JPH01153925A - ラマン分光用迷光除去装置 - Google Patents
ラマン分光用迷光除去装置Info
- Publication number
- JPH01153925A JPH01153925A JP62311896A JP31189687A JPH01153925A JP H01153925 A JPH01153925 A JP H01153925A JP 62311896 A JP62311896 A JP 62311896A JP 31189687 A JP31189687 A JP 31189687A JP H01153925 A JPH01153925 A JP H01153925A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- reflected light
- laser
- scattered light
- reflected
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000001069 Raman spectroscopy Methods 0.000 title claims abstract description 21
- 230000005284 excitation Effects 0.000 claims abstract description 4
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 8
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 claims description 2
- 230000002238 attenuated effect Effects 0.000 abstract description 6
- 238000007493 shaping process Methods 0.000 abstract 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 2
- 238000003841 Raman measurement Methods 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Investigating, Analyzing Materials By Fluorescence Or Luminescence (AREA)
- Spectrometry And Color Measurement (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明はラマン測定時妨害となる迷光に係り、特に強い
レーザ反射光がラマン散乱光に重畳している場合でも迷
光除去用狭帯域バンドパスフィルタの光学損傷を防止で
きる迷光除去装置に関する。
レーザ反射光がラマン散乱光に重畳している場合でも迷
光除去用狭帯域バンドパスフィルタの光学損傷を防止で
きる迷光除去装置に関する。
従来のレーザラマン分光用迷光除去装置は、特開昭６０
−５３８３４号公報に記載のように、１対の狭帯域バン
ドパスフィルタによるレーザ反射光の透過を利用して迷
光原因となるレーザ反射光のみを減衰させていた。しか
し上記特性の狭帯域バンドパスフィルタは誘電体多層膜
から作られており、強いレーザ反射光が入射した場合の
光学的損傷については配慮されていなかった。
−５３８３４号公報に記載のように、１対の狭帯域バン
ドパスフィルタによるレーザ反射光の透過を利用して迷
光原因となるレーザ反射光のみを減衰させていた。しか
し上記特性の狭帯域バンドパスフィルタは誘電体多層膜
から作られており、強いレーザ反射光が入射した場合の
光学的損傷については配慮されていなかった。
上記従来技術は強いレーザ反射光が狭帯域フィルタに入
射した場合、光学的損傷により光学特性の回復不可能な
劣化が生じ、迷光除去機能を果さなくなる問題があった
。
射した場合、光学的損傷により光学特性の回復不可能な
劣化が生じ、迷光除去機能を果さなくなる問題があった
。
本発明の目的は上記した従来技術の欠点をなくし、信頼
性の高いラマン分光用迷光除去法を提供することにある
。
性の高いラマン分光用迷光除去法を提供することにある
。
上記目的は、狭帯域バンドパスフィルタに入射するレー
ザ反射光、ラマン散乱光を１対の円筒面レンズでスポッ
ト状ビームから、多重反射方向と垂直方向に直線状に引
きのばしたビームとすることにより、バンドパスフィル
タ単位面積当りのエネルギ密度を著しく低減させること
により達成される。
ザ反射光、ラマン散乱光を１対の円筒面レンズでスポッ
ト状ビームから、多重反射方向と垂直方向に直線状に引
きのばしたビームとすることにより、バンドパスフィル
タ単位面積当りのエネルギ密度を著しく低減させること
により達成される。
測定試料から発生したラマン散乱光及びレーザ反射光は
球面レンズにより平行ビーム光とされ、凹面円筒レンズ
によって垂直方向にのみ拡大する゛直線状ビームに変え
られる。この直線状ビームは凹面円筒レンズの焦点位置
と共焦点になる様凹面円筒レンズの後に配置された凸面
