので、測定対象
である懸濁液に影響を及ぼすことも、逆に懸濁液により
影響されることもない。また、この内筒は、セラミック
ス製であるため、機械的強度も高く、検出器の耐久性を
大幅に向上させることができ、検出器本体の薄肉小型化
することができる。(a) The inner cylinder, which is the part that comes into direct contact with the suspension, is made of non-contaminating ceramics, so it may not affect the suspension that is the object of measurement, but it may be affected by the suspension. There's nothing wrong with that. Moreover, since this inner cylinder is made of ceramics, it has high mechanical strength, and the durability of the detector can be greatly improved, and the detector main body can be made thinner and smaller.
（ｂ） 部品としては、セラミックス製の内筒と、こ
の内筒外局面に形成したメタライズ層を保護する保護ス
リーブ、または前記内筒外周面に形成した外筒、または
前記内筒外周面に形成したコーティング層で済み、部品
点数が少なくて済む。(b) The parts include an inner cylinder made of ceramics and a protective sleeve that protects the metallized layer formed on the outer surface of the inner cylinder, or an outer cylinder formed on the outer peripheral surface of the inner cylinder, or an outer cylinder formed on the outer peripheral surface of the inner cylinder. Only a single coating layer is needed, and the number of parts can be reduced.
なお、第１の発明において、メタライズ層上にさらに保
護コーティング層を形成する場合は、第２．３の発明と
同様に保護スリーブは不要となるので、さらに部品点数
が減り、製作工数を大幅に削減することが可能となる。In addition, in the first invention, when a protective coating layer is further formed on the metallized layer, the protective sleeve is not required as in the second and third invention, so the number of parts is further reduced and the manufacturing man-hours are significantly reduced. This makes it possible to reduce
（Ｃ） セラミックス製の内筒の外周面に形成したメ
タライズ層または外筒またはコーティング層を、シール
ド壁と外部電極とを兼ねるものとじているので、検出器
本体を大幅に薄肉化してコンパクトにすることができる
。(C) The metallized layer, outer cylinder, or coating layer formed on the outer circumferential surface of the ceramic inner cylinder serves as both the shield wall and the external electrode, making the detector body significantly thinner and more compact. be able to.
以下、この発明を実施例によりさらに詳しく説明する。Hereinafter, this invention will be explained in more detail with reference to Examples.
「実施例１」
第１図および第２図は、本願の第１の発明の一実施例を
説明するためのもので、図中符号２０は懸濁粒子検出器
の検出器本体２０を示すものである。"Example 1" Figures 1 and 2 are for explaining an example of the first invention of the present application, and the reference numeral 20 in the figures indicates a detector main body 20 of a suspended particle detector. It is.
この検出器本体２０は有底円筒状の内筒２１と、この内
筒２１の外周面を覆っている保護スリーブ２２と、この
保護スリーブ２２を内筒２１に固定しているフランジ２
３とから構成されている。前記内筒２１と保護スリーブ
２２は、アルミナ焼結体、ジルコニア焼結体等の非汚染
性、絶縁性のセラミックスから構成されており、各々同
一材料でも別材料でもよい。The detector main body 20 includes an inner tube 21 having a cylindrical shape with a bottom, a protective sleeve 22 that covers the outer peripheral surface of the inner tube 21, and a flange 2 that fixes the protective sleeve 22 to the inner tube 21.
It is composed of 3. The inner cylinder 21 and the protective sleeve 22 are made of non-contaminating and insulating ceramics such as alumina sintered body and zirconia sintered body, and may be made of the same material or different materials.
また、フランジ２３は、後に説明するように一方の電極
の電気的コネクターの役目を果たす必要上、ステンレス
（ＳＯ８３０４）等の耐腐食性金属から構成される。Further, the flange 23 is made of a corrosion-resistant metal such as stainless steel (SO8304) because it needs to serve as an electrical connector for one of the electrodes as will be explained later.
