JPH01119378A - 洗浄装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は液晶基板、光ディスク、半導体のフォトマスク
・レチクル等の平板状の被洗浄体（以下ワークという）
を精密に洗浄する装置に関するものである。

（従来技術） この種ワークの洗浄装置としては、実開昭５３−１３４
６６７号公報及び実開昭５７−１２８１４２号公報に開
示された構成のものが周知である。これら従来例におい
ては、いづれも洗浄槽又は処理槽が隣接状態に複数個配
設され、これら処理槽に対し、ワークがバスケット等に
収納され、ロボット装置により吊型状態で移送しながら
、各処理槽毎に順次浸漬を繰り返して処理又は洗浄され
るように構成されている。

（発明が解決しようとする問題点） 前記従来例の洗浄手段では、洗浄速度が遅く作業性が悪
いばかりでなく、隣接する洗浄槽に夫々異る薬品が入っ
ている場合には、順次の浸漬によって、ワークに付着し
た薬品が次の洗浄槽に持ち込まれ、薬品の混在によって
洗浄精度が低下するという問題点を有し、更にそれを防
止するためには、洗浄作業を中止して頻繁に薬品を取換
えなければならず、作業的にも経済的にも負担が大きい
という種々の問題点を有している。

（問題点を解決するための手段） 前記従来例の問題点を解決プる具体的手段として本発明
は、薬液洗浄によるペーパー室と水洗洗浄による洗浄室
とを通路を介して連通状態に配設し、これらペーパー室
と洗浄室とにワークを移送する昇降装置を設け、前記ペ
ーパー室にはワークの侵入通路とヒーターを備えた液溜
りとを設け、前記洗浄室には洗浄水のスプレー装置と、
ワークを両側から挟み付けて洗浄するスポンジブラシと
を配設し、該スポンジブラシはブラシユニットにより前
進後退ができ且つ所定の回転が付与されるように構成さ
れ、前記ワークの侵入通路と前記両室を連通ずる前記通
路とに夫々臨ませて冷却装置を配設したことを特徴とす
る洗浄装置を提供するものであり、前記ペーパー室と洗
浄室とを通路によって一連に連通して設け、しかもその
通路に冷却装置を配設することによって、両室に所定の
温度差をもたせて且つエアーカーテン状に仕切っており
、両室での洗浄効率を著しく高めることができると共に
、薬液からなる洗浄液の汚れが全く生じないので品質の
安定した洗浄がをられるのである。

（実施例） 次に本発明を図示の実施例により更に詳しく説明する。

１は装置本体全体を示すものであり、該装置本体は下部
の洗浄室２と上部のペーパー室３とに通路４を介して区
分され、両室はテーパー面１ａを介して着脱自在に組立
てられると共に、前記通路４を通して両室間に被処理物
、即ちワークを移送および導入する昇降装＠５とを儀え
、前記ペーパー室３は断熱材６により外部との熱的影響
を遮断した構成にしである。

前記洗浄室２は、その内部に複数個のスポンジブラシ７
．８が対をなして配設され、夫々のスポンジブラシはロ
ッド９，１０の先端に取付けられ、各ロッド９，１０は
洗浄室２の側壁に取付けられた各ブラシユニット１１．
１２により夫々駆動される。この場合の駆動は前記スポ
ンジブラシ７゜８が前記ロッド９．１０を介して洗浄室
２内の略中央部で相互に接近及び離隔する方向に移動す
ることと、所定方向に回転することである。

この場合に、ロッド９，１０を前進及び後退させる機構
としては例えばエアーシリンダーが使用され、回転付与
は例えば第３図に示したように、モータ１３により一つ
の駆動ベルト１４を各ブラシユニット１１．１２のプー
リ１１ａ、１２ａに懸架して駆動するものである。又、
前記エアーシリンダーに代えて例えば、油圧シリンダー
又はその他の摺動装置が使用できるし、前記駆動ベルト
に代えて例えば、ギア等が使用できる。要するに、ブラ
シユニット１１．１２はスポンジブラシ７゜８に対して
、前進後退並びに回転が付与できる機能を有していれば
良いのである。

