JPH01136907A - 金属粉末の製造方法 - Google Patents
金属粉末の製造方法Info
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- JPH01136907A JPH01136907A JP29436187A JP29436187A JPH01136907A JP H01136907 A JPH01136907 A JP H01136907A JP 29436187 A JP29436187 A JP 29436187A JP 29436187 A JP29436187 A JP 29436187A JP H01136907 A JPH01136907 A JP H01136907A
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Landscapes
- Manufacture Of Metal Powder And Suspensions Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(産業上の利用分野)
本発明は、超音速・超音波振動を有するアトマイズガス
を使用する、いわゆる超音波ガスアトマイズ法による金
属粉末の製造方法に関する。
を使用する、いわゆる超音波ガスアトマイズ法による金
属粉末の製造方法に関する。
(従来の技術)
近年、金属微粉末の好適な製造方法として超音波ガスア
トマイズ法(以下、UGA法という。)が注目されてい
る。この方法は、第3図および第4図に示すように、タ
ンディツシュ21に貯えられた金属溶湯27を溶湯ノズ
ル22からチャンバー24内に流下させ、溶湯ノズル2
2の先端部に近接した位置で溶湯流にUGAノズル23
から超音速・超音波振動を有する高圧のアトマイズガス
を対向状にかつ斜め下向きに噴射して、溶湯流を分裂粉
化させると共に急冷を行って金属粉末を製造する方法で
ある。同図において、25は製造された金属粉末28を
集積し回収する回収溶器である。
トマイズ法(以下、UGA法という。)が注目されてい
る。この方法は、第3図および第4図に示すように、タ
ンディツシュ21に貯えられた金属溶湯27を溶湯ノズ
ル22からチャンバー24内に流下させ、溶湯ノズル2
2の先端部に近接した位置で溶湯流にUGAノズル23
から超音速・超音波振動を有する高圧のアトマイズガス
を対向状にかつ斜め下向きに噴射して、溶湯流を分裂粉
化させると共に急冷を行って金属粉末を製造する方法で
ある。同図において、25は製造された金属粉末28を
集積し回収する回収溶器である。
UGA法においても、一般のガスアトマイズ法と同様、
Powder Metallurgy Interna
tional vol。
Powder Metallurgy Interna
tional vol。
1B (1986) P33B〜340.P422〜4
24において明らかにされた通り、得られた金属粉末の
粒度は、単位時間の溶湯流の流量とアトマイズガス流量
の比に依存することが知られている。勿論、粉末粒度は
、装置構成、アトマイズガスの種類、ガス圧、アトマイ
ズノズル等の他の因子によっても変化するが、これらは
操業に当って一定であるため、一定精度の粉末を得るに
は、上記溶湯とアトマイズガスの流量比を一定とする方
策が採られる。
24において明らかにされた通り、得られた金属粉末の
粒度は、単位時間の溶湯流の流量とアトマイズガス流量
の比に依存することが知られている。勿論、粉末粒度は
、装置構成、アトマイズガスの種類、ガス圧、アトマイ
ズノズル等の他の因子によっても変化するが、これらは
操業に当って一定であるため、一定精度の粉末を得るに
は、上記溶湯とアトマイズガスの流量比を一定とする方
策が採られる。
(発明が解決しようとする問題点)
一般に、ガスアトマイズ法においては、溶湯流の粉化が
行われる、アトマイズガス流の交点近傍では、 ■ガス流の衝突による上方向へのガスの流れ■ガス流の
流速や流れの形態による圧力の変動が生じることが知ら
れている。
行われる、アトマイズガス流の交点近傍では、 ■ガス流の衝突による上方向へのガスの流れ■ガス流の
