JPH01187418A - Transparent liquid detecting device - Google Patents
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Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、透明液検知技術に関し、特に、半導体装置の
製造における蒸気乾燥装置での有機溶媒の残量監視にな
どに適用して有効な技術に関する。[Detailed Description of the Invention] [Field of Industrial Application] The present invention relates to transparent liquid detection technology, and is particularly applicable to monitoring the remaining amount of organic solvent in steam drying equipment in the manufacture of semiconductor devices. Regarding technology.
たとえば、半導体装置の製造工程のように、使用する薬
液その他の液体に極めて高い清浄度が要求される分野で
は、これらの液体の検知を非接触に行うことが一般的で
ある。For example, in fields such as the manufacturing process of semiconductor devices, where extremely high cleanliness is required for chemicals and other liquids used, it is common to detect these liquids in a non-contact manner.
このように非接触に液体を検知する方式としては、たと
えば、株式会社岩波書店、昭和５７年１１月５日発行、
「岩波理化学辞典」第３版増補版、Ｐ１２９〜Ｐ１３０
に記載されているように、静電容量・超音波・光などを
応用したものが知られているが、光を応用したものの一
例として、次のような構造のものが考えられる。As a method for detecting liquid in a non-contact manner, for example, Iwanami Shoten Co., Ltd., published November 5, 1980,
“Iwanami Science and Chemistry Dictionary” 3rd edition expanded edition, P129-P130
As described in , there are known devices that apply electrostatic capacitance, ultrasonic waves, light, etc., and one example of a device that uses light is one with the following structure.
すなわち、光源から受光部に至る検査光の光軸上に、断
面が円形の透明な管の中心軸を位置させる。That is, the central axis of a transparent tube with a circular cross section is positioned on the optical axis of the inspection light from the light source to the light receiving section.
そして、常時、光源から受光部側に検査光を放射してお
き、管の内部に液体が存在する場合には、液体によるレ
ンズ作用によって収束された光量の大きな検査光が受光
部に入射し、管の内部に液体が存在しない場合には、光
源から分散して放射される検査光の一部が入射すること
を利用して、受光部で検出される光量の差に基づいて、
管の内部における液体の有無を判別するものである。Test light is always emitted from the light source toward the light receiving section, and if there is liquid inside the tube, a large amount of test light converged by the lens action of the liquid enters the light receiving section. When there is no liquid inside the tube, a portion of the inspection light emitted from the light source is incident, and based on the difference in the amount of light detected by the light receiving section,
This is to determine the presence or absence of liquid inside the tube.
ところが、上記のような従来の方式では、管の内部にお
ける液体の有無に関わらず受光部に検査光が入射するた
め、液体の有無に応じた光量の差が比較的小さく、外部
からのノイズなどの影響によって誤動作を生じやすいと
いう問題があることを本発明者は見出した。However, in the conventional method described above, the inspection light enters the light receiving section regardless of the presence or absence of liquid inside the tube, so the difference in the amount of light depending on the presence or absence of liquid is relatively small, and noise from the outside etc. The inventor has discovered that there is a problem in that malfunctions are likely to occur due to the influence of.
そこで、本発明の目的は、検知精度を向上させることが
可能な、透明液検知技術を提供することにある。Therefore, an object of the present invention is to provide a transparent liquid detection technique that can improve detection accuracy.
本発明の前記ならびにその他の目的と新規な特徴は、本
明細書の記述および添付図面から明らかになるであろう
。The above and other objects and novel features of the present invention will become apparent from the description of this specification and the accompanying drawings.
本願において開示される発明のうち代表的なものの概要
を簡単に説明すれば、次の通りである。A brief overview of typical inventions disclosed in this application is as follows.
すなわち、透明な液体を導く透明な管体と、この管体を
介して対向する光源および受光部からなり、光源から放
射され、管体の少なくとも一部を透過して受光部に至る
検査光の光量の変化に基づいて、管体の内部における液
体のを無を検知する透明液検知装置であって、光源から
受光部に至る検査光の光軸が、管体の軸から逸れる位置
に光源および受光部を配置したものである。In other words, it consists of a transparent tube that guides a transparent liquid, a light source and a light receiving section that face each other through this tube, and the inspection light that is emitted from the light source, passes through at least a portion of the tube and reaches the light receiving section. This is a transparent liquid detection device that detects the presence or absence of liquid inside a tube based on changes in the amount of light. This is where a light receiving section is placed.
