JPH01141349A - 超音波物体検査装置 - Google Patents
超音波物体検査装置Info
- Publication number
- JPH01141349A JPH01141349A JP62299144A JP29914487A JPH01141349A JP H01141349 A JPH01141349 A JP H01141349A JP 62299144 A JP62299144 A JP 62299144A JP 29914487 A JP29914487 A JP 29914487A JP H01141349 A JPH01141349 A JP H01141349A
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- Japan
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- ultrasonic
- wave
- wave transducer
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- Pending
Links
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Landscapes
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Ultrasonic Waves (AREA)
- Ultra Sonic Daignosis Equipment (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
この発明は、超音波非破壊検査装置や超音波診断装置な
どの超音波を用いて物体を検査する装置に関する。
どの超音波を用いて物体を検査する装置に関する。
伝統的な超音波物体検査装置では、超音波と物体の相互
作用は線形なもの、言い換えると音波によって物体の性
質は変化しないとの仮定の上に入射した超音波のふるま
いを捉えるようにしているが、たとえば超音波診断装置
の場合、胆石のように音響反射係数が明確に異なるとと
もにその境界がはっきりしているものについては非常に
有効である一方、ぴょん性の病変に対してはこれを検出
できず、無力である。すなわち、ぴょん性の病変では超
音波の分解能よりも微小な変化や、分解能のサイズで明
確な境界を持たない弾性的な性質の変化を持つ場合が多
いからである。 そこで、従来より、被検体内部に超音波を入射したとき
の散乱の非線形な性質を捉えることにより、これらの散
乱体内部の弾性的な性質の差異を検出することが提案さ
れている（たとえば佐藤拓宋他「超音波散乱の非線形な
性質の計測とその応用」儒学技報Ｖｏ１．８７ Ｎｏ、
４６．ｐＰ１７−２４．１９８７年５月２５日）。
作用は線形なもの、言い換えると音波によって物体の性
質は変化しないとの仮定の上に入射した超音波のふるま
いを捉えるようにしているが、たとえば超音波診断装置
の場合、胆石のように音響反射係数が明確に異なるとと
もにその境界がはっきりしているものについては非常に
有効である一方、ぴょん性の病変に対してはこれを検出
できず、無力である。すなわち、ぴょん性の病変では超
音波の分解能よりも微小な変化や、分解能のサイズで明
確な境界を持たない弾性的な性質の変化を持つ場合が多
いからである。 そこで、従来より、被検体内部に超音波を入射したとき
の散乱の非線形な性質を捉えることにより、これらの散
乱体内部の弾性的な性質の差異を検出することが提案さ
れている（たとえば佐藤拓宋他「超音波散乱の非線形な
性質の計測とその応用」儒学技報Ｖｏ１．８７ Ｎｏ、
４６．ｐＰ１７−２４．１９８７年５月２５日）。
しかしながら、このような従来の非線形効果を利用する
超音波物体検査装置では、散乱媒質に摂動を与えるため
の振動波として単一周波数のものを使用していたので、
必ずしも有効に摂動を与えることができず、散乱の非線
形な効果を十分に観測できないという問題があった。 この発明は、どのような散乱媒質に対しても摂動を与え
ることができ、この摂動による散乱の非線形な効果を十
分に検出できるよう改善した、超音波散乱の非線形な性
質を計測するタイプの超音波物体検査装置を提供するこ
とを目的とする。
超音波物体検査装置では、散乱媒質に摂動を与えるため
の振動波として単一周波数のものを使用していたので、
必ずしも有効に摂動を与えることができず、散乱の非線
形な効果を十分に観測できないという問題があった。 この発明は、どのような散乱媒質に対しても摂動を与え
ることができ、この摂動による散乱の非線形な効果を十
分に検出できるよう改善した、超音波散乱の非線形な性
質を計測するタイプの超音波物体検査装置を提供するこ
とを目的とする。
この発明による超音波物体検査装置は、被検体に対して
少なくとも２つの周波数成分を有する振動を印加する振
動印加手段と、該被検体にパルス状の超音波を入射する
手段と、上記超音波についての被検体内での反射波を受
波する手段とを備える。
少なくとも２つの周波数成分を有する振動を印加する振
動印加手段と、該被検体にパルス状の超音波を入射する
手段と、上記超音波についての被検体内での反射波を受
波する手段とを備える。
被検体に対して振動が与えられると、その内部の多数の
微小な反射体のそれぞれの位置や方向が変化する。この
