JPH01120970A - 固体撮像素子 - Google Patents
固体撮像素子Info
- Publication number
- JPH01120970A JPH01120970A JP62279911A JP27991187A JPH01120970A JP H01120970 A JPH01120970 A JP H01120970A JP 62279911 A JP62279911 A JP 62279911A JP 27991187 A JP27991187 A JP 27991187A JP H01120970 A JPH01120970 A JP H01120970A
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- JP
- Japan
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- signal
- scanning line
- solid
- readout
- photoelectric conversion
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
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- 230000007274 generation of a signal involved in cell-cell signaling Effects 0.000 claims description 5
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 3
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 claims description 2
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims 7
- 230000008054 signal transmission Effects 0.000 claims 3
- 239000007787 solid Substances 0.000 claims 1
- 230000001360 synchronised effect Effects 0.000 abstract description 5
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- UGFAIRIUMAVXCW-UHFFFAOYSA-N Carbon monoxide Chemical compound [O+]#[C-] UGFAIRIUMAVXCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
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Landscapes
- Solid State Image Pick-Up Elements (AREA)
- Transforming Light Signals Into Electric Signals (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野]
この発明は固体撮像素子に関し、特に信号読出用の走査
線の走査方式を改良した固体撮像素子に関するものであ
る。
線の走査方式を改良した固体撮像素子に関するものであ
る。
[従来の技術]
第3図は従来のCSD (Charge Sweep
Device:電荷掃き寄せ素子)方式の固体撮像
素子の回路構成の一例を示したものである。
Device:電荷掃き寄せ素子)方式の固体撮像
素子の回路構成の一例を示したものである。
この回路構成はたとえばテレビジョン学会技術報告No
、TEVSIOI−6,ED841 (本設はか)に開
示されている。
、TEVSIOI−6,ED841 (本設はか)に開
示されている。
以下、図を参照してこの構成について説明する。
固体撮像素子は与えられた光信号を信号電荷に変換する
1つのフォトダイオード1ならびにフォトダイオード1
からの信号を選択的に読出すための1つのトランスファ
ゲート2から構成される画素をマトリックス状に配列し
た二次元アレイ(撮像エリア)と、トランスファゲート
2から信号電荷を転送するための通路となる転送チャネ
ル3゜7と、成る1ラインの水平画素を選択しかつ選択
された水平画素に対し成る電圧レベルを発生する1つの
TGスキャナ4と、このTGスキャナ4において発生し
た電圧レベルを選択された画素のトランスファゲート2
に与える複数本の走査線5と、転送された信号電荷を増
幅するプリアンプ8と、プリアンプ8に接続する外部出
力用の出力端子9とを含む。
1つのフォトダイオード1ならびにフォトダイオード1
からの信号を選択的に読出すための1つのトランスファ
ゲート2から構成される画素をマトリックス状に配列し
た二次元アレイ(撮像エリア)と、トランスファゲート
2から信号電荷を転送するための通路となる転送チャネ