上記した手段によれば、たとえば、管体の光軸と交差す
る部位に液体が存在しない場合には、検査光が受光部に
入射し、液体が存在する場合には、液体によって屈折す
る検査光が受光部に入射しない位置に光源および受光部
を配置することで、液体の有無に応じて受光部に検出さ
れる検査光の光量の差を大きくすることができる。According to the above-mentioned means, for example, when there is no liquid at the part intersecting the optical axis of the tube, the inspection light is incident on the light receiving part, and when the liquid is present, the inspection light is refracted by the liquid. By arranging the light source and the light receiving section at a position where the light does not enter the light receiving section, it is possible to increase the difference in the amount of inspection light detected by the light receiving section depending on the presence or absence of liquid.
これにより、外部からのノイズの影響による誤動作など
が生じにくくなり、液体の検知精度を向上させることが
できる。As a result, malfunctions due to the influence of external noise are less likely to occur, and liquid detection accuracy can be improved.
〔実施例１〕
第１図および第２図は、本発明の一実施例である透明液
検知装置を、半導体装置の製造における蒸気乾燥装置に
適用した場合の要部を示す断面図である。[Embodiment 1] FIGS. 1 and 2 are cross-sectional views showing essential parts when a transparent liquid detection device according to an embodiment of the present invention is applied to a steam drying apparatus for manufacturing semiconductor devices.
なお、第１図は、第２図において線Ｉ−Ｉで示される部
分の断面図である。Note that FIG. 1 is a cross-sectional view of the portion shown by line II in FIG. 2.
処理槽１の内部には、たとえばイソプロピルアルコール
などの透明な有機溶媒２ （液体）が貯溜されている。Inside the processing tank 1, a transparent organic solvent 2 (liquid) such as isopropyl alcohol is stored.
処理槽１の底部には加熱体３が設けられており、当該加
熱体３によって処理槽１の内部に貯溜された有機溶媒２
を所定の温度に加熱することにより、処理槽１の内部に
有機溶媒２の蒸気２ａが発生されるように構成されてい
る。A heating element 3 is provided at the bottom of the processing tank 1, and the organic solvent 2 stored inside the processing tank 1 is heated by the heating element 3.
By heating the organic solvent 2 to a predetermined temperature, vapor 2a of the organic solvent 2 is generated inside the processing tank 1.
処理槽１の上部開放端の近傍には、図示しない搬送機構
などが設けられており、当該処理槽１に対して、蒸気乾
燥すべき半導体ウェハ４などの搬入・搬出が可能にされ
ている。A transport mechanism (not shown) is provided near the upper open end of the processing tank 1, and it is possible to carry semiconductor wafers 4 and the like to be steam-dried into and out of the processing tank 1.
そして、外部から搬入される常温の半導体ウェハ４の表
面に高温の蒸気２ａが凝縮して形成される有機溶媒２の
微細な液滴と当該半導体ウェハ４の表面に付着している
水滴などとをＷ換させることにより、半導体ウェハ４の
表面に付着した水分などを除去する蒸気乾燥処理が行わ
れるものである。Then, fine droplets of the organic solvent 2 formed by condensation of the high-temperature vapor 2a on the surface of the semiconductor wafer 4 brought in from the outside at room temperature and water droplets adhering to the surface of the semiconductor wafer 4 are separated. By exchanging W, a steam drying process is performed to remove moisture and the like adhering to the surface of the semiconductor wafer 4.
処理槽１の側面には、両端が当該処理槽１の底部および
上端側にそれぞれ連通され、石英などからなる透明な管
５が接続されており、処理槽１の内部における有機溶媒
２の液面の高さが当該管５の内部における有機溶媒２の
液面の高さとして観察される構造とされている。A transparent tube 5 made of quartz or the like is connected to the side surface of the processing tank 1, with both ends communicating with the bottom and top sides of the processing tank 1, respectively. The structure is such that the height is observed as the height of the liquid level of the organic solvent 2 inside the tube 5.