前記有底円筒状の内筒２１は、円筒状の筒体本体２４と
、この筒体本体２４の先端開口部を液密に塞いでいるキ
ャップ２５とから構成されているか、あるいは保護スリ
ーブ２２が半球状の底部を有した内筒２１と嵌合される
構成（図示せず）かのいずれかであり、いずれの場合も
その先端部２６近傍に懸濁液導入用の微細孔２７が内筒
の中空部に通ずる。The bottomed cylindrical inner tube 21 is composed of a cylindrical tube body 24 and a cap 25 that liquid-tightly closes the tip opening of the tube body 24, or a protective sleeve 22 is provided. The inner cylinder has a configuration (not shown) that is fitted with an inner cylinder 21 having a hemispherical bottom, and in either case, a fine hole 27 for introducing the suspension is provided near the tip 26 of the inner cylinder. It leads to the hollow part of.
また、前記筒体本体２４の保護スリーブ２２の内面と対
応する中間部分２８の外周面には、導電性の良好な金属
、例えば、銀ペースト（銀と酸化物ガラス粉との混合物
）あるいはＭｏ−Ｍｎ粉末等を用いてメタライズ層２９
が形成されている。本実施例においては銀メタライズを
用いた。さらに、前記先端部２６の微細孔２７側は幾分
平担に研削されており、その他側面３０には白金製の帯
状電極３１が貼着され、前記メタライズ層２９に電気的
に接続するように構成されている。このメタライズ層２
９の厚さは通常２Ｇ’−２００μ麓程度であり、本実施
例では６０μ麓であった。Further, the outer peripheral surface of the intermediate portion 28 of the cylindrical body 24 corresponding to the inner surface of the protective sleeve 22 is coated with a metal having good conductivity, such as silver paste (a mixture of silver and oxide glass powder) or Mo- Metallized layer 29 using Mn powder etc.
is formed. In this example, silver metallization was used. Furthermore, the tip 26 on the side of the microhole 27 is ground to be somewhat flat, and a platinum strip electrode 31 is attached to the other side 30 so as to be electrically connected to the metallized layer 29. It is configured. This metallized layer 2
The thickness of 9 is usually about 2G'-200μ, and in this example, it was 60μ.
前記のように構成された内筒２１には、その中間部分２
８上のメタライズ層２９を覆うようにして保護スリーブ
２２が嵌着され、フランジ２３により固定されて、前記
メタライズ層２９を液密に保護している。The inner cylinder 21 configured as described above has an intermediate portion 2.
A protective sleeve 22 is fitted so as to cover the metallized layer 29 on the metallized layer 8 and is fixed by a flange 23 to protect the metallized layer 29 in a liquid-tight manner.
ここで、７ランジ２３はメタライズ層２９に電気的に接
続するように取り付けられている。Here, the seven flange 23 is attached to be electrically connected to the metallized layer 29.
上記構成において、フランジ２３を図示しない検出・計
数回路に電気的に接続するとともに、この検出・計数回
路に接続した電極を前記筒体本体２４内に挿入、設置し
て、本発明の懸濁粒子検出器が完成される。In the above configuration, the flange 23 is electrically connected to a detection/counting circuit (not shown), and an electrode connected to the detection/counting circuit is inserted and installed in the cylindrical body 24, and the suspended particles of the present invention are The detector is completed.
上記構成の第１の発明の懸濁粒子検出器によれば、次の
ような利点を得ることができる。According to the suspended particle detector of the first invention configured as described above, the following advantages can be obtained.
（ｉ） 懸濁液に直接に接する部分である内筒２１が
非汚染性のセラミックスから構成されているので、測定
対象である懸濁液に影響を及ぼすことも、逆に懸濁液に
より影！響されることもない。また、この内筒２１も保
護スリーブ２２も、セラミックス製であるため、機械的
強度が高く、検出器の耐久性を大幅に向上させることが
できる。(i) Since the inner cylinder 21, which is the part that comes into direct contact with the suspension, is made of non-contaminating ceramics, it may not affect the suspension that is the object of measurement, or conversely, it may be affected by the suspension. ! It won't even be heard. Furthermore, since both the inner tube 21 and the protective sleeve 22 are made of ceramics, their mechanical strength is high, and the durability of the detector can be greatly improved.
