JPH01108515A - 反射型顕微鏡対物レンズ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、ミラー光学系だけを用いて高倍率が得られる
顕微鏡対物レンズ並びに可変倍率を有する顕微鏡対物レ
ンズに関するものである。

最も一般的な顕微鏡対物レンズはシューワードシイルド
　力セグレニアン（ｓｃｈｗａｒｚ　ｓ　ｃｈｉｌｄｃ
ａｓｓｅｇｒａｉｎｉａｎ）反射型対物レンズである。

この型式の対物レンズは、放物エネルギーの広い範囲に
亘って良好な画像品質が得られる。ミラー面の反射率は
波長に対して著しく変化することはない。

これに対して、レンズは種々の波長の放射エネルギーを
種々の焦点位置に集束させると共に種々の波長の放射エ
ネルギーを種々の効率で透過し、特定の波長光について
は全く透過しない屈折材料で構成される。種々の波長の
放射エネルギーを結像することは、現在用いられている
顕微鏡にとって重要なことである。けだし、試料は、紫
外から遠赤外に亘る波長の放射エネルギーでしばしば検
鏡されるからである。

一方、通常のシューワード　シイルド　カセグレニアン
顕微鏡対物レンズは比較的低倍率の場合だけ有用である
。けだし、高倍率でしかも開口数が大きい場合、試料と
第２ミラーとの間の作動距離が小さくなりすぎてしまう
からである。高倍率にするには大きさの小さいミラーを
用いる必要がある。しかしながら、ミラーの大きさを小
さくすると、第２ミラーの大きさが極めて小さくなるた
め製造時に種々の問題が生じてしまう。反射型頭微鏡対
物レンズの既知の設計では、実質的に１００倍の倍率は
容易に得ることができなかった。

高倍率は、反射型対物レンズの焦点を延長させた遠方に
ある視野絞り（ｒｅｍｅｔｅ　ｆｉｅｌｄ　５ｔｏｐ）
を用いることにより得られる。しかしながら、遠方視野
絞りは不便であり、しかも画像品質を低下させるおそれ
がある。実際の光学系の設計においては、高倍率で良好
な画像品質が得られる反射型顕微鏡対物レンズは未だ知
られていない。

カセグレニアンミラー型光学系において放物エネルギー
は種々の光路を形成できることが知られている。たとえ
ば、シルバツースの米国特許第３゜５２７、５２６号に
は反射型結像光学系が開示されており、この結像光学系
では放射エネルギーは第１ミラーにより２回反射されて
いる。第２ミラーは、第２ミラー付近に焦点を形成する
前に放射エネルギーを１回又は２回反射している。種々
の結像光学系は、物体の像を第２ミラーに比較的接近し
た位置にある焦点面又はその近傍に位置させる望遠レン
ズとされている。シルバツースによって開示されている
ミラーは、非球面とするのが好ましく、また同心状に形
成されていない。

望遠鏡対物レンズの既知の設計では、４回反射型のカセ
グレニアンミラー光学系における集束性球面ミラーが用
いられている。１次ミラーは無限遠からの光を受光する
。１次ミラーは、１次ミラーの比較的近傍に光を集束さ
せている。この望遠鏡対物レンズの２次ミラーは、１次
ミラーよりも大きくする必要がある。この望遠鏡対物レ
ンズのダイアメタ　オブスキユレーションは約０．７１
である。第２ミラーによって引きおこされる大きな障害
により、４回反射型望遠鏡対物レンズが実用不能のもの
とされている。

上記望遠鏡対物レンズの技術を用いることにより、カセ
グレニアン望遠鏡対物レンズにおいて４回反射光路を形
成することができる。しかしながら、４回反射光路を用
いて形成された画像は全く不鮮明であり、高倍率で作動
させるには全く不適当である。従って、４回反射型光路
は解消すべき問題として取り扱われている。