ル3゜7と、成る1ラインの水平画素を選択しかつ選択
された水平画素に対し成る電圧レベルを発生する1つの
TGスキャナ4と、このTGスキャナ4において発生し
た電圧レベルを選択された画素のトランスファゲート2
に与える複数本の走査線5と、転送された信号電荷を増
幅するプリアンプ8と、プリアンプ8に接続する外部出
力用の出力端子9とを含む。
以下に従来装置の動作について説明する。
TGスキャナ4によりトランスファゲート2に与えられ
る電圧レベルは、′L°レベルと”H”レベルである。
る電圧レベルは、′L°レベルと”H”レベルである。
トランスファゲート2は“H°レベルで導通し、“L″
レベル非導通となる。まず電荷転送期間においてTGス
キャナ4によるトランスファゲート2に与えられる電圧
レベルは全画素で“L”レベルであり、トランスファゲ
ート2は非導通である。この期間中に前記画素のフォト
ダイオード1において光信号は信号電荷に変換され蓄積
される。同時に既に転送チャンネル3内に存在する信号
電荷は転送チャンネル3.7を通して転送される。次に
蓄積電荷読出期間においてTGスキャナ4によりたえば
i番目の水平ラインが選択され、選択された画素のトラ
ンスファゲート2にi番目の走査線5を通じて電圧レベ
ル“H#レベルが与えられる。つまりi番目の水平ライ
ンの蓄積電荷のみが転送チャネル3へ読出される。
レベル非導通となる。まず電荷転送期間においてTGス
キャナ4によるトランスファゲート2に与えられる電圧
レベルは全画素で“L”レベルであり、トランスファゲ
ート2は非導通である。この期間中に前記画素のフォト
ダイオード1において光信号は信号電荷に変換され蓄積
される。同時に既に転送チャンネル3内に存在する信号
電荷は転送チャンネル3.7を通して転送される。次に
蓄積電荷読出期間においてTGスキャナ4によりたえば
i番目の水平ラインが選択され、選択された画素のトラ
ンスファゲート2にi番目の走査線5を通じて電圧レベ
ル“H#レベルが与えられる。つまりi番目の水平ライ
ンの蓄積電荷のみが転送チャネル3へ読出される。
次に再び電荷転送期間へ移行するとともに、各画素にお
いて信号電荷が蓄積される。続いて蓄積電荷読出期間へ
移るが、このときは(i+1)番目の水平ラインが選択
される。以後同様の動作を繰返すことにより最終的に全
画素の信号電荷が読出される。
いて信号電荷が蓄積される。続いて蓄積電荷読出期間へ
移るが、このときは(i+1)番目の水平ラインが選択
される。以後同様の動作を繰返すことにより最終的に全
画素の信号電荷が読出される。
[発明が解決しようとする問題点]
従来装置は以上のように構成されているので、その製造
時においてたとえば写真製版工程におけるごみの付石等
によりi番目の走査線5の一部が断線した場合、i番目
の水平ラインのうちでTGスキャナ4を基準にして断線
箇所より離れた位置にある画素のトランスファゲートに
は所定電圧を印加することができなくなり、その画素の
蓄積電荷が読出せなくなるという問題点があった。
時においてたとえば写真製版工程におけるごみの付石等
によりi番目の走査線5の一部が断線した場合、i番目
の水平ラインのうちでTGスキャナ4を基準にして断線
箇所より離れた位置にある画素のトランスファゲートに
は所定電圧を印加することができなくなり、その画素の
蓄積電荷が読出せなくなるという問題点があった。
こ発明は上記の問題点を解決するためになされたもので
あり、走査線の断線による蓄積電荷の読出不良を低減す
る固体撮像素子を提供することを目的とする。
あり、走査線の断線による蓄積電荷の読出不良を低減す
る固体撮像素子を提供することを目的とする。
[問題点を解決するための手段]
この発明に係る固体撮像素子は、互いに同期された読出
用の電気信号の発生手段を撮像エリアの両側に配置し、
いずれからも個々のトランスファゲートに同一の所定電
圧を印加するものである。
用の電気信号の発生手段を撮像エリアの両側に配置し、
いずれからも個々のトランスファゲートに同一の所定電
圧を印加するものである。
[作用〕
この発明においては、片方の電気信号の発生手段による
所定電圧印加が不能となった場合でも、もう一方の電気
信号の発生手段が所定電圧を印加する。
所定電圧印加が不能となった場合でも、もう一方の電気
信号の発生手段が所定電圧を印加する。
[実施例]
第1図はこの発明の一実施例による固体撮像素子の平面
図である。
図である。
基本的構成は従来装置と同様であるが、この発明におけ
る構成上の特徴は互いに同期されたTGスキャナ4a、
4bが撮像エリアの両側に配置され、各々のトランスフ
ァゲート2へ所定電圧を印加するための走査線5を共通
とする。第1図に示した構造かられかるように、たとえ
ば走査線が水手ライン中の1カ処で断線し断線部6が発
生した場合、その水平ラインのうち第1図において断線
部6より左側にある画素のトランスファゲート電圧は撮
像エリアの左側にあるTGスキャナ4aによって、右側
にある画素のトランスファゲート電圧は右側のTGスキ
ャナ4bによってそれぞれ制御され、従来と同様の読出
動作で各フォトダイオード1で発生した信号電荷を転送
チャンネル3に読出す。
