JPH01194973A - Applicator for spin coating - Google Patents

Applicator for spin coating

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Publication number
JPH01194973A
JPH01194973A JP63017341A JP1734188A JPH01194973A JP H01194973 A JPH01194973 A JP H01194973A JP 63017341 A JP63017341 A JP 63017341A JP 1734188 A JP1734188 A JP 1734188A JP H01194973 A JPH01194973 A JP H01194973A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
coating
fins
disk
coated
scattered
Prior art date
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Pending
Application number
JP63017341A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Keiji Kakinuma
柿沼 敬二
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
EMI Records Japan Inc
Original Assignee
Toshiba Emi Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Toshiba Emi Ltd filed Critical Toshiba Emi Ltd
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Publication of JPH01194973A publication Critical patent/JPH01194973A/en
Pending legal-status Critical Current

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  • Surface Treatment Of Optical Elements (AREA)
  • Coating Apparatus (AREA)
  • Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)

Abstract

PURPOSE:To prevent a splash of scattered coating material from being stuck on a member to be coated by providing a nozzle for application to a supporting turntable which is rotated while supporting the member to be coated thereon and furthermore providing a plurality of fins on a concentric circle around the supporting turntable at nearly equiintervals to the nearly radiate directions from the center of this turntable. CONSTITUTION:While coating for a protective film dropped through a nozzle 10 for application allows to be transferred to the peripheral edge direction with centrifugal force caused by high-speed rotation of a compact disk 5, a paint film having uniform thickness of about 5-10mu is formed on this disk 5. At a time for this formation, excess coating is scattered from the outer peripheral edges of the disk 5 by centrifugal force but allowed to collide against the fins 7 which are provided nearly radiately from the center of a housing 4 to the vertical direction and scattered toward the outside directions of the fins 7. Therefore the coating droplets 5a directed to the direction of the compact dick 5 are made extremely little. Even if the coating droplets 5a are rebounded to the direction returned to the disk 5, these are allowed to collide against the adjacent fins 7 and do not return to the disk 5 and not stuck thereon.

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、コンパクトディスクと通称されるオーディオ
用デジタルディスク等の被コーティング部材に、平均し
た略一定の厚さの塗膜を形成するため、回転している被
コーティング部材上に塗膜材料を滴下し、遠心力によっ
て塗膜厚を一定化すると共に余分な塗膜材料を遠心力で
飛ばしてしまうスピンコート用塗布装置の改良に関する
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Industrial Field of Application] The present invention provides a method for forming a coating film having a substantially constant average thickness on a member to be coated, such as an audio digital disc commonly referred to as a compact disc. This invention relates to an improvement in a spin coating coating device that drops coating material onto a rotating member to be coated, uses centrifugal force to stabilize the coating thickness, and blows away excess coating material using centrifugal force.

〔従来の技術〕[Conventional technology]

従来のコンパクトディスクの製造に使用されるスピンコ
ート用塗布装置を、第11図、第12図について説明す
る。
A conventional spin coating coating device used for manufacturing compact discs will be explained with reference to FIGS. 11 and 12.

1はコンパクトディスクを支持して回転する支持回転台
で、その周囲には一定の間隔を介してハウジング2が設
けられており、その上部のコンパクトディスク面と交わ
る反射板3は、コンパクトディスク面と45度の角度を
なす円錐形面となっている。
Reference numeral 1 denotes a support rotary table which supports and rotates a compact disc.A housing 2 is provided around the support rotary table at a constant interval.A reflecting plate 3 on the upper part of which intersects with the compact disc surface is connected to the compact disc surface. It has a conical surface forming an angle of 45 degrees.

従って、コンパクトディスク面に塗膜を形成するコーテ
ィング材料を滴下しコンパクトディスクを高速で回転さ
せると、その遠心力で外側に向って移行しながら、コン
パクトディスク面に−様の厚さのコーティング面を形成
する。
Therefore, when a coating material that forms a coating film is dropped onto the compact disc surface and the compact disc is rotated at high speed, the centrifugal force causes the coating material to move outward, leaving a -like thickness of the coating material on the compact disc surface. Form.

