JPH01170862A - 静電電圧計用センサ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は電子測定技術、特に静電界または静電圧測定装
置に使用するための新規で改良されたセンサ（５ｅｎｓ
ｏｒ）ないしプローブ（探子：　ｐｒｏｂｅ　）に関す
るものである。

物体表面上の静電界または静電圧を、測定装置を通して
容量性電流または抵抗性莫流のいずれも流さすに、測定
する装置は静電電圧計として知られている。この種の装
置はプローブないしセンサとこれに関連する電圧計とか
らなる。静電検出器として機能するセンサは測定される
べき区域ないし表面に非接触状態で容量結合される。電
圧計はセンサからデータを受けて高精度の出力信号を発
生し、この出力信号が指示器を駆動し、または（および
）測定に関連する静電的プロセスの制御に用いられる。

最近、例えば事務用複写機や高速静電印刷等に使用され
る電子写真工程に含まれる静電的プロセスは、光受容体
表面　（ｐｈｏｔｏｒｅｃｅｐｔｏｒ　５ｕｒｆａｃｅ
）（以下受光面という）の電圧を静電プロセス中に測定
ずれは、湿度変化、温度変化のような環境条件の変化ま
たは経年もしくは使用による受光面の特性変化の下でよ
り優れた品質の再生像を作り出すことがてきるように、
改善できることか判明した。受光面電圧の測定およびそ
の電圧な表わｔ信号の発生は、機械のプロセスの自動調
節を可能にし、少ない機械的調節や保守によりより優れ
た品質の再生像を作ることがてきる。

これまで、高いトナー汚染度、変動する湿度および温度
条件並びに制限された有効空間といった過酷な機械環境
の下で、受光面電圧を正確に測定するのに必要な静電セ
ンサは入手できなかった。

さらに、現在人手可能なセンサは、複雑で製造コストが
高いために、価格が高く、この種の測定機械における使
用が妨げられていた。

従って、本発明の主な目的は、静電電圧計のための新規
で改良されたセンサを提供することにある。

本発明の他の目的は、雑音やオフセット信号（ｏｆｆｓ
ｅｔ　ｓｉｇｎａｌ）を最少にするか除去し、これによ
ってシールドや信号保護システムを必要としないセンサ
を提供することにある。

本発明の他の目的は、センサハウシンクを微粒子の汚染
にさらすことによるセンサ電極に対する悪影響を回避で
きるセンサを提供することにある。

本発明の他の目的は、高い変換利得を有するセンサを提
供することにある。

本発明の他の目的は、衝撃や振動に対して抵抗性を有す
るセンサを提供することにある。

本発明のさらに他の目的は、小型で構造が簡単であり、
製作費か安く、動作に信頼性のあるセンサを提供するこ
とにある。

本発明の静電電圧計のためのセンサは、その−端で片持
ち梁状に支持され、ている長尺の振動片と、この振動片
の他端近くに設けられ、測定されるべき静電界ないし静
電位に対向配置される感応電極と、前記振動片上に載置
され前記電極と測定される静電界ないし静電位との間の
容量結合を変化させる方向に前記振動片を振動させる駆
動手段と、前記振動片上の前記電極の直近に配置され、
この電極に接続された入力端と静電電圧計に接続される
出力端とを有する増幅器とからなる。

増幅器は電極と同期振動するように振動片上に直接取り
付けられている。電極は振動片の一方の面に取り付けら
れ、増幅器か反対側の面に取り付けられるのが好ましい
。センサは開口が設けられた作用面を有するハウジング
を含み、振動片が一端て片持ち梁成に作用面に支持され
この作用面から開口内に延長している。

以下図示実施例を詳細に説明する。

第１図において、本発明の静電電圧計のためのセンサ１
０は細長い箱状のハウジング１２を含んでいる。ハウジ
ング１２は比較的薄く長方形の基板１４によって規定さ
れた作用面を有する。ハウジング１２は基板１４と同寸
同型の底板１６と、両側壁１８．２０と、端壁２２．２
４とによって完成される。

ハウジング１２の断面積よりも小さい断面積を有する中
空長尺の延長部２８が端壁２４から外方に突出している
。この図示例において、ハウジング１２と延長部２８は
共通の長袖を有し、延長部２８はセンサ１０から静電電
圧計（図示略）に至る導体を収容するとともに、センサ
１０を取り付けないし支持するために使用することがで
きる。