管５を挟んで対向する位置には、検査光６を放射する発
光部７ａを備えた光源７と、当該検査光６を検出する光
検出器８ａを備えた受光部８とが配設されており、当該
管５とともに透明液検知装置Ｓを構成している。A light source 7 equipped with a light emitting section 7a that emits inspection light 6 and a light receiving section 8 equipped with a photodetector 8a that detects the inspection light 6 are arranged at positions facing each other across the tube 5. Together with the tube 5, it constitutes a transparent liquid detection device S.
光Ｒ７および受光部８は、ケーブル９を介して信号処理
部１０に接続されており、たとえば、受光部８に入射す
る検査光６の光量に応じたレベルの電気的な信号が外部
に出力されるものである。The light R7 and the light receiving section 8 are connected to a signal processing section 10 via a cable 9, and, for example, an electrical signal having a level corresponding to the amount of inspection light 6 incident on the light receiving section 8 is outputted to the outside. It is something that
この場合、光源７の発光部７ａから受光部８の光検出器
８ａに至る検査光６の光軸６ａが、第１図および第２図
に示されるように、有機溶媒２の液面にほぼ平行で、し
かも透明な管５の軸５ａから逸れるように、当該光源７
および受光部８が配設されている。In this case, the optical axis 6a of the inspection light 6 from the light emitting part 7a of the light source 7 to the photodetector 8a of the light receiving part 8 is approximately at the liquid level of the organic solvent 2, as shown in FIGS. The light source 7 is parallel to and deviates from the axis 5a of the transparent tube 5.
and a light receiving section 8 are provided.
以下、本実施例の作用について説明する。The operation of this embodiment will be explained below.
まず、光源７の発光部７ａからは、管５および受光部８
の側に検査光６が放射される。First, from the light emitting part 7a of the light source 7, the tube 5 and the light receiving part 8
Inspection light 6 is emitted to the side.
この時、たとえば、処理槽１の内部における有機溶媒２
の液面が低下し、管５の検査光６の光軸６ａと交差する
部位に有機溶媒２が存在しない場合には、第３図に示さ
れるように、管５の一部を透過した検査光６は斜線で示
されるように分散したまま受光部８の光検出器８ａに入
射し、信号処理部１０には光検出器８ａに入射した検査
光６の光量に応じた比較的高いレベルの電気的な信号が
送出される。At this time, for example, the organic solvent 2 inside the processing tank 1
When the liquid level of the tube 5 decreases and the organic solvent 2 is not present in the part of the tube 5 that intersects with the optical axis 6a of the inspection light 6, as shown in FIG. The light 6 enters the photodetector 8a of the light receiving section 8 while being dispersed as shown by diagonal lines, and the signal processing section 10 receives a relatively high level signal corresponding to the amount of inspection light 6 that has entered the photodetector 8a. An electrical signal is sent out.
次に、たたとえば、外部から補給されるなどして、処理
槽１の内部における有機溶媒２の量が増加すると、管５
の内部における当該有機溶媒２の液面は上昇し、検査光
６の光軸６ａとの交差部位に至る。Next, when the amount of organic solvent 2 inside the processing tank 1 increases, for example by being replenished from the outside, the pipe 5
The liquid level of the organic solvent 2 inside rises and reaches the point where the inspection light 6 intersects with the optical axis 6a.
この時、第４図に示されるように、管５の内部に存在す
る有機溶媒２のレンズ作用などによって、管５を透過し
て受光部８に照射していた検査光６は屈折し、管５の軸
５ａの延長線上に収束するが、検査光６の光軸６ａが管
５の軸５ａから逸れた位置に設定されているため、検査
光６は、受光部８に設けられた光検出器８ａから逸れた
位置に収束することとなり、光検出器８ａに入射する検
査光６の光量は激減する。At this time, as shown in FIG. 4, due to the lens action of the organic solvent 2 present inside the tube 5, the inspection light 6 that had passed through the tube 5 and was irradiated onto the light receiving section 8 is refracted and However, since the optical axis 6a of the inspection light 6 is set at a position deviating from the axis 5a of the tube 5, the inspection light 6 is converged on the extension line of the axis 5a of the tube 5. As a result, the amount of the inspection light 6 that enters the photodetector 8a is drastically reduced.
