JPH01128987U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH01128987U JPH01128987U JP1988026311U JP2631188U JPH01128987U JP H01128987 U JPH01128987 U JP H01128987U JP 1988026311 U JP1988026311 U JP 1988026311U JP 2631188 U JP2631188 U JP 2631188U JP H01128987 U JPH01128987 U JP H01128987U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- laser
- shutter
- photodetector
- disposed
- detect
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 2
- 238000009966 trimming Methods 0.000 claims 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
Landscapes
- Lasers (AREA)
Description
第１図は本考案の第１の実施例のブロツク図、
第２図は第１図各部の信号のタイミングチヤート
、第３図は第２の実施例のブロツク図である。 記号の説明：１…レーザ光源、２…レーザ光路
、３…第１のビームスプリツタ、４…第１の光検
出器、５…第１のコンパレータ、６…第１のリフ
アレンス電圧、７…シヤツタ、８…シヤツタ駆動
回路、９…第２のビームスプリツタ、１０…第２
の光検出器、１１…第２のコンパレータ、１２…
第２のリフアレンス電圧、１３…ビームポジシヨ
ナ、１４…ビームポジシヨナ制御駆動回路、１５
…減衰器。
第２図は第１図各部の信号のタイミングチヤート
、第３図は第２の実施例のブロツク図である。 記号の説明：１…レーザ光源、２…レーザ光路
、３…第１のビームスプリツタ、４…第１の光検
出器、５…第１のコンパレータ、６…第１のリフ
アレンス電圧、７…シヤツタ、８…シヤツタ駆動
回路、９…第２のビームスプリツタ、１０…第２
の光検出器、１１…第２のコンパレータ、１２…
第２のリフアレンス電圧、１３…ビームポジシヨ
ナ、１４…ビームポジシヨナ制御駆動回路、１５
…減衰器。
Claims (1)
- レーザ光の光路の途中に配置されたシヤツタと
、該シヤツタとレーザ光源との間のレーザ光を検
出すべく配置された第１のレーザ光検出器と、前
記シヤツタ通過後のレーザ光を検出すべく配置さ
れた第２のレーザ光検出器と、前記第１のレーザ
光検出器の出力信号によつてシヤツタを開く手段
と、前記第２のレーザ光検出器の出力信号によつ
てビームポジシヨナを動作させる手段とを含むこ
とを特徴とするレーザトリミング装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1988026311U JPH01128987U (ja) | 1988-02-29 | 1988-02-29 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1988026311U JPH01128987U (ja) | 1988-02-29 | 1988-02-29 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01128987U true JPH01128987U (ja) | 1989-09-01 |
Family
ID=31247820
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1988026311U Pending JPH01128987U (ja) | 1988-02-29 | 1988-02-29 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01128987U (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH10308548A (ja) * | 1997-05-08 | 1998-11-17 | Nec Corp | パルスレーザ光照射装置及び照射方法 |
| JP2013128948A (ja) * | 2011-12-21 | 2013-07-04 | Nippon Sharyo Seizo Kaisha Ltd | レーザ加工装置 |
-
1988
- 1988-02-29 JP JP1988026311U patent/JPH01128987U/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH10308548A (ja) * | 1997-05-08 | 1998-11-17 | Nec Corp | パルスレーザ光照射装置及び照射方法 |
| JP2013128948A (ja) * | 2011-12-21 | 2013-07-04 | Nippon Sharyo Seizo Kaisha Ltd | レーザ加工装置 |