本発明は、４回反射型光学系を用いる通常のシュワーズ
シュルド力セグレニアン顕微鏡対物レンズについての新
規な光学設計に関するものである。１次および２次ミラ
ーは共に球面曲率を有している。しかしながら、これら
ミラーは４回反射モードでは同心状にされていない。２
次ミラーの曲率中心は１次ミラー側に変位している。こ
のように同心点から変位させることにより、２次ミラー
の大きさが著しく小さくなり、しかも対物レンズの開口
における障害が低減される。同心状態から変位しても対
物レンズによって形成される画像に著しい歪みが生ずる
ことはない。１次ミラーから試料結像面までの距離は、
２次ミラーから遠方視野絞りまでの距離以下である。４
回反射光路とすることにより、試料から２次ミラーまで
の作動距離が実用化できない程小さくなることなく対物
レンズの倍率を増大させることができる。４回反射光路
とすることにより、顕微鏡として観察視野が比較的小さ
くなるので高開口数の場合でも良好な画像品質を維持す
ることができる。１次ミラーおよび２次ミラーを共に球
面とすることにより、本発明の反射型顕微鏡対物レンズ
を大量生産することができる。

本発明による反射型顕微鏡対物レンズは、高開口数の場
合に高倍率及び良好な画像品質が得られることに加えて
他の種々の光学性能を有している。

４回反射による光路は、遠方視野絞りの位置において光
軸にほぼ平行になることが発見された。遠方視野絞りの
位置を光軸に沿って変化させて対物レンズの倍率を増大
又は減少させることにより、本発明の反射型顕微鏡対物
レンズはズームレンズとして機能することになる。１次
ミラーから試料までの相対距離を変化させて焦点を適切
に調整する必要がある。

本発明の反射型顕微鏡対物レンズは、２回反射モードと
４回反射モードとの間で切り換えることにより倍率を変
化させることもできる。１次ミラーと２次ミラーとの間
の離間距離及び試料から２次ミラーまでの距離を増大す
ることにより、本発明の対物レンズにより２回反射光路
に沿って反射した放射エネルギーだけが結像する。この
２回反射モードは、４回反射モードより低倍率である。

２回反射モードと４回反射モードとの間で切り換えを行
うに際し、遠方視野絞りから試料結像面までの距離が増
大する場合、遠方視野絞りの位置を変化させる必要はな
い。

本発明の反射型顕微鏡対物レンズは、高倍率反射型顕微
鏡対物レンズ並びにデュアル倍率反射型顕微鏡対物レン
ズとして機能する。多くの場合、本発明は、ミラー光学
系が物体面からの放射エネルギーを遠方視野絞りに集束
させると共に遠方視野絞りに位置する試料結像面の倍率
を実際に変化させる可変倍率反射型顕微鏡対物レンズと
して機能する。好ましいことに、前側ミラー面全体によ
りミラー光学系が構成されるので、本発明の反射型顕微
鏡対物レンズに色収差が発生することはない。

４回反射モードの場合、通常の２回反射シュワーズシイ
ルド　力セグレニアン対物レンズが同様な倍率で作動す
る場合よりも一層大きな作動距離が得られる。さらに、
本発明のデュアル倍率モードおよびズーム倍率性能は顕
微鏡として明確な利点を有している。例えば、赤外線顕
微鏡は通常固定視野絞りの位置に可変開口マスクを配置
して試料結像面に照明区域を空間的に画成し、試料結像
面からの放射エネルギーを検出器に到達させている。し
かしながら、低倍率の観察だけで試料結像面に照明区域
の空間的範囲を正確に画成することはしばしば困難であ
り、或いは高倍率の観察だけで目標区域を認識すること
も困難である。本発明以前においては、デュアルモード
倍率は対物レンズを変えることでしか得られなかった。

また、従来の反一対型顕微鏡対物レンズは、物理的な容
積の関係より２個の対物レンズをレンズターレット台に
装着することが妨げられていた。さらに、少なくともあ
る市販の赤外線顕微鏡では対物レンズを交換することが
できないものとされている。