そして、このコーティング面を形成した後の余分なコー
ティング材料は、遠心力によってコンパクトディスクの
周縁から、略接線方向に飛ばされ、反射板3に当ってハ
ウジング2の下方に滴下する。
The excess coating material after forming the coating surface is blown away from the periphery of the compact disk in a substantially tangential direction by centrifugal force, hits the reflector plate 3, and drips below the housing 2.

そのため、コンパクトディスク面には−様な厚さのコー
ティング面が形成されると共に、余分なコーティング材
料がコンパクトディスクの周縁に溜ることはないもので
ある。
Therefore, a coating surface having a uniform thickness is formed on the surface of the compact disc, and excess coating material does not accumulate on the periphery of the compact disc.

〔発明が解決しようとする課題〕[Problem to be solved by the invention]

このようなスピンコート用塗布装置においては、コンパ
クトディスクの周縁から略接線方向に飛び敗ったコーテ
ィング材料が反射板3に当って、その一部がはね返り、
コンパクトディスク面に再び付着することがある。
In such a spin coating application device, the coating material that flies from the periphery of the compact disc in a substantially tangential direction hits the reflector plate 3, and a part of it bounces off.
It may re-adhere to the compact disc surface.

このはね返りにより付着を防止するためには、反射板3
とコンパクトディスクの周縁との距離を充分にとり、は
ね返ったコーティング材料がコンパクトディスクに達し
ないようにしなければならない。
In order to prevent adhesion due to this rebound, reflector 3
and the periphery of the compact disc to prevent splashed coating material from reaching the compact disc.

そのため、装置全体が大型化し、スペースファクタを悪
くしていた欠点があった。
As a result, the overall size of the device has increased, which has the disadvantage of worsening the space factor.

又、そのように大型化しても、尚一部がコンパクトディ
スク面にまでははね返り、製品の仕上りを悪くし、歩留
りを低下させていた欠点があった。
Moreover, even with such an increase in size, a portion of the disc still bounces off the surface of the compact disc, resulting in a poor finish of the product and a reduction in yield.

〔課題を解決するための手段〕[Means to solve the problem]

本発明は、従来のスピンコート用塗布装置の前述の欠点
を解消し、小型化してスペースファクタが向上するにも
拘らず、飛散したコーティング材料のはね返りが被コー
ティング部材に付着しないスピンコート用塗布装置を提
供するためのもので、その手段は、被コーティング部材
を支持して回転する支持回転台と、該支持回転台上に支
持されて回転する被コーティング部材上に塗膜材料を滴
下する塗布用ノズルと、前記支持回転台の周囲の同心円
上に略等間隔で、支持回転台の中心から略放射方向に複
数設置されたフィンとを備えたスピンコート用塗布装置
によってなされる。
The present invention solves the above-mentioned drawbacks of the conventional spin coating coating device, and although it is miniaturized and the space factor is improved, the spin coating coating device prevents the splashing of the coating material from adhering to the coated member. The means includes a support rotary table that supports and rotates a member to be coated, and a coating device for dropping a coating film material onto the rotary member supported on the support rotary table. This is done by a spin coating application device that includes a nozzle and a plurality of fins installed approximately radially from the center of the support rotary table at approximately equal intervals on a concentric circle around the support rotary table.

〔作 用] 未発明のスピンコート用塗布装置は、被コーティング部
材の周縁から遠心力で飛散したコーティング材料は、フ
ィンに当る。
[Function] In the uninvented spin coating application device, the coating material scattered by centrifugal force from the periphery of the member to be coated hits the fins.

しかし、このフィンは、中心から略放射状に、縦方向に
列設されているので、これに当ってはね返る飛沫は、フ
ィンの外側方向に向って飛び敗るので被コーティング部
材方向に向うコーティング材の飛沫は極めて少い。
However, since the fins are arranged in a vertical direction approximately radially from the center, the droplets that bounce off the fins fly away toward the outside of the fins, causing the coating material to flow toward the member to be coated. There are very few droplets.

