JPH01188479A - 窒化珪素質多孔体の製造法 - Google Patents
窒化珪素質多孔体の製造法Info
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Landscapes
- Ceramic Products (AREA)
- Porous Artificial Stone Or Porous Ceramic Products (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明はサイクロトロンからのプロトンを１５Ｎに当て
−、放射性同位元素である１５Ｑを得るため、窒化珪素
質多孔体の固体ターゲットを製造する方法に関するもの
である。
−、放射性同位元素である１５Ｑを得るため、窒化珪素
質多孔体の固体ターゲットを製造する方法に関するもの
である。
［従来技術とその課題］
従来の珪素をもとに窒素雰囲気中で反応焼結された窒化
珪素材にあっては高強度化、緻密化を目的に種々の開発
がなされているが、本発明のように積極劉に多孔質の焼
結体を製造しようとする発明は見あたらない、サイクロ
トロンからのプロトンを１５Ｎに当て一１各種トレーサ
として用いられる放射性同位元素１５Ｑを得るため、従
来は窒素ガスをターゲットとしているが天然の窒素ガス
は１５Ｎの割合が低いので、これを濃縮したものを用い
ているが、この濃縮ガスは高価なものである。
珪素材にあっては高強度化、緻密化を目的に種々の開発
がなされているが、本発明のように積極劉に多孔質の焼
結体を製造しようとする発明は見あたらない、サイクロ
トロンからのプロトンを１５Ｎに当て一１各種トレーサ
として用いられる放射性同位元素１５Ｑを得るため、従
来は窒素ガスをターゲットとしているが天然の窒素ガス
は１５Ｎの割合が低いので、これを濃縮したものを用い
ているが、この濃縮ガスは高価なものである。
そこで１５Ｎガスを反応させていて１５Ｎを含む窒化珪
素固体ターゲットを用い、１５Ｎガスの利用効率を改善
することができる。この固体ターゲットの性質として、
要求されていることは■上記プロトンと１５Ｎとの核反
応により得られた１５０を回収するのに、前記固体ター
ゲットにキャリアガスを通過させるので、通気性が必要
で、■機器への取り付けのため、一定の加工性１強度が
必要である。
素固体ターゲットを用い、１５Ｎガスの利用効率を改善
することができる。この固体ターゲットの性質として、
要求されていることは■上記プロトンと１５Ｎとの核反
応により得られた１５０を回収するのに、前記固体ター
ゲットにキャリアガスを通過させるので、通気性が必要
で、■機器への取り付けのため、一定の加工性１強度が
必要である。
■については圧力損失が０．５ｋｇ／ｃｍ２において、
ターゲット寸法２４ｍｍφｘ３ｍｎ＋ｔとして圧縮空気
で約１５０ｍ１／ｗｉｎ以上（実使用において、ヘリウ
ムで約２５０ｍ１／ｍｉｎ以上が必要である。）が要求
されている。また、■については具体的な数値は確定さ
れていないが、すくなくとも、機械加工に耐え、通常の
取り扱いに耐えることが必要である。
ターゲット寸法２４ｍｍφｘ３ｍｎ＋ｔとして圧縮空気
で約１５０ｍ１／ｗｉｎ以上（実使用において、ヘリウ
ムで約２５０ｍ１／ｍｉｎ以上が必要である。）が要求
されている。また、■については具体的な数値は確定さ
れていないが、すくなくとも、機械加工に耐え、通常の
取り扱いに耐えることが必要である。
本発明はかかる事情に鑑みてなされたもので、通気性及
び機械強度ともに上記ターゲットに要求される性質を満
足する窒化珪素質多孔体の製造法を提供しようとするも
のである。
び機械強度ともに上記ターゲットに要求される性質を満
足する窒化珪素質多孔体の製造法を提供しようとするも
のである。
［課題を解決するための手段］
第１の発明は窒化珪素質多孔体の製造法において、平均
粒径４０μｍ以下の珪素粉末を４４ｗｔ％乃至７５ｗｔ
％と、残部を平均粒径４４μｍ乃至１４９μｍの窒化珪
素粉末として混合し、これを成形した後、窒化処理する
ことを特徴とする。
粒径４０μｍ以下の珪素粉末を４４ｗｔ％乃至７５ｗｔ
％と、残部を平均粒径４４μｍ乃至１４９μｍの窒化珪
素粉末として混合し、これを成形した後、窒化処理する
ことを特徴とする。
第２の発明は窒化珪素質多孔体の製造法において、平均
粒径４０μｍ以下の珪素粉末を成形後、窒素雰囲気中の
反応焼結工程において、珪素粉末の反応比率を５％乃至
５０％とすることを特徴とする。
粒径４０μｍ以下の珪素粉末を成形後、窒素雰囲気中の