このため、受光部８から信号処理部１０には、極必で低
いレベルの電気的な信号が出力されることとなる。Therefore, an extremely low level electrical signal is output from the light receiving section 8 to the signal processing section 10.
すなわち、管５の内部において検査光６の光軸６ａの高
さにおける有機溶媒２の有無を反映して、信号処理部１
０における電気的な信号のレベルの落差が極めて大きく
なり、外部からのノイズなどの影響を受けて誤動作する
確率が減少し、有機溶媒２の液面の高さの検知精度が向
上する。That is, the signal processing unit 1 reflects the presence or absence of the organic solvent 2 at the height of the optical axis 6a of the inspection light 6 inside the tube 5.
The difference in the electrical signal level at 0 becomes extremely large, the probability of malfunction due to the influence of external noise, etc. is reduced, and the detection accuracy of the height of the organic solvent 2 is improved.
このことを示すものが第６図である。FIG. 6 shows this.
同図の左側に示される従来技術のように、管５の内部に
おける有機溶媒２の有無に関わらず、検査光６を受光部
８に入射させ、有機溶媒２のレンズ作用による入射光量
の増大を検知する方式では、たとえば、信号レベルの差
は、高々３ＱｍＶ程度である。As in the prior art shown on the left side of the figure, the inspection light 6 is made incident on the light receiving section 8 regardless of the presence or absence of the organic solvent 2 inside the tube 5, and the amount of incident light is increased due to the lens action of the organic solvent 2. In the detection method, for example, the difference in signal level is about 3 QmV at most.
ところが、同図の右側にハツチングを施して示される本
実施例の場合には、管５の内部に有機溶媒２が存在する
場合には、受光部８に対する入射光量が激減し、はぼ零
となるため、有機溶媒２の有無に対応して信号レベルの
差は、たとえば２０５ｍＶと極めて大きくなることが知
られる。However, in the case of this embodiment, which is indicated by hatching on the right side of the figure, when the organic solvent 2 is present inside the tube 5, the amount of light incident on the light receiving section 8 is drastically reduced to almost zero. Therefore, it is known that the difference in signal level depending on the presence or absence of the organic solvent 2 is extremely large, for example, 205 mV.
なお、第５図に示されるように、透明な管５を介して対
向する光源７の発光部７ａから受光部８の光検出器８ａ
に至る検査光６の光軸６ａを、当該管５の軸５ａから逸
れるように光源７および受光部８を配設し、しかも、光
軸６ａを管５の内部における有機溶媒２の液面に対して
光源７の側が上になるように所定の角度だけ傾斜させる
ようにしてもよいものである。In addition, as shown in FIG.
The light source 7 and the light receiving part 8 are arranged so that the optical axis 6a of the inspection light 6 that reaches deviates from the axis 5a of the tube 5. On the other hand, it may be tilted by a predetermined angle so that the light source 7 side faces upward.
この場合、管５の内部におけるを機溶媒２の液面が当該
管５を透過する検査光６の光軸６ａに交差する位置にく
ると、検査光６は液面部で反射され、受光部８に入射す
る光量が激減することとなり、受光部８において検出さ
れる検査光６の光量の大きな差から、有機溶媒２の液面
の高さを正確に検知することができる。In this case, when the liquid level of the organic solvent 2 inside the tube 5 reaches a position where it intersects the optical axis 6a of the inspection light 6 passing through the tube 5, the inspection light 6 is reflected by the liquid surface and the light receiving section The amount of light incident on the light receiving section 8 is drastically reduced, and the height of the liquid level of the organic solvent 2 can be accurately detected from the large difference in the amount of light of the inspection light 6 detected by the light receiving section 8.