そして、コーティング材方向に戻る方向にはね返ったと
しても、隣接のフィンに当る確率が極めて高く、被コー
ティング部材にはね返るコーティング材料は絶無に近い
ものとなる。
Even if it bounces back toward the coating material, there is a very high probability that it will hit an adjacent fin, and there will be almost no coating material that will bounce back onto the member to be coated.

〔発明の実施例〕[Embodiments of the invention]

本発明のコンパクトディスクの裏面(レーベル面)のコ
ート用に使用するスピンコート用塗布装置の実施例につ
いて説明する。
An embodiment of a spin coat coating device used for coating the back side (label side) of a compact disc according to the present invention will be described.

第1図、第2図において、4はハウジングで、その内部
にはコンパクトディスク5が載置されて回転する回転軸
6が設けられている。
In FIGS. 1 and 2, reference numeral 4 denotes a housing, and a rotary shaft 6 on which a compact disk 5 is placed and rotates is provided inside the housing.

そして、この回転軸6で支持されて回転するコンパクト
ディスク5の周縁には、後述するフィン7がハウジング
4に取付けられている。
Fins 7, which will be described later, are attached to the housing 4 around the periphery of the compact disc 5, which is supported and rotated by the rotating shaft 6.

又、ハウジング4の4隅には排気口8が設けられ、ハウ
ジング4の中心部に設けられた給気口9から給入された
空気は排気口8から排出され、コーティング材料の溶剤
等の気化物が、この排気と共に排出されるものである。
In addition, exhaust ports 8 are provided at the four corners of the housing 4, and the air supplied from the air supply port 9 provided at the center of the housing 4 is discharged from the exhaust port 8, and the air such as the solvent of the coating material is removed. These substances are discharged together with this exhaust gas.

10は塗布用ノズルで、例えば大日本インキ製5D−1
7等の保護膜用塗料を滴下するもので、第2図の鎖線の
位置間を移動できるものである。
10 is a coating nozzle, for example, 5D-1 manufactured by Dainippon Ink.
7 or the like, and can be moved between the positions indicated by the chain lines in FIG.

前記フィン7は第3図、第4図に示すように、回転軸6
の中心から同心円に、9度の間隔で40枚、放射状に、
且つ縦方向には15度の傾斜をもって列設されているも
のである。
As shown in FIGS. 3 and 4, the fins 7 are connected to the rotating shaft 6.
40 pieces radially at 9 degree intervals in concentric circles from the center of
Moreover, they are arranged in rows with an inclination of 15 degrees in the vertical direction.

前記の塗布用ノズル10から滴下された保護膜用塗料は
、コンパクトディスク5の高速回転によって生じる遠心
力で、周縁方向に移行しながらコンパクトディスク5上
に、5〜10ミクロン程度の均一な厚さの塗膜を形成す
る。
The protective coating paint dripped from the coating nozzle 10 moves toward the periphery due to the centrifugal force generated by the high-speed rotation of the compact disc 5, and is spread onto the compact disc 5 to a uniform thickness of about 5 to 10 microns. Forms a coating film.

そして、この塗膜を形成するのに余分であった保護膜用
塗料はコンパクトディスク5の外周縁から遠心力で飛散
するものであるが、その時の塗料滴5aが飛ぶ方向は、
コンパクトディスク5の外周縁の接線Zに対して角αが
0〜30度の方向に飛ぶものである。
The protective film paint that was surplus to form this paint film is scattered by centrifugal force from the outer periphery of the compact disc 5, but the direction in which the paint droplets 5a fly is as follows:
The angle α with respect to the tangent Z to the outer periphery of the compact disc 5 extends in a direction of 0 to 30 degrees.

