JPH01163647A - 光電効果を検出する走査光学顕微鏡 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （Ａ）　　産業上の利用分野 この発明は走査光学顕微鏡の像の検出に、光電効果を利
用し試着を真空にさらさなくとも試料表面」二の物質の
分布を求めることにより像を得ることができる顕微鏡で
ある （Ｂ）　　従来の技術 従来、試着表面」二の物質の分布を求めるのには走査電
子顕微鏡を用い、試着表面上からの特性Ｘ線を検出する
ことにたよっていた。そのため、試４′５１は真空中に
さらされる事になり、生きた生物などは試オ′」にする
ことが不可能であった。

（Ｃ）　　発明が解決しようとする問題点本発明は、真
空中にさらされずに、試１表面上の物質の分布を求める
ようにしたものである。

（Ｄ）　　問題を解決するだめの手段 台、その構成を第一１えに説明すると、レーザー光源（
１）からの平（１光線を集光用レンズ（２）によって細
く絞り込み、試着（４）の表面上の一点に集光させる。

その時、試オ゛」表面上のその一点では光電効果によっ
て電子が飛び出ず。そして、集電極（１１）に集められ
る。ここで、可変電圧電源（８）からの出ノＪ電圧を変
化させて、電流Ｎ１（−７）、電圧１ｔ（６）を読み取
ることによって、一種類の物質か存在するとき第二図の
ごとくなり、グラフより電圧値（１４）、電流値（１５
）の数値を得る。ここで、光の強さ、光の波長は一定だ
から、電圧値（１４）は光線の当っている試料表面上の
物質の仕事関数を表す。二種類以上の物質があったとき
、第三図のようになり、これは電圧値（１４）の異なっ
た第二図のグラフを加重平均したものである。したがっ
て、グラフの曲がる位置（１Ｇ）と、グラフの曲がる位
置（１Ｇ）のｎｉｊ後の傾きの変化によって、二種類Ｊ
、Ｊ上の物質の仕事関数と物質のでｒ在比宇を求める事
かできる。仕事関数は物質固有の値のため、これらの数
値から光線が当った試１′４表面上の一点の物質の種類
と物質の存在比率を求める事ができる。

ここで、光の焦点の位置を反ｒＪＪ鏡（３）をＸ軸、ｙ
軸に往復回転させることによって、試オ゛−１表面上を
走査することにより、試１パ１表面」二の物質の種類の
分布を求める事ができる。これらを電子泪算器（９）に
よってブラウン管（１０）Ｊ二に物質の種類の分布を表
示する。

（Ｅ）　　発明の効果 この発明によって、試着を真空にさらさなくとも、試料
表面上の物質の分布の顕微鏡像を得られる。

４、図の簡単な説明 第一図は本発明の原理の全体図 第二図は電流泪（７）、電圧刷（６）によって示される
電流と電圧の関係のグラフ 第三図は物質が二１・ＲＷＩ１以上存在するときの電流
訓（７）、電圧泪（６）によって示される電流と電圧の
関係のグラフ

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 光電効果の電子電圧を測定することにより、光線が当っ
   た場所の仕事関数を求めることにより、その場所の物質
   の種類を求める。 以上のように反応を検出する走査光学顕微鏡。