（ｉｉ） 構成部品としては、セラミックス製の内筒
２１と、この内筒２１外周面に形成したメタライズ層２
９を保護する保護スリーブ２２と、この保護スリーブ２
２を固定するフランジ２３のみで済み、部品点数が少な
くて済む。なお、保護層として前記保護スリーブ２２を
用いる代わりにメタライズ庖２９上にセラミックスによ
り保護コーティング層を形成すれば、さらに部品点数を
削減することができ、組立工数を大幅に削減することが
可能となる。(ii) The components include an inner cylinder 21 made of ceramics and a metallized layer 2 formed on the outer peripheral surface of the inner cylinder 21.
9 and a protective sleeve 22 that protects the protective sleeve 2.
Only the flange 23 for fixing the flange 2 is required, and the number of parts can be reduced. In addition, if a protective coating layer made of ceramic is formed on the metallized plate 29 instead of using the protective sleeve 22 as a protective layer, the number of parts can be further reduced, and the number of assembly steps can be significantly reduced. .
（ｉｉｉ） セラミックス製の内筒２１の外周面に形
成したメタライズ層２９を、シールド壁と一方の電極と
を兼ねるシールド金属層としているので、検出器本体を
大幅に薄肉化してコンパクトにすることができる。(iii) Since the metallized layer 29 formed on the outer peripheral surface of the ceramic inner cylinder 21 is used as a shield metal layer that also serves as a shield wall and one electrode, the detector body can be made significantly thinner and more compact. can.
なお、上記実施例において、内筒を円筒状の筒体本体と
この筒体本体の下端を塞ぐキャップとから構成し、後か
ら一体化するように構成したが、グリーン（未焼成の原
料）成形時から既に一体的に構成してもよい。また、こ
の場合、微細孔はグリーン成形時に形成しておき、焼結
終了後に仕上げ加工することも可能である。In the above embodiment, the inner cylinder is composed of a cylindrical cylinder body and a cap that closes the lower end of the cylinder body, and is configured to be integrated later, but green (unfired raw material) molding It may already be integrally constructed. Further, in this case, it is also possible to form the micropores during green molding and perform finishing processing after completion of sintering.
「実施例２」
第３図は、本願の第２の発明の一実施例を説明するため
のもので、図中符号４０斌中心に孔４１を有する筒体本
体を示すものである。また、符号４２は筒体本体４０の
下端を液密に塞いでいるキャップ、４３は筒体本体４０
の側面を覆う外筒、４４は筒体本体４０の下部の側壁に
形成された薄肉部、４５はこの薄肉部４４の中央に形成
された懸濁液導入用の微細孔である。筒体本体４０の外
部と孔４１の内部とは、前記微細孔４５によって連通し
ている。孔４１の内部には電極４６が挿入されており、
この電極４６は検出・計数装置４７を介して外筒４３と
電気的に接続されている。"Embodiment 2" FIG. 3 is for explaining an embodiment of the second invention of the present application, and shows a cylindrical body having a hole 41 at the center of the reference numeral 40 in the figure. Further, numeral 42 is a cap that liquid-tightly closes the lower end of the cylindrical body 40, and 43 is a cap that liquid-tightly closes the lower end of the cylindrical body 40.
44 is a thin wall portion formed on the lower side wall of the cylindrical body 40, and 45 is a fine hole formed in the center of this thin wall portion 44 for introducing the suspension. The outside of the cylindrical body 40 and the inside of the hole 41 communicate with each other through the fine hole 45 . An electrode 46 is inserted inside the hole 41,
This electrode 46 is electrically connected to the outer cylinder 43 via a detection/counting device 47.