そして、第6図のようにその時に塗料滴5aが面Yにθ
なる角で当り、点線の矢印の方向にはね返るものである
が、その角θが45度以下では反射角がθよりも小さく
なり、面Yに付着する塗料滴5aが多くなって、はね返
る塗料滴5aが少くなることが実験から明らかになった
Then, as shown in FIG. 6, the paint droplet 5a is θ
However, if the angle θ is less than 45 degrees, the reflection angle will be smaller than θ, and more paint droplets 5a will adhere to the surface Y, causing the paint droplets to bounce back. Experiments have revealed that 5a is reduced.

この面Yが本実施例においては、フィン7はコンパクト
ディスク5の外周から僅かに離れた位置に設置されてい
るので、第7図の2点A 、 A’からの塗料滴5aが
フィン7に当る入射角は、次のようにして求めることが
できる。
In this embodiment, since the fin 7 is installed at a position slightly apart from the outer periphery of the compact disc 5, the paint droplets 5a from the two points A and A' in FIG. The angle of incidence can be determined as follows.

n=oτ′=r(半径) 0は回転中心0B=f   
OB’ =i’  ZBOA=aα=半径rの円の接線
からのずれ角度 β−ZBOc=ZAOA’  、フィン7の設置間隔の
角度とすると ZABO=θ= −−(a+α) である。
n=oτ'=r (radius) 0 is the center of rotation 0B=f
OB' = i' ZBOA = aα = angle of deviation from the tangent of the circle of radius r β - ZBOc = ZAOA', and assuming that the angle of the installation interval of the fins 7 is ZABO = θ = - (a + α).

又、回転中心Oから塗料滴5aがフィン7に当る距離2
は 同様にしてA′からの入射角θ′、距離2′はZA’ 
B’ O=θ′−θ−β = −−(a+β+α) となる。
Also, the distance 2 from the rotation center O to which the paint droplet 5a hits the fin 7 is
Similarly, the incident angle θ' from A' and the distance 2' are ZA'
B'O=θ'-θ-β=--(a+β+α).

そして、余弦定理から cos a=x 、sin cr=bとおけばf”x”
+2r2(b”  1)x −b”r”−b2j!”+
r2=0となる。
Then, from the cosine theorem, if we set cos a=x and sin cr=b, then f”x”
+2r2(b”1)x −b”r”−b2j!”+
r2=0.

これをコンパクトディスク5の半径60順で計算すると
、前述のようにα−0〜30度であるから、塗料粘度約
35cps、回転数3000rpm、フィン7の設置間
隔9度(40枚)として計算すると、 θ=45度、α−0度(θ′−36度、a=45度)の
時 !!、=85価、f’=102胴 となる。
If we calculate this in the order of radius 60 of the compact disc 5, it is α - 0 to 30 degrees as mentioned above, so we calculate it assuming a paint viscosity of about 35 cps, a rotation speed of 3000 rpm, and an installation interval of fins 7 of 9 degrees (40 discs). , when θ=45 degrees, α-0 degrees (θ'-36 degrees, a=45 degrees)! ! , = 85 valence, f' = 102 cylinder.

そこで、フィン7の内径を前記の2に従って851nI
11を採用すれば、α=30度の時ff1=85mm、
 1’ =108.3鵬となる。
Therefore, the inner diameter of the fin 7 was set to 851 nI according to 2 above.
11, when α=30 degrees, ff1=85mm,
1' = 108.3 Peng.

従って、フィン7の外径を110mmとすれば、このフ
ィン7への塗料滴5aの入射角は45°以下となる。
Therefore, if the outer diameter of the fin 7 is 110 mm, the angle of incidence of the paint droplet 5a on the fin 7 will be 45° or less.

そのため、遠心力で飛散した塗料滴5aの大部分はフィ
ン7に付着し、はね返った塗料滴5aはフィン7の外径
方向に飛散する。
Therefore, most of the paint droplets 5a scattered by the centrifugal force adhere to the fins 7, and the paint droplets 5a that have been rebounded are scattered in the direction of the outer diameter of the fins 7.