流速や流れの形態による圧力の変動が生じることが知ら
れている。
前記■項は、溶湯流出口からの距離に大きく依存し、あ
る程度以上離れると無視することができる。従って、従
来、ガスアトマイズ法で使用されている自由落下型アト
マイズノズル33では、第5図に示すように、タンディ
ツシュ31底部に開設された溶湯流下口32とガス流交
点とが離れているので、■項によるノズル閉塞の問題は
あるものの、■項による影響はほとんどなく無視するこ
とができた。
る程度以上離れると無視することができる。従って、従
来、ガスアトマイズ法で使用されている自由落下型アト
マイズノズル33では、第5図に示すように、タンディ
ツシュ31底部に開設された溶湯流下口32とガス流交
点とが離れているので、■項によるノズル閉塞の問題は
あるものの、■項による影響はほとんどなく無視するこ
とができた。
これに対して、UGA法では、第4図に示すように、溶
湯ノズル22の先端部とUGAノズル(所謂、拘束型ノ
ズルと呼ばれている。)23から噴射されたガス流交点
とが近接しているため、■項による圧力変動が溶湯ノズ
ルから流下する溶湯流量ひいては粉末粒度に大きな影響
を及ぼす。
湯ノズル22の先端部とUGAノズル(所謂、拘束型ノ
ズルと呼ばれている。)23から噴射されたガス流交点
とが近接しているため、■項による圧力変動が溶湯ノズ
ルから流下する溶湯流量ひいては粉末粒度に大きな影響
を及ぼす。
前記圧力変動は、ガス流の交点と溶湯ノズルの先端との
位置関係や溶湯ノズルの先端部形状によって定まる。先
端部形状は設備仕様により一定であるから、現実には、
圧力変動ΔPは溶湯ノズルの位置によって定まると考え
てもよく、先端位置が上下方向にわずか数m変化すると
、溶湯ノズル先端部のΔPは数+k Paの正圧(吹き
上げ)から数十k Paの負圧(吸引)まで変化するこ
とが先の技術文献によって明らかにされている。
位置関係や溶湯ノズルの先端部形状によって定まる。先
端部形状は設備仕様により一定であるから、現実には、
圧力変動ΔPは溶湯ノズルの位置によって定まると考え
てもよく、先端位置が上下方向にわずか数m変化すると
、溶湯ノズル先端部のΔPは数+k Paの正圧(吹き
上げ)から数十k Paの負圧(吸引)まで変化するこ
とが先の技術文献によって明らかにされている。
この圧力変動は、単位時間の溶湯流量を変化させ、ガス
流量と溶湯流量との比を変え、粉末の粒度を変化させる
。このため、UGA法は、溶湯ノズル22をUGAノズ
ル23に対して上下方向に位置調整することによって、
溶湯ノズル23の先端部に作用するΔPを調整すること
ができ、これによって粉末粒度を容易に変更できるとい
う、従来のガスアトマイズ法にない特長を有している。
流量と溶湯流量との比を変え、粉末の粒度を変化させる
。このため、UGA法は、溶湯ノズル22をUGAノズ
ル23に対して上下方向に位置調整することによって、
溶湯ノズル23の先端部に作用するΔPを調整すること
ができ、これによって粉末粒度を容易に変更できるとい
う、従来のガスアトマイズ法にない特長を有している。
その反面、UGA法は、所定の粉末粒度(目標値±10
%の粉末粒径を意味する。)を得るためには、溶湯ノズ
ルとアトマイズガスノズルとの上下方向位置関係を厳密
に調整する必要があった。−般に、ガス噴射口の内径は
1圓程度であり、ガス流速の変化は1/100 nm程
度の位置の違いでも生じるため、溶湯ノズルには1/1
00 m+a単位の加工、位置決め精度が必要とされる
。このため、所定粒度の粉末の製造が非常に困難な状況
にあった。
%の粉末粒径を意味する。)を得るためには、溶湯ノズ
ルとアトマイズガスノズルとの上下方向位置関係を厳密
に調整する必要があった。−般に、ガス噴射口の内径は
1圓程度であり、ガス流速の変化は1/100 nm程
度の位置の違いでも生じるため、溶湯ノズルには1/1
00 m+a単位の加工、位置決め精度が必要とされる
。このため、所定粒度の粉末の製造が非常に困難な状況
にあった。
本発明はかかる問題点に鑑みなされたもので、UGA法
において、溶湯ノズルの加工精度や位置決め精度に高精
