JPH01166448A - 電子銃 - Google Patents
電子銃Info
- Publication number
- JPH01166448A JPH01166448A JP62326583A JP32658387A JPH01166448A JP H01166448 A JPH01166448 A JP H01166448A JP 62326583 A JP62326583 A JP 62326583A JP 32658387 A JP32658387 A JP 32658387A JP H01166448 A JPH01166448 A JP H01166448A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cathode
- magnetic field
- electron beams
- main body
- distribution
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 claims abstract description 20
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 abstract description 11
- 230000005855 radiation Effects 0.000 abstract 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 1
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
- Solid Thermionic Cathode (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
この発明はたとえば電子線照射装置などに使用する電子
銃に関する。
銃に関する。
（従来の技術）
周知のようにこの種電子銃は、図に示すように加熱され
ることによって電子ビーム１を放出する陰極２と、この
陰極２を通電加熱するための電源３と、陰極２に隣接す
る制御電極４と、電子ビーム１を引出すための陽極５と
によって主として構成されている。
ることによって電子ビーム１を放出する陰極２と、この
陰極２を通電加熱するための電源３と、陰極２に隣接す
る制御電極４と、電子ビーム１を引出すための陽極５と
によって主として構成されている。
ところで第４図に示す従来構成によると、電源３からの
電流が流れることにより磁場が形成されるが、その磁場
の影響を受けて電子ビーム１が偏向し、中心軸（陰極表
面２Ａに垂直に通る線）に対して傾斜す、る方向に向か
うようになる。
電流が流れることにより磁場が形成されるが、その磁場
の影響を受けて電子ビーム１が偏向し、中心軸（陰極表
面２Ａに垂直に通る線）に対して傾斜す、る方向に向か
うようになる。
これを詳細に説明すると、第５図に示すように陰極表面
２Ａから垂直方向に２だけ離れた任意の個所Ｐにおける
磁場の強さＨｐは、陰極表面２Ａの各端部からみた仰角
を、φ１．φ２．加熱電流を工とすれば、 ■ として表せる。
２Ａから垂直方向に２だけ離れた任意の個所Ｐにおける
磁場の強さＨｐは、陰極表面２Ａの各端部からみた仰角
を、φ１．φ２．加熱電流を工とすれば、 ■ として表せる。
これから理解されるように、加熱電流によって生ずる磁
場は、第５図中等磁位面Ｍで示すように、陰極表面の端
部において最も弱く、中央に向かう程、次第に強くなっ
ていく分布となることが理解される。このような磁場の
分布のため、電子ビーム１の軌道が曲げられ、偏った強
度分布となってしまう。
場は、第５図中等磁位面Ｍで示すように、陰極表面の端
部において最も弱く、中央に向かう程、次第に強くなっ
ていく分布となることが理解される。このような磁場の
分布のため、電子ビーム１の軌道が曲げられ、偏った強
度分布となってしまう。
具体的には第６図に示すように、太さ１．０ｍａ＋の陰
極線材を、両端の間隔が１０ｏ＋＋＊となるように陰極
２を形成し、加熱電流を２ＯＡとしたとき軌道計算によ
れば中心軸に対する偏向角θは陰極表面２Ａの各部分に
おいてそれぞれ、 ０．９５１’ 、 １．８７６°。
極線材を、両端の間隔が１０ｏ＋＋＊となるように陰極
２を形成し、加熱電流を２ＯＡとしたとき軌道計算によ
れば中心軸に対する偏向角θは陰極表面２Ａの各部分に
おいてそれぞれ、 ０．９５１’ 、 １．８７６°。
１．０７８°であった。なおこのときの加速電圧は、１
０ｋＶである。
０ｋＶである。
（発明が解決しようとする問題点）
この発明は加熱電流が作る不均一磁場を矯正して均一磁
場とし、これによって電子ビームの分布を極力均一に保
つことを目的とする。
場とし、これによって電子ビームの分布を極力均一に保
つことを目的とする。
（問題点を解決するための手段）
この発明は表面から電子ビームを放射する陰極本体の背
面を、その両端から中央に向かうにした′がって幅駕広
く形成した陰極を備えたことを特徴とする。
面を、その両端から中央に向かうにした′がって幅駕広
く形成した陰極を備えたことを特徴とする。
（実施例）
この発明の実施例を第４図に対応する第１図によって説
明する。この発明にしたがい、陰極２を、表面から電子
ビームを放射する陰極本体１１の背面（電子ビームの放
射方向とは反対側の面）１２を、その両端から中央に向