又、乱反射的にはね返った塗料滴5aは隣接のフィン7
に大部分が当り、コンパクトディスク5に達する塗料滴
5aは絶無に近いものである。
Moreover, the paint droplet 5a that bounced back due to diffused reflection hits the adjacent fin 7.
Most of the paint drops 5a reach the compact disc 5, and almost no paint drops 5a reach the compact disc 5.

斯くして、フィン7に付着した塗料滴5aは、フィン7
が縦方向には15度の角度で傾いているので、これによ
って流下し易くなり、フィン7上に止まるものは少くな
る。
In this way, the paint droplets 5a attached to the fins 7
Since the fins are tilted at an angle of 15 degrees in the vertical direction, this makes it easier for them to flow down, and fewer things get stuck on the fins 7.

なお、第8図に示したように、フィン7には端面があり
、この端面に当った塗料滴5aの反射角は、コンパクト
ディスク5の方向へ向うこと−なるので、この塗料滴5
aがコンパクトディスク5に付着する危険性がある。
As shown in FIG. 8, the fin 7 has an end surface, and the reflection angle of the paint droplet 5a that hits this end surface is directed toward the compact disc 5.
There is a risk that a may adhere to the compact disc 5.

これを少しでも減少するために、フィン7の端面に面取
り7aを行って、端面に当る塗料滴5aを減少させるよ
うにするのが望ましい。
In order to reduce this as much as possible, it is desirable to chamfer the end faces of the fins 7 to reduce the amount of paint droplets 5a hitting the end faces.

更に、第9図、第10図は他の実施例を示すもので、こ
の実施例においては、回転中心を通る放射線fflに対
し、フィン7の角度を角Tだけ斜めにしたものである。
Furthermore, FIGS. 9 and 10 show another embodiment, in which the angle of the fin 7 is oblique by an angle T with respect to the radiation ffl passing through the center of rotation.

この実施例における塗料滴5aの入射角度θ“、θ”は
、 ZBOA−r=θ“=θ−γ ZBDA’=θ′−θ−T−β ZDOB=ψ となる。
The incident angles θ", θ" of the paint droplets 5a in this example are as follows: ZBOA-r=θ"=θ-γ ZBDA'=θ'-θ-T-β ZDOB=ψ.

従って、塗料滴5aの入射角θ“、θ〜は小さくなって
、はね返る塗料滴5aを前実施例よりも少くすることが
可能となる。
Therefore, the incident angles θ'', θ~ of the paint droplets 5a become smaller, making it possible to reduce the number of paint droplets 5a that bounce back than in the previous embodiment.

しかし、フィン7の端面に対する塗料滴5aの入射角が
第10図のように45度又はそれ以上となり、コンパク
トディスク5にはね返る塗料滴5aが多くなるおそれが
あるので、端面の面取り7aの必要性は前実施例よりも
必要性が高(なる。
However, the angle of incidence of the paint droplets 5a on the end surface of the fin 7 is 45 degrees or more as shown in FIG. is more necessary than in the previous example.

更に、前実施例のフィン7と同じ内径P=85胴、フィ
ン7の間隔角度β=9度とした場合でも、フィン7の傾
斜角T=10度とした場合には、0D=119.4mm
と大きくなり、ハウジング4の内径を大きくせざるを得
なくなる。
Furthermore, even if the inner diameter P = 85 of the body and the interval angle β of the fins 7 = 9 degrees, and the inclination angle T of the fins 7 = 10 degrees, 0D = 119.4 mm.
Therefore, the inner diameter of the housing 4 has to be increased.

〔発明の効果] 本発明は畝上のように、被コーティング部材の外周に、
中心から放射状にフィンを列設したので、被コーティン
グ部材から遠心力で飛散したコーティング滴は、フィン
に対し45以下の角度で入射するので、その大部分はフ
ィンに付着し、はね返るものは少くなる。
[Effects of the Invention] The present invention provides ridges on the outer periphery of the member to be coated.
Since the fins are arranged radially from the center, the coating droplets scattered by centrifugal force from the member to be coated will be incident on the fins at an angle of 45 or less, so most of them will stick to the fins and only a few will bounce back. .

