JPH01105840U - - Google Patents

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JPH01105840U
JPH01105840U JP53888U JP53888U JPH01105840U JP H01105840 U JPH01105840 U JP H01105840U JP 53888 U JP53888 U JP 53888U JP 53888 U JP53888 U JP 53888U JP H01105840 U JPH01105840 U JP H01105840U
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JP
Japan
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pressure
diaphragm
liquid
flange portion
flange
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【図面の簡単な説明】
第1図は本考案の一実施例を示す一部破断側面
図、第2図はベースの斜視図、第3図は要部拡大
断面図、第4図a,bはそれぞれ本考案の他の実
施例を示す要部拡大断面図、第5図はフランジ型
差圧・圧力発信器の従来例を示す一部破断側面図
である。 2……受圧側面、3……受圧ダイヤフラム、4
……フランジ部、6……内封液、7……ボデイ本
体、8……裏側室、10……ベース、11……接
合面、12……溶接部、14……接液ダイヤフラ
ム、15……裏側室、16……接合面、17……
室、18……連通孔、19……内封液、27A,
27B……溝。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 受圧側面に受圧ダイヤフラムが設けられた略円
    盤状のフランジ部を一体的に有し内部に内封液が
    封入されたボデイ本体と、前記フランジ部に接合
    固定され、前記フランジ部とは反対側側面に接液
    ダイヤフラムが設けられ、かつこの接液ダイヤフ
    ラムの裏側と前記受圧ダイヤフラムの表面との間
    に内封液が封入された耐食性材料からなるベース
    とを備えたフランジ型差圧・圧力発振器において
    、前記フランジ部とベースとの接合面のうち少な
    くともいずれか一方に、少なくとも1つの溝を径
    方向に形成してなり、この溝の内端は前記受圧ダ
    イヤフラムと前記ベースとの間に形成された室に
    連通し、外端は前記接合面の外周付近まで延在し
    外部と連通していないことを特徴とするフランジ
    型差圧・圧力発信器。
JP53888U 1988-01-08 1988-01-08 Pending JPH01105840U (ja)

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JP (1) JPH01105840U (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2015166703A (ja) * 2014-03-04 2015-09-24 アズビル株式会社 圧力センサチップ
WO2015151728A1 (ja) * 2014-03-31 2015-10-08 アズビル株式会社 圧力センサチップ

Cited By (4)

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JP2015166703A (ja) * 2014-03-04 2015-09-24 アズビル株式会社 圧力センサチップ
WO2015151728A1 (ja) * 2014-03-31 2015-10-08 アズビル株式会社 圧力センサチップ
JP2015194342A (ja) * 2014-03-31 2015-11-05 アズビル株式会社 圧力センサチップ
US10401248B2 (en) 2014-03-31 2019-09-03 Azbil Corporation Pressure sensor chip

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