基板１４には、この基板の両側縁に平行に延長する一対
の縁３２．３４を基板１４の横方向に延長する縁３６に
よって連絡して形成された開口が設けられている。縁３
２．３４は互いに平行て同し長さであり、縁３６よりも
何倍も長い。図示のセンサにおいて、縁３２．３４．３
６によって規定された開口は細長く、基板１４の両側縁
および両端縁の中間に配備されている。

本発明によれは、センサ１０は長尺の振動片（ｖｉｂｒ
ａｔｏｒｙ　ｅｌｅｍｅｎｔ）　　４０を含み、この振
動片は基板１４によって規定された作用面、すなわち、
基板１４の外面から上記開口内に延長し、かつ、一端が
この外面に片持ち梁のように支持されている。この振動
片４０は細長い長方形をなし、比較的薄い帯状で、実質
上平行な一対の側縁４２．４４を有し、これらの側縁は
実質」二垂直な端縁４６によって連絡されている。側縁
４２．４４は互いに接近し、開口の縁３２．３４に実質
上平行であり、また縁４６は縁３６に実質上平行に近接
配置されている。

図示のセンサにおいて、振動片４０は基板１４と一体に
形成されており、開口および振動片４０は化学的切削方
法によって形成することができる。振動片４０か静止し
ているときは、この部材は基板１４の平面と実質上平行
な平面に配置されており、従って、この構造は低い側面
形状（プロフィル）を呈する。

本発明のセンサ１０はさらに検知電極５０からなる。こ
の電極は振動片４０の自由端ないし外端、すなわち１．
振動片４０の基板１４によって支持されている端とは反
対側の端近くに装着されており、測定される電界ないし
電位に向けて配置されるようになっている。電極５０は
適当な金属からなる小さいエレメントで、比較的薄い直
方体をなし、第１図に示すように、振動片４０の外面上
にスポット溶接その他の方法で固定され、縁４２．４４
．４６の近くて振動片４０の自由端部を占有する。

本発明によれは、センサ１０は振動片４０上で電極５０
の直近に配置された増幅器（第１図では図示路）を含ん
でいる。この増幅器の入力端は電極５０に接続され、出
力端は静電電圧計に接続されている。やがて詳述するよ
うに、この増幅器は第１図で振動片４０の端縁４６の近
くの下面に固定された小さいチップ素子の形をしている
。電極５０がリード線ないし導体５２によって増幅器の
入力端に接続されている。このリード線５２はその一端
が電極５０に第１図に５４で示すようにハンダ付けされ
、振動片４０の端縁４６を越えて下面にある増幅器の入
力端にまで延長している。

基板１４を第２図〜第４図に詳細に示す。基板１４は上
面５６と底面５８と互いに平行な一対の端面６４．６６
によって連結された平行な一対の側面６０．６２とを有
する。底面５８には各側面に沿って断面はぼ弓形の溝が
基板１４の全長にわ　　′たって長手方向に延長形成さ
れている。すなわち、断面弓形の溝６８（第４図）が基
板１４の約半分の深さて底面５８と側面６０にわたって
設けられている。同様にして、断面弓形の溝７０が基板
１４の約半分の深さで底面５８と側面６２にわたって設
けられている。７苺６８．７０は側面６０．６２と共に
肩部を規定しており、これらの肩部は両側壁１８．２０
の対応する縁に設けた対応する形状の接合部が嵌合する
ようになっており、両者間の結合を確実ならしめる。

第２図〜第４図に示すように、振動片４０は上面７４と
底面７６とを有する。基板１４の開口は上面５６ては縁
３２．３４．３６によって規定されたものとして説明し
たが、この開口の輪郭は、基板１４の底面５８ては長方
形の凹所によって規定されており、この凹所は平行な一
対の端縁８４．８６によって連結された平行な一対の側
縁８０．８２によりて規定されている。この凹所は基板
１４の厚さの約半分の深さを有し、振動片４０の支持端
の近くの平坦面９０と、基板１４の縁３２．３４に沿っ
て延長する一対の肩部９２．９４と、縁３６に沿って延
長する肩部９６とを有する。従って、第３図に示すよう
に、振動片４０の厚みは、基板１４の厚みの一部分、す
なわち、その半分より僅かに薄い。