本発明は上述した従来の光学系の欠点を除去することが
できる。けだし、デュアル倍率モードにより、同一の対
物レンズを用いて視野絞りを固定した状態で低倍率視察
及び高倍率観察を共に行うことができるためである。２
回反射モードと４回反射モードとの変換は、１次ミラー
と２次ミラーとの間の離間距離を変更し次に対物レンズ
の焦点を再調整することを含んでいる。低倍率、すなわ
ち２回反射モードにおいて、４回反射モードにおける高
倍率観察時に空間的に規定され得る照明区域を選択する
ことができる。そして、観察した後対物レンズを低倍率
すなわち２回反射モードに戻して次の観察すべき照明区
域を選択する。そして、この操作を切り返すことができ
る。

ズーム倍率に設定することにより、反射型顕微鏡をズー
ムレンズとして作動させることができる。

４回反射モードでは、遠方視野絞りの位置を光軸に沿っ
て変化させ次に試料結像面を移動することによって焦点
を再調整するこ羨により、広範囲に亘る種々の倍率を得
ることができる。本発明は、同一の試料結像面及び同一
の遠方視野絞りの条件下において波長ではかって３桁以
上異なる放射エネルギーを集束させることができるとい
う点において通常のズーム顕微鏡とは相違している。こ
の波長範囲について、屈折によるズーム顕微鏡レンズで
は同等の性能が得られないものと思われる。

以下図面に基づいて本発明の詳細な説明する。

第１図において、１次ミラー２５及び２次ミラー２０を
光軸１に沿って整列させてカセグレニアン顕微鏡対物レ
ンズを構成する。１次ミラー２５は前側ミラー面２３及
び円形貫通孔２２を有している。１次ミラーホルダ２６
はネジ切りされたレンズホルダ（図示せず）を係合させ
るネジ部２７を有し、１次ミラー２５を２５′で示す位
置まで光軸１に沿って変位させることができる。この１
次ミラー２５の変位によって、前側ミラー面２３が２３
′で示す位置まで変位する。

４回反射モードで作動する場合、第１の試料結像面３０
は顕微鏡の対物レンズの焦点と対応している。放射エネ
ルギービーム３１は２次ミラー２０の前側ミラー面２１
により１次ミラーの前側ミラー面２３に向けて反射し、
再び２次ミラー２０に向けて反射し、さらに１次ミラー
の前側ミラー面２３に向けて〜１９− 反射し、第１の試料結像面３０に焦点を形成する。

放射エネルギービーム３１は、第２図に示す遠方視野絞
りを形成する。放射エネルギービーム３１は、２次ミラ
ー２０を出射した後光軸に沿ってほぼ平行になる。１次
ミラー２５を位置２５′まで変位させることにより、放
射エネルギービーム４１は２次ミラー２０及び１次ミラ
ー２５によりそれぞれ１回だけ反射され、第２の試料結
像位置４０に焦点を形成する。

第２図に拡大して示すように、２回反射モードで作動す
る場合放射エネルギービーム４１は遠方視野絞り４０に
おいてほとんど平行になっていない。第１図に示す反射
型の顕微鏡対物レンズは、２次ミラー２０と遠方視野絞
り１０との間の視野絞り距離を一定に維持する。

第１図に示す反射型顕微鏡対物レンズを用いる多くの設
計が行われ、所望倍率で良好な品質の画像が得られてい
る。これらの設計は１次ミラーの大きさ及び離間距離に
おいてそれぞれ相違している。

本発明の有効な実施例を、４回反射モードで１００倍の
公称倍率及び２回反射モードで５０倍の公称倍率を有す
る反射型顕微鏡対物レンズを以て説明する。

１次ミラーの曲率半径・・・・・・１７．９８１ｍｍ１
次ミラーの直径・・・・・・２９．０９０ｎ＋ｍ１次ミ
ラーの孔の直径・・・・・・３．５８９ｍｍ２次ミラー
の曲率半径・・・・・・５．２８７２ｍｍ２次ミラーの
直径・・・・・・６．８３８１ｍｍ。