反応焼結工程において、珪素粉末の反応比率を５％乃至
５０％とすることを特徴とする。
［実施例コ
本発明の窒素多孔体の製造方法は新規性、進歩性の高い
もので、従来技術に見るべきものがなく、前記窒素多孔
体の評価法を含めて数多くの試験を繰り返しながら、新
らしい知見を得て完成されたものである。以下に本発明
の構成と数値限定の理由について、第１乃至第６の試験
により詳細に説明する。
もので、従来技術に見るべきものがなく、前記窒素多孔
体の評価法を含めて数多くの試験を繰り返しながら、新
らしい知見を得て完成されたものである。以下に本発明
の構成と数値限定の理由について、第１乃至第６の試験
により詳細に説明する。
第１の試験
成形圧力は通気性に大きな影響を及ぼすものと考えられ
たので、これに関する試験を行った。平均粒径３０μｍ
の珪素粉末に１０％ＰＶＡ （Ｐｏ１ｙｖｉｎｙｌＡ
ｌｅ ｏｈｏｌ）水溶液を外部重量１０％加え、これを
乳鉢で混合したものを、プレス成形により３０ＩＩＩｌ
φＸ ５ｍｍｔのディスク状として、プロトン照射のタ
ーゲット用試料とした。このとき成形圧力の影響を検討
するため、成形圧力を１００ｋｇ／ｃｍ２がら１０００
ｋｇ／ｃ＋ｎ２の間で変えた試料を用意した。成形圧力
を１００ｋｇ／ｃｍ２以下とすると試料の強度が弱く、
その取り扱いが困難である。これらの試料を窒化炉で十
分窒化させ、試料中の珪素を略完全に窒化珪素とした後
、２４ｍｍΦＸ３ｍｍｔに加工し通気性の試験を行った
結果、第１図を得た。この結果によれば成形圧力によっ
て目標通気量１５０ｍ１／ｗｉｎを確保することは困難
である。しかしながら、この試験により試料作成の成形
圧力はその取り扱いまたは通気性の問題から、１００ｋ
ｇ／ｃｍ２乃至４００ｋｇ／ｃｍ２が適当であると判断
され、以下の試験においてはこれを２００ｋｇ／ｃＩ１
１２に統一して行った。
たので、これに関する試験を行った。平均粒径３０μｍ
の珪素粉末に１０％ＰＶＡ （Ｐｏ１ｙｖｉｎｙｌＡ
ｌｅ ｏｈｏｌ）水溶液を外部重量１０％加え、これを
乳鉢で混合したものを、プレス成形により３０ＩＩＩｌ
φＸ ５ｍｍｔのディスク状として、プロトン照射のタ
ーゲット用試料とした。このとき成形圧力の影響を検討
するため、成形圧力を１００ｋｇ／ｃｍ２がら１０００
ｋｇ／ｃ＋ｎ２の間で変えた試料を用意した。成形圧力
を１００ｋｇ／ｃｍ２以下とすると試料の強度が弱く、
その取り扱いが困難である。これらの試料を窒化炉で十
分窒化させ、試料中の珪素を略完全に窒化珪素とした後
、２４ｍｍΦＸ３ｍｍｔに加工し通気性の試験を行った
結果、第１図を得た。この結果によれば成形圧力によっ
て目標通気量１５０ｍ１／ｗｉｎを確保することは困難
である。しかしながら、この試験により試料作成の成形
圧力はその取り扱いまたは通気性の問題から、１００ｋ
ｇ／ｃｍ２乃至４００ｋｇ／ｃｍ２が適当であると判断
され、以下の試験においてはこれを２００ｋｇ／ｃＩ１
１２に統一して行った。
第２の試験
原料となる珪素の純度及び粒度の影響を検討するために
行ったもので、用意した試料は第１表の通りである。そ
の他、の試料作成の条件は第１の試験の通りである。こ
の表に示されているように、原料の粒度が４０μｍ以上
では窒化処理によって試料が膨張し、その機械的強度は
実用に耐えない。
行ったもので、用意した試料は第１表の通りである。そ
の他、の試料作成の条件は第１の試験の通りである。こ
の表に示されているように、原料の粒度が４０μｍ以上
では窒化処理によって試料が膨張し、その機械的強度は
実用に耐えない。
不純物の通気量におよぼす影響は試料Ｎｏ、２．６ 。
７から小さいものと判断された。また、原料の粒度につ
いては粒径の小さいものほど通気量が少なくなる傾向が
見られるが、大きな差はなく、何れも通気量は１５０ｍ
１／ｍｉｎ未満である。この試験により原料の調整だけ
では満足すべき通気量は得られないものと判断された。
いては粒径の小さいものほど通気量が少なくなる傾向が
見られるが、大きな差はなく、何れも通気量は１５０ｍ
１／ｍｉｎ未満である。この試験により原料の調整だけ
では満足すべき通気量は得られないものと判断された。
この他の試験について原料とした珪素は標準として第１
表のＮｏ、１の試料に■ ■ 第３の試験 試料作成の際に使用されるバインダーであるＰＶＡと造
粒の影響を調べたもので、原料の混合、造粒の方法は第
２表に示した通りである。この他の試料作成法は上記第
１の試験の場合と同様である。第２表の混合比は原料の
珪素粉末に対する外部比である。この表で試料Ｎｏ、１
