JPH01116515A - ポストオブジエクテイブ型光偏向器 - Google Patents

ポストオブジエクテイブ型光偏向器

Info

Publication number
JPH01116515A
JPH01116515A JP62274437A JP27443787A JPH01116515A JP H01116515 A JPH01116515 A JP H01116515A JP 62274437 A JP62274437 A JP 62274437A JP 27443787 A JP27443787 A JP 27443787A JP H01116515 A JPH01116515 A JP H01116515A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
optical deflector
scanning
order
polygon
reflecting surface
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP62274437A
Other languages
English (en)
Inventor
Yasuo Matsumoto
泰夫 松本
Kazunori Murakami
和則 村上
Tomonori Ikumi
智則 伊久美
Satoo Iwafune
岩舟 恵男
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toshiba TEC Corp
Original Assignee
Tokyo Electric Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Tokyo Electric Co Ltd filed Critical Tokyo Electric Co Ltd
Priority to JP62274437A priority Critical patent/JPH01116515A/ja
Publication of JPH01116515A publication Critical patent/JPH01116515A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B5/00Optical elements other than lenses
    • G02B5/08Mirrors
    • G02B5/09Multifaceted or polygonal mirrors, e.g. polygonal scanning mirrors; Fresnel mirrors

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
  • Lenses (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、ポリゴンミラーを用いたポストオブジェクテ
ィブ型光偏向器に関するものである。
従来の技術 レーザープリンタ等に用いられる光走査装置には、ビー
ムが収束レンズにより収束光束とされた後に光偏向器に
入射されるポストオブジェクティブ型の光走査装置と、
偏向器により偏向された後に収束レンズを通るプレオブ
ジェクト型の光走査装置とが知られている。
これらのうち、プレオブジェクト型の光走査装置は収束
レンズにより像面湾曲やfθ特性を補正し易く、収束位
置を平面とすることも容易であるために現在多く用いら
れている。しかしながら、収束レンズは偏向角をカバー
した広角レンズとして構成しなければならないため、そ
の構成が複雑となり、高価になる傾向がある。このよう
なことから簡単な構造の収束レンズを用いる必要がある
場合には、ポストオブジェクティブ型が選択される。
発明が解決しようとする問題点 ポストオブジェクティブ型の光走査装置は、収束レンズ
の構成は簡単になるが、収束点が一般に湾曲した面上に
ある。そのため、像面湾曲を補正しなければならない。
そこで、特開昭61−156020号公報に記載されて
いるように、ポリゴンミラーの反射面を球面又は円筒面
とすることにより像面湾曲を小さくすることが行われて
いる。これにより、像面湾曲の補正は実用上問題のない
ところまで行われているが、走査非直線性の補正まで行
うことはできず、電気的手段によりその走査非直線性の
補正を行っているものである。例えば、レーザープリン
タ等では信号のクロックを連続的又は段階的に変化させ
る等の手段により補正を行なっている。
問題点を解決するための手段 凸状の高次曲面筒状の反射面を有するポリゴン光偏向器
であり、このポリゴン光偏向器の前記反射面の曲面形状
が前記ポリゴン光偏向器の回転中心軸に垂直な直線に対
して線対称となる偶数次の高次曲線 f(x)・anxn+an−8xn−′+・・・・・・
・・・+a、x、(但し、n≧4で2の倍数)で表わせ
る形状とした。
作用 ポリゴン光偏向器の反射面は、高次曲線による曲面であ
るため、従来の半径Rの反射面に対してその面形成のた
めの自由度が増え、これにより、設計の自由度が広がり
、像面湾曲と走査非直線性とを補正することができるも
のである。
実施例 本発明の一実施例を第1図乃至第4図に基づいて説明す
る。まず、ポリゴン光偏向器1は第1図に示すように偶
数次の高次曲面からなる反射面2を備え、この反射面2
が0を中心として回転するように設けられている。また
、第3図に示すように軸光線と微分光線とはS。に収束
するように入射し、反射面2上で反射して8点に結像す
る。ポリゴン光偏向器1の回転中心OよりΩの位置に収
束する2本の光線を考え、これらが高次曲面による反射
面2で反射された後に収束する点Sにより像面を定義す
る。第4図のパラメータを説明すると、偶数次高次曲面
の係数をa nS a nig、・・・a。
とじ、前記ポリゴン光偏向器1の内接円半径をRm、回
転軸から走査面までの距離をR1有効走査長をり0、偶
数次高次曲面の線対称軸がポリゴン光偏向器1の回転面
内において、入射光線の方向余弦のポリゴン回転面への
斜影成分と一致するときのポリゴン光偏向器1の回転角
をθ=O1この時の走査点の走査面上の位置をy=Qと
し、y=L0/2となるθを06とおく。ポリゴン光偏
向器1の反射面2を6面と仮定すると、回転角は60a
で一走査に対応するので、この範囲で結像スポット位置
が220mm幅とれて直線性誤差が0となるような条件
で高次曲面係数及びポリゴン光偏向器1の回転中心から
スポット位置までの距離Rを変数とし、主走査、副走査
双方の像面湾曲、fθ特性、走査線湾曲の補正が実用上
問題ないところまで最適化した。以下にその実例を示す
[実例1] まず、第5図はポリゴン光偏向器の回転軸の方向から見
た光線図である。そして、第6図(a)は主走査側の像
面湾曲と走査位置を表し、第6図(b)はfθ誤差と走
査位置の関係である。
しかして、ポリゴン光偏向器1の内接円半径をRm=2
3.9208mm、高次曲線の6次係数を−1,588
6X10−”、4次係数を−1,0772X10−’、
2次係数を3.548X10−″とし、原点に回転軸を
有するように配置し、出射点を(0,100,O)とす
る6人射光線の仮想収束点をy方向に−29,7981
+nn+になるようにし、走査面は(0,250,00
23,O)を含む平面で、ポリゴン光偏向器1の回転角
θ=Oの時の走査光に垂直とする。この時、Z軸方向(
ポリゴン光偏向器1の回転軸はZ軸)から見た光線図が
第5図であり、像面湾曲が第6図(a)であり、fθ誤
差が第6図(b)である。そして、最大像面湾曲誤差は
0.7778mm、最大fθ誤差は−2,6844mm
となる。
[実例2] 第7図(a)(b)は第二の実例を表し、第一の実例が
光路長がおよそ250mmであるのに対し、本実例はそ
の光路長がおよそ300mmのものである。
ポリゴン光偏向器lの内接円半径をRm=23゜748
4閣、高次曲線の6次係数を−1,5877X10−”
、4次係数を−6,3656X10−1.2次係数を2
.8611X10−’とし、原点に回転軸を有するよう
に配置し、出射点を(0,100,O)とする6人射光
線の仮想収束点をy方向に−42,62978になるよ
うにし、走査面は(8,299,9144,0)を含む
平面で、ポリゴン光偏向器1の回転角θ=0の時の走査
光に垂直とする。この時、Z軸方向(ポリゴン光偏向器
1の回転軸はZ軸)から見た光線図が第5図であり、像
面湾曲が第7図(a)であり、fθ誤差が第7図(b)
である。そして、最大像面湾曲誤差は0.3417mm
、最大fθ誤差は−1゜8850++vとなる。
発明の効果 本発明は上述のように構成したので、fθレンズのいら
ない像面湾曲のみならず、走査直線性誤差をも小さく押
えたポストオブジェクティブ型光偏向器を構成すること
ができ、また、fθレンズを使わないので、光学系全体
として安価に構成することができ、とくに、ポリゴン光
偏向器の反射面は、高次曲面であるため、従来の半径R
の反射面に対してその面形成のための自由度が増え、こ
れにより、設計の自由度が広がり、像面湾曲と走査非直
線性とを補正することができる等の効果を有するもので
ある。
【図面の簡単な説明】
図面は本発明の一実施例を示すもので、第1図は放物面
に入射・反射する光線の関係を示す線図、第2図はポリ
ゴン光偏向器の平面図、第3図及び第4図は光線の関係
を示す線図、第5図は実例1の光線図、第6図(a)は
走査位置と主走査側像面位置の関係を示すグラフ、第6
図(b)は走査位置とfθ誤差の関係を示すグラフ、第
7図(a)は実例2の走査位置と主走査側像面位置の関
係を示すグラフ、第7図(b)は走査位置とfθ誤差の
関係を示すグラフである。 1・・・ポリゴン光偏向器、2・・・反射面出 願 人
   東京電気株式会社 / \