前記筒体本体４０とキャップ４２は、アルミナ焼結体（
ＡＩ２！Ｏ，） 、ジルコニア焼結体（ＺｒＯ，）など
の非汚染性、絶縁性のセラミックスから構成されており
、各々同一材料でも副材料でもよい。また、外筒４３は
、導電性があり、耐腐食性の高いセラミックス（ＴｉＮ
、ＺｒＮ、ＴｉＢ、、ＺｒＢ、、あるいはこれらの固溶
体など）、あるいは耐腐食性の高い金属（白金（ｐｔ）
、金（Ａｕ）など）から構成されている。The cylindrical body 40 and the cap 42 are made of alumina sintered body (
AI2! They are made of non-contaminating, insulating ceramics such as O,) and zirconia sintered bodies (ZrO,), and may be made of the same material or an auxiliary material. In addition, the outer cylinder 43 is made of highly conductive and corrosion-resistant ceramics (TiN
, ZrN, TiB, , ZrB, or solid solutions thereof), or metals with high corrosion resistance (platinum (pt)
, gold (Au), etc.).
このように構成された検出器を使用した際の作用につい
て、以下に説明する。The effect when using the detector configured in this way will be described below.
検出器の先端を懸濁液に浸漬すると、前記電極４６と外
筒４３とは、懸濁液を介して電気的に接続され、ここに
電極４６と計数・検出装置４７と外筒４３とを連結した
電気回路が形成される。この電気回路において、電極４
６と外筒４３とは微細孔４５内の懸濁液を通じて電気的
に連結されている。ここで、筒体本体４０の上端を図示
しない吸引ポンプなどの吸引手段に接続して吸引し、懸
濁液を微細孔４５の中を通過させる。このとき、前記電
極４６と外筒４３との間に電位差を与え、定常な微電流
が両者の間を充たす懸濁液中を（微細孔４５を通って）
流しておく。この状態において、懸濁液中の粒子が微細
孔４５を通過すると、懸濁液の溶液と前記粒子の電気抵
抗の相異に起因して前記電気回路のインピーダンスが瞬
間的に変化する。これが電気パルスとなって検出・計数
装置４７により検出・計数されることになる。When the tip of the detector is immersed in the suspension, the electrode 46 and the outer tube 43 are electrically connected through the suspension, and the electrode 46, the counting/detection device 47, and the outer tube 43 are connected here. A connected electrical circuit is formed. In this electric circuit, electrode 4
6 and the outer cylinder 43 are electrically connected through the suspension in the micropores 45. Here, the upper end of the cylindrical body 40 is connected to a suction means such as a suction pump (not shown) to draw suction, and the suspension is passed through the fine holes 45. At this time, a potential difference is applied between the electrode 46 and the outer cylinder 43, and a steady microcurrent flows through the suspension filling between the two (through the micropores 45).
Let it flow. In this state, when particles in the suspension pass through the micropores 45, the impedance of the electric circuit changes instantaneously due to the difference in electrical resistance between the suspension solution and the particles. This becomes an electric pulse, which is detected and counted by the detection/counting device 47.
ところで、本実施例に係る検出器においては、筒体本体
４０がアルミナ焼結体、ジルコニア焼結体などのセラミ
ックスで構成されているが、これらのセラミックスは強
度が高いため、筒体本体４ｏは薄肉化が可能である。ま
た、外筒４３は、ＴｉＮ。By the way, in the detector according to this embodiment, the cylindrical body 40 is made of ceramics such as alumina sintered body and zirconia sintered body, but since these ceramics have high strength, the cylindrical body 4o is It is possible to make the wall thinner. Further, the outer cylinder 43 is made of TiN.