そして、はね返ったとしても、その反射角は被コーティ
ング部材から遠ざかる方向であるので、はね返ったコー
ティング滴が被コーティング部材に付着することがない
Even if it rebounds, the angle of reflection is in the direction away from the member to be coated, so the rebounded coating droplet will not adhere to the member to be coated.

又、万一乱反射的にはね返ったコーティング滴があって
も、その大部分は隣接のフィンに当ってしまうため、被
コーティング部材に飛散したコーティング摘が戻って付
着することはない。
Furthermore, even if some coating droplets bounce back due to diffuse reflection, most of them will hit the adjacent fins, so the scattered coating droplets will not return and adhere to the member to be coated.

更に、このようなフィンの設置によって、その外径は小
さくなるので、装置全体が小型化され、スペースファク
タが向上される。
Furthermore, by installing such fins, the outer diameter of the fins is reduced, so that the overall device is miniaturized and the space factor is improved.

そして、製品歩留まりの向上、装置内外の汚れが改善さ
れる等の効果を有するものである。
This has effects such as improving product yield and reducing contamination inside and outside the device.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図は本発明の一実施例を示す第2図のA−A線断面
図、 第2図は同上の平面図、 第3図はフィンの側面図、 第4図はその平面図、 第5図は塗料滴の飛散方向の説明図、 第6図はその入射角の説明図、 第7図はフィンと飛散する塗料滴の説明図、第8図はそ
の一部の拡大説明図、 第9図はフィンと飛散する塗料滴の他の実施例の説明図
、 第10図は同上の一部の拡大説明図、 第11図は従来のスピンコート用塗布装置の第12図に
おけるB−B線断面図、 第12図は同上の平面図である。 5・・・コンパクトディスク、5a・・・塗料滴、6・
・・回転軸、7・・・フィン、8・・・排気口、9・・
・給気口、10・・・塗布用ノズル。
1 is a sectional view taken along the line A-A in FIG. 2 showing an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a plan view of the same as above, FIG. 3 is a side view of the fin, FIG. 4 is a plan view thereof, Figure 5 is an explanatory diagram of the scattering direction of paint droplets, Figure 6 is an explanatory diagram of the angle of incidence, Figure 7 is an explanatory diagram of the fin and the paint droplets that scatter, and Figure 8 is an enlarged explanatory diagram of a part of it. Figure 9 is an explanatory diagram of another embodiment of the fin and the paint droplets that fly away, Figure 10 is an enlarged explanatory diagram of a part of the same as above, and Figure 11 is B-B in Figure 12 of a conventional spin coating applicator. A line sectional view, and FIG. 12 is a plan view of the same. 5...Compact disc, 5a...Paint drop, 6.
... Rotating shaft, 7... Fin, 8... Exhaust port, 9...
・Air supply port, 10... Application nozzle.

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims]  被コーティング部材を支持して回転する支持回転台と
、該支持回転台上に支持されて回転する被コーティング
部材上に塗膜材料を滴下する塗布用ノズルと、前記支持
回転台の周囲の同心円上に略等間隔で、支持回転台の中
心から略放射方向に複数設置されたフィンとを備えたこ
とを特徴とするスピンコート用塗布装置。
a support rotary table that supports and rotates a member to be coated; a coating nozzle that drips a coating film material onto the member to be coated that is supported and rotates on the support rotary table; and a concentric circle around the support rotary table. 1. A spin coating coating device comprising: a plurality of fins installed at substantially equal intervals in a substantially radial direction from the center of a support rotary table.
JP63017341A 1988-01-29 1988-01-29 Applicator for spin coating Pending JPH01194973A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP63017341A JPH01194973A (en) 1988-01-29 1988-01-29 Applicator for spin coating

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JP (1) JPH01194973A (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2016195980A (en) * 2015-04-06 2016-11-24 トヨタ自動車株式会社 Spin coating device

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5889966A (en) * 1981-11-24 1983-05-28 Hitachi Ltd Coater

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