る構成上の特徴は互いに同期されたTGスキャナ4a、
4bが撮像エリアの両側に配置され、各々のトランスフ
ァゲート2へ所定電圧を印加するための走査線5を共通
とする。第1図に示した構造かられかるように、たとえ
ば走査線が水手ライン中の1カ処で断線し断線部6が発
生した場合、その水平ラインのうち第1図において断線
部6より左側にある画素のトランスファゲート電圧は撮
像エリアの左側にあるTGスキャナ4aによって、右側
にある画素のトランスファゲート電圧は右側のTGスキ
ャナ4bによってそれぞれ制御され、従来と同様の読出
動作で各フォトダイオード1で発生した信号電荷を転送
チャンネル3に読出す。
なお、]二2実施例では、各トランスファゲートに接続
する走査線をTGスキャナ4a、4bは共用しているが
、TOスキャナ4a、4bとして別々の走査線を$8し
それぞれ各トランスファゲートに接続しても同様の効果
を奏する。
する走査線をTGスキャナ4a、4bは共用しているが
、TOスキャナ4a、4bとして別々の走査線を$8し
それぞれ各トランスファゲートに接続しても同様の効果
を奏する。
第2図はこの発明の他の実施例を示す固体撮像素子の要
部平面図であり、i番目の走査線まわりの構成部品のみ
示している。
部平面図であり、i番目の走査線まわりの構成部品のみ
示している。
本実施例の構成は基本的には従来装置の第3図と同様で
あるが、この実施例においてはTGスキャナ4に接続す
るi番目の走査線5の端部は行き止まりとならず、追加
の走査線10によってTGスキャナ4近くの走査線5に
再び接続されている。
あるが、この実施例においてはTGスキャナ4に接続す
るi番目の走査線5の端部は行き止まりとならず、追加
の走査線10によってTGスキャナ4近くの走査線5に
再び接続されている。
したがって、走査線5.10によってループ状の閉回路
となるので走査線5の一部に断線部6が生じてもトラン
スファゲート2Cは追加走査線10を経由して所定電圧
が印加され、通常通りに全画素の信号電荷を読出すこと
ができる。
となるので走査線5の一部に断線部6が生じてもトラン
スファゲート2Cは追加走査線10を経由して所定電圧
が印加され、通常通りに全画素の信号電荷を読出すこと
ができる。
なお、上記両実施例ではCSD方式の固体撮像素子に適
用しているが、他の方式による通常の固体撮像素子にも
同様に適用できることは言うまでもない。
用しているが、他の方式による通常の固体撮像素子にも
同様に適用できることは言うまでもない。
[発明の効果]
以上のようにこの発明は互いに同期された読出用の電気
信号の発生手段を撮像エリアの両側に配置したので走査
線の断線が生じてもその影響は少なく、また1箇所の断
線程度では全く正常な走査を行なうことができる歩留り
が高く信頼性の高い固体撮像素子となる効果がある。
信号の発生手段を撮像エリアの両側に配置したので走査
線の断線が生じてもその影響は少なく、また1箇所の断
線程度では全く正常な走査を行なうことができる歩留り
が高く信頼性の高い固体撮像素子となる効果がある。
第1図はこの発明の一実施例による固体撮像素子の回路
構成を示す平面図、第2図はこの発明の他の実施例を示
す固体撮像素子の要部平面図、第3図は従来のC5Dl
j式の固体撮像素子の回路構成を示す平面図である。 図において、1はフォトダイオード、2はトランスファ
ゲート、3は転送チャンネル、4a、4bはTGスキャ
ナ、5は走査線、10は追加走査線である。 なお、各図中同一符号は同一または相当部分を示す。
構成を示す平面図、第2図はこの発明の他の実施例を示
す固体撮像素子の要部平面図、第3図は従来のC5Dl
j式の固体撮像素子の回路構成を示す平面図である。 図において、1はフォトダイオード、2はトランスファ
ゲート、3は転送チャンネル、4a、4bはTGスキャ
ナ、5は走査線、10は追加走査線である。 なお、各図中同一符号は同一または相当部分を示す。
Claims (8)
- (1)行と列よりなるマトリックス状に配列され、受光
した光信号を電気信号に変換する複数の光電変換手段と
、 任意の行または列に属する前記光電変換手段から変換さ
れた電気信号を読出すために、第1の読出信号を発生す
る第1の信号発生手段と、 前記光電変換手段の各々に設けられ、前記第1の信号発
生手段によって発生された第1の読出信号に応答して、
その行または列に属する前記光電変換手段から前記電気
信号を読出す電気信号読出手段と、 前記第1の読出信号を前記電気信号読出手段に伝達する
第1の読出信号伝達手段と、 前記第1の信号発生手段に同期され、前記第1の信号発
生手段が前記第1の読出信号を発生する行または列の前
記光電変換手段に対して、前記第1の読出信号と同一の
第2の読出信号を発生する第2の信号発生手段と、 前記第2の信号発生手段によって発生された第2の読出
信号を前記電気信号読出手段に伝達する第2の読出信号
伝達手段とを備えた、固体撮像素子。 - (2)前記第1および第2の読出信号伝達手段は、同一
の第1の走査線であり、前記第1の信号発生手段は前記
第1の走査線の一方端部に接続し、前記第2の信号発生
手段は前記第1の走査線の他方端部に接続する、特許請