視野絞り距ｎ（視野絞りと２次ミラーの頂部との間の距
離）・・・・・・１８５．１２ｍｍ公称倍率１００倍 １次ミラーと２次ミラーとの間の離間距離（頂部から頂
部まで）・・・・・・１１．９０１ｍｍ作動距離（試料
と２次ミラーの頂部との間の距離）・・・・・・９．８
８１　ｍｍ 開口数・・・・・・０．７１ 公称倍率５０倍 １次ミラーと２次・ミラーとの間の離間距離（頂部から
頂部まで）・・・・・・１２．６５１ｍｍ作動距離（試
料と２次ミラーの頂部との間の距離）・・・・・・１１
．５８１ｍｍ 開口数・・・・・・０．７１ 上記反射型顕微鏡対物レンズは、上記視野絞り距離に対
する所望の視野絞り距離の適切な比となる全ての数を乗
算することにより、種々の視野絞り距離を有するものと
して用いることができる。

上記データに基づき当業者は種々の倍率の反射型顕微鏡
対物レンズを形成することができる。

第１図に示す反射型顕微鏡対物レンズの設計においては
、数個のさらに考慮すべき事項が含まれている。すなわ
ち、４回反射モードで使用する場合、２次ミラー２０の
裏面が反射型顕微鏡対物レンズの絞りをふさいでしまう
。従って、２次ミラー２０はできるだけ薄く、又はその
後側において端部を斜めに形成して対物レンズの開口を
最大にする必要がある。

２次ミラー２０の大きさは高倍率用にすなわち４回反射
作動モード用に決定するのが好ましい。従って、２次ミ
ラーは２回反射モードで使用する場合の最適の大きさよ
りも一層大きくなる。この絞り遮断は、２回反射モード
で得られる画像品質を著しく損なうことにはならない。

１次ミラー２５の貫通孔２２の大きさを適切な大きさと
することにより、不所望な６回反射の光路を除去する簡
単な手段が得られる。ただし、孔２２の直径は、２回反
射及び４回反射のいずれの光路を妨害しない十分な大き
さとする必要がある。

第１図に示す顕微鏡対物レンズは、４回反射モードで使
用する場合ズームレンズとして機能することができる。

けだし、放射エネルギービーム３１が、遠方視野絞り１
０の領域において光軸にほぼ平行になるからである。上
述した１００倍の対物レンズについて、２次ミラー２０
から視野絞り１０までの視野絞り距離は１５０倍又はそ
れ以上の倍率が得られるように増加することができるも
のと考えられる。同様に、視野絞り距離を短くすること
により、反射型顕微鏡対物レンズの倍率を７５倍又はそ
れ以下に減少させることができる。

２次ミラー２０及び１次ミラー２５は、第１図のＣで示
す曲率中心を中心にして同心状に配置する。

はぼ同心状に配置することにより、視野収差が実用化で
きるレベルまで減少する。しかしながら、４回反射−ド
では同心度は完全なものとはならない。２次ミラー２０
の曲率中心Ｃ′は１次ミラー２５とその曲率中心との間
に存在する。２次ミラーの大きさ及び中心部の遮断を減
少させれば、同心性を微小量だけずらすことにより対物
レンズの解像度が改善される。同心度をわずかにずらす
ことにより他の光学的なひずみを生ずることなく、つま
り対物レンズの光学性能が改善されることになる。

当業者であれば、所定の反射型顕微鏡対物レンズについ
て曲率中心の適切な変位量を容易に決定することができ
る。

上記反射型顕微鏡対物レンズの不鮮明さは、従来の４回
反射型シュワードシイルド対物レンズより著しく減少す
る。反射型顕微鏡対物レンズの２次ミラーにより生ずる
不鮮明さは、ダイアメタオブスキュレーション（ｄｉａ
ｍｅｔｅｒ　ｏｂｓｕｒａｔｉｏｎ）とい＝２４− う文言で表すことができる。このダイアメタ　オブスキ
ュレーションは２次ミラーの開口数を１次ミラーの開口
数で除算した数値として規定され、これは２次ミラーの
最大光路制限（ｍａｘｉｍｕｎ　ｏｂｓｔｒｕ−ｃｔｉ
ｏｎ）の半角のサインを１次ミラーの最大開口半角のサ
インで除算したものに等しい。上記表で与えられる本発
明の実施例のダイアメタ　オブスキニレーションは４回
反射モードで０．５１８である。

