JPH01144823U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH01144823U JPH01144823U JP4243588U JP4243588U JPH01144823U JP H01144823 U JPH01144823 U JP H01144823U JP 4243588 U JP4243588 U JP 4243588U JP 4243588 U JP4243588 U JP 4243588U JP H01144823 U JPH01144823 U JP H01144823U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- thin tube
- flow rate
- flow path
- thermal sensor
- gas
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Measuring Volume Flow (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例を示すための構成図
、第２図は従来例を示すための構成図である。 １……細管、２Ａ，２Ｂ……温度制御用発熱体
、３Ａ，３Ｂ……サーマルセンサ。
、第２図は従来例を示すための構成図である。 １……細管、２Ａ，２Ｂ……温度制御用発熱体
、３Ａ，３Ｂ……サーマルセンサ。
Claims (1)
- 流路に於けるガスの流量信号を取り出すべく、
前記の流路を形成する細管の外壁面にサーマルセ
ンサが設置され、このサーマルセンサから得られ
る温度情報により、ガスの質量流量を計測する熱
式質量流量計に於いて、前記サーマルセンサの上
流および下流に、細管の上流側および下流側の温
度を一定に保つための温度制御部を設置した事を
特徴とする、熱式質量流量計。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4243588U JPH01144823U (ja) | 1988-03-30 | 1988-03-30 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4243588U JPH01144823U (ja) | 1988-03-30 | 1988-03-30 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01144823U true JPH01144823U (ja) | 1989-10-04 |
Family
ID=31268844
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4243588U Pending JPH01144823U (ja) | 1988-03-30 | 1988-03-30 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01144823U (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59105520A (ja) * | 1982-12-08 | 1984-06-18 | Tokyo Keiso Kk | 熱式質量流量計 |
-
1988
- 1988-03-30 JP JP4243588U patent/JPH01144823U/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59105520A (ja) * | 1982-12-08 | 1984-06-18 | Tokyo Keiso Kk | 熱式質量流量計 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH0421917U (ja) | ||
| JPH01144823U (ja) | ||
| JPH01120623U (ja) | ||
| JPS6212730U (ja) | ||
| JPH0138494Y2 (ja) | ||
| JPS61176609U (ja) | ||
| JPH03119722U (ja) | ||
| JPS62203413U (ja) | ||
| JPS645118U (ja) | ||
| JPS6220322U (ja) | ||
| JPH0217636U (ja) | ||
| JPS6037826U (ja) | 境界層型流量計 | |
| JPS6090622U (ja) | 熱式質量流量計 | |
| JPS6074049U (ja) | ガスクロマトグラフ | |
| JPS6218622U (ja) | ||
| JPS6298939U (ja) | ||
| JPS58158324U (ja) | 熱式質量流量計 | |
| JPH03110337U (ja) | ||
| JPS60133358U (ja) | ガス湯沸器 | |
| JPH0259425U (ja) | ||
| JPH0436423U (ja) | ||
| JPS63139535U (ja) | ||
| JPS63159643U (ja) | ||
| JPS6160051U (ja) | ||
| JPS60129621U (ja) | 差圧式流量測定装置 |