Ｚ ｒ ＮＳＴ Ｉ Ｂｇ、ＺｒＢ、、およびこれらの
固溶体などのセラミックスあるいは白金、金などの金属
で構成されているが、これらの材料は耐腐食性が高（、
同時に耐スクラッチ性にも優れているので、表面を保護
するための保護層を必要としない。Z r NST I It is composed of ceramics such as Bg, ZrB, and their solid solutions, or metals such as platinum and gold, but these materials have high corrosion resistance (,
At the same time, it has excellent scratch resistance, so there is no need for a protective layer to protect the surface.
このように、本実施例によれば、検出器は、薄肉小型で
構造が単純で、かつ、部品数が少なくなる。したがって
、この検出器については加工工数が少なく製作が容易で
ある。また、外筒の材料としてＴ ｉＮ％Ｚ ｒＮ％Ｔ
ｉ Ｂｙ、ＺｒＢ、、およびこれらの固溶体などのセ
ラミックスを用いた場合には、外部電極を白金あるいは
金によって被覆する従来の検出器に比較して材料費を大
幅に削減することができる。As described above, according to this embodiment, the detector is thin, small, and has a simple structure, and the number of parts is reduced. Therefore, this detector requires fewer processing steps and is easy to manufacture. In addition, as the material of the outer cylinder, TiN%Z rN%T
When ceramics such as i By, ZrB, and solid solutions thereof are used, material costs can be significantly reduced compared to conventional detectors in which the external electrodes are coated with platinum or gold.
ところで、本願の第３の発明の場合には、第３図によっ
て示した前記実施例２（本願筒２の発明の第１の実施例
）において、外筒４３の部分が、外ｒｆ１４３ではなく
、筒体本体４０の外表面に施された導電性があり耐腐食
性の高いセラミックス（ＴｉＮ、ＴｉＢ、、ＺｒＢ、、
およびこれらの固溶体など）、あるいは耐腐食性の高い
金属（白金（ｐｔ）、金（Ａ ｕ ）、およびこれらの
合金など）によるコーティング層である。それ以外の構
成あるいは作用については、前記実施例２（第２の発明
の第１の実施例）と同一である。By the way, in the case of the third invention of the present application, in the second embodiment (the first embodiment of the invention of the cylinder 2 of the present application) shown in FIG. The outer surface of the cylindrical body 40 is made of highly conductive and corrosion-resistant ceramics (TiN, TiB, ZrB, etc.).
It is a coating layer made of a highly corrosion-resistant metal (such as platinum (pt), gold (A u ), and an alloy thereof). The other configurations and functions are the same as those of the second embodiment (the first embodiment of the second invention).
「実施例３」
第４図は、本願の第２の発明の第２の実施例を説明する
ためのものである。図中、前記実施例２（第３図）と同
一構成部分には、同一符号を付して説明を顛略化する。"Embodiment 3" FIG. 4 is for explaining a second embodiment of the second invention of the present application. In the figure, the same components as in the second embodiment (FIG. 3) are given the same reference numerals to simplify the explanation.
この実施例が前記実施例２のものと相異する点は、微細
孔５０が前記筒体本体４０の側面ではなく、キャップ４
２に形成されている点、および前記筒体本体４０の下端
に整流器５２が装着されている点である。This embodiment differs from the second embodiment in that the fine holes 50 are not formed on the side surface of the cylindrical body 40, but on the cap 4.
2, and a rectifier 52 is attached to the lower end of the cylindrical body 40.
整流器５２は、筒体本体４ｏの下端に嵌合しており、こ
の整流器５２の側面には開ロタ３が、形成されている。The rectifier 52 is fitted into the lower end of the cylindrical body 4o, and the open rotor 3 is formed on the side surface of the rectifier 52.
この整流器５２は、微細孔５ｏが懸濁液の下部に沈澱し
ている不純物などによって、目詰まりを起こすことを防
止するためのものである。懸濁液は整流器５２の開口５
３から流入した後、方向を変えて微細孔５０から筒体本
体４０の内部に流入する。ただし、整流器５２は洗浄の
ため、取り外し可能な状態としておく。The rectifier 52 is provided to prevent the micropores 5o from becoming clogged with impurities settled in the lower part of the suspension. The suspension flows through the opening 5 of the rectifier 52.