度を要せず、容易に所定粒度の金属粉末を製造すること
ができる方法を提供することを目的とする。
において、溶湯ノズルの加工精度や位置決め精度に高精
度を要せず、容易に所定粒度の金属粉末を製造すること
ができる方法を提供することを目的とする。
(問題点を解決するための手段)
上記目的を達成するために採られた本発明の金属粉末の
製造方法は、タンディツシュに貯えられた金属溶湯を溶
湯ノズルからチャンバー内に流下させ、溶湯ノズルの先
端部に近接した位置で溶湯流にアトマイズノズルから超
音速・超音波振動を有するアトマイズガスを噴射して、
溶湯流を粉化すると共に急冷する金属粉末の製造方法に
おいて、タンディツシュに貯えられた金属溶湯の自由表
面にががる背圧を調整して所定粒度の金属粉末が得られ
るように溶湯流の流量を調整することを発明の構成とす
るものである。
製造方法は、タンディツシュに貯えられた金属溶湯を溶
湯ノズルからチャンバー内に流下させ、溶湯ノズルの先
端部に近接した位置で溶湯流にアトマイズノズルから超
音速・超音波振動を有するアトマイズガスを噴射して、
溶湯流を粉化すると共に急冷する金属粉末の製造方法に
おいて、タンディツシュに貯えられた金属溶湯の自由表
面にががる背圧を調整して所定粒度の金属粉末が得られ
るように溶湯流の流量を調整することを発明の構成とす
るものである。
(作 用)
溶湯流の流量Qは、装置構成、金属溶湯成分、金属溶解
温度が決まれば、溶湯ノズルからの溶湯流出速度■で代
表することができ、この■については、下記式の関係が
成り立つ。
温度が決まれば、溶湯ノズルからの溶湯流出速度■で代
表することができ、この■については、下記式の関係が
成り立つ。
+
VOC((Ps十ρgh−Pc−ΔP)/ 9 )
−−−−−(1)ここで Ps:タンディッシュ内溶湯自由表面の背圧ρ:溶湯の
密度 g:重力加速度 h:溶湯ノズル先端部と溶湯自由表面との高度差 Pc:チャンバー内圧 ΔP:アトマイズガスによって生じる溶湯ノズル先端部
の圧力変動 従って、(])式の右辺を一定の値に保てば、溶湯流量
は一定となり、所定粉末粒度が得られる。
−−−−−(1)ここで Ps:タンディッシュ内溶湯自由表面の背圧ρ:溶湯の
密度 g:重力加速度 h:溶湯ノズル先端部と溶湯自由表面との高度差 Pc:チャンバー内圧 ΔP:アトマイズガスによって生じる溶湯ノズル先端部
の圧力変動 従って、(])式の右辺を一定の値に保てば、溶湯流量
は一定となり、所定粉末粒度が得られる。
(1)式において、ρは金属成分によって定まり一定と
考えてよいから、結局、粉末粒度は下記式で表されるH
によって決まるものと考えられる。
考えてよいから、結局、粉末粒度は下記式で表されるH
によって決まるものと考えられる。
H−Ps+ f) gh−Pc−ΔP −−−−−−−
−−−−−−−−−−−−(2)今、所定粒度の粉末製
造条件をHoとすると、Hoは下記式で表される。
−−−−−−−−−−−−(2)今、所定粒度の粉末製
造条件をHoとすると、Hoは下記式で表される。
Ho−PSo+ p gho Pc、−ΔP0 °−
−−−−−−(3)一方、前記所定粒度を目標として製
造した場合の製造条件をHlとすると、Hlは下記式で
表される。
−−−−−−(3)一方、前記所定粒度を目標として製
造した場合の製造条件をHlとすると、Hlは下記式で
表される。
H、=Ps、 + p gh、−Pc、−ΔPI −
−−(4)従来、Ps+ =PS6 、h+−ha 、
Pc0=PC1として操業されており、結局、製造条件
において、aH=H,−H,−−(ΔP1−Δp、)
・・−(5)が顕著に溶湯流量に影響したわけである
。即ち、dHは溶湯ノズルの加工誤差や位置誤差によっ
て生じたものであり、このdHを0にするために、厳し
い加工精度や位置決め精度が求められていたのである。
−−(4)従来、Ps+ =PS6 、h+−ha 、
Pc0=PC1として操業されており、結局、製造条件
において、aH=H,−H,−−(ΔP1−Δp、)
・・−(5)が顕著に溶湯流量に影響したわけである
。即ち、dHは溶湯ノズルの加工誤差や位置誤差によっ