更に、前記洗浄室２には、その上方部分に複数個のスプ
レー装ｒＩｔ１５が設けられると共に、前記通路４に臨
ませて冷却袋＠１６が設けられ、前記スプレー装置１５
と冷却装置１６との間に一応の仕切板１７が配設され且
つガス抜孔１６ａが設けられている。又、洗浄室２の底
部には洗浄水の排水管１８が接続され、該排水管の途中
にガス抜用のトラップ１９が設けである。更に、装置の
内部を清掃するために、洗浄室２にチッソガス等の不活
性ガスを導入するガス導入管２０が接続されている。

前記ペーパー室３は、前記通路４に隣接した状態で両側
に洗浄液用の液溜２），２２が配設され、その液溜の前
記通路４に臨む側の壁面を夫々通路から見て外側に開く
方向に折曲げて水滴受２）ａ。

２２ａを形成すると共に、各液溜の底部には加熱用のヒ
ータ２３．２４が夫々取付けられている。

前記液溜２）．２２は、第２図及び第４図で示したよう
に、略Ｕ字状を呈する連通管２５により連通しており、
両液溜の液面が同一の高さになるように構成しである。

そしてこのＭ通管２５の略中間付近に液面レベルの検出
部２６が設けてあり、常に液面をチエツクし、蒸発によ
り液面が所定レベルより下った時には薬液を自動的に補
給できるようにしている。又、前記ヒータ２３．２４は
、第２図及び第４図に示したように、液溜２）゜２２を
均等に加熱する必要があるため、複数個の円盤状のヒー
タが略等間隔に配設して形成されている。尚、このヒー
タは、その形状がこれに限定されるものではない。

更に、前記液溜２）．２２に対して洗浄液、例えばイソ
ビルアルコール又はトリクレン等の一般に蒸発させて使
用している洗浄液２７を補給するための供給管２８が設
けられ、前記液面レベルの検出部２６の検出に基いて、
順次洗浄液２７が補給されるようになっており、該供給
管２８から補給される洗浄液２７は予め予備加熱された
ものが補給される。そして、液溜２）．２２には双方に
又はいづれか一方に、液温検出センサー２９が浸漬状態
で又は液溜の底面に取付けて配設され、前記ヒータ２３
．２４のオン・オフを自動的に操作して液温を常に一定
状態に保つようにしである。

前記ペーパー室３の側壁には、内部の状態が透視できる
覗窓３０を設けると共に、メンテナンス用の扉３１が取
付けである。この図示の実施例においては、覗窓３０と
静３１とが別々に設けられているが、扉３１に覗窓３０
を取付けて一緒にすることもできる。更にペーパー全３
の上部には、ペーパー室内を清掃するために、チッソガ
ス等の不活性ガスを導入するガス管３２が配設され、該
ガス管には０．０２μのフィルター３３と、予備ヒータ
３４とが接続され、ベーパー室３内が冷されないように
予熱した状態で供給される。

又、前記ペーパー室３の上部中央部には、着脱自在に封
止装置３５が配設される。この場合も、テーパー面１ｂ
を介して簡単に組込めるようにし、該封止装置３５には
、その略中央部に縦方向にワークの侵入通路３６が設け
られ、その侵入通路の出入口近辺に真空吸着部材３７が
配設され、該真空吸着部材に吸着する出し入れ自在なス
ロットシャッター３８が配設されており、適宜侵入通路
３６が封止できるようになっている。更に、封止装置の
内部で且つ前記侵入通路３６の両側に冷却装置３９が配
設されると共に、装置の安全対策のためにハロゲンガス
等の消火ガスが吹き込まれる複数個のガスノズル４ｏが
ペーパー室３に向けて配設されている。又、前記冷却袋
＠３９が配設されている冷却室４１内にはスリットダン
パー４２が設けられると共に、排気ダクト４３が連設さ
れ、該排気ダクト内に例えば、ｐ■センサー４４及び排
気センサー４５等が設けられ前記ペーパー室３及び冷却
室４１内の状態を管理するように構成しである。尚、前
記ガスノズル４０に近接した位置に、前記ペーパー室３
内のペーパーの温度及び火災発生を検知する温度センサ
ー４６を設け、該温度センサーの検知によって、例えば
火災発生の際に自動的にガスノズル４０から消火ガスを
吹込んで消火するようにしである。