第５図〜第７図は、基板１４とセンサ１０の種々の電子
的構成要素を含むセンサ副集合体を示す。本発明によれ
ば、センサ１０は振動片４０上に電ｆｉ５０のすぐ近く
に配置された増幅器１００を含んでいる。第５図に示す
ように、チップ素子の形をなす増幅器１００は接着剤の
ような適当な手段によって振動片４０の底面７６の端縁
４６の近くに固定されている。図示例では、増幅器１０
０はケート端子１０２、ソース端子１０４、ドレーン端
子１０６を有する電界効果トランジスタタイプの増幅器
である。ゲート端子１０２はパンダイ」けのような適当
な手段によってリード線５２の一端に接続されている。

リード線５２の他端は前述したように電極５０に接続さ
れている。

ゲート端子１０２はさらにタイオート１１０の一方のり
−ト線に接続され、このダイオードの他方のリード線は
振動片４０の底面７６に接続されている。この振動片は
金属からなり、基板１４とともに基準電位を与える。ト
ランジスタ増幅器１００のソース端子１０４はハンダ付
けなどによって底面７６に接続され基準電位を与えられ
る。

増幅器１００のトレーン端子１０６はリート線１１２の
一端に接続され、このリード線の他端は連結板１１６に
接続されている。

この連結板１１６は静電電圧計への信号接続、駆動接続
、帰還接続に対応する三つのセクション１１８．１２０
．１２２を有している。連結板１１６は基板１４の端面
６６と中央凹所の端縁８６との間て基板１４の底面５８
に固定されている。リード線１１゛２はツェナーダイオ
ード１２６の一方のり−ト線か接続された藩号セクショ
ン１１８に接続され、このダイオードの他方のリート線
はハンダ付けなどにより基準電位を与える基板１４の底
面５８に接続されている。

第１の圧電チップ１３０の形をした帰還手段が振動片４
０の底面７６上にダイオード１１ｏから離れた位置に固
定されている。この帰還チップ１３０はリード線１３４
によって連結板１１６の帰還セクション１２２に電気的
に接続されている。すなわち、リード線１３４の一端か
ハンダ付け１３６などにより帰還チップ１３０に接続さ
れ、リード線１３４の他端が帰還セクション１２２に接
続されている。

第２の圧電チップ１４２の形をなす駆動手段か帰還チッ
プ１３０の隣りで振動片４０の支持端近くに固定されて
いる。この駆動手段１４２はリード線１４４によって連
結板１１６の駆動セクション１２０に電気的に接続され
ている。すなわち、リード線１４４の一端がハンダ付け
１４６などによりデツプ１４２に接続され、このリード
線の他端が駆動セクション１２０に接続されている。

連結板の各セクション１１８．１２０．１２２は静電電
圧計への接続のためにセンサ１０から導出されるケーブ
ル（図示略）内の導体の端に接続されている。

第８図は第５図〜第７図の構成の回路図で、同じ構成要
素は同し参照数字で示す。帰還チップ１３０と駆動チッ
プ１４２は、これらのチップを金属の振動片４０の面に
取り付けることにより、第８図て線１５０．１５２で示
すように接地ないし基準電位に接続されることになる。

トランジスタ増幅器のソース端子１０４の底面７６への
接続線は、センサ１０から導出されているケーブルに含
まれて共通のシールド線として作用するリード線１５４
に接続されている。

本発明のセンサ１０は次のように動作する。ハウシング
１２は、電極５０が測定されるべき静電界ないし静電位
をもつ試験面に対面するように、配置される。試験面に
電極の感知面か露呈されることにより、電極５０と試験
面の間に容量結合が生じる。静電電圧計内のオシレータ
（図示略）が連結板１１６の駆動セクション１２０およ
びリード線１４４を介して交流電圧を圧電素子１４２に
加え、この圧電素子を基板１４の平面にほぼ垂直な方向
にオシレータの出力周波数と実質上等しい周波数で振動
させる。この圧電素子１４２の振動を片持ちされた振動
片４０か電極５０に伝える。

電８ｉ５０はその平面にほぼ垂直な方向にオシレータの
出力周波数と振動片４０の機械的特性とによって決定さ
れた周波数で振動させられる。電極５０は振動に応じて
試験面に近づいたり離れたりするので、この電極の感知
面と試験面との間の容量結合が変化する。

振動片４０が振動すると、その運動が振動片４０に固定
された圧電素子１３０に電圧を発生させ、この電圧がリ
ード線１３４、連結板の帰還セクション１２２を介して
オシレータに電気的に帰還され、帰還ループを完成して
振動を維持する。