て生じたものであり、このdHを0にするために、厳し
い加工精度や位置決め精度が求められていたのである。
本発明においては、Psを調整することにより、(ΔP
1−ΔP0)をそのまま存在させた状態で、d H=
(Ps + Pso) (ΔP1−ΔP、) =
O−・(6)とするものである。
1−ΔP0)をそのまま存在させた状態で、d H=
(Ps + Pso) (ΔP1−ΔP、) =
O−・(6)とするものである。
ここで、Ps、 =Ps、+ΔPsとおくと、(6)式
は、ΔPs=ΔP、−ΔP0 となる。即ち、本発明は、PsoにΔPsを与えること
によって、溶湯ノズルの加工誤差や位置誤差によって生
じたΔPの変動(ΔP+−ΔPo)を解消し、HI=H
0として所定の溶湯流量を確保し、ひいては所定の粉末
粒度を得るものである。
は、ΔPs=ΔP、−ΔP0 となる。即ち、本発明は、PsoにΔPsを与えること
によって、溶湯ノズルの加工誤差や位置誤差によって生
じたΔPの変動(ΔP+−ΔPo)を解消し、HI=H
0として所定の溶湯流量を確保し、ひいては所定の粉末
粒度を得るものである。
例えば、 (Δp、−ΔPJ = 10 k Pa
とすると、ΔPsは−10k Paとなり、タンディツ
シュに貯えられた金属溶湯の背圧を10 k Pa 減
圧すれば、所定の粉末粒度が得られる。また、(ΔP、
−Δpo)=10 k Paであれば、ΔPs=10
k Paとなり、背圧を10 k Pa増圧すればよい
。
とすると、ΔPsは−10k Paとなり、タンディツ
シュに貯えられた金属溶湯の背圧を10 k Pa 減
圧すれば、所定の粉末粒度が得られる。また、(ΔP、
−Δpo)=10 k Paであれば、ΔPs=10
k Paとなり、背圧を10 k Pa増圧すればよい
。
尚、ΔPの値は、溶湯ノズルをセットした後、溶湯流を
流下させることなく、所定のアトマイズガスを噴出させ
ることにより、容易に測定される。
流下させることなく、所定のアトマイズガスを噴出させ
ることにより、容易に測定される。
(実施例)
まず、本発明を実施するためのUGA装置の概略を第1
図に基づいて説明する。
図に基づいて説明する。
第1図に示したUGA装置は、金属溶湯13を貯えるた
めのタンディツシュ1と、該タンディツシュ1の底部よ
り下方へ延設された溶湯ノズル2の先端部下方近傍位置
でノズルから噴射した超音波アトマイズガスを交叉させ
るようにしたUGAノズル3と、該UGAノズル3の下
部に連設されたチャンバー4とで構成されており、チャ
ンバー4にはサイクロン6が接続され、該サイクロン6
に製造された金属粉末14を集積し回収するための回収
容器5が備えられている。かかる基本構成は従来と同様
である。
めのタンディツシュ1と、該タンディツシュ1の底部よ
り下方へ延設された溶湯ノズル2の先端部下方近傍位置
でノズルから噴射した超音波アトマイズガスを交叉させ
るようにしたUGAノズル3と、該UGAノズル3の下
部に連設されたチャンバー4とで構成されており、チャ
ンバー4にはサイクロン6が接続され、該サイクロン6
に製造された金属粉末14を集積し回収するための回収
容器5が備えられている。かかる基本構成は従来と同様
である。
前記タンディツシュ1には、その上部にカバー7が設け
られており、内部を密閉状態としている。
られており、内部を密閉状態としている。
カバー7には、タンディツシュ1に貯えられた金属溶湯
13の背圧測定用の圧力計8および給排気管9が設けら
れている。10は増圧手段としての不活性ガス高圧ボン
ベであり、11は減圧手段としての排気装置であり、流
量調整バルブ12.12を介して前記給排気管9に接続
されている。
13の背圧測定用の圧力計8および給排気管9が設けら
れている。10は増圧手段としての不活性ガス高圧ボン
ベであり、11は減圧手段としての排気装置であり、流
量調整バルブ12.12を介して前記給排気管9に接続
されている。
タンディツシュ1内の金属溶湯13の背圧を減圧する場
合は排気装置11を作動させ、背圧を増圧する場合は高
圧ボンベ10から不活性ガスをカバー内部へ導入する。
合は排気装置11を作動させ、背圧を増圧する場合は高