かう程幅広に形成しである６図の例では背面１２の形状
を三角形状としているが、これが半円弧状であってもよ
い。
明する。この発明にしたがい、陰極２を、表面から電子
ビームを放射する陰極本体１１の背面（電子ビームの放
射方向とは反対側の面）１２を、その両端から中央に向
かう程幅広に形成しである６図の例では背面１２の形状
を三角形状としているが、これが半円弧状であってもよ
い。
このような、構成によると、陰極本体１１に加熱電流が
流れたとき、その電流は第２図に点線で示すようにほぼ
その幅方向に沿う中心を平均的に通るようになる。すな
わち陰極本体１１は中央に向かう程、陰極表面２Ａから
遠ざかるようになる。
流れたとき、その電流は第２図に点線で示すようにほぼ
その幅方向に沿う中心を平均的に通るようになる。すな
わち陰極本体１１は中央に向かう程、陰極表面２Ａから
遠ざかるようになる。
そのためここに流れる電流によって作られる磁場は、陰
極本体１１の中央に向かう程弱くなり。
極本体１１の中央に向かう程弱くなり。
その結果として第２図に等磁位面Ｍで示すように。
陰極表面２Ａとほぼ平行するようになる。すなわち第５
図の場合に比較して均一な磁場が形成されるようになる
のである。
図の場合に比較して均一な磁場が形成されるようになる
のである。
この発明の計算結果によれば、第３図に示すように太さ
１．０■層の陰極線材を、両端の間隔が１０ｍｍ、陰極
本体１１の背面１２の高さを６．０ｍｍとなるように陰
極２を形成したとき、軌道計算によれば中心軸に対する
偏向角θは、陰極本体１１の各部分においてそれぞれ、
０．６５７” 、 ０．７２２” 、 ０．７４５＠で
あった。なおこのときの加速電圧が１０ｋＶ、加熱電流
が２ＯＡであることは、第６図の場合と同じである。こ
れからもこの発明によるときは、電子ビームの分布が均
一に保たれることが理解できる。
１．０■層の陰極線材を、両端の間隔が１０ｍｍ、陰極
本体１１の背面１２の高さを６．０ｍｍとなるように陰
極２を形成したとき、軌道計算によれば中心軸に対する
偏向角θは、陰極本体１１の各部分においてそれぞれ、
０．６５７” 、 ０．７２２” 、 ０．７４５＠で
あった。なおこのときの加速電圧が１０ｋＶ、加熱電流
が２ＯＡであることは、第６図の場合と同じである。こ
れからもこの発明によるときは、電子ビームの分布が均
一に保たれることが理解できる。
（発明の効果）
以上詳述したようにこの発明によれば、単に陰極の背面
形状を中央に向かう程幅広となるようにしただけで、陰
極の加熱電流による磁場を均一とすることができ、もっ
て電子ビームの分布を極力均一に保つことができるとい
った効果を奏する。
形状を中央に向かう程幅広となるようにしただけで、陰
極の加熱電流による磁場を均一とすることができ、もっ
て電子ビームの分布を極力均一に保つことができるとい
った効果を奏する。
第１図はこの発明の実施例を示す正面図、第２図は動作
説明用の陰極の拡大正面図、第３図は軌道計算の結果を
説明するための正面図、第４図は従来例を示す正面図、
第５図は従来例の動作説明用の陰極の拡大正面図、第６
図は同じく軌道計算の結果を説明するための正面図であ
る。 １・・・電子ビーム、２・・・陰極、３・・・加熱電源
、４゜５・・・電極、１１・・・陰極本体、１２・・・
背面。
説明用の陰極の拡大正面図、第３図は軌道計算の結果を
説明するための正面図、第４図は従来例を示す正面図、
第５図は従来例の動作説明用の陰極の拡大正面図、第６
図は同じく軌道計算の結果を説明するための正面図であ
る。 １・・・電子ビーム、２・・・陰極、３・・・加熱電源
、４゜５・・・電極、１１・・・陰極本体、１２・・・
背面。
Claims (1)
- 表面から電子ビームを放射する陰極本体の背面を、その
両端から中央に向かうにしたがって幅広く形成した陰極
を備えてなる電子銃。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62326583A JPH01166448A (ja) | 1987-12-22 | 1987-12-22 | 電子銃 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62326583A JPH01166448A (ja) | 1987-12-22 | 1987-12-22 | 電子銃 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01166448A true JPH01166448A (ja) | 1989-06-30 |
Family
ID=18189435
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62326583A Pending JPH01166448A (ja) | 1987-12-22 | 1987-12-22 | 電子銃 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01166448A (ja) |
-
1987
- 1987-12-22 JP JP62326583A patent/JPH01166448A/ja active Pending
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