前記ワークの昇降装置５は、第２図及び第４図から明ら
かなように、装置本体１の側面に縦方向に配設されてい
る。この昇降装置は、一対のガイド杆４７が適宜の間隔
をもって縦方向に配設され、該ガイド杆を掴むようにし
てリニアベアリング４８を夫々設け、該リニアベアリン
グ４８は昇降部材４９に一体的に取付けられている。こ
の昇降部材４９は適宜のヒータによって駆動されるプー
リ５０との間で例えば駆動ベルト、チェーン又はタイミ
ングベルト５１により所定のスピードをもって上下に移
送される。更に、前記昇降部材４９にはベース部材５２
が一体的に取付けられ、該ベース部材にワークのホルダ
ー５３が突出状態に取付けられている。このホルダー５
３はペーパー室３への侵入通路３６及び洗浄室２への通
路４を通過できるように薄いフレーム状に形成され、且
つワーク５４が横方向から挿着保持できるように全体と
してコテ状に形成しである。そしてワーク５４が保持さ
れる位置には、複数の突起部５５が形成してあって、ワ
ークを浮かした状態で保持するようにしである。

前記ベース部材５２は、スムーズな移動が行えるため及
び内部と外部とを略完全な状態でシールするために、ベ
ース部材の内部に複数個のローラ５６を設け、該ローラ
５６が壁面を転勤して上下動を速かに行うと共に、その
ローラ５６が転勤する位置の壁面に上下方向に線状のマ
グネット帯５７を形成し、該マグネット帯に吸着される
帯状のスチール５８を配設し、該スチール５８を前記ロ
ーラ５６間に通してマグネット帯５７から一部を浮かせ
、転勤を容易にすると共に、ローラ５６の転勤前後にお
ける大部分のスチール５８がマグネット帯５７に吸着し
て内外の境界部分を略完全な状態でシールを行うように
しである。

（動作の説明） 前記構成を有する本発明の洗浄装置は、ペーパー室３内
の液溜２）．２２に所定量の洗浄液２７を収納し、ヒー
タ２３．２４に通電して所定の温度に加熱し、洗浄液２
７を蒸発させて室内をペーパーで充満させておくと同時
に、前記冷却装置１６．３９も稼動させてペーパー室３
の上下の出入口をエアーカーテン状に仕切った状態にし
ておく。この場合のベーパー室３内の温度は略６０〜１
２０℃であり、その温度はワークの種類によって適宜選
択される。