すなわち、実際の振動ないし発振を表わす帰還信号が所
望の発振ないし振動例えは振幅や周波数を有する基準信
号と比較され、オシレータの出力が制御される。この点
については当業者に公知であるから詳細な説明は省略す
る。

システムの帰還電圧である検出電極５０の電位が試験面
の電位と異なると、交流信号が電極５０の表面に誘起さ
れる。この誘起された交流信号はリード線５２を介して
前置増幅器１００の入力端子１０２に加えられる。オシ
レータからの駆動信号に対するこの誘起信号の振幅と位
相は、二つの面の差電位の大きさと極性に依存している
。

増幅器１００の出力はリート線１１２と連結板のセクシ
ョン１１８とケーブルとを介して静電電圧計の増幅器（
図示略）に加えられ、次いで復調器（図示略）の入力端
に加えられる。オシレータからの駆動信号を基準位相と
して使用するこの同期復調器は誘起された交流信号から
振幅と位相の情報を除去する。ライン周波数のオシレー
タ信号は誘起されたいかなる周囲信号の電極５０への変
調も復調処理後に雑音として現われないことを保証する
のに使用、することができる。復調された信号は直流電
圧であり高利得増幅器で増幅され、この増幅器の出力が
メータのような適当な計器の入力端に加えられ試験面の
電位を連続的に表示しモニタする。

試験面に近接配置された容量変調センサから得られる信
号を処理するための静電電圧計の回路と動作のより詳細
な説明については、米国特許第３８５２６６７号（１９
７４年１２月３日）「静電電圧計のプローブ」および同
第４１４７９８１号（１９７９年４月３日）「ハウジン
グの外部に設けられ、ハウジング内の圧電トランスデユ
ーサによって振動させられる静電電圧計のプローブ」を
援用する。

本発明のプローブないしセンサ１ｏは？Ｊ−Ｉで、安価
な構成要素を含み、シールドないし信号保護システムを
使用していないので、極めて安価である。製造価格が安
く、寸法が小さく、優れた性能を有するセンサ１ｏのユ
ニークな特徴は次の通りである。

単一の片持ち梁状の振動片４ｏは化学的切削法を用いて
基板１４と一体的な部分として形成される。あるいは、
振動片４ｏはハンダ付けによって基板１４に固定するこ
ともできる。いずれにせよ、小さく薄い形状が得られる
。

前置増幅器１００は振動片４ｏに直接固定されるのて、
電極５ｏの直近に配置され、これと同期動作することに
なる。これによって電極５ｏと増幅器１００間の短い直
接接続が可能となる。従来のセンサにおいては次のよう
な場合に厄介な雑音とオフセットが生じる。すなわち、
増幅器がセンサ集合体のハウジングに取り付けられてい
るとセンサと増幅器間の比較的長い接続が必要であり、
これによってワイヤ上に電位が発生する。これは、増幅
器のバイアス電圧のような電圧源に対するワイヤの運動
、種々の構成金属ないし汚染した金属面に関連した１晶
度依存の接触電位、または、センサ集合体内の帯電した
塵やトナーによる汚染のためである。

従来の装置は雑音やオフセットを減少させるために外部
への結合を除くシールドシステムに依存していた。しか
し、シールドシステムは困難を伴ない、外部接続の問題
そセンサ接続とそのシールドシステムの間にしばしば移
行さす、センサはシールドを用いるので製造に費用がか
かり、しかも雑音とオフセットの問題を部分的に解決し
たにすぎない。

本発明のセンサ１０はシールドをまったく用いないで前
述の外部接続のすべてを除去したものである。すなわち
、増幅器１００を振動片４０上に電極５０の直近に直接
取り付けることによりセンサの接続を極めて短く、典型
的には２ｍｍ以下にした。さらに、従来のプローブの設
計で通常起る電極の線の屈曲により、線がストレスを受
は破損するため信頼性が低かったが、本発明ではこのよ
うな事態を避けることができる。

電極５０はハウジング１２の外側に取り付けられている
ので、ハウジング１２の内外に蓄積した塵やトナーは帯
電した塵やトナーが電極に結合されることによる雑音や
オフセットを発生させることはない。さらに、電極を外
部に配置したために、試験面との最大の結合状態が達成
され、センサの高利得か得られる。

電極を外部に取り付けることによるすぐれた利点は、本
発明の場合、前置増幅器１００との接続が直接的で短く
しかも屈曲がないので、雑音やオフセットが小さく機械
的な信頼性が高い高感度の電極／前置増幅器システムか
得られることである。