円筒レンズにより垂直方向を向いた直線状平行ビームと
され、平行に配置された１対の狭帯域バンドパスフィル
タに入射する。この狭帯域バンドパスフィルタ間で水平
方向に多重反射される事により、このバンドパスフィル
タを透過するレーザ反射光は減衰を受け、透過されない
ラマン散乱光は正反射される事によりレーザ反射光と空
間分離され、迷光原因となるレーザ反射光は除去される
。凹面及び凸面円筒レンズで垂直方向直線状にレーザ反
射光は引きのばされるため、スポット状ビームに比べ単
位面積当りのエネルギ密度は減少し、バンドパスフィル
タの光学損傷を起こす事がなくなる。
球面レンズにより平行ビーム光とされ、凹面円筒レンズ
によって垂直方向にのみ拡大する゛直線状ビームに変え
られる。この直線状ビームは凹面円筒レンズの焦点位置
と共焦点になる様凹面円筒レンズの後に配置された凸面
円筒レンズにより垂直方向を向いた直線状平行ビームと
され、平行に配置された１対の狭帯域バンドパスフィル
タに入射する。この狭帯域バンドパスフィルタ間で水平
方向に多重反射される事により、このバンドパスフィル
タを透過するレーザ反射光は減衰を受け、透過されない
ラマン散乱光は正反射される事によりレーザ反射光と空
間分離され、迷光原因となるレーザ反射光は除去される
。凹面及び凸面円筒レンズで垂直方向直線状にレーザ反
射光は引きのばされるため、スポット状ビームに比べ単
位面積当りのエネルギ密度は減少し、バンドパスフィル
タの光学損傷を起こす事がなくなる。
以下、本発明の一実施例を図により説明する。
図において励起用レーザ光１を照射された試料２から生
じたラマン散乱光３．レーザ反射光４は凸球面レンズ５
により平行光線にされ、さらに凹円筒レンズ６により垂
直方向にのみ光束を拡大される。その後凹円筒レンズ６
の焦点と共焦点位置になる様装置された凸円筒レンズ７
により垂直方向に直線ビーム状平行光線とされ、入射光
に対し所定の角度で配置された狭帯域バンドパスフィル
タ８に入射する。入射したレーザ反射光４は狭帯域バン
ドパスフィルタ８の特性により透過される。
じたラマン散乱光３．レーザ反射光４は凸球面レンズ５
により平行光線にされ、さらに凹円筒レンズ６により垂
直方向にのみ光束を拡大される。その後凹円筒レンズ６
の焦点と共焦点位置になる様装置された凸円筒レンズ７
により垂直方向に直線ビーム状平行光線とされ、入射光
に対し所定の角度で配置された狭帯域バンドパスフィル
タ８に入射する。入射したレーザ反射光４は狭帯域バン
ドパスフィルタ８の特性により透過される。
入射したラマン散乱光３は狭帯域バンドパスフィルタ８
の特性により反射され、狭帯域バンドパスフィルタ８′
に入射する。狭帯域バンドパスフィルタ８′でも同様に
レーザ反射光４は透過し、ラマン散乱光３は反射し、集
光レンズ９を経て分光器入射スリット１０上に結像する
。狭帯域バンドパスフィルタ８，８′のレーザ反射光透
過率を９０％、ラマン散乱光の反射率を９５％とすると
、図ではレーザ反射光４は１０−４に減衰し、ラマン散
乱光は２０％減衰するのみで、迷光の原因となるレーザ
反射光のみ十分除去でき効果がある。
の特性により反射され、狭帯域バンドパスフィルタ８′
に入射する。狭帯域バンドパスフィルタ８′でも同様に
レーザ反射光４は透過し、ラマン散乱光３は反射し、集
光レンズ９を経て分光器入射スリット１０上に結像する
。狭帯域バンドパスフィルタ８，８′のレーザ反射光透
過率を９０％、ラマン散乱光の反射率を９５％とすると
、図ではレーザ反射光４は１０−４に減衰し、ラマン散
乱光は２０％減衰するのみで、迷光の原因となるレーザ
反射光のみ十分除去でき効果がある。
本発明によれば簡単な装置構成で強いレーザ反射光に起
因する迷光を、光学素子の光学損傷を受ける事なしに十
分減衰でき、信頼性の高い測定が可能となる。
因する迷光を、光学素子の光学損傷を受ける事なしに十
分減衰でき、信頼性の高い測定が可能となる。
図は本発明の一実施例の構成図である。
１・・・励起用レーザ、２・・・試料、３・・・ラマン
散乱光、４・・・レーザ反射光、５・・・凸球面レンズ
、６・・・凹円筒レンズ、７・・・凸円筒レンズ、９・
・・集光レンズ、１０・・・分光器入射スリット。
散乱光、４・・・レーザ反射光、５・・・凸球面レンズ
、６・・・凹円筒レンズ、７・・・凸円筒レンズ、９・
・・集光レンズ、１０・・・分光器入射スリット。
Claims (1)
- １、レーザラマン分光法において、励起レーザ波長光透
過率が入射角３０°以下の所定の角度で最大になり、か
つラマン散乱光を正反射する特性の、平行に配置した２
枚の狭帯域バンドパスフィルタから成るラマン散乱光多
重反射光学系において、該フィルタ前に、多重反射方向
と垂直方向にのみラマン散乱光ビーム径を拡大、平行に
する１対の凹凸の円筒面レンズを配置し、直線状ビーム
としたラマン散乱光を該フィルタに入射させることを特
