JPH01152974A - 高電圧発生装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分齋） 本発明は、例えば、イオンビームを加速する場合に必要
とする高電圧を発生させる高電圧発生装置の改良に関す
る。

、　（従来の技術） 近年、イオンビームを用いた技術としては、粒子加速装
置、質量分析器、同位元素分離装置などの他に、エツチ
ング等の表面処理装置や金属加工装置があり、このよう
なイオンビームの加速と集束を制御するための加速管に
は高電圧を供給する必要がある。例えば、ＩＥＸ量元素
分析の分野においては、極めて微量の試料にイオンビー
ムを照射し、この試料から発生する特性Ｘ線を半導体検
出器で検出し、そのエネルギーと強度とがら微量元素の
分析を行なう分析方法を用いている。

この分析方法では、イオン源からのイオンを加連管を用
いて集束良く加速させる必要があることから、この加速
管には通常、高電圧発生装置が一体的に設けられており
、この高電圧発生装置により得られた高電圧を利用して
この加速を行なわせている。尚、この高電圧発生装置は
、通常で１０００にＶ程度の高電圧を発生するので、こ
のような高電圧の下でもコロナ放電を起こさないように
、絶縁耐力の大きいＳＦ６ガスを高圧で充填した容器に
収めて使用している。上記以外に高電圧発生装置を用い
る必要がある場合としては、電子ビーム加工、スパッタ
リング、イオンブレーティング等がある。

この高電圧発生装置としては、従来からパンデグラーフ
加速器等１種々のものが用いられているが、最近では、
特開昭５７−４０３８０号公報に開示されているような
回転円板型高電圧発生器を用いたものがある。

この回転円板型高電圧発生器は、第７図に示されるよう
に構成されている。

同図に示すように、この高電圧発生器の回転軸Ｏには、
例えばアクリル樹脂性の絶縁性材料から成る円板３が同
心的に取付けられており、この円板３の外周付近には、
前１記回転軸Ｏに対して軸対称同心状にこの円板３を貫
通して固設された電荷搬送体１が等間隔に配設されてい
る。そして、この電荷搬送体１には、円板３の外周面に
突設された接触子２が接続されている。また、この電荷
搬送体１の回転通路上において回転軸０に対して相対向
するそれぞれの位置には、円板３の表裏両面においてこ
れらの電荷搬送体１をその移動方向の所定距離を跨ぐよ
うに配設され、隙間部分を介して二分割された例えばス
テンレススチール等の導電性材料から成るインダクター
４Ａ〜４Ｄが設けられている。尚、この例にあっては、
インダクター４Ａ及び４Ｄには、十の電位が与えられ、
インダクター４Ｂ及び４Ｃには、−の電位が与えられて
いる。そして、この円板３の外周側部には、導電性のプ
ーリー６．６′に取付けられた例えばカーボン粉末を含
む合成ゴム材の導電性の弾性体から成るベルＦ−５，５
°が設けてあり、このゴムベルト５，５°は接触子２に
接触し、その接触時に生ずる摩擦力によって円板３の周
速に応じて回転するようになっている。

さらに、各インダクター４Ａ〜４Ｄに前記したように電
位が与゛えられていることを条件として低電位となって
いる低電位側のプーリー６は、アースされている接続端
子７に、同様の条件によって高電位となっている高電位
側のプーリー６°は、接続端子８にそれぞれ接続され、
接続端子７と接続端子８とは、高抵抗値を有する抵抗器
９を介して接続されている。

このような構成を有する回転円盤型高電圧発生器は、以
下のようにして高電圧を発生させる。説明を簡単にする
ために１つの電荷搬送体１のみに着目してその作用を説
明する。