圧ボンベ10から不活性ガスをカバー内部へ導入する。
背圧の増・減圧手段としては、前記のものに限らず、排
風機やコンプレッサー等を用いることができる。これら
は、背圧調整範囲を広くとることができる利点がある。
風機やコンプレッサー等を用いることができる。これら
は、背圧調整範囲を広くとることができる利点がある。
上記の装置を用いて、平均粉末粒度70μlを目標とし
た操業実施例を以下に示す。
た操業実施例を以下に示す。
本装置の過去の操業データでは溶湯ノズル先端部の圧力
変動ΔP0が−19k Paの時に平均粒径70μmの
粉末が得られていた。そこで、その隙の溶湯ノズルの取
付位置を目安にして、溶湯ノズルを取り付け、圧力変動
ΔP1を測定した。 (ΔP、−Δpo)の差圧を排気
装置又は高圧ボンベによって発生させ、ΔPs=ΔP、
−ΔP0をカバー内部の金属溶湯背圧に付加し、dH=
ΔPs −(ΔP+−Δpo) =0となるように調整
してアトマイズを実施した。
変動ΔP0が−19k Paの時に平均粒径70μmの
粉末が得られていた。そこで、その隙の溶湯ノズルの取
付位置を目安にして、溶湯ノズルを取り付け、圧力変動
ΔP1を測定した。 (ΔP、−Δpo)の差圧を排気
装置又は高圧ボンベによって発生させ、ΔPs=ΔP、
−ΔP0をカバー内部の金属溶湯背圧に付加し、dH=
ΔPs −(ΔP+−Δpo) =0となるように調整
してアトマイズを実施した。
尚、アトマイズガスとしては、窒素ガスを用いた。
ガス圧は従来と同様60 k Paとした。タンディツ
シュ内の溶湯レベル、溶湯ノズル口径、チャンバー内圧
等の他の製造条件は従来と同様とした。
シュ内の溶湯レベル、溶湯ノズル口径、チャンバー内圧
等の他の製造条件は従来と同様とした。
その結果を第1表に示す。
第1表
注 ΔPo= 19 k Pa
同表より、何れも目標値70μmに対して±10%の誤
差内に収まっていることが確認された。
差内に収まっていることが確認された。
尚、背圧を調整しない場合、溶湯ノズルの位置誤差1/
10mmに対して、IΔP1−ΔPo l =5 k
Pa。
10mmに対して、IΔP1−ΔPo l =5 k
Pa。
溶湯流量の変化−0,3j!/min、粒度変化−10
〜30μm程度であった。
〜30μm程度であった。
ところで、実施例で使用したUGA装置を使用して、溶
湯ノズルの上下方向位置と溶湯背圧調整後の粉末平均粒
径との関係を調べたところ、第2図に示す結果が得られ
た。同図において、aはUGAノズル上面から溶湯ノズ
ル先端までの距離、Daはaのときに得られた粉末平均
粒度である。
湯ノズルの上下方向位置と溶湯背圧調整後の粉末平均粒
径との関係を調べたところ、第2図に示す結果が得られ
た。同図において、aはUGAノズル上面から溶湯ノズ
ル先端までの距離、Daはaのときに得られた粉末平均
粒度である。
第2図より、背圧調整によって、溶湯流量を一定に保っ
ても、溶湯ノズルの位置誤差が3/10mm以上あると
所定粒度の粉末が得られないことが判明した。これは、
アトマイズガス流の状態自体がノズル等の位置関係に伴
って変化し、ガス流の有するエネルギーを溶湯流の粉化
に転化する効率が変化するためと考えられる。従って、
本発明を実施するに当っては、溶湯ノズルの加工、位置
決め精度は、共に1/10mm程度として、圧力変動Δ
Pに寄与する誤差の累積を2/10mm程度とし、背圧
の最大調整範囲として±10 k Pa程度とすること
が望ましいと考えられる。
ても、溶湯ノズルの位置誤差が3/10mm以上あると
所定粒度の粉末が得られないことが判明した。これは、
アトマイズガス流の状態自体がノズル等の位置関係に伴
って変化し、ガス流の有するエネルギーを溶湯流の粉化
に転化する効率が変化するためと考えられる。従って、
本発明を実施するに当っては、溶湯ノズルの加工、位置
決め精度は、共に1/10mm程度として、圧力変動Δ
Pに寄与する誤差の累積を2/10mm程度とし、背圧
の最大調整範囲として±10 k Pa程度とすること
が望ましいと考えられる。
(発明の効果)
以上説明した通り、本発明の製造方法によれば、溶湯ノ
ズルの加工精度や位置決め精度を従来のように、1/1