徴としたラマン分光用迷光除去装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62311896A JPH01153925A (ja) | 1987-12-11 | 1987-12-11 | ラマン分光用迷光除去装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62311896A JPH01153925A (ja) | 1987-12-11 | 1987-12-11 | ラマン分光用迷光除去装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01153925A true JPH01153925A (ja) | 1989-06-16 |
Family
ID=18022720
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62311896A Pending JPH01153925A (ja) | 1987-12-11 | 1987-12-11 | ラマン分光用迷光除去装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01153925A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH08261826A (ja) * | 1995-03-23 | 1996-10-11 | Agency Of Ind Science & Technol | フィルタ分光器 |
| CN104155279A (zh) * | 2013-05-13 | 2014-11-19 | 中国科学院大连化学物理研究所 | 一种线形共聚焦紫外拉曼光谱仪 |
-
1987
- 1987-12-11 JP JP62311896A patent/JPH01153925A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH08261826A (ja) * | 1995-03-23 | 1996-10-11 | Agency Of Ind Science & Technol | フィルタ分光器 |
| CN104155279A (zh) * | 2013-05-13 | 2014-11-19 | 中国科学院大连化学物理研究所 | 一种线形共聚焦紫外拉曼光谱仪 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US8427633B1 (en) | Laser beam analysis apparatus | |
| CN107561007B (zh) | 一种薄膜测量装置和方法 | |
| US6178045B1 (en) | Spatial filter for high power laser beam | |
| JPH0422442B2 (ja) | ||
| JP5666496B2 (ja) | 計測装置 | |
| US4455086A (en) | Optical test apparatus for examining an object | |
| US10743767B2 (en) | Full-field interferential imaging systems and methods | |
| JPH01153925A (ja) | ラマン分光用迷光除去装置 | |
| JP4895519B2 (ja) | 顕微鏡装置 | |
| US10616987B2 (en) | System and method for imaging a sample with an illumination source modified by a spatial selective wavelength filter | |
| US11105740B2 (en) | Optical inspection | |
| KR20030067993A (ko) | 표면 측정장치 및 그 측정방법 | |
| CN106918393A (zh) | 一种双通道空间外差光谱仪 | |
| JP4469485B2 (ja) | レーザ光線の波長単位での調整装置 | |
| JP4074271B2 (ja) | 時間分解分光装置 | |
| EP0131768A2 (en) | A method and an apparatus for focusing an invisible beam of electromagnetic radiation | |
| JPS6295451A (ja) | ラマン分光用迷光除去装置 | |
| RU2400667C1 (ru) | Осветительная система | |
| JPH10232119A (ja) | 光学フィルタ装置 | |
| JP2004101466A (ja) | 不要光除去体を備えた干渉計装置 | |
| KR20180000734A (ko) | 공간 선택적 파장 필터에 의해 수정된 조명원으로 샘플을 영상화하는 시스템 및 방법 | |
| JPS62121338A (ja) | ラマン分光用迷光除去装置 | |
| JP3255589B2 (ja) | レンズ評価装置 | |
| JPH02300616A (ja) | 測定装置 | |
| JPS58206948A (ja) | 前方微小角散乱光強度計測装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |