JPH01153638U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH01153638U JPH01153638U JP4589688U JP4589688U JPH01153638U JP H01153638 U JPH01153638 U JP H01153638U JP 4589688 U JP4589688 U JP 4589688U JP 4589688 U JP4589688 U JP 4589688U JP H01153638 U JPH01153638 U JP H01153638U
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- JP
- Japan
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- wafer
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- motor
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- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
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- Warehouses Or Storage Devices (AREA)
- Sheets, Magazines, And Separation Thereof (AREA)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4589688U JPH0648845Y2 (ja) | 1988-04-04 | 1988-04-04 | ウエハ搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4589688U JPH0648845Y2 (ja) | 1988-04-04 | 1988-04-04 | ウエハ搬送装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01153638U true JPH01153638U (US06346242-20020212-C00066.png) | 1989-10-23 |
| JPH0648845Y2 JPH0648845Y2 (ja) | 1994-12-12 |
Family
ID=31272187
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4589688U Expired - Lifetime JPH0648845Y2 (ja) | 1988-04-04 | 1988-04-04 | ウエハ搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0648845Y2 (US06346242-20020212-C00066.png) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH11130251A (ja) * | 1997-10-24 | 1999-05-18 | Sharp Corp | 基板搬送装置 |
| JP2008508738A (ja) * | 2004-08-02 | 2008-03-21 | ライボルト オプティクス ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | 基板を搬送するための装置ならびにプロセスシステム |
| JP2010037092A (ja) * | 2008-08-07 | 2010-02-18 | Sinfonia Technology Co Ltd | 搬送装置 |
| JP2010192685A (ja) * | 2009-02-18 | 2010-09-02 | Tokyo Electron Ltd | 基板搬送装置及び基板処理システム |
| JP2011514652A (ja) * | 2007-07-17 | 2011-05-06 | ブルックス オートメーション インコーポレイテッド | チャンバ壁に一体化されたモータを伴う基板処理装置 |
| JP2011526068A (ja) * | 2007-06-27 | 2011-09-29 | ブルックス オートメーション インコーポレイテッド | 磁気スピンドル軸受を伴うロボット駆動装置 |
| JP2012528478A (ja) * | 2009-05-28 | 2012-11-12 | ゼミレフ・ゲゼルシャフト・ミト・ベシュレンクテル・ハフツング | 基板の微粒子なしハンドリングのためのデバイス |
| WO2013176025A1 (ja) * | 2012-05-22 | 2013-11-28 | 東京エレクトロン株式会社 | 搬送装置 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6740894B1 (en) * | 2003-02-21 | 2004-05-25 | Axcelis Technologies, Inc. | Adjustable implantation angle workpiece support structure for an ion beam implanter utilizing a linear scan motor |
-
1988
- 1988-04-04 JP JP4589688U patent/JPH0648845Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH11130251A (ja) * | 1997-10-24 | 1999-05-18 | Sharp Corp | 基板搬送装置 |
| JP2008508738A (ja) * | 2004-08-02 | 2008-03-21 | ライボルト オプティクス ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | 基板を搬送するための装置ならびにプロセスシステム |
| JP2011526068A (ja) * | 2007-06-27 | 2011-09-29 | ブルックス オートメーション インコーポレイテッド | 磁気スピンドル軸受を伴うロボット駆動装置 |
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| JP2014123761A (ja) * | 2007-07-17 | 2014-07-03 | Brooks Automation Inc | チャンバ壁に一体化されたモータを伴う基板処理装置 |
| JP2017022426A (ja) * | 2007-07-17 | 2017-01-26 | ブルックス オートメーション インコーポレイテッド | チャンバ壁に一体化されたモータを伴う基板処理装置 |
| JP2010037092A (ja) * | 2008-08-07 | 2010-02-18 | Sinfonia Technology Co Ltd | 搬送装置 |
| JP2010192685A (ja) * | 2009-02-18 | 2010-09-02 | Tokyo Electron Ltd | 基板搬送装置及び基板処理システム |
| JP2012528478A (ja) * | 2009-05-28 | 2012-11-12 | ゼミレフ・ゲゼルシャフト・ミト・ベシュレンクテル・ハフツング | 基板の微粒子なしハンドリングのためのデバイス |
| WO2013176025A1 (ja) * | 2012-05-22 | 2013-11-28 | 東京エレクトロン株式会社 | 搬送装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0648845Y2 (ja) | 1994-12-12 |