After flowing in from 3, it changes direction and flows into the inside of the cylindrical body 40 through the fine holes 50. However, the rectifier 52 is left removable for cleaning.
本実施例の作用については前記実施例２と同様である。The operation of this embodiment is similar to that of the second embodiment.
また、外筒がコーティング層（第３の発明）であっても
良い点についても前記実施例２と同様である。Further, it is similar to the second embodiment that the outer cylinder may be a coating layer (third invention).
「実施例４」
第５図は、本願の第２の発明の第３の実施例を示すもの
である。図中、前記実施例２（第３図）と同一構成部分
には、同一符号を付して説明を簡略化する。"Embodiment 4" FIG. 5 shows a third embodiment of the second invention of the present application. In the figure, the same components as in the second embodiment (FIG. 3) are given the same reference numerals to simplify the explanation.
この第２の発明の第３の実施例が前記実施例２と相異す
る点は、実施例２では筒体本体４０とキャップ４２とに
よって構成されていた部分が本実施例では一体の筒体本
体６０となっている点と、微細孔６】が筒体本体の側面
ではな（筒体本体６０の底部に形成されている点と、お
よび筒体本体６０の下端に整流器６２が装着されている
点とである。This third embodiment of the second invention is different from the second embodiment described above, in that the portion constituted by the cylindrical body 40 and the cap 42 in the second embodiment is replaced by an integral cylindrical body in the present embodiment. The points where the main body 60 is formed, the fine holes 6] are not formed on the side of the cylinder main body (the points formed at the bottom of the cylinder main body 60, and the rectifier 62 is attached to the lower end of the cylinder main body 60). It is the point that there is.
筒体本体６０の下端に嵌合している整流器６２の構成お
よび作用は、前記実施例３の場合と同じである。懸濁液
は整流器６２の側部に設けられた開口６３から整流器６
２の内部に流入した後、方向を変えて微細孔６１から筒
体本体６０内に流入する。ただし、整流器６２は洗浄の
ため取り外し可能な状態となっている。The configuration and operation of the rectifier 62 fitted to the lower end of the cylindrical body 60 are the same as in the third embodiment. The suspension flows through the rectifier 6 through an opening 63 provided on the side of the rectifier 62.
After flowing into the inside of the cylinder body 60, the liquid changes direction and flows into the cylindrical body 60 through the fine holes 61. However, the rectifier 62 is removable for cleaning.
本実施例の使用時の作用については、前記実施例２およ
び実施例３と同様である。The operation of this embodiment during use is the same as that of the second and third embodiments.
また、外局がコーティング層（第３の発明）であっても
良い点についても前記実施例２および実施例３と同様で
ある。Further, it is similar to the second and third embodiments that the outer layer may be a coating layer (third invention).
「発明の効果」
以上説明したように、本発明の懸濁粒子検出器によれば
、次のような利点を得ることができる。"Effects of the Invention" As explained above, according to the suspended particle detector of the present invention, the following advantages can be obtained.
（ａ） 懸濁液に直接に接する部分である内筒が非汚
染性のセラミックスから構成されているので、測定対象
である懸濁液に影響を及ぼすことも、逆に懸？Ｉｉ液に
より影響されることもない。また、この内筒は、セラミ
・ツクス製であるため、機械的強度も高く、検出器の耐
久性を大幅に向上させることができ、検出器本体の薄肉
小型化することができる。(a) Since the inner cylinder, which is the part that comes into direct contact with the suspension, is made of non-contaminating ceramics, is there any possibility that it may affect the suspension that is the object of measurement? It is not affected by liquid Ii. Furthermore, since this inner cylinder is made of ceramic, it has high mechanical strength, and the durability of the detector can be greatly improved, and the detector main body can be made thinner and smaller.