変化は、その被検体が柔らかい物質であるか、硬い物質
であるかというような弾性的な性質によって異なる。 しかし、このような摂動は、被検体内部の不均一な構造
から、振動の周波数の要素によって大きく影響される。 そこで、このような周波数特性を考慮して少なくとも２
つの周波数成分を有するような振動を被検体に対して与
えれば、被検体内のどの部分にも・摂動を与えることが
できるので、このとき被検体に超音波を入射して内部で
の反射波を受波することにより、その被検体の内部での
性状の差異を確実に捉えることができる。
微小な反射体のそれぞれの位置や方向が変化する。この
変化は、その被検体が柔らかい物質であるか、硬い物質
であるかというような弾性的な性質によって異なる。 しかし、このような摂動は、被検体内部の不均一な構造
から、振動の周波数の要素によって大きく影響される。 そこで、このような周波数特性を考慮して少なくとも２
つの周波数成分を有するような振動を被検体に対して与
えれば、被検体内のどの部分にも・摂動を与えることが
できるので、このとき被検体に超音波を入射して内部で
の反射波を受波することにより、その被検体の内部での
性状の差異を確実に捉えることができる。
第１図において、たとえば生体組織等の試料１の表面に
、振動波を与える振動波トランスデユーサ２と、超音波
のプローブ波を与えるプローブ波トランスデユーサ３と
が密着配置されている。この振動波トランスデユーサ２
は駆動回路４によって駆動され、たとえば５０ＫＨ２〜
５００ＫＨ７の比較的高い周波数成分と１０Ｈｚ〜２０
０Ｈｚの比較的高い周波数成分とを含む振動波を試料１
に印加する。プローブ波トランスデユーサ３は超音波送
受波回路５に接続されており、これにより駆動信号を与
えられて２ＭＨｚ〜１０ＭＨｚ程度の超音波をパルス状
に試料１中に入射する。このパルス幅はたとえば超音波
の正負１振幅ずつの１サイクル程度とされる。 すなわち、これら振動波トランスデユーサ２及びプロー
ブ波トランスデユーサ３から印加される振動波及びプロ
ーブ波は第２図のようになっており、パルス状プローブ
波の発生タイミングは振動波に対してランダムなものと
なっている。 そして、このようなパルス状プローブ波が試料１中に入
射された後、試料１の内部で反射した反射波がこのプロ
ーブ波トランスデユーサ３に到達すると、このトランス
デユーサ３によって電気信号に変換され、超音波送受波
回路５に送られる。 さらにこの超音波送受波回路５の出力信号は信号演算処
理回路６により所定の処理を受けた後、表示装置７に送
られる。なお、制御回路８はこれらの各回路に種々の指
令を発したり、タイミングの調整を行なう。 このような構成で、試料１内の１つの断面上に超音波ビ
ームをスキャンさせてそれらの反射波の受波信号を得、
これを表示装置７において各ビームの位置毎に表示すれ
ばその断面上での超音波２次元エコー像、いわゆるＢモ
ード画像が得られるが、このとき試料１には振動波が与
えられているため、この画像は試料１の内部の摂動の受
は易さという弾性的な性質を表すことになる。そしてこ
の振動波は高低２つの周波数成分を有するため、試料１
の内部には周波数の低い大きな摂動と周波数の高い微細
な摂動とが生じることになって、試料１の内部のどの部
分も摂動が与えられ、弾性的な性質の分布をより明確に
表わす断層像が表示装置７により表示されることになる
。
、振動波を与える振動波トランスデユーサ２と、超音波
のプローブ波を与えるプローブ波トランスデユーサ３と
が密着配置されている。この振動波トランスデユーサ２
は駆動回路４によって駆動され、たとえば５０ＫＨ２〜
５００ＫＨ７の比較的高い周波数成分と１０Ｈｚ〜２０
０Ｈｚの比較的高い周波数成分とを含む振動波を試料１
に印加する。プローブ波トランスデユーサ３は超音波送
受波回路５に接続されており、これにより駆動信号を与
えられて２ＭＨｚ〜１０ＭＨｚ程度の超音波をパルス状
に試料１中に入射する。このパルス幅はたとえば超音波
の正負１振幅ずつの１サイクル程度とされる。 すなわち、これら振動波トランスデユーサ２及びプロー
ブ波トランスデユーサ３から印加される振動波及びプロ
ーブ波は第２図のようになっており、パルス状プローブ
波の発生タイミングは振動波に対してランダムなものと
なっている。 そして、このようなパルス状プローブ波が試料１中に入
射された後、試料１の内部で反射した反射波がこのプロ
ーブ波トランスデユーサ３に到達すると、このトランス
デユーサ３によって電気信号に変換され、超音波送受波
回路５に送られる。 さらにこの超音波送受波回路５の出力信号は信号演算処
理回路６により所定の処理を受けた後、表示装置７に送
られる。なお、制御回路８はこれらの各回路に種々の指
令を発したり、タイミングの調整を行なう。 このような構成で、試料１内の１つの断面上に超音波ビ
ームをスキャンさせてそれらの反射波の受波信号を得、
これを表示装置７において各ビームの位置毎に表示すれ
ばその断面上での超音波２次元エコー像、いわゆるＢモ
ード画像が得られるが、このとき試料１には振動波が与
えられているため、この画像は試料１の内部の摂動の受
は易さという弾性的な性質を表すことになる。そしてこ
の振動波は高低２つの周波数成分を有するため、試料１
の内部には周波数の低い大きな摂動と周波数の高い微細
な摂動とが生じることになって、試料１の内部のどの部
分も摂動が与えられ、弾性的な性質の分布をより明確に