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 凸状の高次曲面筒状の反射面を有するポリゴン光偏向器
    であり、このポリゴン光偏向器の前記反射面の曲面形状
    が前記ポリゴン光偏向器の回転中心軸に垂直な直線に対
    して線対称となる偶数次の高次曲線 f(x)=a_nx^n+a_n_−_2x^n^−^
    2+………+a_0x_0(但し、n≧4で2の倍数)
    で表わせる形状としたことを特徴とするポストオブジエ
    クテイブ型光偏向器。
JP62274437A 1987-10-29 1987-10-29 ポストオブジエクテイブ型光偏向器 Pending JPH01116515A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP62274437A JPH01116515A (ja) 1987-10-29 1987-10-29 ポストオブジエクテイブ型光偏向器

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP62274437A JPH01116515A (ja) 1987-10-29 1987-10-29 ポストオブジエクテイブ型光偏向器

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH01116515A true JPH01116515A (ja) 1989-05-09

Family

ID=17541666

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP62274437A Pending JPH01116515A (ja) 1987-10-29 1987-10-29 ポストオブジエクテイブ型光偏向器

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH01116515A (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2019124924A (ja) * 2017-11-21 2019-07-25 ジック アーゲー ポリゴンスキャナ及び監視領域内の物体の検出方法

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2019124924A (ja) * 2017-11-21 2019-07-25 ジック アーゲー ポリゴンスキャナ及び監視領域内の物体の検出方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US4624528A (en) Scanning systems with polygon scanner having curved facets
JP3869704B2 (ja) 走査光学系
JPH10142543A (ja) 光走査装置
JPH0727125B2 (ja) 光走査装置
JP2734154B2 (ja) ポストオブジェクティブ型走査光学系とそれを用いた画像形成装置
JP2563260B2 (ja) 光ビ−ム走査装置
JP4227334B2 (ja) 走査光学系
JPH1130710A (ja) 反射型走査光学系
JP2673591B2 (ja) fθレンズ及びそれを用いたレーザー走査光学系
EP0658787B1 (en) Scanning lens and optical scanner using the same
US5671079A (en) Scanning lens system
JPH01116515A (ja) ポストオブジエクテイブ型光偏向器
JP2945097B2 (ja) テレセントリックなfθレンズ
US5064262A (en) Postobjective optical deflector
US5204769A (en) Postobjective optical deflector
JPH01309021A (ja) 光ビーム走査光学系
JP2511904B2 (ja) 光ビ−ム走査装置
JP2520917B2 (ja) ポストオブジェクト型光偏向器
JPH01116519A (ja) ポストオブジエクテイブ型光偏向器
JP2613600B2 (ja) 高解像光ビーム走査装置
JP2583856B2 (ja) 光ビ−ム走査装置
JPH01116517A (ja) ポストオブジエクテイブ型光偏向器
US5153766A (en) Postobjective optical scanner
JP3558847B2 (ja) マルチビーム走査装置
JPH01116516A (ja) ポストオブジエクテイブ型光偏向器