（ｂ） 部品としては、セラミックス製の内筒と、こ
の内筒外周面に形成したメタライズ層を保護する保護ス
リーブ、または前記内筒外周面に形成した外筒、または
前記内筒外局面に形成したコーティング層で済み、部品
点数が少なくて済む。(b) The parts include an inner cylinder made of ceramics and a protective sleeve that protects the metallized layer formed on the outer peripheral surface of the inner cylinder, an outer cylinder formed on the outer peripheral surface of the inner cylinder, or an outer curved surface of the inner cylinder. Only a single coating layer is needed, and the number of parts can be reduced.
なお、第１の発明において、メタライズ層上にさらに保
護コーティング層を形成する場合は、第２．３の発明と
同様に保護スリーブは不要となるので、さらに部品点数
が減り、製作工数を大幅に削減することが可能となる。In addition, in the first invention, when a protective coating layer is further formed on the metallized layer, the protective sleeve is not required as in the second and third invention, so the number of parts is further reduced and the manufacturing man-hours are significantly reduced. This makes it possible to reduce
（ｃ） セラミックス製の内筒の外周面に形成したメ
タライズ層または外筒またはコーティング層を、シール
ド壁と外部７に！極とを兼ねるものとしているので、検
出器本体を大幅に薄肉化してコンパクトにすることがで
きる。(c) A metallized layer, an outer cylinder, or a coating layer formed on the outer peripheral surface of the ceramic inner cylinder is applied to the shield wall and the outside 7! Since it also serves as a pole, the detector body can be made significantly thinner and more compact.
第１図および第２図は本願の第１の発明の一実施例を説
明するためのもので、第１図は検出器本体の正面図、第
２図は同検出器本体の側断面図、第３図は本願の第２の
発明の第１の実施例を説明するためのもので、検出器本
体の側断面図、第４図は本願の第２の発明の第２の実施
例を説明するためのもので、検出器本体の側断面図、第
５図は本願の第２の発明の第３の実施例を説明す−るた
めのもので、検出器本体の側断面図、第６図は従来の懸
濁粒子検出器を示すもので、全体の構成図である。
２０・・・・・・検出器本体、
２１・・・・・・内筒、
２２・・・・・・保護スリーブ（保護層）２４．４Ｇ、
６０・・・・・・筒体本体、２５．４３・・・・・・
キャップ、
２７．４５．５０．６１・・・・・・微細孔１．２９・
・・・・・メタライズ層、
３１・・・・・・白金製帯状電極、
４１・・・・・孔、
４６・・・・・電極。1 and 2 are for explaining an embodiment of the first invention of the present application, FIG. 1 is a front view of the detector main body, FIG. 2 is a side sectional view of the detector main body, Fig. 3 is a side sectional view of the detector main body for explaining the first embodiment of the second invention of the present application, and Fig. 4 is for explaining the second embodiment of the second invention of the present application. The side sectional view of the detector main body, FIG. 5, is for explaining the third embodiment of the second invention of the present application, and the side sectional view of the detector main body, FIG. The figure shows a conventional suspended particle detector, and is an overall configuration diagram. 20...Detector body, 21...Inner cylinder, 22...Protective sleeve (protective layer) 24.4G,
60...Cylinder body, 25.43...
Cap, 27.45.50.61...Minor hole 1.29.
...metalized layer, 31 ... platinum strip electrode, 41 ... hole, 46 ... electrode.
Claims (3)
微細孔の周辺に微定常電流を流し、前記微細孔を通過す
る粒子懸濁液中の粒子を電気インピーダンスの差異によ
り検出・計数する懸濁粒子検出器において、 前記検出器筒体がセラミックスにより構成され、このセ
ラミックス製の検出器筒体の外周面にメタライズ層が形
成され、かつ前記メタライズ層の外周面にセラミックス
製の保護層が接合され一体となっていることを特徴とす
る懸濁粒子検出器。(1) A slight steady current is passed around a microscopic hole formed on one side of the lower part of the bottomed cylindrical detector barrel, and the particles in the particle suspension passing through the microscopic hole are differentiated by electrical impedance. In the suspended particle detector that detects and counts particles by a method, the detector cylinder is made of ceramic, a metallized layer is formed on the outer peripheral surface of the ceramic detector cylinder, and a ceramic is formed on the outer peripheral surface of the metallized layer. A suspended particle detector characterized in that a protective layer made of aluminum is bonded and integrated.
微細孔の周辺に微定常電流を流し、前記微細孔を通過す
る粒子懸濁液中の粒子を電気インピーダンスの差異によ
り検出・計数する懸濁粒子検出器において、 前記検出器筒体が電気絶縁性セラミックスにより構成さ
れ、この有底筒状の検出器筒体の外周面に導電性および
耐腐食性を有するセラミックスまたは耐腐食性を有する
金属からなる外筒が形成されていることを特徴とする懸
濁粒子検出器。(2) A slight steady current is passed around a microscopic hole formed on one side of the lower part of the bottomed cylindrical detector barrel, and the particles in the particle suspension passing through the microscopic hole are differentiated by electrical impedance. In a suspended particle detector that detects and counts particles by using a detector cylinder, the detector cylinder is made of electrically insulating ceramics, and the outer peripheral surface of the bottomed cylindrical detector cylinder is coated with electrically conductive and corrosion-resistant ceramics or A suspended particle detector characterized in that an outer cylinder is formed of a metal having corrosion resistance.
微細孔の周辺に微定常電流を流し、前記微細孔を通過す
る粒子懸濁液中の粒子を電気インピーダンスの差異によ
り検出・計数する懸濁粒子検出器において、 前記検出器筒体が電気絶縁性セラミックスにより構成さ
れ、この有底筒状の検出器筒体の外周面に導電性および
耐腐食性を有するセラミックスまたは耐腐食性を有する
金属からなるコーティング層が形成されていることを特
徴とする懸濁粒子検出器。(3) A slight steady current is passed around a microscopic hole formed on one side of the lower part of the bottomed cylindrical detector barrel, and the particles in the particle suspension passing through the microscopic hole are differentiated by electrical impedance. In a suspended particle detector that detects and counts particles by using a detector cylinder, the detector cylinder is made of electrically insulating ceramics, and the outer peripheral surface of the bottomed cylindrical detector cylinder is coated with electrically conductive and corrosion-resistant ceramics or A suspended particle detector characterized in that a coating layer made of a corrosion-resistant metal is formed.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63043112A JP2595285B2 (en) | 1987-02-25 | 1988-02-25 | Suspended particle detector |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62-42142 | 1987-02-25 | ||
| JP4214287 | 1987-02-25 | ||
| JP63043112A JP2595285B2 (en) | 1987-02-25 | 1988-02-25 | Suspended particle detector |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01199137A true JPH01199137A (en) | 1989-08-10 |
| JP2595285B2 JP2595285B2 (en) | 1997-04-02 |
Family
ID=26381796
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63043112A Expired - Lifetime JP2595285B2 (en) | 1987-02-25 | 1988-02-25 | Suspended particle detector |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2595285B2 (en) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH06138067A (en) * | 1991-08-06 | 1994-05-20 | Shinagawa Refract Co Ltd | Cell for measuring electric conductivity |
| CN104713815A (en) * | 2015-03-24 | 2015-06-17 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | Sample gas pipeline, made of glass material, of aerosol focusing gas circuit and manufacturing method of sample gas pipeline |
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-
1988
- 1988-02-25 JP JP63043112A patent/JP2595285B2/en not_active Expired - Lifetime
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| CN104713815A (en) * | 2015-03-24 | 2015-06-17 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | Sample gas pipeline, made of glass material, of aerosol focusing gas circuit and manufacturing method of sample gas pipeline |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2595285B2 (en) | 1997-04-02 |
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