表わす断層像が表示装置７により表示されることになる
。
この発明の超音波物体検査装置によれば、摂動を与える
ための振動波として少なくとも２つの周波数成分を有す
るものを使用しているので、被検体内部のどの部分にも
有効に摂動を与えることができ、比較的柔らかい散乱体
内部の境界の不明確な弾性的な性質の差異を高い感度で
検出し、内部の弾性的な性質の分布を映像化して表示す
ることができる。
ための振動波として少なくとも２つの周波数成分を有す
るものを使用しているので、被検体内部のどの部分にも
有効に摂動を与えることができ、比較的柔らかい散乱体
内部の境界の不明確な弾性的な性質の差異を高い感度で
検出し、内部の弾性的な性質の分布を映像化して表示す
ることができる。
第１図はこの発明の一実施例のブロック図、第２図は同
実施例における信号波形図である。 １・・・試料、２・・・振動波トランスデユーサ、３・
・・プローブ波トランスデユーサ、４・・・駆動回路、
５・・・超音波送受波回路、６・・・信号演算処理回路
、７・・・表示装置、８・・・制御回路。
実施例における信号波形図である。 １・・・試料、２・・・振動波トランスデユーサ、３・
・・プローブ波トランスデユーサ、４・・・駆動回路、
５・・・超音波送受波回路、６・・・信号演算処理回路
、７・・・表示装置、８・・・制御回路。
Claims (1)
- （１）被検体に対して少なくとも２つの周波数成分を有
する振動を印加する振動印加手段と、該被検体にパルス
状の超音波を入射する手段と、上記超音波についての被
検体内での反射波を受波する手段とを備える超音波物体
検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62299144A JPH01141349A (ja) | 1987-11-27 | 1987-11-27 | 超音波物体検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62299144A JPH01141349A (ja) | 1987-11-27 | 1987-11-27 | 超音波物体検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01141349A true JPH01141349A (ja) | 1989-06-02 |
Family
ID=17868694
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62299144A Pending JPH01141349A (ja) | 1987-11-27 | 1987-11-27 | 超音波物体検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01141349A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2010128432A3 (en) * | 2009-05-05 | 2011-03-03 | Lam Research Corporation | Non-destructive signal propagation system and method to determine substrate integrity |
| US9739592B2 (en) | 2014-10-31 | 2017-08-22 | Foundation For Research And Business, Seoul National University Of Science And Technology | Multiple beam path laser optical system using multiple beam reflector |
-
1987
- 1987-11-27 JP JP62299144A patent/JPH01141349A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2010128432A3 (en) * | 2009-05-05 | 2011-03-03 | Lam Research Corporation | Non-destructive signal propagation system and method to determine substrate integrity |
| US8508239B2 (en) | 2009-05-05 | 2013-08-13 | Lam Research Corporation | Non-destructive signal propagation system and method to determine substrate integrity |
| US9739592B2 (en) | 2014-10-31 | 2017-08-22 | Foundation For Research And Business, Seoul National University Of Science And Technology | Multiple beam path laser optical system using multiple beam reflector |
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