本発明の電極／前置増幅器システムの他の重要な利点は
、衝撃や振動に対する抵抗力があることである。従来の
装置では前置増幅器は硬い面、すなわち、センサのハウ
シングに取り付けられていたのて衝撃や振動かセンサ信
号に機械的振動による雑音（ｍｉｃｏｒｏｐｈｏｎｉｃ
ｓ）や他の雑音を混入させた。しかし、本発明のセンヅ
１０においては前置増幅器１００の片持ち式振動片４０
への取り付けか、前置増幅器１００にとって効果的な緩
衝取付けになっている。振動片４０の機械的なバントパ
ス（ｂａｎｄｐａｓｓ）内に入る衝撃や振動の機械的要
素は通常強固に取り付けられた増幅器の場合妨害と雑音
を発生させる。しかし、このような厄介な周波数におい
て、振動片４０は非常に柔軟でこのような振動を増幅器
１００に伝えることなくこれを簡単に吸収してしまうの
で、非常に効果的で安価な緩衝取り付けとして作用する
。

図示実施例において、ハウジング１２は全長か約５．５
６３ｃｍ（約２．１９０インチ）、幅か約０．９９８ｃ
ｍ（約０３９３インチ）、高さか約０．３８１ｃｍ（約
０１５０インチ）である。端壁２２の外面から電極５０
の中心までの距離は約１．７４５ｃｍ（約０．６８フイ
ンチ）である。基板上面５６と電極５０の上にあるリー
ド線５２の最上面との間の高さはセンサ１０が作動して
いないときは約０．０６４ｃｍ（約０．０２５インチ）
であり、センサが作動しているときのこの高さの最大値
は約０．０７６ｃｍ（約０．０３０インチ）である。

基板１４は黄銅であり、十分な硬さを有し、汚れがなく
、体裁上およびハンダイ」けができるようにスズまたは
ニッケルでメツキされている。基板１４は長さが約５．
５６３ｃｍ（約２．１９０インチ）、幅が約０．！１９
８ｃｍ（約０．３９３インチ）、厚さが約０．１０２ｃ
ｍ（約０．０４０インチ）である。

振動片４０は厚みが約０．０４１ｃｍ（約００１６イン
チ）、長さが約２．２８６ｃｍ（約０．９０インチ）、
幅が約０．２５４ｃｍ（約０１０インチ）である。端縁
４６と９６間の距離は約０．１１９’ｃｍ（約００４フ
インチ）、側縁４４と３２間、および側縁４２と３４間
の距離はいずれも約０．０６９ｃｍ（約０．０２フイン
チ）である。端面６４と端縁８４間の距離は約１．４７
’３ｃｍ（約０．５８０インチ）、側面６２と縁３４問
および側面６０と縁３２間の距離はいずれも約Ｏｙ３３
５ｃｍ（約０．１３２インチ）である。側縁８０と溝６
８間、および側縁８２と溝７０間の距離はいずれも約０
．１１９ｃｍ（約０、’０４フインチ）である。８溝６
８．７０の幅は約０．１０２ｃｍ（約００４０インチ）
て、約０．０６１　ｃｍ　（約０．０２４インチ）の半
径によって規定されている。

電極５０の中心と端縁４６間の距離は約０．１１７ｃｍ
（約０．０４６インチ）であり、前置増幅器１００は縁
４６から約０．１０２ｃｍ（約０．０４０インチ）離れ
ている。

電界効果トランジスタ１００はＭＭＢＦ５４５７タイプ
、ダイオード１１０はＦＤＩ−１３３３タイプ、ツェナ
ーダイオード１２６はｌＮ９６５Ｂタイプである。

以下本発明の諸態様を要約する。

（１）ａ）二つの端を有する長尺の振動片と；ｂ）前記
長尺振動片をその一端て片持ち梁として支持する手段と
； Ｃ）前記長尺振動片の他端近傍上に配置され、測定され
る電界ないし電位に直面させて容量結合されるように配
備された感知電極と。

ｄ）前記長尺振動片を、前記電極と測定される電界ない
し電位との間の容量結合を変化させる方向に振動させる
駆動手段と； ｅ）前記振動片上に前記電極の直近に配置され、前記電
極に接続された入力端と静電電圧計に接続される出力端
とを有する増幅器と；からなる静電電圧計のセンサ。