この状態で、ホルダー５３にワーク５４を保持させ、ス
ロットシャッター３８を開いて昇降装置５を駆動し、侵
入通路３６から順次下降させる。

この下降に際し、ペーパー室３を通る際にワーク５４の
表面にペーパーが付着し、そのまま通路４を通って洗浄
室２に至る。この洗浄室２内において、スプレー装＠１
５から洗浄用の純水を噴射してワーク５４にスプレーし
、ワーク５４が所定の位置に来た時にブラシユニット１
１．１２が作動し、スポンジブラシ７．８を前進させる
と共に回転が付与され、ワーク５４をスポンジブラシ７
゜８で両側から挾み付けるようにし、純水がスプレーさ
れた状態でワーク５４の表面をブラッシングして洗浄す
る。その洗浄が所定時間なされた後に、スポンジブラシ
７．８が後退すると同時に、前記昇降＠＠５が駆動して
ワーク５４を上方に引き上げ、通路４を通ってペーパー
室３内に入る。この時に、前記洗浄室２とペーパー室３
とでは相当の温度差があり、しかも冷却装Ｗ１１６の部
分を通ってペーパー室３に導入されることになるので、
ワーク５４が冷された状態から急に温い状態におかれる
ため、ベーパー室３内に充満しているペーパーが洗浄さ
れたワークの両面に多数付着し、水滴となって滴下し、
前記通路４から洗浄室２内に滴下する。従って、洗浄液
２７には不純物が混入しないのである。この水滴付着及
び滴下によって、ワーク５４が更に薬液洗浄されること
になり、略完全な状態での洗浄が完了する。そして、ペ
ーパー室３から更にワーク５４が上昇し、冷却室４１を
通って冷却されるために、ワーク表面に付着しているペ
ーパーの水滴が蒸発し、侵入通路３６から取出された時
には略乾燥した状態になっている。

尚、侵入通路３６におけるスロットシャッター３８は、
ワーク５４の侵入及び洗浄侵の取出しの際にのみ開いて
、その他の作業中は閉じた状態のままである。又、前記
洗浄室２におけるスプレー装ｖ１１５からの純水の噴射
も、ワーク５４が洗浄室２内に導入されている時のみで
、他の作業中は一切噴射が行われないのである。

そして、洗浄室２内において、洗浄のために噴射された
水は、汚れと共に排水管１８により洗浄室２から順次外
部に取出され、トラップ１９において洗浄室２内に導入
されたペーパー室３からのペーパーが分離されて回収す
るか又は外部に放出される。又、ベーパー室３内におい
てワーク５４に付着し洗浄室２まで滴下したベーパーの
洗浄液も洗浄室２のスプレーされた水と混って、前記同
様に処理される。いづれにしても、水洗の洗浄と薬液に
よる洗浄とを連通した部屋において一連に−行い、しか
も両室に温度差をもたせることにより、特に薬液処理室
、即ちベーパー室３を高温にしておくことにより、ワー
ク５４に対してペーパーが付看し易いようにして洗浄効
率を高めているのである。

更に、ペーパー室３における薬液は、揮発性の引火し易
いものであるため、ペーパー室３の上下の通路において
冷却装置が配設され、ベーパーが外部に漏れ難くすると
共に、仮にペーパー室３内において何等かの原因で火災
が発生した時には、その火災発生を検知して内部に消火
用のガスを自動的に吹込み短時間で消火するようになっ
ているのである。

（発明の効果） 以上説明したように本発明に係る洗浄装置は、薬液洗浄
によるペーパー室と水洗洗浄による洗浄￥とを通路を介
して連通状態に配設し、これらペーパー室と洗浄室とに
ワークを移送する昇降装置を設け、前記ペーパー室には
ワークの侵入通路とヒーターを備えた液溜りとを設け、
前記洗浄室には洗浄水のスプレー装置と、ワークを両側
から挟み付けて洗浄するスポンジブラシとを配設し、該
スポンジブラシはブラシユニットにより前進後退ができ
且つ所定の回転が付与されるように構成され、前記ワー
クの侵入通路と前記画室を連通する前記通路とに夫々臨
ませて冷却装置を配設した構成にしたので、ワークを水
洗洗浄と薬液洗浄とを一工程で連続して行うことができ
、洗浄能率が著しく高められるばかりでなく、特に水洗
洗浄の水を薬液中に持ち込むことがなくなり、薬液の汚
れが全く生じないことから品質の安定した洗浄ができる
という優れた効果を秦する。

又、洗浄室とペーパー室との通路に臨ませて冷却装置を
設け、エアーカーテン方式で両室を区分すると共に、雨
空間に所定の温度差をもたけておくことにより、特に薬
液を蒸発させたペーパーの付着を良好にし、薬液での洗
浄効率を高めることができるという優れた効果も秦する
。