まず、インダクター４Ａと４Ｂとの隙間部分１０に位置
する電荷搬送体１は、その電荷搬送体１に接続されてい
る接触子２を介してベルト５に接触しているのでアース
されており、アース電位になっている。こ、の電荷搬送
体１が図に示すように円板３とともに時計回りに回転し
、インダクター４Ｂ中を移動すると、この電荷搬送体１
はベルト５に接触している限りにおいてはアース電位を
保っており、このインダクター４Ｂには−の電位が与え
られているので、この電荷搬送体１が隙間部分１０から
離れるにしたがって次第に多くの十の電荷が静電誘導作
用により電荷搬送体１の表面に現れる。そして、この電
荷搬送体１は、この電荷を持ったまま接触子２を介して
ベルト５を離れ、所定の電荷分布状態が形成されたまま
インダクター４Ｂからインダクター４０に近づき、その
内部に入って、インダクター４０の電位によってインダ
クター４Ｂを離れた時と同様の電荷分布状態を維持しつ
つ接触子２を介してベルト５′に接触する。そして、こ
の電荷搬送体１がインダクター４Ｃと４Ｄとの隙間部分
１０゛に近づくにしたがってインダクター４Ｄに発生し
ている電界の影響を受けて前記電荷分布状・態が次第に
変化し、ベルト５°に電荷が受け渡される。この電荷の
受け渡しは電荷搬送体１が隙間部分１０゛に到達した時
点で終了する。その後、この電荷搬送体１は、高電位を
有するベルト５°に接触しつつインダクター４Ｄ中を移
動すると、今度は、前記したとは反対に、インダクター
４Ｄには十の電位が与えられているので、この電荷搬送
体１が隙間部分から離れるにしたがって次第に多くの−
の電荷が静電誘導作用により電荷搬送体１の表面に現わ
れる。そして、この電荷搬送体１は、この電荷を持った
まま接触子２を介してベルト５°を離れ、インダクター
４Ｄからインダクター４Ａに近づき、その内部に入って
、インダクター４Ａは電荷搬送体１に対し前記したイン
ダクター４Ｃと同様に作用しつつ電荷搬送体１に誘導さ
れているーの電荷を接触子２を介してベルト・５゛に受
け渡す。

以上のようにして各電荷搬送体１に静電的に誘導される
それぞれの極性の電荷をベルト５又はベルト５゛に連続
的に運ぶことによって、低電圧端子７．高電圧端子８間
が高電圧となるようになっている。

（発明が解決しようとする問題点） しかしながら、このような従来の高電圧発生装置にあっ
ては、電荷搬送体１に誘導されている電荷の受け渡しを
弾性体で構成されたベルト５，５°によって行なってお
り、このベルト５，５°は、各電荷搬送体１の接触子２
に対して適当な圧力をもって押圧しつつこの接触子２の
移動速度（円板３の周速にほぼ等しい）に応じた高回転
（約ｉｏ、　。

ｏｏｒｐｍ　）で回転しなければならないので、耐久性
に問題があった。

すなわち、ベルト５．５°は、このような使用にも絶え
得るように厳選した材料を用いているが、急激な繰返し
変形が高速で行なわれることから、長期的に使用してい
ると、どうしてもベルト５゜５゛の伸びが生じ、プーリ
ー６．６“との接触が不完全となって正常な発電機能を
損なったり、さらには、最悪の場合には、ベルト５，５
゛がプーリー６．６°がら外れてしまい、全く発電でき
なくなる虞も内在している。

そして、高電圧発生装置は前記したように、ＳＦ６ガス
が高圧充填されている容器内に収納されているので、定
期的なメインテナンスにあっても多くの時間と手数を要
することになり、また、運転中に前記したような事態が
発生すれば、迅速な復旧はほとんど不可能である等１種
々の問題があった。

本発明は、このような従来の問題を解決するために成さ
れたものであり、電荷搬送体に接続された接触子をその
移動方向に伸長じた形状とするとともに、それぞれの誘
導電極の隙間部分に設けられ、おのおのの接触子に接触
して電荷の受け渡しを行なう１つのローラーによって前
記電荷搬送体かちの電荷の受け渡１．を行なわせ、耐久
性及び信頼性の高い高電圧発生装置を提供することを目
的とする。

（問題点を解決するための手段） 前記目的を達成するための本発明は、駆動軸に連結され
絶縁材料から成る回転円板の端面に、誘導された電荷を
搬送する電荷搬送体を、前記回転円板の回転中心から所
定の半径にそれぞれ位置させて相互に所定の間隔を隔て
て多数立設し、おのおのの前記電荷搬送体に電気的に接
続された接触子を前記回転円板に当該回転円板の外部に
露呈させて取付け、前記回転円板に対向して固定設置さ
れた基台に、前記電荷搬送体に対して所定の間隔を有す
る第１誘導電極と第２誘導電極とを固着し、それぞれの
前記誘導電極を、隙間部分を介して当該隙間部分に近づ
く前記電荷搬送体の有する電荷分布状態を徐々に変化さ
せて電荷の受け渡しを円滑にする第１電極子と、前記隙
間部分から遠ざかる前記電荷搬送体に電荷を誘導する第
２電極子とに区分し、それぞれ前記接触子に接触する導
電材料部を有し、前記電荷搬送体に誘導された電荷を受
け収る第１ローラーと第２ローラーとをそれぞれの前記
隙間部分に位置させて前記基台に装着したことを特徴と
するものである。