このように本実施例においては以下の効果を得ることが
できる。In this way, the following effects can be obtained in this embodiment.
（１）、透明な管５を介して対向する光源７の発光部７
ａから受光部８の光検出器８ａに至る検査光６の光軸６
ａが、当該管５の軸５ａから逸れるように光源７および
受光部８が配設されているので、光軸６ａの高さに有機
溶媒２が存在しない場合には、検査光６が受光部８の光
検出器８ａに入射し、光軸６ａの高さに有機溶媒２が存
在する場合には、当該有機溶媒２のレンズ作用などによ
って屈折する検査光６が受光部８の光検出器８ａから逸
れた位置に収束することとなる。(1) The light emitting part 7 of the light source 7 facing through the transparent tube 5
Optical axis 6 of inspection light 6 from a to photodetector 8a of light receiving section 8
Since the light source 7 and the light receiving section 8 are arranged so that the light a is deviated from the axis 5a of the tube 5, the inspection light 6 will be directed to the light receiving section when the organic solvent 2 is not present at the height of the optical axis 6a. When the organic solvent 2 is present at the height of the optical axis 6a, the inspection light 6 refracted by the lens action of the organic solvent 2 is incident on the photodetector 8a of the light receiving section 8. It will converge at a position that deviates from.
これにより、受光部８に入射する検査光６の光量が、管
５の所定の高さにおける有機溶媒２の有無に応じて、所
定の比較的高いレベルから零に近い低レベルまで大きな
落差で変化することとなり、外部からのノイズなどの影
響を受けて誤動作する確率が減少し、有機溶媒２の液面
の高さの検知精度が向上する。As a result, the light intensity of the inspection light 6 that enters the light receiving section 8 changes with a large difference from a predetermined relatively high level to a low level close to zero, depending on the presence or absence of the organic solvent 2 at a predetermined height of the tube 5. As a result, the probability of malfunction due to the influence of external noise is reduced, and the detection accuracy of the height of the liquid level of the organic solvent 2 is improved.
（２）、前記（１）の結果、たとえば、蒸気乾燥装置な
どにおいて、処理槽１の内部における有機溶媒２の量を
正確に把握することができ、ばらつきのない安定した乾
燥処理結果を得ることができる。(2) As a result of (1) above, for example, in a steam drying device, the amount of organic solvent 2 inside the processing tank 1 can be accurately grasped, and stable drying processing results without variations can be obtained. Can be done.
（３）、前記（１）、 （２）の結果、半導体装置の製
造におけるウェハ処理工程での生産性が向上する。(3) As a result of (1) and (2) above, productivity in the wafer processing step in manufacturing semiconductor devices is improved.
以上本発明者によってなされた発明を実施例に基づき具
体的に説明したが、本発明は前記実施例に限定されるも
のではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能
であることはいうまでもない。Although the invention made by the present inventor has been specifically explained above based on Examples, it goes without saying that the present invention is not limited to the Examples and can be modified in various ways without departing from the gist thereof. Nor.
たとえば、検知の対象となる液体としては、前記の有機
溶媒などに限らず、透明な液体であればいかなるもので
あってもよい。For example, the liquid to be detected is not limited to the above-mentioned organic solvent, but may be any transparent liquid.
以上の説明では主として本発明者によってなされた発明
をその背景となった利用分野である半導体装置の製造に
おける蒸気乾燥技術に適用した場合について説明したが
、これに限定されるものではなく、一般の透明な液体の
検知技術に広く適用できる。The above explanation has mainly been about the application of the invention made by the present inventor to the vapor drying technology in the manufacturing of semiconductor devices, which is the background field of application. It can be widely applied to transparent liquid detection technology.
本願において開示される発明のうち代表的なものによっ
て得られる効果を簡単に説明すれば、下記の通りである
。A brief explanation of the effects obtained by typical inventions disclosed in this application is as follows.
