JPH01161260U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH01161260U JPH01161260U JP5659388U JP5659388U JPH01161260U JP H01161260 U JPH01161260 U JP H01161260U JP 5659388 U JP5659388 U JP 5659388U JP 5659388 U JP5659388 U JP 5659388U JP H01161260 U JPH01161260 U JP H01161260U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wall
- vacuum evaporation
- protrusion
- evaporation apparatus
- electron gun
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 3
- 238000007738 vacuum evaporation Methods 0.000 claims 2
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims 1
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- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
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- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 2
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Description
第１図は本考案装置の壁の一例を示す断面図で
、第２図のＡ部に相当する図、第２図は従来装置
を示す図、第３図は蒸着装置の反電子銃側の熱流
束分布の一試算例結果図、第４図は反射電子軌跡
の一試算例結果図である。 １……電子銃、２……電子ビーム、３……電磁
コイル、４……るつぼ、５……金属蒸気、６……
壁、７……蒸着板、９……加熱器、１１……真空
チヤンバ、１２……蒸着金属、１３……反射電子
、１５……内壁、１６……孔又はスリツト、１７
……外壁、１８……電源、１９……突起、２０…
…反射電子（散乱熱流束）。
、第２図のＡ部に相当する図、第２図は従来装置
を示す図、第３図は蒸着装置の反電子銃側の熱流
束分布の一試算例結果図、第４図は反射電子軌跡
の一試算例結果図である。 １……電子銃、２……電子ビーム、３……電磁
コイル、４……るつぼ、５……金属蒸気、６……
壁、７……蒸着板、９……加熱器、１１……真空
チヤンバ、１２……蒸着金属、１３……反射電子
、１５……内壁、１６……孔又はスリツト、１７
……外壁、１８……電源、１９……突起、２０…
…反射電子（散乱熱流束）。
Claims (1)
- 電子銃加熱による真空蒸着装置において、少な
くともるつぼ内蒸着金属表面から反射する電子が
到達する壁を内壁と外壁の二重構造とし、該内壁
に孔又はスリツトを設け、該外壁を導電性及び伝
熱性に優れた材質で構成すると共に、該外壁表面
に突起を該突起先端が前記内壁の孔又はスツリト
に対応して該内壁より内側に達するように設け、
かつ前記内壁の外壁との間に電位差をかけること
ができるようにしたことを特徴とする真空蒸着装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5659388U JPH01161260U (ja) | 1988-04-28 | 1988-04-28 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5659388U JPH01161260U (ja) | 1988-04-28 | 1988-04-28 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01161260U true JPH01161260U (ja) | 1989-11-09 |
Family
ID=31282464
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5659388U Pending JPH01161260U (ja) | 1988-04-28 | 1988-04-28 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01161260U (ja) |
-
1988
- 1988-04-28 JP JP5659388U patent/JPH01161260U/ja active Pending
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