乃至４ではバインダーの混合条件を検討し、試料Ｎｏ、
５．６では珪素粉末とＰＶＡ水溶液を乳鉢混合した後、
３２５ｍｅｓｈ篩上で造粒した条件を検討したものであ
る。第２表に示されているように、バインダー条件によ
っては通気量は殆ど変化しないことが明らかとなった。
表のＮｏ、１の試料に■ ■ 第３の試験 試料作成の際に使用されるバインダーであるＰＶＡと造
粒の影響を調べたもので、原料の混合、造粒の方法は第
２表に示した通りである。この他の試料作成法は上記第
１の試験の場合と同様である。第２表の混合比は原料の
珪素粉末に対する外部比である。この表で試料Ｎｏ、１
乃至４ではバインダーの混合条件を検討し、試料Ｎｏ、
５．６では珪素粉末とＰＶＡ水溶液を乳鉢混合した後、
３２５ｍｅｓｈ篩上で造粒した条件を検討したものであ
る。第２表に示されているように、バインダー条件によ
っては通気量は殆ど変化しないことが明らかとなった。
第２表
第４の試験
この試験は窒化率について検討したもので、試料の作成
方法は第１の試験と同様である。試料を窒化炉に装入し
て窒化処理を行い、目標の窒化率になったところで冷却
し、反応を停止させたちので、その結果を第２図に示し
である。この図に示されているように、窒化率５０％以
下で２００ｍ Ｉ ７ｍ ｉ ｎ以上の優れた通気率と
なっているが、窒化率２．５％以下では窒化は内部まで
進まず、機械的強度が不足して所定形状のディスクに加
工することが困難である。この結果で明らかにされたよ
うに、原料珪素が反応して生成した窒化珪素が重量で５
％乃至５０％であることが望ましい、 ″第５の
試験 この試験は原料中に予め粒度７４μＩＩ〜１４９μｍの
窒化珪素を配合したものについて行ったものである。こ
の配合率は第３表に示す通りで、その他の試料作成条件
は第１の試験の場合と同様である。
方法は第１の試験と同様である。試料を窒化炉に装入し
て窒化処理を行い、目標の窒化率になったところで冷却
し、反応を停止させたちので、その結果を第２図に示し
である。この図に示されているように、窒化率５０％以
下で２００ｍ Ｉ ７ｍ ｉ ｎ以上の優れた通気率と
なっているが、窒化率２．５％以下では窒化は内部まで
進まず、機械的強度が不足して所定形状のディスクに加
工することが困難である。この結果で明らかにされたよ
うに、原料珪素が反応して生成した窒化珪素が重量で５
％乃至５０％であることが望ましい、 ″第５の
試験 この試験は原料中に予め粒度７４μＩＩ〜１４９μｍの
窒化珪素を配合したものについて行ったものである。こ
の配合率は第３表に示す通りで、その他の試料作成条件
は第１の試験の場合と同様である。
この試料を窒化炉で窒化処理し、研削加工後、通気率を
測定した結果を第３表に示しである。窒化処理後の試料
は略１００％の窒化率となっている。
測定した結果を第３表に示しである。窒化処理後の試料
は略１００％の窒化率となっている。
第３表の結果から窒化珪素配合比が増加するほど通気量
が増加するが、窒化珪素配合比が９０ｗｔ％以上では焼
結体の加工時に割れが発生する。また、窒化珪素配合比
が２５％以下では窒化珪素配合の効果は少ないので、窒
化珪素配合比は２５％乃至９０％が好ましい範囲である
。
が増加するが、窒化珪素配合比が９０ｗｔ％以上では焼
結体の加工時に割れが発生する。また、窒化珪素配合比
が２５％以下では窒化珪素配合の効果は少ないので、窒
化珪素配合比は２５％乃至９０％が好ましい範囲である
。
第３表
第６の試験
この試験は前記第５の試験と同様に、原料中に予め窒化
珪素を配合するのもであるが、この窒化珪素粉末の粒度
の影響を検討したものである。平均粒径３０μｍの珪素
粉末に各種粒度の窒化珪素を５０ｗｔ％混合し、第５の
試験と同様に試料作成を行い、通気量の測定を行った。
珪素を配合するのもであるが、この窒化珪素粉末の粒度
の影響を検討したものである。平均粒径３０μｍの珪素
粉末に各種粒度の窒化珪素を５０ｗｔ％混合し、第５の
試験と同様に試料作成を行い、通気量の測定を行った。
この結果を第４表に示す。この表で、Ｎ０９６は窒化処
理過程で珪素の窒化率を２０％とし、したがって処理後
の窒化珪素の割合はこの表に示されるように６０ｗｔ％
になる例を示したものである。
理過程で珪素の窒化率を２０％とし、したがって処理後
の窒化珪素の割合はこの表に示されるように６０ｗｔ％
になる例を示したものである。
この表に示されているように原料として配合する窒化珪
素は４４μｍ以上で、かつ粒度分布が狭い方が通気量は
良好である。しかしながら、１４９μｍ以上の粗粒を多