第１図に示す反射型顕微鏡対物レンズは、透過型又は対
物レンズが試料だけを結像する暗視野反射モードのいず
れにおいても高品位画像を形成する。こ画像品質は、対
物レンズが試料結像面に放射エネルギーを集束すると共
に遠方視野絞りに鏡面反射された放射エネルギーを結像
する明視野反射モードにおいても同様に良好なもとなる
。２回反射モードで形成された画像は、特大２次ミラー
による別の開口障害に起因する解像度の最小損失を除い
て通常のシュワーズ　シイルド　力セブレニアン顕微鏡
対物レンズによる画像に十分匹敵する。４回反射モード
で形成された画像は２回反射モードで形成された画像の
２倍湾曲している。しかし顕微鏡の視野は小さいから、
像面湾曲並びに他の光学ひずみは十分に小さく、この結
果画像は通常の顕微鏡観察、特に顕微鏡分光光度観察に
十分受は入れることができる。

高倍率反射型顕微鏡対物レンズとしての使用に加えて、
本発明はミラー光学系を能動光学素子として用い試料観
察に用いられる倍率を変化させる手段を提供する。この
能動光学素子という文言は、補正板やフィルタのように
能動素子によって形成された画像を単に変えるにすぎな
い別の素子や伝送光学系のように光を一方の位置から他
方の位置に移動させるにすぎない別の光学素子とは異な
り、放射エネルギーを集束させる光学素子を意味する。

ミラー光学系は、反射表面の作動範囲に対して色収差が
生じない利点を有している。本発明の前側ミラー面は特
に色彩効果に対して感度を有していない。本発明は、真
の紫外から遠赤外に亘る波長の放射エネルギーを用いて
試料の倍率を変えることができる顕微鏡対物レンズを提
供するものである。

本発明は上述した実施例だけに限定されるもではなく種
々の変形や変更が可能である。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明による反射型顕微鏡対物レンズの一例の
構成を示す線図、 第２図は第１図に示す反射型顕微鏡対物レンズによる遠
方視野絞りの位置における焦点を示す線図である。 １０・・・遠方視野絞り　　　２０・・・２次ミラー２
２・・・貫通孔　　　　　　２５・・・１次ミラー３０
・・・第１試料結像面　　４０・・・第２試料結像面特
許出願人　　　スペクトラ−チク・ インコーホレーテッド

