JPH01128829U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH01128829U JPH01128829U JP2443888U JP2443888U JPH01128829U JP H01128829 U JPH01128829 U JP H01128829U JP 2443888 U JP2443888 U JP 2443888U JP 2443888 U JP2443888 U JP 2443888U JP H01128829 U JPH01128829 U JP H01128829U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- liquid
- tanks
- pipes
- tank
- discharge port
- Prior art date
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- Pending
Links
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 14
- 238000012994 industrial processing Methods 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Feeding, Discharge, Calcimining, Fusing, And Gas-Generation Devices (AREA)
Description
第１図は、本考案の一実施例の回路構成図であ
る。 １ａ，１ｂ：タンク、２ａ，２ｂ：給液管路、
３：薬液容器、４：ポンプ、６：供給口、７ａ，
７ｂ：開閉弁、９ａ，９ｂ：圧送管路、１０：吐
出口、１３ａ，１３ｂ：開閉弁、１５ａ，１５ｂ
：給気管路、１８：加圧空気供給源、２０ａ，２
０ｂ：開閉弁、２１ａ，２１ｂ：排気管路、２２
ａ，２２ｂ：開閉弁、２４ａ，２４ｂ：高液面セ
ンサ、２５ａ，２５ｂ：低液面センサ。
る。 １ａ，１ｂ：タンク、２ａ，２ｂ：給液管路、
３：薬液容器、４：ポンプ、６：供給口、７ａ，
７ｂ：開閉弁、９ａ，９ｂ：圧送管路、１０：吐
出口、１３ａ，１３ｂ：開閉弁、１５ａ，１５ｂ
：給気管路、１８：加圧空気供給源、２０ａ，２
０ｂ：開閉弁、２１ａ，２１ｂ：排気管路、２２
ａ，２２ｂ：開閉弁、２４ａ，２４ｂ：高液面セ
ンサ、２５ａ，２５ｂ：低液面センサ。
Claims (1)
- 液体を貯留する２個のタンクを各別の給液管路
を介して液体供給源に、かつ、夫々の下部に取り
付けた各別の圧送管路を介して液体使用場所に設
けられた吐出口に、夫々、接続するとともに、前
記各タンクの上部に取り付けた各別の給気管路を
加圧気体供給源に接続し、さらに、前記各タンク
の上部に大気に連通する各別の排気管路を取り付
け、前記各給液管路、前記各圧送管路、前記各給
気管路及び前記各排気管路に夫々開閉弁を介設す
るとともに、前記各タンクに設けた液体の貯留量
を検知するセンサからの信号で前記各開閉弁を開
閉制御する制御装置を設け、前記各開閉弁の切り
換えにより、一方の前記タンクから液体を圧送し
ている間に、他方の前記タンク内に液体を補充し
、前記各タンクから交互に液体を圧送することに
よつて、前記吐出口から連続して液体を吐出する
構成としたことを特徴とする工業処理用液体の供
給装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2443888U JPH01128829U (ja) | 1988-02-25 | 1988-02-25 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2443888U JPH01128829U (ja) | 1988-02-25 | 1988-02-25 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01128829U true JPH01128829U (ja) | 1989-09-01 |
Family
ID=31244286
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2443888U Pending JPH01128829U (ja) | 1988-02-25 | 1988-02-25 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01128829U (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000015082A (ja) * | 1998-07-03 | 2000-01-18 | Kanto Chem Co Inc | 安全検出型薬液供給装置 |
| JP2008031115A (ja) * | 2006-07-31 | 2008-02-14 | Sunstar Inc | 液体組成物の製造方法及び装置 |
| JP2016157834A (ja) * | 2015-02-25 | 2016-09-01 | 株式会社Ｓｃｒｅｅｎホールディングス | 基板処理液供給方法および装置 |
-
1988
- 1988-02-25 JP JP2443888U patent/JPH01128829U/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000015082A (ja) * | 1998-07-03 | 2000-01-18 | Kanto Chem Co Inc | 安全検出型薬液供給装置 |
| JP2008031115A (ja) * | 2006-07-31 | 2008-02-14 | Sunstar Inc | 液体組成物の製造方法及び装置 |
| JP2016157834A (ja) * | 2015-02-25 | 2016-09-01 | 株式会社Ｓｃｒｅｅｎホールディングス | 基板処理液供給方法および装置 |