001III単位で調整する必要がない。従って、所定
粒度の粉末の製造に当り、溶湯ノズルの加工や操業時の
設置を極めて容易に行なうことができ、所定粒度の金属
粉末を容易に、かつ再現性良く製造することができる。
ズルの加工精度や位置決め精度を従来のように、1/1
001III単位で調整する必要がない。従って、所定
粒度の粉末の製造に当り、溶湯ノズルの加工や操業時の
設置を極めて容易に行なうことができ、所定粒度の金属
粉末を容易に、かつ再現性良く製造することができる。
第1図は実施例で使用したUGA装置の説明図、第2図
は溶湯ノズル上下方向位置と粉末平均粒径との関係を示
すグラフ図、第3図は従来のUGA装置の説明図、第4
図はUGAノズルの断面説明図、第5図は従来の自由落
下型アトマイズノズルの断面説明図である。 1−タンディツシュ、2−溶湯ノズル、3−UGAノズ
ル、4・−・チャンバー、13・−金属溶湯。 特許出願人 株式会社 神戸製鋼所 化 理 人 弁理士 安田敏雄・、−′−11’
l、゛、’ 、・ 1“−′を− 11−・、Jl:、・ \−一一:t
は溶湯ノズル上下方向位置と粉末平均粒径との関係を示
すグラフ図、第3図は従来のUGA装置の説明図、第4
図はUGAノズルの断面説明図、第5図は従来の自由落
下型アトマイズノズルの断面説明図である。 1−タンディツシュ、2−溶湯ノズル、3−UGAノズ
ル、4・−・チャンバー、13・−金属溶湯。 特許出願人 株式会社 神戸製鋼所 化 理 人 弁理士 安田敏雄・、−′−11’
l、゛、’ 、・ 1“−′を− 11−・、Jl:、・ \−一一:t
Claims (1)
- (1)タンディッシュに貯えられた金属溶湯を溶湯ノズ
ルからチャンバー内に流下させ、溶湯ノズルの先端部に
近接した位置で溶湯流にアトマイズノズルから超音速・
超音波振動を有するアトマイズガスを噴射して、溶湯流
を粉化すると共に急冷する金属粉末の製造方法において
、タンディッシュに貯えられた金属溶湯の自由表面にか
かる背圧を調整して所定粒度の金属粉末が得られるよう
に溶湯流の流量を調整することを特徴とする金属粉末の
製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP29436187A JPH01136907A (ja) | 1987-11-21 | 1987-11-21 | 金属粉末の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP29436187A JPH01136907A (ja) | 1987-11-21 | 1987-11-21 | 金属粉末の製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH01136907A true JPH01136907A (ja) | 1989-05-30 |
Family
ID=17806716
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP29436187A Pending JPH01136907A (ja) | 1987-11-21 | 1987-11-21 | 金属粉末の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH01136907A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0622343U (ja) * | 1992-05-29 | 1994-03-22 | 日新技研株式会社 | 粉末作製装置 |
-
1987
- 1987-11-21 JP JP29436187A patent/JPH01136907A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0622343U (ja) * | 1992-05-29 | 1994-03-22 | 日新技研株式会社 | 粉末作製装置 |
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