（作用） このように構成すると、第１誘導電極あるいは第２誘導
電極を構成する第２電極子から電荷搬送体が離れる場合
にこの第２電極子によって前記電荷搬送体に所定の分布
状態で電荷が誘導され、この誘導された電荷は回転円板
３の回転にしたがって前記電荷搬送体によって搬送され
て第１電極子に入る。°そして、前記第１電極に入った
前記電荷搬送体は隙間部分に近づくにしたがってその電
荷の分布状態を変化させるとともに、前記電荷搬送体に
電気的に接続されている接触子が導電部材を有する第１
又は第２ローラーに接触し、前記電荷搬送体が前記隙間
部分の中間点に位置するまで前記接触子を介して前記電
荷搬送体に誘導されている電荷を前記第１又は第２ロー
ラーに受け渡す。

このような動作が各電荷搬送体が回転円板３の回転に伴
なって連続的に行なわれることによって第１誘導電極と
第２誘導電極間を高電位にすることができる。

このように、第１及び第２誘導電極の隙間部分にそれぞ
れ１つづつ配置されている各ローラーが有する前記導電
材料部は、前記接触子と接触しながら回転することにな
るので、その回転は非常に高速となるが、前記導電材料
部は前記各ローラーが有しているので、非常に堅固なも
のとすることができ、その耐久性及び信頼性を向上させ
ることができる。

（実施例） 以下、本発明の実施例を図面に基づいて詳細に説明する
。

第１図には、本発明に係る高電圧発生装置の横断面図が
、第２図には、同装置の縦断面図が、第３図には、同装
置の要部斜視図がそれぞれ示しである。尚、第７図に示
した部材と同一の部材には、同一符号を付しである。

これらの図に示すように、例えばアクリル樹脂のような
絶縁性の合成樹脂によって形成された円板３の表裏両面
には、円筒形状を有する電荷搬送体１が多数その円板３
の回転軸Ｏに対して軸中心同心状に等間隔で配設されて
おり、それぞれの電荷搬送体１は、円板３を貫通する固
定体ＩＡによって固設されている。また、それぞれの電
荷搬送体１には、円板３の外周面３Ａに形成された溝部
３Ｂに埋め込まれるとともにこの溝部３Ｂから突設され
た接触子２が接続されており、この接触子２と電荷搬送
体１とは、第２図に示すように電荷搬送体１を固定して
いる固定体ＩＡに接触子２が係合されることによって電
気的及び機械的に連結さ九ている。この接触子２は、第
３図に示すように偏平形状を有しており、その長軸であ
る偏平軸線Ａは、円板３の厚み方向中心軸線Ｂに対して
α度だけ傾斜するように形成しである。このように傾斜
させている理由の詳細は後述するが、端的に言えば隣合
う接触子２同士が相互にある程度の絶縁耐圧を有するよ
うに、相互間距離を大きくするためと、この接触子２に
接触して電荷搬送体１の電荷を受け取る後述するローラ
ーにスムースな電荷移動を行なわせるためである。

そして、円板３の回転軸Ｏは、基台としての第１支持台
１０Ａ及び第２支持台１０Ｂにそれぞれ設けられている
軸受けＩＩＡ及びＩＩＢによって回転自在に取付１すら
れ、この回転軸０には、図示しない誘導電動機等の回転
動力発生機器が接続されており、これにより円板３が例
えば１８００ｒｌ）ｍ位で回転させられる。円板３はこ
のように高速で回転することから、この円板３は十分な
機械的剛性とダイナミックバランスを兼備えるとともに
可能な限り軽量化が図られている。

また、第１支持台１０Ａ及び第２支持台１０Ｂには、第
１誘導電極として機能し得る第１及び第２電極子として
のインダクター４０及び４Ｄと、第２誘導電極として機
能し得る第１及び第２電極子としてのインダクター４Ａ
及び４Ｂとがそれぞれの隙間部分１０．１０’をもって
前記した回転軸０に対して軸対称かつ電荷搬送体１の移
動通路上の円板３の表裏両側に相対向して固定配置され
、この各インダクター４Ａ〜４Ｄに形成されている溝内
を、円板３とともに回転する電荷搬送体１が極めて狭少
の間隙をもって通過するようになっている。これらのイ
ンダクター４Ａ、４Ｂと４Ｃ。

４Ｄとは、それぞれのインダクター４Ａ〜４Ｄに発生し
ている電界の影響をできるだけ回避するために、円板３
のほぼ９０度の範囲にわたって電荷搬送体１を覆うよう
に設けられている。

これらのインダクター４Ａ〜４Ｄには、そノｔぞれに電
位が与えられており、この電位によってインダクターを
出て行く電荷搬送体１に＋−いずれかの電荷が誘導され
ることになる。例えば、第１図に示す方向１．二円板３
が回転すると、インダクター４Ｂ内にある電荷搬送体１
の表面には、十の電荷が誘導され、インダクター４Ｄ内
にある電荷搬送体１の表面には−の電荷が誘導されるこ
とになる。

さらに、第１支持台１０Ａには、各電荷搬送体１に設け
られている接触子２のそれぞれに接触し、その接触時に
生ずる摩擦力によって円板３の周速に応じて回転しなが
ら電荷搬送体１に誘導されている電荷を受け取る第１ロ
ーラーとしてのローラー１２．第２ローラーとしてのロ
ーラー１２°が支持軸１３Ａ又は１３Ｂに取付けられて
おり、この支持軸１３Ａ及び１３Ｂは第１支持台１０Ａ
に取付けられている。そして、このローラー１２及び・
１２°には、導電材料部である導電性の弾性体から成る
例えばその内部にカーボン等が含まれた合成ゴム１２Ａ
が強固にあるいは接着などによって取付けである。そし
て、このローラー１２はアースされている接続端子７に
、ローラー１２“は、接続端子８にそれぞれ接続され、
この接続端子７と接続端子８とは高抵抗値をを有する抵
抗器９に接続されている。これにより、非常に高い電位
差が接続端子７と接続端子８との間に発生することにな
る。なお、これらのローラー１２．１２’は第１支持台
に取付けられた支持軸１３Ａ及び１３Ｂによって支持す
るようにしたが、これらの支持軸１３Ａ及び１３を第２
支持台に取付けるようにしても良い。

このような構成を有する本発明の高電圧発生装置は、次
のように作用する。

回転軸０に接続されている誘導電動機等の回転機によっ
て円板３が回転駆動されると、この回転に伴なって電荷
搬送体１が回転する。また、インダクター４Ａと４Ｄに
は、＋ＥＶの電圧が印加されるとともに、インダクター
４Ｂと４０には、−ＥＶの電圧が印加され、これらイン
ダクター４Ａ〜４Ｄに形成されている溝中には電界が形
成されている。

このように、各インダクター４Ａ〜４Ｄに電圧が印加さ
れている状態の下で、円板３を回転させた場合、インダ
クター４Ａとインダクター４Ｂとの隙間部分１０に位置
する電荷搬送体１は、第３図に示すように低圧側ローラ
ー１２の有する合成ゴム１２Ａに接触しており、この低
圧側ローラー１２はアースされている接続端子７に接続
されているためにアース電位になっている。円板３の回
転に伴なって、この電荷搬送体１がインダクターに形成
された溝中を移動すると、インダクター４Ｂには−の電
圧が印加されているので、この電荷搬送体１が隙間部１
０から離れるにしたがって次第に多くの十の電荷が静電
誘導作用によって電荷搬送体１の表面に誘導される。そ
して、所定の電荷分布状態が形成されたままこの電荷搬
送体１の移動が進み、低圧側ローラー１２と離れてイン
ダクター４Ｂ中をさらに移動し、このインダクター４Ｂ
を脱出するときには、この電荷搬送体１とインダクター
４Ｂの相互のエツジ間で非常に高い電界が発生してコロ
ナ放電を起こす可能性があることから、インダクター４
Ｂと電荷搬送体１とのクリアランスは出口方向に向うに
したがって徐々に大きくなるようにインダクター４Ｂの
溝形状が形成されている。尚、他のインダクターと電荷
搬送体１とのクリアランスの関係もこれと同様になるよ
うに、その溝形状が形成されており、電荷搬送体１が入
るインダクターは、その電荷搬送体１の入口方向に向か
うにしたがって電荷搬送体１とインダクターとのクリア
ランスは徐々に大きくなるようにインダクターの溝形状
が形成されている。