量に混合した場合は加工性が著しく劣化し、研削が困難
である。したがって、原料として配合する窒化珪素の平
均粒径は４４μｍ乃至１４９μｍであることが好ましい
。
素は４４μｍ以上で、かつ粒度分布が狭い方が通気量は
良好である。しかしながら、１４９μｍ以上の粗粒を多
量に混合した場合は加工性が著しく劣化し、研削が困難
である。したがって、原料として配合する窒化珪素の平
均粒径は４４μｍ乃至１４９μｍであることが好ましい
。
また、第４の試験において示した珪素の窒化率を制御し
て良好な通気率を得ることは、本試験のように窒化珪素
を配合した場合についても有効であることは第４表のＮ
ｏ６の試料に関する試験から明らかである。
て良好な通気率を得ることは、本試験のように窒化珪素
を配合した場合についても有効であることは第４表のＮ
ｏ６の試料に関する試験から明らかである。
第４表
以上第１乃至第６の試験により、窒化珪素または珪素の
多孔体は本発明においてはサイクロトロン用の固体ター
ゲットの使用条件によって評価し、この使用条件を満足
する製品を作成することが出来たが、本発明による多孔
体は通気性が要求されるこの他の用途に対しても十分応
用が可能である。又、本発明の効果を応用し、窒化珪素
を主成分とした例えば、サイアロンまたは複合化合物系
の窒化珪素材への応用、または繊維強化材、分散強化材
へも応用可能である。
多孔体は本発明においてはサイクロトロン用の固体ター
ゲットの使用条件によって評価し、この使用条件を満足
する製品を作成することが出来たが、本発明による多孔
体は通気性が要求されるこの他の用途に対しても十分応
用が可能である。又、本発明の効果を応用し、窒化珪素
を主成分とした例えば、サイアロンまたは複合化合物系
の窒化珪素材への応用、または繊維強化材、分散強化材
へも応用可能である。
［発明の効果］
本発明によれば原料である珪素の窒化率を制御し、また
は予め窒化珪素を原料中に配合するので、機械的強度、
通気性ともに十分である窒化珪素質多孔体を得ることが
出来る。
は予め窒化珪素を原料中に配合するので、機械的強度、
通気性ともに十分である窒化珪素質多孔体を得ることが
出来る。
第１図は成形圧力と通気量との関係を表すグラフ図、第
２図は窒化珪素含有率と通気量との関係を表すグラフ図
である。
２図は窒化珪素含有率と通気量との関係を表すグラフ図
である。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １）平均粒径４０μｍ以下の珪素粉末を１０ｗｔ乃至７
５ｗｔ％と、残部を平均粒径４４μｍ乃至１４９μｍの
窒化珪素粉末として混合し、これを成形した後、窒化処
理することを特徴とする窒化珪素質多孔体の製造法。 ２）平均粒径４０μｍ以下の珪素粉末を成形後、窒素雰
囲気中の反応焼結工程において、珪素粉末の反応比率を
５％乃至５０％とすることを特徴とする窒化珪素質多孔
体の製造法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63012299A JPH01188479A (ja) | 1988-01-22 | 1988-01-22 | 窒化珪素質多孔体の製造法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63012299A JPH01188479A (ja) | 1988-01-22 | 1988-01-22 | 窒化珪素質多孔体の製造法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01188479A true JPH01188479A (ja) | 1989-07-27 |
Family
ID=11801446
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63012299A Pending JPH01188479A (ja) | 1988-01-22 | 1988-01-22 | 窒化珪素質多孔体の製造法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01188479A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0757024A1 (en) | 1995-07-26 | 1997-02-05 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Silicon nitride porous body and method of preparing the same |
| US5618765A (en) * | 1993-05-20 | 1997-04-08 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Ceramics porous body and method of preparing the same |
| EP1728775A2 (en) | 1999-12-24 | 2006-12-06 | Asahi Glass Company, Limited | Silicon nitride filter and method for its production |
| JP2007061779A (ja) * | 2005-09-02 | 2007-03-15 | National Institute Of Advanced Industrial & Technology | 中空構造体、該構造体を用いた浄化、触媒システム |
| US7588628B2 (en) | 2002-08-28 | 2009-09-15 | Noritake Co., Limited | Microporous ceramic materials |
| CN107353036A (zh) * | 2017-08-21 | 2017-11-17 | 广东工业大学 | 一种基于增材制造技术的多孔氮化硅陶瓷、其制备方法及其应用 |
-
1988
- 1988-01-22 JP JP63012299A patent/JPH01188479A/ja active Pending
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5618765A (en) * | 1993-05-20 | 1997-04-08 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Ceramics porous body and method of preparing the same |
| US5695700A (en) * | 1993-05-20 | 1997-12-09 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Method of preparing a ceramic porous body |
| EP0757024A1 (en) | 1995-07-26 | 1997-02-05 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Silicon nitride porous body and method of preparing the same |
| US5846460A (en) * | 1995-07-26 | 1998-12-08 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Method of preparing silicon nitride porous body |
| EP1728775A2 (en) | 1999-12-24 | 2006-12-06 | Asahi Glass Company, Limited | Silicon nitride filter and method for its production |
| US7588628B2 (en) | 2002-08-28 | 2009-09-15 | Noritake Co., Limited | Microporous ceramic materials |
| JP2007061779A (ja) * | 2005-09-02 | 2007-03-15 | National Institute Of Advanced Industrial & Technology | 中空構造体、該構造体を用いた浄化、触媒システム |
| CN107353036A (zh) * | 2017-08-21 | 2017-11-17 | 广东工业大学 | 一种基于增材制造技术的多孔氮化硅陶瓷、其制备方法及其应用 |
| CN107353036B (zh) * | 2017-08-21 | 2020-10-23 | 广东工业大学 | 一种基于增材制造技术的多孔氮化硅陶瓷、其制备方法及其应用 |
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