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、光軸に沿って位置決めされた遠方視野絞りと、 光軸に沿って位置決めされた凹状球面曲率 を有すると共に、光軸方向の貫通孔並びに曲率中心を有
   する１次ミラーと、 前記１次ミラーから有限の距離を以て光軸 に沿って位置決めされた第１の試料結像面 （物体面）と、 光軸に沿って位置決めされた凸状の球面曲 率を有すると共に、前記第１試料結像面から第１の作動
   距離だけ離間し前記１次ミラーから第１の離間距離だけ
   離間した２次ミラーとを具え、前記第１試料結像面が、
   前記遠方視野絞りが前記２次ミラーに対するよりも一層
   １次ミラーに接近し、前記２次ミラーが、前記１次ミラ
   ーの曲率中心に対して１次ミラーに向けて若干変位した
   曲率中心を有し、前記第１離間距離および第１作動距離
   が、第１試料結像面から１次ミラーに到り、１次ミラー
   からにら２次ミラーに到り、２次ミラーから１次ミラー
   に到り、１次ミラーから２次ミラーに到り、および２次
   ミラーから前記貫通孔を経て遠方視野絞りに到る４回反
   射光路を形成するように構成したことを特徴とする反射
   型顕微鏡対物レンズ。 ２、前記１次ミラーおよび２次ミラーが前側鏡面を有す
   ることを特徴とする請求項１に記載の反射型顕微鏡対物
   レンズ。 ３、前記４回反射光路が、前記遠方視野絞りの位置にお
   いて、光軸に沿ってほぼ平行にされていることを特徴と
   する請求項１に記載の反射型顕微鏡対物レンズ。 ４、さらに、前記２次ミラーから第２の作動距離だけ離
   間した第２の試料結像面と、 １次ミラーと２次ミラーとの間の第１離間 距離を第２離間距離まで変化させる手段とを具え、 前記第２作動距離および第２離間距離が、 前記第２試料結像面から１次ミラーに到り、１次ミラー
   から２次ミラーに到り、および２次ミラーから前記貫通
   孔を経て遠方視野絞りに到る２回反射光路を形成するよ
   うに構成したことを特徴とする請求項１に記載の反射型
   顕微鏡対物レンズ。 ５、前記第２作動距離が前記第１離間距離よりも一層大
   きくされ、 前記第２離間距離が前記第１離間距離より も一層大きくされていることを特徴とする請求項４に記
   載の反射型顕微鏡対物レンズ。 ６、前記視野絞りまでの距離が一定にされていることを
   特徴とする請求項５に記載の反射型顕微鏡対物レンズ。 ７、前記２次ミラーが、４回反射光路に対して最良の大
   きさを有し、 前記２次ミラーができるだけ薄くされるか 又は斜めに形成した縁部を有し、１次ミラーと第１試料
   結像面との間の光路をさえぎらないように構成したこと
   を特徴とする請求項１に記載の反射型顕微鏡対物レンズ
   。 ８、前記１次ミラーの貫通孔が、第１試料結像面と第１
   の遠方視野絞りとの間で形成される６回反射光路を、２
   回反射光路又は４回反射光路をさえぎることなく除去す
   るように決定された大きさを有することを特徴とする請
   求項１に記載の反射型顕微鏡対物レンズ。 ９、反射型顕微鏡対物レンズにおいて画像を形成するに
   当たり、 第１試料結像面に位置する焦点から１次ミ ラーに到る光路を形成し、 １次ミラーから、この１次ミラーから第１ の離間距離だけ離間して位置決めされた２次ミラーまで
   の光路を形成し、 ２次ミラーから再び１次ミラーに到る光路 を形成し、 １次ミラーから２次ミラーに到る光路を形 成し、 ２次ミラーから、この２次ミラーから視野 絞り距離だけ離間した位置に位置決めされた遠方視野絞
   りに到る光路を形成し、 前記焦点位置に位置する第１の試料結像面 が、２次ミラーから有限の第１の作動距離だけ離間し、 前記第１試料面の拡大像を前記遠方視野絞 りに形成することを特徴とする反射型顕微鏡対物レンズ
   における画像形成方法。 １０、前記２次ミラーから遠方視野絞りに到る光路をほ
   ぼ平行にし、焦点を再調整し、前記視野絞り距離を増大
   させることにより対物レンズの倍率を増大させ、視野絞
   り距離を減少させることによって対物レンズの倍率を減
   少させることを特徴とする請求項９に記載の反射型顕微
   鏡対物レンズにおける画像形成方法。 １１、さらに、前記分離距離を第２分離距離まで増大さ
   せ、 前記２次ミラーと前記焦点との間の作動距 離を第２の作動距離まで増加させ、 前記焦点位置の第２試料結像面から１次ミ ラーに到る光路を形成し、 １次ミラーから２次ミラーに到る光路を形 成し、 ２次ミラーから遠方視野絞りに到る光路を 形成することを特徴とする請求項９に記載の反射型顕微
