JPH01138083A - 炭酸ガスレーザ加工機の反射戻り光の検出装置 - Google Patents
炭酸ガスレーザ加工機の反射戻り光の検出装置Info
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- JPH01138083A JPH01138083A JP62295145A JP29514587A JPH01138083A JP H01138083 A JPH01138083 A JP H01138083A JP 62295145 A JP62295145 A JP 62295145A JP 29514587 A JP29514587 A JP 29514587A JP H01138083 A JPH01138083 A JP H01138083A
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- CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N Carbon dioxide Chemical compound O=C=O CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 24
- 229910002092 carbon dioxide Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 12
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- 230000003287 optical effect Effects 0.000 abstract description 10
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Landscapes
- Laser Beam Processing (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［発明の目的コ
（産業上の利用分野）
この発明は炭酸ガスレーザ加工機の反射戻り光の検出装
置に関する。
置に関する。
（従′来の技術）
炭酸ガスレーザ光は波長が長いので、アルミニウム、銅
合金等の高原Ｑ＝ｆ Ｕ料を加工する場合、加工条件に
もよるが、被加工材料の表面から多量の反射光が発生づ
る。この反射光は集光レンズ。
合金等の高原Ｑ＝ｆ Ｕ料を加工する場合、加工条件に
もよるが、被加工材料の表面から多量の反射光が発生づ
る。この反射光は集光レンズ。
外部ミラー等に戻って、光学部品を損傷させることがあ
る。また、レーザ発振機まで戻ると、レーザ出ノｊが不
安定になり、また、出力ミラー、内部ミラー等をも損傷
させる。
る。また、レーザ発振機まで戻ると、レーザ出ノｊが不
安定になり、また、出力ミラー、内部ミラー等をも損傷
させる。
このため、発振機にパワーフィードバック機能をもつも
のでは、高速応谷の検出器を用いて、反射光が多くなる
と、放電電流を下げ、出力を低下させて光学部品を保護
している。この外にも、一方向性のミラーを外部ミラー
と発振器の間に設けて、反射戻り光が発振器に戻らぬよ
うにしたものもある。
のでは、高速応谷の検出器を用いて、反射光が多くなる
と、放電電流を下げ、出力を低下させて光学部品を保護
している。この外にも、一方向性のミラーを外部ミラー
と発振器の間に設けて、反射戻り光が発振器に戻らぬよ
うにしたものもある。
（発明が解決しＪ、うとする問題点）
前記のように、炭酸ガスレーザ発振器に反射光の検出器
を設（プて、反射光が多くなれば出力を制限するもので
は、反１＝Ｊ光が検出器まで戻ってこない場合には制御
することができない。例えば反射光が光軸に対して若干
傾いていて、検出器に戻らぬ場合には、反ｑ４光は外部
光路系のミラーの端や、集光ミラーの取付部等に当たり
、光学部品の損傷を起こすことになる。また、一方向性
のミラ−を用いるものは、その取り扱いが面倒で、比較
的寿命が短かく、また高価であるという問題があった。
を設（プて、反射光が多くなれば出力を制限するもので
は、反１＝Ｊ光が検出器まで戻ってこない場合には制御
することができない。例えば反射光が光軸に対して若干
傾いていて、検出器に戻らぬ場合には、反ｑ４光は外部
光路系のミラーの端や、集光ミラーの取付部等に当たり
、光学部品の損傷を起こすことになる。また、一方向性
のミラ−を用いるものは、その取り扱いが面倒で、比較
的寿命が短かく、また高価であるという問題があった。
この発明は、このにうな問題に着目して創案されたもの
で、被加工材料からの反Ｑ；Ｉ戻り光を、加工ヘッドの
集光レンズの近傍で検出し、光学部品等の損傷を有効に
防止することのできる検出装置を提供することを目的と
するものである。
で、被加工材料からの反Ｑ；Ｉ戻り光を、加工ヘッドの
集光レンズの近傍で検出し、光学部品等の損傷を有効に
防止することのできる検出装置を提供することを目的と
するものである。
［発明の構成］
（問題白を解決するための手段）
前記の目的を達成するために、この発明の検出装置は、
炭酸ガスレーザ加工機の加工ヘッドの集光レンズの近傍
に、被加工材料からの反射戻り光を横断して走査覆る高
反射率の細線の回転装置を設けると共に、この細線の反
射光を検出する感光素子を加工ヘッドに設りて構成され
たものである。
炭酸ガスレーザ加工機の加工ヘッドの集光レンズの近傍