また、このインダクター４Ｂに供給される電圧によって
電荷搬送体１に誘導される電荷量が決定される。

つぎに、このようにして急激な電場変動を抑えられつつ
インダクター４Ｂを脱出した電荷搬送体１は、インダク
ター４Ｃに近づき、インダクター４Ｃに入るが、この場
合も、前記したと同様に急激な電場変動を抑えられつつ
インダクター４Ｃの溝内に入る。そして、インダクター
４Ｃ内に入った電荷搬送体１は、このインダクター４０
の溝に発生している電場によって、誘導されている十電
荷を引き付けられつつこの電荷搬送体１が有する接触子
２を介して第２ローラー１２′の有する合成ゴムに接触
する。そして、この電荷搬送体１は、前記第２ローラー
に接触しつつインダクター４Ｃと４Ｄとの隙間部分１０
゛に近づくにしたがって前記電荷分布状態を次第に変化
させながらこの電荷搬送体１に誘導されている十電荷を
第２ローラー１２゛の有する合成ゴム１２Ａに受け渡す
。この電荷の受け渡しは電荷搬送体１が隙間部分１０°
に達した時点で終了する。そして、この電荷搬送体１が
隙間部１０°を通り過ぎると、今度は、インダクター４
Ｄの溝内に入り、前記しなとは反対の−の電荷が電荷搬
送体１に誘導され、この誘導された電荷は前記したと同
様な動作によって第１ローラー１２が有する合成ゴム１
２Ａに受け渡される。尚、各電荷搬送体１に誘導されて
いる電荷の各ローラーへの受け渡しは、これらの電荷搬
送体１にそれぞれ接続されている接触子２にローラーが
隙間部分１０．１０°を中心とする所定の距離接触し続
けることによってスムースに行なわれることになり、ま
た、第１誘導電極を構成する各インダクターと第２誘導
電極を構成する各インダクターとの電位差は、この電極
間に存在する各電荷搬送体がそれぞれ分担して受け持つ
ことになるが、各接触子が各電荷搬送体よりも離隔距離
が小さいことから、絶縁破壊の可能性は接触子間による
因子が多いため、本実施例においては、接触子の離隔距
離ができるだけ離れるようにし、かつ、ローラーがスム
ースに回転するように相隣合う接触子同士が合成ゴムに
よって接触し得るようにするために、接触子の形状を偏
平とし、かつ、その長軸を円板３の厚み方向中心軸線に
対して角度を持たせている。

このような動作が各電荷搬送体毎に連続的に行なわれる
ことによって、十電荷は接続端子８側に、−電荷は接続
端子７側にそれぞれ送られ、抵抗器９の両端に高電圧が
発生することになる。

また、電荷が受け渡される合成ゴム１２Ａを有する各ロ
ーラー１２．１２’は、第３図に示すように各電荷搬送
体が有する接触子２に対して接触を繰り返しながら円板
３の周速に応じた速度で回転することになるが、ローラ
ー１２，１２°には、合成ゴム１２Ａが強固に取付けら
れているので相当の高回転にも耐えられるようになって
おり、また、急激な変形を繰り返さないので、耐久性は
極めて高い。

また、第４図から第６図には、本発明に係る高電圧発生
装置の他の実施例が示されている。

第４図は、本実施例における高電圧発生装置の横断面図
、第５図及び第６図は、本実施例における高電圧発生装
置の要部斜視図である。

第４図に示す高電圧発生装置は、第２図に示したものと
は、電荷搬送体１とインダクター４Ａ〜４Ｄとの構成が
異なるのみで他の構成は全て同一である。

すなわち、各インダクターの形状は第２図に示したもの
のように溝が形成されておらず円柱状の偏平形状となっ
ており、電荷搬送体１に対向する面は電荷搬送体１の出
入する部分が電荷搬送体１上面とのクリアランスが大き
くなるように傾斜して形成されている他は、はぼ平坦な
形状となっており、前記したように第１誘導電極と第２
誘導電極とをそれぞれ構成する第１及び第２電極子は隙
間部分を介して配置されている。また、電荷搬送体１の
軸方向の長さは、事実上は第２図に示したものよりは短
くなっている。

電荷搬送体１とインダクター４Ａ〜４Ｄとをこのような
構成としても、そもそも電荷搬送体１に誘導される電荷
は、電荷搬送体１の上面の面積によってほぼ決定される
ことから、電荷搬送体１の厚さを厚くしなくてもの所望
の高電圧を得ることができる。