すなわち、透明な液体を導く透明な管体と、この管体を
介して対向する光源および受光部からなり、前記光源か
ら放射され、前記管体の少なくとも一部を透過して前記
受光部に至る検査光の光量の変化に基づいて、前記管体
の内部における前記液体の有無を検知する透明液検知装
置であって、前記光源から前記受光部に至る前記検査光
の光軸が、前記管体の軸から逸れる位置に前記光源およ
び前記受光部を配置した構造であるため、たとえば、管
体の光軸と交差する部位に液体が存在しない場合には、
検査光が受光部に入射し、液体が存在する場合には、液
体によって屈折する検査光が受光部に入射しない位置に
光源および受光部を配置することで、液体の有無に応じ
て受光部に検出される検査光の光量の差を大きくするこ
とができる。That is, it consists of a transparent tube that guides a transparent liquid, and a light source and a light receiving section that face each other through this tube, and the light is emitted from the light source and passes through at least a portion of the tube to reach the light receiving section. A transparent liquid detection device that detects the presence or absence of the liquid inside the tube based on a change in the amount of light of the inspection light, wherein the optical axis of the inspection light from the light source to the light receiving section is located within the tube. Since the light source and the light receiving section are arranged at positions deviating from the axis of
When the inspection light enters the light receiving section and liquid is present, by arranging the light source and the light receiving section in a position where the test light refracted by the liquid does not enter the light receiving section, the light receiving section can be adjusted depending on the presence or absence of liquid. It is possible to increase the difference in the amount of detected inspection light.
これにより、外部からのノイズなどの影響による誤動作
が生じにくくなり、液体の検知精度を向上させることが
できる。As a result, malfunctions due to external noise are less likely to occur, and liquid detection accuracy can be improved.
第１図本発明の一実施例である透明液検知装置の要部を
示す断面図、
第２図はこの透明液検知装置を、半導体装置の製造にお
ける蒸気乾燥装置に適用した場合の要部を示す断面図、
第３図は本発明の一実施例である透明液検知装置の動作
を説明する説明図、
第４図は同じく、本発明の一実施例である透明液検知装
置の動作を説明する説明図、
第５図は本発明の一実施例である透明液検知装置の変形
例を示す説明図、
第６図はその効果を説明するグラフである。
１・・・処理槽、２・・・有機溶媒（液体）、２ａ・・
・有機溶媒の蒸気、３・・・加熱体、４・・・半導体ウ
ェハ、５・・・管、５ａ・・・管の軸、６・・・検査光
、６ａ・・・検査光の光軸、７・・・光源、７ａ・・・
発光部、８・・・受光部、８ａ・・・光検出器、９・・
・ケーブル、１０・・・信号処理部、Ｓ・・・透明液検
知装置。−ｈ９・ζ。
代理人 弁理士 小 川 勝 男
■
濡
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盪Fig. 1 is a sectional view showing the main parts of a transparent liquid detection device which is an embodiment of the present invention. Fig. 2 shows the main parts when this transparent liquid detection device is applied to a steam drying device used in the manufacture of semiconductor devices. FIG. 3 is an explanatory diagram illustrating the operation of a transparent liquid detection device which is an embodiment of the present invention, and FIG. 4 is an explanatory diagram illustrating the operation of a transparent liquid detection device which is an embodiment of the present invention. FIG. 5 is an explanatory diagram showing a modified example of the transparent liquid detection device which is an embodiment of the present invention, and FIG. 6 is a graph explaining the effect thereof. 1... Processing tank, 2... Organic solvent (liquid), 2a...
- Vapor of organic solvent, 3... Heating body, 4... Semiconductor wafer, 5... Tube, 5a... Axis of tube, 6... Inspection light, 6a... Optical axis of inspection light. , 7... light source, 7a...
Light emitting section, 8... Light receiving section, 8a... Photodetector, 9...