更に、ペーパー室及び洗浄室に安全対策として消火ガス
が噴出するノズルを設けであるので、引火性の高い薬液
を用いてベーパー洗浄しても、安全性が高いという優れ
た効果も奏する。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明に係る洗浄装置の略示的縦断面図、第２
図は第１図の■−■線に沿う横断面図、第３図は同装置
の洗浄室におけるスポンジブラシの回転を付与する機構
を示す略図、第４図は同装置のペーパー室の他の位置で
切断した縦断面図である。 １・・・装置本体、１ａ・・・テーパー面、２・・・洗
浄室、３・・・ペーパー室、４・・・通路、５・・・昇
降装置、６・・・断熱材、７．８・・・スポンジブラシ
、９，１０・・・ロッド、１１．１２・・・ブラシユニ
ット、Ｉｌａ、１２ａ・・・プーリ、１３・・・モータ
、１４・・・駆動ベルト、１５・・・スプレー装置、１
６・・・冷却装置、１６ａ・・・ガス抜孔、１７・・・
仕切板、１８・・・排水管、１９・・・トラップ、２０
・・・ガス導入管、２）．２２・・・液溜、２）ａ、２
２ａ・・・水滴受、２３．２４・・・ヒータ、２５・・
・連通管、２６・・・検出部、２７・・・洗浄液、２８
・・・供給管、２９・・・液温検出センサー、３０・・
・覗窓、３１・・・ｍ１３２・・・ガス管、３３・・・
フィルター、３４・・・予備ヒータ、３５・・・封止＠
置、３６・・・侵入通路、３７・・・真空吸着部材、３
８・・・スロットシャッター、３９・・・冷却装置、４
０・・・ガスノズル、４１・・・冷却室、４２・・・ス
リットダンパー、４３・・・排気ダクト、４４・・・ｐ
ｔｌ’ｔ’ンサー、４５・・・排気センサー、４６・・
・温度センサー、４７・・・ガイド杆、４８・・・リニ
アベアリング、４９・・・昇降部材、５０・・・プーリ
、５１・・・チェーン又はタイミングベルト、５２・・
・ベース部材、５３・・・ホルダー、５４・・・ワーク
、５５・・・突起部、５６・・・ローラ、５７・・・マ
グネット帯、５８・・・スチール。

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. （１）薬液洗浄によるベーパー室と水洗洗浄による洗浄
   室とを通路を介して連通状態に配設し、これらベーパー
   室と洗浄室とにワークを移送する昇降装置を設け、前記
   ベーパー室にはワークの侵入通路とヒーターを備えた液
   溜りとを設け、前記洗浄室には洗浄水のスプレー装置と
   、ワークを両側から挟み付けて洗浄するスポンジブラシ
   とを配設し、該スポンジブラシはブラシユニットにより
   前進後退ができ且つ所定の回転が付与されるように構成
   され、前記ワークの侵入通路と前記両室を連通する前記
   通路とに夫々臨ませて冷却装置を配設したことを特徴と
   する洗浄装置。
2. （２）ベーパー室の液溜りはワークの通路を挾んで両側
   に設け、両液溜りをＵ字状の連通管で連通させ、該連通
   管に液面レベルの検出部を設けたことを特徴とする前記
   （１）項記載の洗浄装置。
3. （３）前記ベーパー室及び洗浄室には清掃用又は消火用
   のガスノズルを設けたことを特徴とする前記（１）項記
   載の洗浄装置。
4. （４）前記ワークの侵入通路にスロットシャッターを設
   けたことを特徴とする前記（１）項記載の洗浄装置。
5. （５）前記ベーパー室に覗窓及びメンテナンス用の扉を
   設けたことを特徴とする前記（１）項記載の洗浄装置。
6. （６）前記洗浄室のブラシユニットにおけるブラシの回
   転は、一個のモータで連動させて行うようにしたことを
   特徴とする前記（１）項記載の洗浄装置。