   鏡対物レンズにおける画像形成方法。 １２、第２試料結像面に位置する焦点から１次ミラーに
   到る光路を形成し、 前記１次ミラーから、この１次ミラーから 第２の離間距離だけ離間して位置決めされた２次ミラー
   までの光路を形成し、 ２次ミラーから、この２次ミラーから視野 絞り距離だけ離間して位置決めされた遠方視野絞りまで
   の光路を形成し、 前記離間距離を第１の離間距離まで減少さ せ、 前記２次ミラーと前記焦点との間の作動距 離を第１の作動距離まで減少させ、 前記焦点に位置する第１の試料結像面から １次ミラーに到る光路を形成し、 １次ミラーから２次ミラーに到る光路を形 成し、 ２次ミラーから再び１次ミラーに到る光路 を形成し、 １次ミラーから再び２次ミラーに到る光路 を形成し、 ２次ミラーから遠方視野絞りに到る光路を 形成し、 前記第１および第２作動距離を有限のもの としたことを特徴とする反射型顕微鏡対物レンズの画像
   形成方法。 １３、試料からの放射エネルギーを遠方視野絞りに集束
   させて拡大像を形成するミラー光学系と、 前記試料の拡大像を前記ミラー光学系を用 いて変化させる手段とを具えることを特徴とする反射型
   顕微鏡対物レンズ。 １４、前記拡大像変化手段が、遠方視野絞りからミラー
   光学系までの視野絞り距離を増大させる手段を具えるこ
   とを特徴とする請求項１３に記載の反射型顕微鏡対物レ
   ンズ。 １５、前記遠方視野絞りが、ミラー光学系に対して固定
   されていることを特徴とする請求項１３に記載の反射型
   顕微鏡対物レンズ。 １６、前記ミラー光学系が、前側鏡面で構成されている
   ことを特徴とする請求項１３に記載の反射型顕微鏡対物
   レンズ。 １７、前記ミラー光学系がカセグレニアン対物レンズを
   具え、このカセグレニアン対物レンズが、 光軸に沿って位置決めされている遠方視野 絞りと、 光軸に沿って位置決めされている凹状球面 曲率を有すると共に、光軸方向の貫通孔並びに曲率中心
   を有する１次ミラーと、 前記１次ミラーから有限の距離を以て光軸 に沿って位置決めされた第１の試料結像面と、光軸に沿
   って位置決めされている凸状球面 曲率を有すると共に、前記第１の試料結像面から第１の
   作動距離だけ離間し前記１次ミラーから第１の離間距離
   だけ離間した２次ミラーとを具え、前記第１試料結像面
   が１次ミラーに対して、前記遠方視野絞りが２次ミラー
   に対するよりも一層接近し、２次ミラーが、１次ミラー
   の曲率中心に対して１次ミラーに向けてわずかに変位す
   る曲率中心を有し、 前記第１離間距離および第１作動距離が、 第１試料結像面から１次ミラーに到り、１次ミラーから
   ２次ミラーに至り、２次ミラーから１次ミラーに到り、
   １次ミラーから２次ミラーに到り、および２次ミラーか
   ら前記貫通孔を経て遠方視野絞りに到る４回反射光路を
   形成するように構成したことを特徴とする反射型顕微鏡
   対物レンズ。 １８、前記４回反射光路が光軸に沿ってほぼ平行にされ
   、 前記２次ミラーと遠方視野絞りとが、視野 絞り距離だけ離間され、 焦点を再調整し、視野絞り距離の増加が対 物レンズの倍率の増加に対応し、視野絞り距離の減少が
   対物レンズの倍率の減少に対応するように構成したこと
   を特徴とする請求項１７に記載の反射型顕微鏡対物レン
   ズ。 １９、前記４回反射光路が光軸に沿ってほぼ平行にされ
   、 前記２次ミラーと遠方視野絞りとが視野絞 り距離だけ離間され、 焦点を再調整して、視野絞り距離の増大が 対物レンズの倍率の増大に対応し、視野絞り距離の減少
   が対物レンズの倍率減少に対応するように構成したこと
   を特徴とする請求項１７に記載の反射型顕微鏡対物レン
   ズ。 ２０、さらに、前記２次ミラーから第２の作動距離だけ
   離間している第２の試料結像面と、 前記１次ミラーと２次ミラーとの間の第１ 離間距離を第２離間距離まで変化させる手段とを具え、 第２作動距離および第２離間距離が、前記 第２試料結像面から１次ミラーに到り、１次ミラーから
   ２次ミラーに到り、２次ミラーから前記貫通孔を経て遠
   方視野絞りに到る２回反射光路を形成するように構成さ
   れ、この２回反射光路により４回反射光路よりも倍率が
   小さくなるように構成したことを特徴とする請求項１９
   に記載の反射型顕微鏡対物レンズ。 ２１、前記視野絞り距離が一定にされていることを特徴
   とする請求項２０に記載の反射型顕微鏡対物レンズ。 ２２、前記１次ミラーおよび２次ミラーが前側鏡面を有
   することを特徴とする請求項１７に記載の反射型顕微鏡
   対物レンズ。