に、被加工材料からの反射戻り光を横断して走査覆る高
反射率の細線の回転装置を設けると共に、この細線の反
射光を検出する感光素子を加工ヘッドに設りて構成され
たものである。
（作用）
このように構成されているので、被加工＋４ ｉ１’３
１から加工機へ戻る反射光の大部分が、この装置によっ
て検出される。また、反射光は光軸の横断面の強度分布
として検出される。
１から加工機へ戻る反射光の大部分が、この装置によっ
て検出される。また、反射光は光軸の横断面の強度分布
として検出される。
したがって、検出される反射光の大きざ、波形等により
炭酸ガスレーザ発振器の出力を有効に制御することが可
能になり、反則光による光学部品の１０傷を防止するこ
とができる。また、一般に反則光は被加工材料の表面が
溶融状態になると低下覆るので、この装置によれば加工
状態を知ることもできる。
炭酸ガスレーザ発振器の出力を有効に制御することが可
能になり、反則光による光学部品の１０傷を防止するこ
とができる。また、一般に反則光は被加工材料の表面が
溶融状態になると低下覆るので、この装置によれば加工
状態を知ることもできる。
（実施例〉
次に、この発明の実施例について図面に基づいて説明す
る。第１図はこの発明の一つの実施例の説明図である。
る。第１図はこの発明の一つの実施例の説明図である。
即ち炭酸ガスレーザ発振器１から放出されるレーザ光は
、加工ヘッド３の上部に設Ｇ）られｌこ外部ミラ５で曲
げられ、集光レンズ７を通り、加工テーブル９に載置さ
れた被加工材料Ｗ上に焦点を結び、切断加工が行われる
。この場合、加工能率を上げるため一般に、加工ヘッド
の下部から矢印のようにアシストガスが供給される。
、加工ヘッド３の上部に設Ｇ）られｌこ外部ミラ５で曲
げられ、集光レンズ７を通り、加工テーブル９に載置さ
れた被加工材料Ｗ上に焦点を結び、切断加工が行われる
。この場合、加工能率を上げるため一般に、加工ヘッド
の下部から矢印のようにアシストガスが供給される。
被加工材料Ｗからの反射戻り光は、集光レンズ７の近傍
上部（下部でもよい）に設けられた反射戻り光の検出装
置１１により検出される。この検出装置１１は同期モー
タ１３．これによって回転する円盤１５１円盤１５に取
付けられた高反射率の細線１７及び細線１７の反射光を
検出する感光素子１９．２１等から構成されている。
上部（下部でもよい）に設けられた反射戻り光の検出装
置１１により検出される。この検出装置１１は同期モー
タ１３．これによって回転する円盤１５１円盤１５に取
付けられた高反射率の細線１７及び細線１７の反射光を
検出する感光素子１９．２１等から構成されている。
第２図に反射戻り光の検出装置１１を第１図のＩＩ−Ｉ
Ｉ断面によって示しである。この図において反射戻り光
の範囲は円２３で表わしである。円盤１５の中心Ｏと感
光素子１９．２１を結ぶ直線Ｘ及びＹは直交しており、
それぞれを直径とした点線で示した円弧が、反射光２３
の円内を通る部分の反射戻り光を、細線１７が走査し、
感光素子１９．２１によって、その強度分布が一定周期
で検出される。
Ｉ断面によって示しである。この図において反射戻り光
の範囲は円２３で表わしである。円盤１５の中心Ｏと感
光素子１９．２１を結ぶ直線Ｘ及びＹは直交しており、
それぞれを直径とした点線で示した円弧が、反射光２３
の円内を通る部分の反射戻り光を、細線１７が走査し、
感光素子１９．２１によって、その強度分布が一定周期
で検出される。
第３図は、被加工材料にアルミニウムを用いた場合の不
良切断時に発生した反射戻り光の強度分布を示したもの
である。簡明のために、Ｘ軸のみについて示したがＹ軸
についてもほぼ同様である。
良切断時に発生した反射戻り光の強度分布を示したもの
である。簡明のために、Ｘ軸のみについて示したがＹ軸
についてもほぼ同様である。
この検出装置の検出方法は、レーザ光の出力状態を分析
するレーザ光分析器（１−Ｂ△）と同一であるが、この
発明においては、検出装置を加工ヘッドに装着しで、加
工材わ１の反射戻り光を検出覆るものである。
するレーザ光分析器（１−Ｂ△）と同一であるが、この
発明においては、検出装置を加工ヘッドに装着しで、加
工材わ１の反射戻り光を検出覆るものである。
［発明の効果］
以上の説明から理解されるように、この発明は特許請求
の範囲に記載の構成を備えているので、この検出装置に
よれば、炭酸ガスレーザ加工機による高反射材料の加工
の際、反射戻り光を確実に検出することができるので、
レーザ加工機の光学部品等の損（易を、有効に防止する
ことができる。
の範囲に記載の構成を備えているので、この検出装置に
よれば、炭酸ガスレーザ加工機による高反射材料の加工
の際、反射戻り光を確実に検出することができるので、
レーザ加工機の光学部品等の損（易を、有効に防止する
ことができる。
第１図はこの発明の炭酸ガスレーザ加工機の反射戻り光
の検出装置の実施例の説明図、第２図は第１図の■−■
断面図、第３図はこの装置によって検出したアルミニウ
ムの不良切断時の反射戻り光の強度分布図（Ｘ軸）であ
る。 図面の主要な部分を表わす符号の説明 １・・・炭酸ガスレーザ発振器 ３・・・加工ヘッド ７・・・集光レンズ１１・・・反
射戻り光の検出装置 １３・・・同期モータ １７・・・細線１９．２１・
・・感光素子 Ｗ・・・被加工材料代理人 弁理士 三
好 保 男 第１図
の検出装置の実施例の説明図、第２図は第１図の■−■
断面図、第３図はこの装置によって検出したアルミニウ