- Cable, 10...Signal processing section, S...Transparent liquid detection device. -h9・ζ. Agent: Patent Attorney Masao Ogawa
Claims (1)
対向する光源および受光部からなり、前記光源から放射
され、前記管体の少なくとも一部を透過して前記受光部
に至る検査光の光量の変化に基づいて、前記管体の内部
における前記液体の有無を検知する透明液検知装置であ
って、前記光源から前記受光部に至る前記検査光の光軸
が、前記管体の軸から逸れる位置に前記光源および前記
受光部を配置したことを特徴とする透明液検知装置。 ２、前記光軸が、前記管体の内部における前記液体の液
面にほぼ平行にされ、前記管体の前記光軸と交差する部
位に前記液体が存在しない場合には、前記検査光が前記
受光部に入射し、前記液体が存在する場合には、当該液
体によって屈折する前記検査光が前記受光部に入射しな
い位置に、前記光源および受光部が配置されていること
を特徴とする請求項１記載の透明液検知装置。 ３、前記光軸が、前記管体の内部における前記液体の液
面に交差するように傾斜され、前記管体の前記光軸と交
差する部位に前記液体が存在しない場合には、前記検査
光が前記受光部に入射し、前記液体が存在する場合には
、当該液体の液面で前記検査光が反射される位置に、前
記光源および受光部が配置されていることを特徴とする
請求項１記載の透明液検知装置。 ４、前記透明な液体が、半導体ウェハの蒸気乾燥装置に
用いられる有機溶媒であり、当該蒸気乾燥装置における
前記有機溶媒の残量監視に用いられることを特徴とする
請求項１記載の透明液検知装置。[Claims] 1. Consisting of a transparent tube that guides a transparent liquid, and a light source and a light receiving section facing each other through the tube, the light is emitted from the light source and passes through at least a portion of the tube. A transparent liquid detection device that detects the presence or absence of the liquid inside the tube based on a change in the amount of inspection light that reaches the light receiving section from the light source to the light receiving section. A transparent liquid detection device characterized in that the light source and the light receiving section are arranged at a position whose axis deviates from the axis of the tube body. 2. When the optical axis is made substantially parallel to the liquid level of the liquid inside the tubular body and the liquid does not exist in a region of the tubular body that intersects with the optical axis, the inspection light The light source and the light receiving section are arranged at a position where the inspection light that is incident on the light receiving section and refracted by the liquid does not enter the light receiving section when the liquid is present. 1. The transparent liquid detection device according to 1. 3. If the optical axis is inclined so as to intersect the liquid level of the liquid inside the tube, and if the liquid does not exist in a region of the tube that intersects with the optical axis, the inspection light The light source and the light receiving section are arranged at a position where the inspection light is reflected on the surface of the liquid when the test light is incident on the light receiving section and the liquid is present. 1. The transparent liquid detection device according to 1. 4. The transparent liquid detection according to claim 1, wherein the transparent liquid is an organic solvent used in a semiconductor wafer vapor drying apparatus, and is used for monitoring the remaining amount of the organic solvent in the vapor drying apparatus. Device.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63010656A JPH01187418A (en) | 1988-01-22 | 1988-01-22 | Transparent liquid detecting device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63010656A JPH01187418A (en) | 1988-01-22 | 1988-01-22 | Transparent liquid detecting device |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01187418A true JPH01187418A (en) | 1989-07-26 |
Family
ID=11756267
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63010656A Pending JPH01187418A (en) | 1988-01-22 | 1988-01-22 | Transparent liquid detecting device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01187418A (en) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007060759A (en) * | 2005-08-23 | 2007-03-08 | Fuji Electric Systems Co Ltd | Voltage detector for power conversion system |
| JP2008164414A (en) * | 2006-12-28 | 2008-07-17 | Sunx Ltd | Liquid detector |
| JP2010066208A (en) * | 2008-09-12 | 2010-03-25 | Fuji Electric Retail Systems Co Ltd | Liquid level detection device |
-
1988
- 1988-01-22 JP JP63010656A patent/JPH01187418A/en active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007060759A (en) * | 2005-08-23 | 2007-03-08 | Fuji Electric Systems Co Ltd | Voltage detector for power conversion system |
| JP2008164414A (en) * | 2006-12-28 | 2008-07-17 | Sunx Ltd | Liquid detector |
| JP2010066208A (en) * | 2008-09-12 | 2010-03-25 | Fuji Electric Retail Systems Co Ltd | Liquid level detection device |
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