（２）前記増幅器か前記電極と同期振動するように前記
振動片に直接取り付けられている（１）項の装置。

（３）前記振動片が互いに反対側の二つの面を有し、前
記電極が前記反対側の二つの面の一方に取り付けられ、
前記増幅器が他方の面に取り付けられている（１）項の
装置。

（４）前記振動片を支持する前記手段が開口を有する板
からなり、前記振動片が前記板から延長して前記開口内
に配置されている（１）項の装置。

（５）前記振動片と前記板か一体に形成されている（４
）項の装置。

（６）前記板が長尺の中空ハウシングの一面を形成して
おり、前記振動片が前記ハウジングの外側に向く面と前
記ハウジングの内側へ向く面とを有している（４）項の
装置。

（７）前記電極が前記振動片の前記ハウジングの外側へ
向く面に配置され、前記増幅器が前記振動片の前記ハウ
ジングの内側へ向く面に配置されている（６）項の装置
。

（８）前記ハウジングが内部を有し、前記駆動手段が前
記ハウジングの内部に向く前記振動片の面上にある（７
）項の装置。

（９）静電電圧計に接続するために前記振動片上に設け
られた帰還手段をさらに含む（１）項の装置。

（１０）ａ）開口を有する作用面を含むハウジングと。

ｂ）二つの端を有し、前記作用面から前記開口内に延長
し、前記作用面に前記二つの端の一方で片持ち梁成に支
持された長尺の振動片と；Ｃ）前記振動片上に前記二つ
の端の他方近くて測定される電界ないし電位に直接向け
て容量結合可能に配備された感知電極と； ｄ）前記振動片を、前記電極と測定されるべき電界ない
し電位との間の容量結合を変化させる方向に振動させる
駆動手段と： ｅ）前記電極に発生された電気信号を静電電圧計に結合
させる手段と； からなる静電電圧計のセンサ。

（１１）前記開口の寸法形状を、前記振動片が運動可能
にこの開口にきっちりと収まるように選定した（１０）
項の装置。

（１２）前記ハウジングの面が平坦であり、前記振動片
が静止しているときは前記振動片と前記面とが実質上面
一である（１０）項の装置。

（１３）前記振動片と前記面とが一体的に形成されてい
る（１０）項の装置。

（１４）前記結合手段が、前記振動片上に前記電極に接
近配置され、前記電極に接続された入力端と静電電圧計
に接続される出力端とを有する増幅器からなる（１０）
項の装置。

（１５）前記増幅器が、前記電極と同期振動するように
、前記振動片に直接取り付けられている（１４）項の装
置。

（１６）前記電極が、前記ハウジングの外部で前記振動
片の面上に配置され、前記増幅器が前記ハウジングの内
部に向く前記振動片の面上に配置されている（１４）項
の装置。

（１７）前記駆動手段が前記ハウジングの内部に向く前
記振動片の面上に配置されている（１ｏ）項の装置。

（１８）静電電圧計への接続のために、前記振動片上に
配置された帰還手段をさらに含む（１ｏ）の項の装置。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例の斜視図。 第２図は第１図のセンサの基板の底面図１第３図は第２
図の長手方向の断面図； 第４図は第２図の右端面図； 第５図は第２図と同様の図で、基板に種々の電気構成要
素を取付けた状態を示す図； 第６図は第５図の一部を断面で示す立面図。 第７図は第５図の反対側の面を示す平面図；第８図は第
５図〜第７図に示す電気的構成要素の接続を示す回路図
である。 １０・・・センサ、 １２・・・ハウジング、 １４・・・基板、 ４０・・・振動片、 ５０・・・電極、 １００・・・増幅器、 １１０・　・　・ダイオード、 １１６・・・連結板、 １２６・・・ツェナーダイオード。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 ａ）二つの端を有する長尺の振動片と； ｂ）前記長尺の振動片をその一端で片持ち梁として支持
   する手段と； ｃ）前記長尺振動片の他端近傍上に配置され、測定され
   るべき電界ないし電位に直面させて、容量結合されるよ
   うに配備された検出電極と；ｄ）前記長尺振動片を、前
   記電極と測定させるべき電界ないし電位との間の容量結
   合を変化される方向に振動させる駆動手段と； ｅ）前記振動片上に前記電極に近接して配置され、前記
   電極に接続された入力端と、静電圧電圧計に接続される
   出力端とを有する増幅器と；からなる静電電圧計用セン
   サ。