求の範囲第1項記載の固体撮像素子。 - (3)前記第1および第2の信号発生手段は、前記光電
変換手段が配列された領域の両側に位置する、特許請求
の範囲第2項記載の固体撮像素子。 - (4)前記電気信号読出手段によって読出された電気信
号を所定方向に転送する電気信号転送手段をさらに備え
た、特許請求の範囲第1項、第2項または第3項記載の
同体撮像素子。 - (5)前記電気信号転送手段は、CSD (ChargeSweepDevice:電荷掃き寄せ
素子)方式に基づく、特許請求の範囲第4項記載の固体
撮像素子。 - (6)前記第2の信号発生手段は、前記第1の信号発生
手段である、特許請求の範囲第1項記載の固体撮像素子
。 - (7)前記第1の読出信号伝達手段は、各行または列に
配列された前記光電変換手段に設けられた電気信号読出
手段ごとに接続された第2の走査線であり、前記第2の
読出信号伝達手段は前記第2の走査線に接続された第3
の走査線である、特許請求の範囲第6項記載の固体撮像
素子。 - (8)前記第2の走査線と前記第3の走査線の一部とは
ループをなす、特許請求の範囲第7項記載の固体撮像素
子。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP62279911A JPH01120970A (ja) | 1987-11-05 | 1987-11-05 | 固体撮像素子 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP62279911A JPH01120970A (ja) | 1987-11-05 | 1987-11-05 | 固体撮像素子 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH01120970A true JPH01120970A (ja) | 1989-05-12 |
Family
ID=17617631
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP62279911A Pending JPH01120970A (ja) | 1987-11-05 | 1987-11-05 | 固体撮像素子 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH01120970A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001251557A (ja) * | 1999-12-27 | 2001-09-14 | Canon Inc | エリアセンサ、該エリアセンサを有する画像入力装置および該エリアセンサの駆動方法 |
WO2009031581A1 (ja) * | 2007-09-04 | 2009-03-12 | Hamamatsu Photonics K.K. | 固体撮像装置 |
WO2009096313A1 (ja) * | 2008-01-30 | 2009-08-06 | Hamamatsu Photonics K.K. | 固体撮像装置及びそれを含むx線ct装置 |
-
1987
- 1987-11-05 JP JP62279911A patent/JPH01120970A/ja active Pending
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001251557A (ja) * | 1999-12-27 | 2001-09-14 | Canon Inc | エリアセンサ、該エリアセンサを有する画像入力装置および該エリアセンサの駆動方法 |
WO2009031581A1 (ja) * | 2007-09-04 | 2009-03-12 | Hamamatsu Photonics K.K. | 固体撮像装置 |
US8159576B2 (en) | 2007-09-04 | 2012-04-17 | Hamamatsu Photonics K.K. | Solid state imaging device |
WO2009096313A1 (ja) * | 2008-01-30 | 2009-08-06 | Hamamatsu Photonics K.K. | 固体撮像装置及びそれを含むx線ct装置 |
US8483359B2 (en) | 2008-01-30 | 2013-07-09 | Hamamatsu Photonics K.K. | Solid imaging device and X-ray CT device including the solid imaging device |
US9097812B2 (en) | 2008-01-30 | 2015-08-04 | Hamamatsu Photonics K.K. | Solid imaging device and X-ray CT device including the solid imaging device |
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