ムの不良切断時の反射戻り光の強度分布図（Ｘ軸）であ
る。 図面の主要な部分を表わす符号の説明 １・・・炭酸ガスレーザ発振器 ３・・・加工ヘッド ７・・・集光レンズ１１・・・反
射戻り光の検出装置 １３・・・同期モータ １７・・・細線１９．２１・
・・感光素子 Ｗ・・・被加工材料代理人 弁理士 三
好 保 男 第１図
Claims (1)
- 加工ヘッドに装着された集光レンズの近傍に、被加工
材料からの反射戻り光を横断して走査する高反射率の細
線の回転装置を設けると共に、この細線の反射光を検出
する感光素子を設けてなる炭酸ガスレーザ加工機の反射
戻り光の検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62295145A JPH01138083A (ja) | 1987-11-25 | 1987-11-25 | 炭酸ガスレーザ加工機の反射戻り光の検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62295145A JPH01138083A (ja) | 1987-11-25 | 1987-11-25 | 炭酸ガスレーザ加工機の反射戻り光の検出装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01138083A true JPH01138083A (ja) | 1989-05-30 |
Family
ID=17816855
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62295145A Pending JPH01138083A (ja) | 1987-11-25 | 1987-11-25 | 炭酸ガスレーザ加工機の反射戻り光の検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01138083A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5762123A (en) * | 1994-04-28 | 1998-06-09 | Nabco Limited | Door system |
| WO2003064983A1 (en) * | 2002-01-29 | 2003-08-07 | Advanced Laser Solutions Limited | Method and apparatus for monitoring light beams |
| CN107803585A (zh) * | 2016-09-07 | 2018-03-16 | 村田机械株式会社 | 激光加工机及激光加工方法 |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59104288A (ja) * | 1982-12-07 | 1984-06-16 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | レ−ザ加工装置 |
| JPS61186186A (ja) * | 1985-02-13 | 1986-08-19 | Mitsubishi Electric Corp | レ−ザ光集光装置 |
| JPS6257792A (ja) * | 1985-09-06 | 1987-03-13 | Mitsubishi Electric Corp | レ−ザ加工機 |
| JPS62114787A (ja) * | 1985-11-13 | 1987-05-26 | Toyota Motor Corp | 溶接位置補正装置付レ−ザ−溶接装置 |
-
1987
- 1987-11-25 JP JP62295145A patent/JPH01138083A/ja active Pending
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59104288A (ja) * | 1982-12-07 | 1984-06-16 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | レ−ザ加工装置 |
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| JPS62114787A (ja) * | 1985-11-13 | 1987-05-26 | Toyota Motor Corp | 溶接位置補正装置付レ−ザ−溶接装置 |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5762123A (en) * | 1994-04-28 | 1998-06-09 | Nabco Limited | Door system |
| WO2003064983A1 (en) * | 2002-01-29 | 2003-08-07 | Advanced Laser Solutions Limited | Method and apparatus for monitoring light beams |
| CN107803585A (zh) * | 2016-09-07 | 2018-03-16 | 村田机械株式会社 | 激光加工机及激光加工方法 |
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