また、第５図及び第６図には、接触子２の配置及び形状
の他の変形例が示しである。

第５図に示すものにあっては、円板３はその外周面３Ａ
が、その厚みの中心を基準として断面凸形状となってお
り、その外周面３Ａに形成されている上下のへこみの部
分に互い違いに横長形状の接触子２が配設されている。

したがって、ローラ−１２は、その外周面に収付けられ
ている接触面がほぼ均一に外周面３に接触することにな
るので、ローラーの回転がスムースに行なわれると共に
接触子２の横方向の長さを長くしてもある程度の絶縁耐
圧を持たせることができ、電荷の受け渡しをさらにスム
ースに行なわせることができることになる。

さらに、第６図に示すものにあっては、接触子２は、円
板３の表裏両面の外周面に沿って設けである。このよう
にしても、ローラー１２はその接触面が円板３の外周面
３Ａと接触子２とを円滑に接触１．なから、回転するこ
とができるので、ローラー１２の回転をスムースにする
ことができ、また、接触子２は円板３の表あるいは裏面
に取付ければ良いので、その形状はある程度自由に設計
するこ。

とができることになる。

このように、接触子の形状は、隙間部１０．１０°の手
前の位置からローラー１２．１２°に接触し得るように
横長形状となっており、また、その配置は、所望の絶縁
耐圧が得られるように距離を大きくとって前記したよう
な形態で行なわれている。

（発明の効果） 以上の説明により明らかなように、本発明によれば、電
荷搬送体に接続された接触子を移動方向に伸長した形状
とするとともに、おのおのの接触子に接触する１つのロ
ーラーによって前記電荷搬送体からの電荷の受け渡しを
行なわせるようにしたので、電荷の受け渡しを行なう導
電材料部を有する各ローラーを非常に堅固なものとする
ことができ、その耐久性及び信頼性を向上させることが
できるのみならず、高電圧発生装置としての信頼性を向
上させることができる。さらには、これに伴なって定期
的なメインテナンスの周期も長期化することが可能とな
る。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明に係る高電圧発生装置の横断面図、 第２図は、本発明に係る高電圧発生装置の縮断面図、 第３図は、本発明に係る高電圧発生装置の接触子とロー
ラーとの接触状態を示す要部斜視図、第４図は、本発明
に係る高電圧発生装置の他の実施例を示す図、 第５図及び第６図は、本発明に係る高電圧発生装置の接
触子とローラーとの接触状態の他の実施例を示す要部斜
視図、　　　　゛ 第７図は、従来の高電圧発生装置の横断面図である。 １・・・電荷搬送体、　　２・・・接触子、３・・・円
板（回転円板）、 ４Ａ、４Ｂ・・・インダクター（低圧側誘導電極）４Ｃ
，４Ｄ・・・インダクター（高圧側誘導電極）５．５°
・・・ベルト、　６，６゛・・・プーリー、７・・・低
電位端子、　８・・・高電位端子、９・・・抵抗器、　
１０．１０″・・・隙間部分、１０Ａ、ＩＱＢ・・・第
１．第２支持台（基台）、１１Ａ、ＩＩＢ・・・軸受け １２・・・低圧側ローラー、 １２°・・・高圧側ローラー、 １２Ａ・・・合成ゴム（導電材料部）。 特許出願人　　　株式会社東京バイチク研究所代理人　
弁理士　　　八　１）幹　雄（ばか１名）第２し 丁しＡ 第４図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 駆動軸に連結され絶縁材料から成る回転円板の端面に、
   誘導された電荷を搬送する電荷搬送体を、前記回転円板
   の回転中心から所定の半径にそれぞれ位置させて相互に
   所定の間隔を隔てて多数立設し、おのおのの前記電荷搬
   送体に電気的に接続された接触子を前記回転円板に当該
   回転円板の外部に露呈させて取付け、前記回転円板に対
   向して固定設置された基台に、前記電荷搬送体に対して
   所定の間隔を有する第１誘導電極と第２誘導電極とを固
   着し、それぞれの前記誘導電極を、隙間部分を介して当
   該隙間部分に近づく前記電荷搬送体の有する電荷分布状
   態を徐々に変化させて電荷の受け渡しを円滑にする第１
   電極子と、前記隙間部分から遠ざかる前記電荷搬送体に
   電荷を誘導する第２電極子とに区分し、それぞれ前記接
   触子に接触する導電材料部を有し、前記電荷搬送体に誘
   導された電荷を受け取る第１ローラーと第２ローラーと
   をそれぞれの前記隙間部分に位置させて前記基台に装着
   して成る高電圧発生装置。