JPH011904A - 形状歪測定装置 - Google Patents
形状歪測定装置Info
- Publication number
- JPH011904A JPH011904A JP62-157044A JP15704487A JPH011904A JP H011904 A JPH011904 A JP H011904A JP 15704487 A JP15704487 A JP 15704487A JP H011904 A JPH011904 A JP H011904A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- detectors
- disk
- irradiation position
- detector
- shape distortion
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は、光デイスク記録媒体等の形状の機械的変形特
性を光学的に検出する測定装置に関する。
性を光学的に検出する測定装置に関する。
（従来の技術）
従来の光学式記録媒体等の変形特性を測定する面振れ測
定装置を第３図に示す。これは光源１から出たレーザ光
４をレンズで、モータｌＯによシ回転するディスク２の
面上に収束させ、ディスク２からの反射光５を検出器３
に収束し、ディスク２及び、面振れによシ平行移動した
ディスク２′に対応する収束点の変化１を測定し、面振
れ量を検知するものである。
定装置を第３図に示す。これは光源１から出たレーザ光
４をレンズで、モータｌＯによシ回転するディスク２の
面上に収束させ、ディスク２からの反射光５を検出器３
に収束し、ディスク２及び、面振れによシ平行移動した
ディスク２′に対応する収束点の変化１を測定し、面振
れ量を検知するものである。
（発明が解決しようとする問題点）
しかしながらこの方式はディスク２の上下振れに伴うデ
ィスク面の傾きが反射光束の変位に影響（実施例） 以下図面を参照して本発明の実施例について述べる。第
１図は本発明による一実施例の光学系を示すものである
。図において、第３図と同一の部分には同一符号を付し
てその説明を省略するも、実線で示すディスク２に対し
て点線で示すディス１．１′−−゛ り２ａは、
ディスク２が面振れ及び反シの両方を生じた状態を示す
。
ィスク面の傾きが反射光束の変位に影響（実施例） 以下図面を参照して本発明の実施例について述べる。第
１図は本発明による一実施例の光学系を示すものである
。図において、第３図と同一の部分には同一符号を付し
てその説明を省略するも、実線で示すディスク２に対し
て点線で示すディス１．１′−−゛ り２ａは、
ディスク２が面振れ及び反シの両方を生じた状態を示す
。
又、位置検知器として複数の受光素子からなる第出カフ
ａは第１駆動装置８ａに加えられ、該第１、駆動装置８
ａに上記誤差出カフａに応じて第１゜第２検知器６ａ、
６ｂを１体にディスク２に対してその半径方向に平行移
動させる。又、第１検出器６ａに向かい合って固定され
た第２検知器６ｂの位置誤差出カフｂは、第２駆動装置
８ｂに加えられ、該第２駆動装置８ｂは、上記誤差出カ
フｂりに回動させる。以上の構成において、レーザ光源
１を出射したレーザ光４は、ディスク２によって反射さ
れ、第１検知器６ａに入射し、さらに第２検知器６ｂに
入射する。これら検知器６ａ及び６ｂは第２図に示され
る通り受光面が向かい合っておシ、お互いの受光面の成
す角は、検出感度を最大にする為、レーザ光４がディス
ク２に入射する入射角θと同じになっている。この位置
関係により、検知器６ａの受光面に入射する反射光５の
入射角もθであり、これがさらに検知器６ａを反射して
検知器６ｂの受光面の中央に垂直に入射する様になって
いる。今、第１図のディスク２で示す通シ面振れも反り
も生じていないディスク２を回転させた場合、光４はデ
ィスク２の中央に角度θで入射し、角度θで出射した後
、検知器６ａの中央に当シ、再び反射して検知器６ｂに
垂直に入射する。この様に検知器６ａ、６ｂの中央に入
射する場合位置誤差出カフａ及び７ｂはゼロであシ、上
記検知器６ａ及び６ｂは何ら駆動されない。次に点線で
示すディスク２ａの如く、面振れΔＺと反りαが生じた
場合、反射光５ａの照射位置はずれるので、誤差出カフ
ａ、７ｂは犬となシ、この誤差出力のレベル及び極性に
応じて、第１及び第２駆動装置８ａ及び８ｂは、上記照
射位置が常に検知器６ａ、６ｂの中央に来る様に、これ
ら検知器６ａ、６ｂを、点線で示す検知器６ ａ’ 、
６ ｂ’の位置まで平行移動させると共に回転させて
自動制御する。こうした制御による移動距離１及び回転
角βはそれぞれ上記誤差出カフａ及び７ｂに比例してい
る。従ってあらかじめ基準となるディスクを用いて各種
の誤差出カフａ及び７ｂに対応する移動距離１及び回転
角βを測定しておけば、未知のディスク２に対する移動
距離１及び回転角βを、上記誤差出カフａ及び７ｂから
算出出来る。
ａは第１駆動装置８ａに加えられ、該第１、駆動装置８
ａに上記誤差出カフａに応じて第１゜第２検知器６ａ、
６ｂを１体にディスク２に対してその半径方向に平行移
動させる。又、第１検出器６ａに向かい合って固定され
た第２検知器６ｂの位置誤差出カフｂは、第２駆動装置
８ｂに加えられ、該第２駆動装置８ｂは、上記誤差出カ
フｂりに回動させる。以上の構成において、レーザ光源
１を出射したレーザ光４は、ディスク２によって反射さ
れ、第１検知器６ａに入射し、さらに第２検知器６ｂに
入射する。これら検知器６ａ及び６ｂは第２図に示され
る通り受光面が向かい合っておシ、お互いの受光面の成
す角は、検出感度を最大にする為、レーザ光４がディス
ク２に入射する入射角θと同じになっている。この位置
関係により、検知器６ａの受光面に入射する反射光５の
入射角もθであり、これがさらに検知器６ａを反射して
検知器６ｂの受光面の中央に垂直に入射する様になって
いる。今、第１図のディスク２で示す通シ面振れも反り
も生じていないディスク２を回転させた場合、光４はデ
ィスク２の中央に角度θで入射し、角度θで出射した後
、検知器６ａの中央に当シ、再び反射して検知器６ｂに
垂直に入射する。この様に検知器６ａ、６ｂの中央に入
射する場合位置誤差出カフａ及び７ｂはゼロであシ、上
記検知器６ａ及び６ｂは何ら駆動されない。次に点線で
示すディスク２ａの如く、面振れΔＺと反りαが生じた
場合、反射光５ａの照射位置はずれるので、誤差出カフ
ａ、７ｂは犬となシ、この誤差出力のレベル及び極性に
応じて、第１及び第２駆動装置８ａ及び８ｂは、上記照
射位置が常に検知器６ａ、６ｂの中央に来る様に、これ
ら検知器６ａ、６ｂを、点線で示す検知器６ ａ’ 、
６ ｂ’の位置まで平行移動させると共に回転させて
自動制御する。こうした制御による移動距離１及び回転
角βはそれぞれ上記誤差出カフａ及び７ｂに比例してい
る。従ってあらかじめ基準となるディスクを用いて各種
の誤差出カフａ及び７ｂに対応する移動距離１及び回転
角βを測定しておけば、未知のディスク２に対する移動
距離１及び回転角βを、上記誤差出カフａ及び７ｂから
算出出来る。
ここで、上記反射光５と５４とのなす角は２αであるか
ら、第２の検知器６ｂへの照射位置が中央になる様に制
御された状態では、上記回転角βは上記反り角αの２倍
となるので、 β からαを算出することが出来る。
ら、第２の検知器６ｂへの照射位置が中央になる様に制
御された状態では、上記回転角βは上記反り角αの２倍
となるので、 β からαを算出することが出来る。
次に移動距離１は面振れΔＺと反シ角αの２因子によっ
て定まシ、移動距離ふと先に求めた反シ角αとから数値
計算にて面振れ量ΔＺを求める事が出来る。即ち なお、本発明においては第１及び第２の検知器６ａ及び
６ｂのなす角は、必ずしもレーザ光４のディスク２に対
する入射角Ｕと等しくする必要はないが、上述の如くこ
れらを等しくすることによって、第２の検知器６ｂに対
する入射光を、その受光面に対して垂直にすることが出
来、検出感度を向上させることが出来る。
て定まシ、移動距離ふと先に求めた反シ角αとから数値
計算にて面振れ量ΔＺを求める事が出来る。即ち なお、本発明においては第１及び第２の検知器６ａ及び
６ｂのなす角は、必ずしもレーザ光４のディスク２に対
する入射角Ｕと等しくする必要はないが、上述の如くこ
れらを等しくすることによって、第２の検知器６ｂに対
する入射光を、その受光面に対して垂直にすることが出
来、検出感度を向上させることが出来る。
（効果）
以上の様に本発明によれば極めて簡単な構成により光デ
ィスクの機械的特性の内の面振れ量と反シ角αを独立に
測定出来る。
ィスクの機械的特性の内の面振れ量と反シ角αを独立に
測定出来る。
第１図は本発明の一実施例を示す概略図、第２図はその
要部拡大図、第３図は従来例を示す概略図である。 ２・・・ディスク ６ａ、６ｂ・・・検知器８ａ
、８ｂ・・・駆動装置
要部拡大図、第３図は従来例を示す概略図である。 ２・・・ディスク ６ａ、６ｂ・・・検知器８ａ
、８ｂ・・・駆動装置
Claims (1)
- 光源からのレーザ光を回転する被測定体面に投射して、
その反射光の照射位置の変化量を検出して被測定体の形
状歪を測定する装置において、所定の角度を持って向か
い合う様に互いに固定された第一及び第二の照射位置検
出器と、上記両検出器を平行移動させる第１駆動装置と
、上記両検出器を回動させる第２駆動装置と、上記第１
及び第２の照射位置検出器の出力をそれぞれ上記第１及
び第２駆動装置にフィードバックして、上記反射光の照
射位置を常に上記第１及び第２の照射位置検出器の所定
位置にする制御手段とを有する形状歪測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62-157044A JPH011904A (ja) | 1987-06-24 | 形状歪測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62-157044A JPH011904A (ja) | 1987-06-24 | 形状歪測定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS641904A JPS641904A (en) | 1989-01-06 |
| JPH011904A true JPH011904A (ja) | 1989-01-06 |
Family
ID=
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